EP1299649B1 - Vakuumerzeugervorrichtung - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a vacuum generating device, comprising a main suction nozzle unit, which can be supplied via a main inflow channel with a pressure medium under a predetermined operating pressure, which when passing through the main suction nozzle unit in a subsequent to a main suction port, with a connected to be evacuated space or connectable main suction channel causes a suction effect, wherein in the main inflow a depending on the currently prevailing in the evacuated space vacuum actuable shut-off valve is turned on, upon reaching a predetermined target negative pressure interruption of the pressure medium supply of the main Suction nozzle unit can cause, wherein one of the main suction nozzle unit operatively connected in parallel additional suction nozzle unit is provided, which in the operation of the device constantly under an operating pressure and standing by an additional outflow again is supplied from the outflowing pressure medium and which has a connected to the main suction channel of the main suction nozzle unit in fluid connection additional suction opening, wherein in the main suction channel between the two suction openings opposite to the suction
- One from the German utility model no. 299 03 330 Outgoing vacuum generator device is used for example in handling technology to workpieces or other handling technology used to workpieces or other To transport objects without risk of damage.
- the vacuum generating device is equipped with an air saving device which is intended to interrupt the pressure medium supply when the desired negative pressure is reached in the space to be evacuated. If the volume to be evacuated is relatively small, the desired effect will actually occur.
- the volume to be evacuated is relatively large and accordingly only a gradual build-up of the negative pressure takes place, this, together with the gradually closing shut-off valve and the friction forces occurring in the valve, may cause the flow rate supplied to the main suction nozzle unit to decrease so sharply the desired negative pressure build-up is no longer possible.
- the system then settles in a state in which the prevailing in the evacuated space vacuum is less than the desired desired negative pressure.
- the exhaust performance suffers, and due to the never completely closing shut-off valve continues to result in a constant air consumption to a certain extent.
- the suction power of the main suction nozzle unit is limited, carried by the still in operation located additional suction nozzle unit a residual evacuation to the desired target negative pressure, which is then able to Close the shut-off valve completely.
- the invention provides that the shut-off valve is designed as a 2/2-way valve and the additional discharge channel of the additional suction nozzle unit communicates directly with the atmosphere.
- Another advantage of the vacuum generator device according to the invention is that usually no Abschimpuls circuit is required to cancel the vacuum present in the space to be evacuated for the purpose of depositing an adherend article. It is usually sufficient to interrupt the pressure medium supply to the additional suction nozzle unit, so that the space to be evacuated is vented via the communicating with the environment outflow channel of the additional suction nozzle unit.
- the additional suction nozzle unit is designed for a lower compared to the main suction nozzle unit maximum pressure medium flow rate of the injected pressure medium. So it has the main suction nozzle unit on high flow and the additional suction nozzle unit on lower flow, but at the same time designed high vacuum generator performance. Thus, the saving effect can be further optimized.
- the additional suction nozzle unit is designed in such a way that the suction flow rate that can be generated by it when the operating pressure is applied is in the region of the leakage which is likely to occur in the space to be evacuated.
- shut-off valve is conveniently a 2/2-way valve is used, which has a steady or continuous control behavior.
- the shut-off valve required for its operation vacuum signal is expediently connected by the fact that a standing with the valve member of the shut-off valve in operative connection Beauftschungs character is provided, which one supplies the prevailing in the evacuated space vacuum.
- further counter-acting means are provided which act on the valve member with one of the negative pressure caused by the actuating force counteracting counteracting force.
- desired specification of the opposing force can be specifically intended to specify the desired vacuum in the room to be evacuated.
- the counteracting means may have a counteracting force causing and preferably adjustable spring means, which may be a gas spring and / or a mechanical spring means.
- the counter-loading means have a counter-acting surface which is in operative connection with the valve member of the shut-off valve and is constantly connected to the operating pressure applied to the main inflow channel. In this way, the counteracting force depends on the upcoming operating pressure. It can now be influenced by appropriate specification of the area ratios that can be set directly proportional by setting the operating pressure of the target negative pressure value.
- suction nozzle units are supplied with the same operating pressure during operation of the device, so that a single pressure medium connection is sufficient to ensure the pressure medium supply.
- the vacuum generator device can already be advantageously operated with a single main suction nozzle unit.
- a plurality of parallel main suction nozzle units may be readily available, which can also be interconnected in such a way that sets a particular desired performance.
- the illustrated vacuum generator apparatus 1 includes a main suction nozzle unit 2 and an auxiliary suction nozzle unit 3, and the terms "main” and “additive”, also in connection with the other components of the vacuum generating apparatus, are used only for better discrimination.
- the term "suction nozzle unit” will generally be used without any precedence.
- the suction nozzle units 2, 3 have a structure known per se and have an ejector device 4 with a jet nozzle channel 5 and a catch nozzle channel 6 arranged in the axial extension thereof. Between the two channels mentioned above there is an open space to the side, which forms a suction opening which are designated for better distinction in the two suction nozzle units 2, 3 as the main suction opening 7 and as an additional suction opening 8.
- Each suction nozzle unit 2, 3 has a main or additional inflow opening 12, 13 which defines the inlet of a respective jet nozzle channel 5.
- To the catching nozzle channel 6 joins a communicating with the atmosphere R main or additional discharge channel 14, 15 at.
- a main inflow channel 16 Upstream of the main inflow opening 12 is a main inflow channel 16, which leads to a feed opening 18, via which a pressure medium, preferably compressed air, can be fed in at a desired operating pressure p B.
- a pressure medium preferably compressed air
- the additional inflow opening 13 of the additional suction nozzle unit 3 can also be supplied with the corresponding pressure medium.
- a main suction channel 22 is connected, which leads to a space to be evacuated 24.
- This can for example be formed by the interior of the suction cup or suction cup of a vacuum handling device, with the aid of objects can be sucked, transported and stored.
- the vacuum generator device 1 may have a housing 25 which, with the exception of the space 24 to be evacuated, contains all the device components, the main suction channel 22 leading to a connection opening 26 located on the outer surface of the housing 25, to which via Channels or fluid lines a to be evacuated space 24 defining component can be connected.
- the additional suction opening 8 of the additional suction nozzle unit 3 is also in communication with the main suction channel 22.
- both suction ports 7, 8 simultaneously with the space to be evacuated 24 in connection, the channels used can be at least partially designed as a unit.
- a preferably designed as a 2/2-way valve shut-off valve 27 is turned on, which can be actuated in response to the currently prevailing in the main suction passage 22 and thus in the evacuated space 24 vacuum p U.
- Fig. 1 apparent open position in which it allows an unrestricted pressure medium supply of the main suction nozzle unit 2.
- the passage through the main inflow channel 16 is shut off and the pressure medium supply to the main suction nozzle unit 2 is interrupted.
- the control of the instantaneous position of the shut-off valve 27 takes place without electrical measures directly through the vacuum to be evacuated 24 currently prevailing vacuum p U , tapped in the embodiment at a tapping point 28 from the main suction channel 22 and fed as a fluid pressure signal Beaufschlagungs simulation a 32 of the shut-off valve 27 becomes.
- a feed channel 33 extending between the tapping point 28 and the loading surface 32 may be provided, as shown in FIG Fig. 1 is indicated.
- the supply channel 33 is omitted, since the tapping point 28 is here directly in the main suction channel 22, in that the loading surface 32 is realized as a movable wall section of the main suction channel 22.
- the basic position of the shut-off valve 27 representing an open position is defined by counteracting means 34. While the negative pressure p U prevailing in the main inflow channel 16 exerts a loading force F B oriented in the closing direction of the shut-off valve 27 on the loading surface 32, the counter-loading means 34 cause a counteracting force F G oriented opposite to the loading force F B in the direction of the open position.
- the counteracting force F G is caused by acting on a counter-acting surface 32 of the check valve 27 operating pressure p B.
- both the loading surface 32 and the counterbearing surface 35 are expediently in operative connection with a valve member 36 of the shut-off valve 27 and are expediently provided directly on the valve member 36.
- the valve member 36 Since the counter-application surface 35 is constantly exposed to the operating pressure p B , there is a counter-acting force F G constantly pushing the valve member 36 in the direction of the open position.
- the valve member 36 actually switching force arises as a resultant force between the counter-acting force F G and derived from the currently prevailing negative pressure p U Beaufschlagungskraft F B.
- the switching behavior of the shut-off valve 27 can be influenced by appropriate specification of the area ratio between the loading surface 32 and the counter-application surface 35.
- the counter-application force F G depends on the height of the operating pressure p B in the embodiment, there is the advantageous possibility to variably set the desired target negative pressure by variable specification of the operating pressure p B. It can be specified on the area ratios that the height of the negative pressure or vacuum is achieved in proportion to the input side operating pressure.
- the counteracting means for generating the counteracting force could also have an in Fig. 1 dash-dotted lines indicated spring device 37 have, for example, a gas spring device or a mechanical spring device, wherein the spring force can be adjusted appropriately to pretend the counter-acting force and thus the desired target vacuum as needed can.
- the space to be evacuated 24 is circumferentially closed and contains a certain volume of air.
- stationary pressure medium preferably compressed air, fed, which passes first unhindered to the inflow openings 12, 13 of both suction nozzle units 2, 3 and flows through the latter, where it via the outflow 14, 15 to the environment R is blown out.
- a suction effect is caused in the region of the suction openings 7, 8, which is a suction of the air from the adjacent to the suction ports 7, 8 channels and to be evacuated Room 24 causes.
- the suction devices 38 are in Fig. 1 indicated by arrows.
- the target negative pressure p US builds up abruptly and immediately leads to a closing of the shut-off valve 27.
- the main suction nozzle unit 2 is inoperative and only the auxiliary suction nozzle unit 3 is in operation.
- the overall result is a reduction of the pressure medium consumption, which allows an economical operation of the vacuum generator device 1.
- the additional suction nozzle unit 3 is unaffected by the position of the check valve 27 constantly, continuously in operation, it ultimately ensures the achievement of the desired target negative pressure, which then causes the complete closing of the check valve 27.
- the main suction nozzle unit 2 is completely shut down, and the air consumption in turn depends on the geometric Parameters of the main suction nozzle unit 2 operatively connected in parallel additional suction nozzle unit. 3
- a check valve 39 is turned on. It can according to the illustration of the Fig. 2 be designed as a flap-check valve. It is designed so that it prevents a flow of fluid opposite to that caused by the main suction nozzle unit 2 suction direction 38, with the main suction nozzle unit 2 in operation, however, allows the suction flow in the desired manner.
- the Fig. 3 shows the flow rate V of the fed via the inlet port 18 and through the suction nozzle units 2, 3 total flowing therethrough pressure medium in time-dependent form, in other words the fluid consumption V over time t.
- the flow rate of the vacuum generator device 1 according to the invention is plotted at 42 in a solid line. Accordingly, at the switch-on time t 0 of the device, a maximum volumetric flow determined by the sum of the flow rates of the two suction nozzle units 2, 3 then gradually decreases in accordance with the reduction in the flow cross-section predetermined by the shut-off valve 27, until finally the curve section 42a is achieved with a minimum volumetric flow , which is determined by the sole operation of the auxiliary suction nozzle unit 3.
- dashed line 43 illustrates the much higher constant air consumption of a conventional Vacuum generating device 1, which has no air-saving function and has only one with the main suction nozzle unit 2 comparable suction nozzle unit.
- the dot-dashed curve 44 finally illustrates the air consumption of a vacuum generating device according to the prior art, which has only one main suction nozzle unit 2 with upstream shut-off valve 27, but does not have the additional suction nozzle unit 3 according to the invention.
- the curve is similar to that in the invention, the minimum air consumption indicated by the curve section 44a is considerably higher than in the case of the design according to the invention, despite the additional suction nozzle unit 3 constantly operating there.
- the Fig. 4 shows the structure of the negative pressure p U as a function of the operating time, wherein the vacuum structure according to the invention with the solid line 45 is illustrated.
- the dashed line 46 illustrates the vacuum structure of a comparable but comparable to the invention, but no additional suction nozzle unit possessing device, although the initial vacuum structure is similar, but the maximum value remains considerably below that of the inventive design.
- the suction nozzle units 2, 3 there is the further possibility of designing the suction nozzle units 2, 3 differently with respect to the maximum possible flow rate and the suction power, and thus to adapt them specifically to the respective application.
- the auxiliary suction nozzle unit 3 it is possible to design the auxiliary suction nozzle unit 3 in such a way that the suction flow rate which can be generated by the operating pressure applied to it is approximately comparable to the leakage flow which occurs in the region of the space 24 to be evacuated, for example the relevant suction cup does not lie absolutely hermetically close to the object to be handled.
- the additional suction nozzle unit 3 is designed for a lower compared to the main suction nozzle unit 2 maximum pressure medium flow rate in terms of the injected pressure medium.
- the main suction nozzle unit 2 it is possible to design the main suction nozzle unit 2 for high flow, which ensures that even a relatively high volume is emptied relatively quickly.
- the additional suction nozzle unit 3, however, can be designed for high vacuum.
- a dot-dash line 52 is in Fig. 1 makes it clear that the existing outflow channels 14, 15 can also be brought together without further notice, so that the venting takes place via a common outflow opening.
- the Fig. 2 shows a particularly advantageous and compact embodiment of the vacuum generator device 1, in which the shut-off valve 27 is integrated into the housing 25, which also contains the suction nozzle units 2, 3.
- the loading surface 32 is formed by a movable wall portion of the main flow channel 22, wherein they are on the end face of a piston portion of the valve member 36, which is adjustably guided in a corresponding receptacle 53 of the housing 25.
- the valve member 36 protrudes more or less into the main suction channel 22 and thereby controls the provided fürströmquerrough 53 for the pressure medium.
- the counter-application surface 35 has the same orientation as the loading surface 32 and is remote from a further loading surface 54 of the valve member 36, which is exposed via a bore 55 to the atmospheric pressure p A.
- the maximum possible vacuum can be achieved despite an existing economy device.
- the characteristic curves for the operating pressure and the vacuum are identical with and without economy device.
- the existing pressure-dependent control of the markable as an air-saving valve shut-off valve is virtually static with small leakage in the suction channels or in the space to be evacuated. This results in low wear.
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Description
- Die Erfindung betrifft eine Vakuumerzeugervorrichtung, mit einer Haupt-Saugdüseneinheit, die über einen Haupt-Zuströmkanal mit einem unter einem vorgegebenen Betriebsdruck stehenden Druckmedium versorgt werden kann, das beim Hindurchströmen durch die Haupt-Saugdüseneinheit in einem sich an eine Haupt-Saugöffnung anschließenden, mit einem zu evakuierenden Raum verbundenen oder verbindbaren Haupt-Saugkanal eine Absaugwirkung hervorruft, wobei in den Haupt-Zuströmkanal ein in Abhängigkeit von dem momentan im zu evakuierenden Raum herrschenden Unterdruck betätigbares Absperrventil eingeschaltet ist, das bei Erreichen eines vorbestimmten Soll-Unterdruckes eine Unterbrechung der Druckmediumversorgung der Haupt-Saugdüseneinheit hervorrufen kann, wobei eine der Haupt-Saugdüseneinheit wirkungsmäßig parallelgeschaltete Zusatz-Saugdüseneinheit vorgesehen ist, die im Betrieb der Vorrichtung ständig mit unter einem Betriebsdruck stehendem und über einen Zusatz-Abströmkanal wieder abströmenden Druckmedium versorgt wird und die über eine mit dem Haupt-Saugkanal der Haupt-Saugdüseneinheit in Fluidverbindung stehende Zusatz-Saugöffnung verfügt, wobei in den Haupt-Saugkanal zwischen den beiden Saugöffnungen ein entgegen der von der Haupt-Saugdüseneinheit hervorrufbaren Absaugrichtung sperrendes Rückschlagventil eingeschaltet ist, wie es im Oberbegriff des Anspruchs 1 definiert wird. Eine solche Vorrichtung ist aus des
JP-A-61055400 - Eine aus dem deutschen Gebrauchsmuster Nr.
299 03 330 hervor gehende Vakuumerzeugervorrichtung wird beispielsweise in der Handhabungstechnik eingesetzt, um Werkstücke oder sonstige Handhabungstechnik eingesetzt, um Werkstücke oder sonstige Gegenstände ohne Beschädigungsgefahr zu transportieren. Dabei stehen ein oder mehrere, jeweils einen zu evakuierenden Raum begrenzende Saugnäpfe mit dem Haupt-Saugkanal in Verbindung und lassen sich auf einem zu transportierenden Gegenstand positionieren, wobei durch Absaugung ein Vakuum erzeugt werden kann, das für ein unterdruckbedingtes Anhaften des zu transportierenden Gegenstandes am jeweiligen Saugnapf sorgt. Um einen unnötigen Verbrauch des üblicherweise von Druckluft gebildeten Druckmediums zu verhindern, ist die Vakuumerzeugervorrichtung mit einer Luftspareinrichtung ausgestattet, die die Druckmediumversorgung unterbrechen soll, wenn im zu evakuierenden Raum der gewünschte Unterdruck erreicht ist. Ist das zu evakuierende Volumen relativ gering, wird sich der gewünschte Effekt auch tatsächlich einstellen. Ist das zu evakuierende Volumen hingegen relativ groß und findet dementsprechend ein nur allmählicher Aufbau des Unterdruckes statt, kann dies in Verbindung mit dem allmählich schließenden Absperrventil und den im Ventil auftretenden Reibungskräften dazu führen, daß die der Haupt-Saugdüseneinheit zugeführte Strömungsrate so stark abnimmt, daß der gewünschte Unterdruckaufbau nicht mehr möglich ist. Das System pendelt sich dann in einem Zustand ein, bei dem der im zu evakuierenden Raum herrschende Unterdruck geringer ist als der gewünschte Soll-Unterdruck. Somit leidet die Absaugleistung, und auf Grund des nie vollständig schließenden Absperrventils ergibt sich auch weiterhin ein ständiger Luftverbrauch in einem gewissen Umfange. - Bei einer aus der
JP-A-61055400 - Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumerzeugervorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der sich der gewünschte Soll-Unterdruck in Verbindung mit wirksameren Druckmedium-Sparmaßnahmen zuverlässig erreichen läßt.
- Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass das Absperrventil als 2/2-Wegeventil ausgeführt ist und der Zusatz-Abströmkanal der Zusatz-Saugdüseneinheit direkt mit der Atmosphäre kommuniziert.
- Da der Druckmediumverbrauch der Zusatz-Saugdüse bei geschlossenem Absperrventil nur einen Bruchteil des ursprünglichen maximalen Druckmediumverbrauches darstellt, ist die Energiebilanz trotz der ständig aufrechterhaltenen Druckmediumströmung wesentlich günstiger als beim Stand der Technik.
- Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vakuumerzeugervorrichtung liegt darin, daß in aller Regel keine Abwurfimpuls-Schaltung erforderlich ist, um den im zu evakuierenden Raum vorhandenen Unterdruck zum Zwecke des Ablegens eines anhaftenden Gegenstandes aufzuheben. Es genügt in der Regel, die Druckmediumversorgung zur Zusatz-Saugdüseneinheit zu unterbrechen, so daß der zu evakuierende Raum über den mit der Umgebung kommunizierenden Abströmkanal der Zusatz-Saugdüseneinheit entlüftet wird.
- Fällt im Betrieb der Vorrichtung auf Grund einer auftretenden Leckage der im zu evakuierenden Raum herrschende Unterdruck in unerwünschter Weise ab, wird durch die daraus resultierende Druckerhöhung ein Öffnen des Absperrventils hervorgerufen, so daß vorübergehend wieder die volle Saugleistung sämtlicher. Saugdüseneinheiten zur Verfügung steht.
- Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
- Zweckmäßigerweise ist die Zusatz-Saugdüseneinheit auf eine im Vergleich zur Haupt-Saugdüseneinheit geringere maximale Druckmedium-Durchflußrate des eingespeisten Druckmediums ausgelegt. Man hat also die Haupt-Saugdüseneinheit auf hohen Durchfluß und die Zusatz-Saugdüseneinheit auf geringeren Durchfluß, zugleich jedoch hohe Vakuumerzeugerleistung ausgelegt. Dadurch läßt sich der Spareffekt noch weiter optimieren.
- Im Bereich des zu evakuierenden Raumes auftretende Leckage kann mit der Vakuumerzeugervorrichtung durch die Zusatz-Saugdüseneinheit bis zu deren Saugleistung ausgeglichen werden. Es ist daher von Vorteil, wenn die Zusatz-Saugdüseneinheit derart ausgelegt wird, daß die bei Anliegen des Betriebsdruckes durch sie erzeugbare Absaug-Strömungsrate im Bereich der bei dem zu evakuierenden Raum voraussichtlich auftretenden Leckage liegt.
- Als Absperrventil kommt zweckmäßigerweise ein 2/2-Wegeventil zum Einsatz, das über ein stetiges bzw. kontinuierliches Stellverhalten verfügt.
- Dem Absperrventil wird das zu seiner Betätigung erforderliche Unterdrucksignal zweckmäßigerweise dadurch aufgeschaltet, daß eine mit dem Ventilglied des Absperrventils in Wirkverbindung stehende Beaufschlagungsfläche vorgesehen ist, der man den im zu evakuierenden Raum herrschenden Unterdruck zuführt. Zur Vorgabe des Betätigungsverhaltens des Absperrventils sind ferner Gegenbeaufschlagungsmittel vorgesehen, die das Ventilglied mit einer der vom aufgeschalteten Unterdruck hervorgerufenen Betätigungskraft entgegenwirkenden Gegenbeaufschlagungskraft beaufschlagen. Durch gewünschte Vorgabe der Gegenbeaufschlagungskraft läßt sich gezielt der im zu evakuierenden Raum angestrebte Soll-Unterdruck vorgeben.
- Die Gegenbeaufschlagungsmittel können über eine die Gegenbeaufschlagungskraft hervorrufende und vorzugsweise einstellbare Federeinrichtung verfügen, wobei es sich um eine Gasfeder und/oder um eine mechanische Federeinrichtung handeln kann. Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform verfügen die Gegenbeaufschlagungsmittel über eine mit dem Ventilglied des Absperrventils in Wirkverbindung stehende Gegenbeaufschlagungsfläche, der ständig der am Haupt-Zuströmkanal anliegende Betriebsdruck aufgeschaltet ist. Auf diese Weise hängt die Gegenbeaufschlagungskraft vom anstehenden Betriebsdruck ab. Es kann nun durch geeignete Vorgabe der Flächenverhältnisse darauf Einfluß genommen werden, daß sich der Soll-Unterdruckwert direkt proportional durch Vorgabe des Betriebsdruckes einstellen läßt.
- Es versteht sich, daß zweckmäßigerweise sämtliche Saugdüseneinheiten im Betrieb der Vorrichtung mit dem gleichen Betriebsdruck versorgt werden, so daß ein einziger Druckmediumanschluß ausreicht, um die Druckmediumversorgung zu gewährleisten.
- Die Vakuumerzeugervorrichtung läßt sich bereits mit einer einzigen Haupt-Saugdüseneinheit vorteilhaft betreiben. Allerdings können ohne weiteres mehrere parallelgeschaltete Haupt-Saugdüseneinheiten vorhanden sein, die man zudem derart miteinander verschalten kann, daß sich ein besonderes gewünschtes Betriebsverhalten einstellt.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:
- Fig. 1
- das Schaltbild einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumerzeugervorrichtung,
- Fig. 2
- eine nach dem Schaltbild der
Fig. 1 realisierte konstruktive Ausgestaltung einer Vakuumerzeugervorrichtung, - Fig. 3
- ein den Spareffekt der Vakuumerzeugervorrichtung verdeutlichendes Diagramm und
- Fig. 4
- ein den Druckaufbau der Vakuumerzeugervorrichtung im Vergleich zu konventionellen Bauformen aufzeigendes Diagramm.
- Die in
Fig. 1 und2 abgebildete Vakuumerzeugervorrichtung 1 enthält eine Haupt-Saugdüseneinheit 2 und eine Zusatz-Saugdüseneinheit 3, wobei die Bezeichnungen "Haupt" und "Zusatz", auch im Zusammenhang mit den anderen Bestandteilen der Vakuumerzeugervorrichtung, lediglich zur besseren Unterscheidung verwendet werden. Im übrigen wird, sofern sich die Beschreibung sowohl auf die Haupt-Saugdüseneinheit 2 als auch auf die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 bezieht, allgemein der Begriff "Saugdüseneinheit" ohne vorangestellten Zusatz verwendet werden. - Die Saugdüseneinheiten 2, 3 haben als solches einen an sich bekannten Aufbau und besitzen eine Ejektoreinrichtung 4 mit einem Strahldüsenkanal 5 und einem in axialer Verlängerung desselben angeordneten Fangdüsenkanal 6. Zwischen den beiden vorerwähnten Kanälen befindet sich ein zur Seite hin offener Zwischenraum, der eine Saugöffnung bildet, welche zur besseren Unterscheidung bei den beiden Saugdüseneinheiten 2, 3 als Haupt-Saugöffnung 7 und als Zusatz-Saugöffnung 8 bezeichnet seien.
- Jede Saugdüseneinheit 2, 3 hat eine Haupt- bzw. Zusatz-Zuströmöffnung 12, 13, die den Eingang eines jeweiligen Strahldüsenkanals 5 definiert. An den Fangdüsenkanal 6 schließt sich ein mit der Atmosphäre R kommunizierender Haupt- bzw. Zusatz-Abströmkanal 14, 15 an.
- Der Haupt-Zuströmöffnung 12 vorgeordnet ist ein Haupt-Zuströmkanal 16, der zu einer Einspeiseöffnung 18 führt, über die ein unter einem gewünschten Betriebsdruck pB stehendes Druckmedium, vorzugsweise Druckluft, eingespeist werden kann. Über einen bevorzugt zur gleichen Einspeiseöffnung 18 führenden Zusatz-Zuströmkanal 17 kann auch die Zusatz-Zuströmöffnung 13 der Zusatz-Saugdüseneinheit 3 mit dem entsprechenden Druckmedium versorgt werden. Dabei können die beiden Zuströmkanäle 16, 17, wie dies aus
Fig. 2 hervorgeht, über wenigstens einen Teil ihrer Länge als Baueinheit ausgeführt sein, um den baulichen Aufwand zur Realisierung geeigneter Fluidkanäle zu minimieren. - Wenn die Zuströmkanäle 16, 17 zu getrennten Einspeiseöffnungen führen würden, könnten besonders einfach unterschiedliche Betriebsdrücke für die beiden Saugdüseneinheiten 2, 3 vorgegeben werden. Es empfiehlt sich jedoch in der Regel, auf den gleichen Betriebsdruck für sämtliche Saugdüseneinheiten 2, 3 zurückzugreifen, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fall ist.
- An die Haupt-Saugöffnung 7 ist ein Haupt-Saugkanal 22 angeschlossen, der zu einem zu evakuierenden Raum 24 führt. Dieser kann beispielsweise vom Innenraum des Saugnapfes oder Saugtellers einer Vakuumhandhabungsvorrichtung gebildet sein, mit deren Hilfe Gegenstände angesaugt, transportiert und abgelegt werden können.
- Gemäß
Fig. 2 kann die Vakuumerzeugervorrichtung 1 ein Gehäuse 25 aufweisen, das mit Ausnahme des zu evakuierenden Raumes 24 sämtliche Vorrichtungs-Komponenten beinhaltet, wobei der Haupt-Saugkanal 22 zu einer an der Außenfläche des Gehäuses 25 befindlichen Anschlußöffnung 26 führt, an die über weiterführende Kanäle oder Fluidleitungen ein den zu evakuierenden Raum 24 definierendes Bauteil anschließbar ist. - Die Zusatz-Saugöffnung 8 der Zusatz-Saugdüseneinheit 3 steht ebenfalls mit dem Haupt-Saugkanal 22 in Verbindung. Bei der konstruktiven Ausführungsform gemäß
Fig. 2 geschieht dies dadurch, daß die Zusatz-Saugöffnung 8 unmittelbar in den Verlauf des Haupt-Saugkanals 22 gelegt ist. Ohne weiteres wäre jedoch auch eine Verbindung über einen entsprechenden Zusatz-Saugkanal 23 denkbar, wie dies aus dem Schaltbild derFig. 1 hervorgeht. Jedenfalls stehen auf diese Weise beide Saugöffnungen 7, 8 gleichzeitig mit dem zu evakuierenden Raum 24 in Verbindung, wobei die dabei verwendeten Kanäle zumindest partiell als Baueinheit ausgeführt sein können. - In den Haupt-Zuströmkanal 16 ist ein vorzugsweise als 2/2-Wegeventil ausgebildetes Absperrventil 27 eingeschaltet, das in Abhängigkeit von dem momentan im Haupt-Saugkanal 22 und somit im zu evakuierenden Raum 24 herrschenden Unterdruck pU betätigbar ist. Normalerweise nimmt es die aus
Fig. 1 ersichtliche Offenstellung ein, bei der es eine uneingeschränkte Druckmediumversorgung der Haupt-Saugdüseneinheit 2 gestattet. Ist es in seine Schließstellung umgeschaltet, wird der Durchgang durch den Haupt-Zuströmkanal 16 abgesperrt und die Druckmediumversorgung der Haupt-Saugdüseneinheit 2 unterbrochen. Die Steuerung der momentanen Stellung des Absperrventils 27 erfolgt ohne elektrische Maßnahmen direkt durch den im zu evakuierenden Raum 24 momentan herrschenden Unterdruck pU, der beim Ausführungsbeispiel an einer Abgreifstelle 28 vom Haupt-Saugkanal 22 abgegriffen und als fluidisches Drucksignal einer Beaufschlagungsfläche 32 des Absperrventils 27 zugeleitet wird. Hierzu kann bei entsprechender Ausgestaltung ein zwischen der Abgreifstelle 28 und der Beaufschlagungsfläche 32 verlaufender Zuführkanal 33 vorgesehen sein, wie dies inFig. 1 angedeutet ist. Bei der konstruktiven Ausführungsform derFig. 2 ist der Zuführkanal 33 entfallen, da sich die Abgreifstelle 28 hier unmittelbar im Haupt-Saugkanal 22 befindet, indem die Beaufschlagungsfläche 32 als beweglicher Wandabschnitt des Haupt-Saugkanals 22 realisiert ist. - Die eine Offenstellung darstellende Grundstellung des Absperrventils 27 wird durch Gegenbeaufschlagungsmittel 34 definiert. Während der im Haupt-Zuströmkanal 16 herrschende Unterdruck pU eine in der Schließrichtung des Absperrventils 27 orientierte Beaufschlagungskraft FB auf die Beaufschlagungsfläche 32 ausübt, bewirken die Gegenbeaufschlagungsmittel 34 eine entgegengesetzt zur Beaufschlagungskraft FB in Richtung der Offenstellung orientierte Gegenbeaufschlagungskraft FG.
- Beim Ausführungsbeispiel wird die Gegenbeaufschlagungskraft FG durch den auf eine Gegenbeaufschlagungsfläche 32 des Absperrventils 27 wirkenden Betriebsdruck pB verursacht. Dabei stehen sowohl die Beaufschlagungsfläche 32 als auch die Gegenbeaufschlagungsfläche 35 zweckmäßigerweise in Wirkverbindung mit einem Ventilglied 36 des Absperrventils 27 und sind zweckmäßigerweise unmittelbar an dem Ventilglied 36 vorgesehen.
- Da die Gegenbeaufschlagungsfläche 35 ständig dem Betriebsdruck pB ausgesetzt ist, ergibt sich eine das Ventilglied 36 ständig in Richtung der Offenstellung drückende Gegenbeaufschlagungskraft FG. Die das Ventilglied 36 tatsächlich umschaltende Stellkraft ergibt sich als resultierende Kraft zwischen der Gegenbeaufschlagungskraft FG und der aus dem momentan herrschenden Unterdruck pU abgeleiteten Beaufschlagungskraft FB. Dabei läßt sich das Schaltverhalten des Absperrventils 27 durch entsprechende Vorgabe des Flächenverhältnisses zwischen der Beaufschlagungsfläche 32 und der Gegenbeaufschlagungsfläche 35 beeinflussen. Dadurch läßt sich wiederum Einfluß nehmen auf denjenigen Unterdruckwert - als Soll-Unterdruck pUS bezeichnet -, bei dem das Absperrventil 27 bzw. dessen Ventilglied 36 die die Druckversorgung der Haupt-Saugdüseneinheit 2 unterbrechende Schließ- bzw. Absperrstellung einnimmt.
- Indem beim Ausführungsbeispiel die Gegenbeaufschlagungskraft FG von der Höhe des Betriebsdruckes pB abhängt, besteht die vorteilhafte Möglichkeit, den gewünschten Soll-Unterdruck durch veränderliche Vorgabe des Betriebsdruckes pB variabel einzustellen. Dabei kann über die Flächenverhältnisse vorgegeben werden, daß die Höhe des Unterdruckes bzw. Vakuums proportional zum eingangsseitigen Betriebsdruck erreicht wird.
- Alternativ könnten die Gegenbeaufschlagungsmittel zur Erzeugung der Gegenbeaufschlagungskraft auch über eine in
Fig. 1 strichpunktiert angedeutete Federeinrichtung 37 verfügen, beispielsweise eine Gasfedereinrichtung oder eine mechanische Federeinrichtung, wobei sich die Federkraft zweckmäßigerweise einstellen läßt, um die Gegenbeaufschlagungskraft und somit den gewünschten Soll-Unterdruck nach Bedarf vorgeben zu können. - Eine bevorzugte Funktionsweise der Vakuumerzeugervorrichtung wird nachfolgend erläutert.
- Zunächst wird durch geeignete Positionierung an einem handzuhabenden Gegenstand dafür Sorge getragen, daß der zu evakuierende Raum 24 umfangsseitig geschlossen ist und ein bestimmtes Luftvolumen enthält.
- Anschließend wird über die Einspeiseöffnung 18 unter dem Betriebsdruck pB stehendes Druckmedium, vorzugsweise Druckluft, eingespeist, die zunächst ungehindert zu den Zuströmöffnungen 12, 13 beider Saugdüseneinheiten 2, 3 gelangt und durch letztere hindurchströmt, wobei es über die Abströmkanäle 14, 15 zur Umgebung R ausgeblasen wird.
- Beim Hindurchströmen durch die Saugdüseneinheiten 2, 3 wird im Bereich der Saugöffnungen 7, 8 eine Absaugwirkung hervorgerufen, die ein Absaugen der Luft aus den sich an die Saugöffnungen 7, 8 anschließenden Kanälen sowie dem zu evakuierenden Raum 24 bewirkt. Die Absaugrichtungen 38 sind in
Fig. 1 durch Pfeile angedeutet. - Ist das zu evakuierende Volumen relativ gering, baut sich der Soll-Unterdruck pUS praktisch schlagartig auf und führt umgehend zu einem Schließen des Absperrventils 27. Dadurch ist die Haupt-Saugdüseneinheit 2 funktionslos, und es ist nurmehr die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 in Betrieb. Da deren maximale Druckmedium-Durchflußrate jedoch konstruktionsbedingt begrenzt ist, ergibt sich insgesamt eine Reduzierung des Druckmediumverbrauches, was einen wirtschaftlichen Betrieb der Vakuumerzeugervorrichtung 1 gestattet.
- Ist das zu evakuierende Volumen relativ groß, baut sich auch der Unterdruck pU erst allmählich im zu evakuierenden Raum 24 auf. Dementsprechend ergibt sich eine stetige Zunahme der Beaufschlagungskraft FB, die das über ein stetiges bzw. kontinuierliches Stellverhalten verfügende Absperrventil 27 bzw. dessen Ventilglied 36 ganz allmählich in Richtung der Schließstellung verlagert. Dies führt zu einer allmählichen Reduzierung der vom Absperrventil 27 zugelassenen Durchflußrate, so daß sich noch vor dem absoluten Absperren ein reduzierter Durchsatz einstellt, der die Absaugwirkung der Haupt-Saugdüseneinheit 2 stark herabsetzt. Ohne die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 wäre diese Absaugwirkung nicht in der Lage, den gewünschten Soll-Unterdruck pUS herbeizuführen. Damit verbunden wäre gleichzeitig ein Luftverbrauch auf weiterhin relativ hohem Niveau.
- Indem nun aber die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 unbeeinflußt von der Stellung des Absperrventils 27 ständig, ununterbrochen in Betrieb ist, sorgt sie letztendlich für das Erreichen des gewünschten Soll-Unterdruckes, der dann auch das vollständige Schließen des Absperrventils 27 hervorruft. Als Folge ist die Haupt-Saugdüseneinheit 2 vollständig stillgelegt, und der Luftverbrauch richtet sich wiederum nach den geometrischen Parametern der der Haupt-Saugdüseneinheit 2 wirkungsmäßig parallelgeschalteten Zusatz-Saugdüseneinheit 3.
- Damit der zu evakuierende Raum 24 bei nicht mit Druckmedium versorgter Haupt-Saugdüseneinheit 2 über deren Haupt-Abströmkanal 14 nicht entlüftet wird, ist in den Haupt-Saugkanal 22 in den zwischen den beiden Saugöffnungen 7, 8 liegenden Bereich noch ein Rückschlagventil 39 eingeschaltet. Es kann gemäß Abbildung der
Fig. 2 als Klappen-Rückschlagventil ausgeführt sein. Es ist so ausgelegt, daß es eine Fluidströmung entgegen der von der Haupt-Saugdüseneinheit 2 hervorgerufenen Absaugrichtung 38 verhindert, bei in Betrieb befindlicher Haupt-Saugdüseneinheit 2 die Absaugströmung jedoch in der gewünschten Weise zuläßt. - Die besondere Wirksamkeit der sich aus der Vakuumerzeugervorrichtung 1 ergebenden Druckmedium-Sparmaßnahmen in Verbindung mit einer hohen Saugleistung werden aus den Diagrammen der
Fig. 3 und 4 deutlich. - Die
Fig. 3 zeigt die Durchströmrate V des über die Einspeiseöffnung 18 eingespeisten und durch die Saugdüseneinheiten 2, 3 insgesamt hindurchströmenden Druckmediums in zeitabhängiger Form, mit anderen Worten den Fluidverbrauch V über der Zeit t. Mit durchgezogener Linie bei 42 ist die Strömungsrate der erfindungsgemäßen Vakuumerzeugervorrichtung 1 aufgetragen. Demnach ergibt sich zum Einschaltzeitpunkt t0 der Vorrichtung ein durch die Summe der Durchflußraten der beiden Saugdüseneinheiten 2, 3 bestimmter maximaler Volumenstrom, der dann entsprechend der Verringerung des durch das Absperrventil 27 vorgegebenen Strömungsquerschnittes allmählich absinkt, bis schließlich der Kurvenabschnitt 42a mit minimalem Volumenstrom erreicht wird, der durch den alleinigen Betrieb der Zusatz-Saugdüseneinheit 3 bestimmt ist. - Im Vergleich dazu verdeutlicht die gestrichelte Linie 43 den wesentlich höheren konstanten Luftverbrauch einer konventionellen Vakuumerzeugervorrichtung 1, die keinerlei Luftsparfunktion besitzt und lediglich über eine mit der Haupt-Saugdüseneinheit 2 vergleichbare Saugdüseneinheit verfügt.
- Die strichpunktierte Kurve 44 schließlich verdeutlicht den Luftverbrauch einer Vakuumerzeugervorrichtung gemäß Stand der Technik, die lediglich über eine Haupt-Saugdüseneinheit 2 mit vorgeschaltetem Absperrventil 27 verfügt, nicht jedoch die erfindungsgemäße Zusatz-Saugdüseneinheit 3 aufweist. Der Kurvenverlauf ist zwar ähnlich demjenigen bei der Erfindung, der durch den Kurvenabschnitt 44a angedeutete minimale Luftverbrauch ist jedoch erheblich höher als bei der erfindungsgemäßen Bauform, trotz der dort ständig in Betrieb befindlichen Zusatz-Saugdüseneinheit 3.
- Die
Fig. 4 zeigt den Aufbau des Unterdruckes pU in Abhängigkeit von der Betriebsdauer, wobei der erfindungsgemäße Vakuumaufbau mit der durchgezogenen Linie 45 verdeutlicht ist. Ersichtlich ergeben sich nur geringfügige Unterschiede zu dem durch die gestrichelte Linie 46 angedeuteten Vakuumaufbau einer ohne jegliche Luftsparfunktion aufweisenden Vorrichtung. Die gestrichelte Linie 47 verdeutlicht den Unterdruckaufbau einer mit der Erfindung vergleichbaren, jedoch keine Zusatz-Saugdüseneinheit besitzenden Vorrichtung, wobei zwar der anfängliche Vakuumaufbau ähnlich verläuft, der Maximalwert jedoch erheblich unterhalb demjenigen der erfindungsgemäßen Bauform bleibt. - Bei der erfindungsgemäßen Vakuumerzeugervorrichtung 1 besteht die weitere Möglichkeit, die Saugdüseneinheiten 2, 3 hinsichtlich der maximal möglichen Durchströmrate und der Absaugleistung unterschiedlich auszulegen und somit an den jeweiligen Anwendungsfall spezifisch anzupassen. Man kann insbesondere die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 so auslegen, daß die bei Anliegen des Betriebsdruckes durch sie erzeugbare Absaug-Strömungsrate etwa vergleichbar der Leckageströmung ist, die im Bereich des zu evakuierenden Raumes 24 auftritt, weil beispielsweise der betreffende Saugnapf nicht absolut hermetisch dicht am handzuhabenden Gegenstand anliegt.
- Es ist ferner von Vorteil, wenn die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 auf eine im Vergleich zur Haupt-Saugdüseneinheit 2 geringere maximale Druckmedium-Durchflußrate hinsichtlich des eingespeisten Druckmediums ausgelegt ist. Hier besteht die Möglichkeit, die Haupt-Saugdüseneinheit 2 auf hohen Durchfluß auszulegen, der dafür sorgt, daß auch ein relativ hohes Volumen relativ rasch entleert wird. Die Zusatz-Saugdüseneinheit 3 hingegen kann auf hohes Vakuum ausgelegt werden.
- Insgesamt kann mit der erfindungsgemäßen Vakuumerzeugervorrichtung eine Lufteinsparung im Bereich von 90 % im Vergleich zu einer Vorrichtung ohne Luftspareinrichtung erzielt werden.
- Es wäre ohne weiteres möglich, mehr als eine Haupt-Saugdüseneinheit vorzusehen, wie dies in
Fig. 1 strichpunktiert bei 48 angedeutet ist. Diese mehreren Haupt-Saugdüseneinheiten 2 können dann parallelgeschaltet werden, wobei ihre Saugkanäle zu einem gemeinsamen Haupt-Saugkanal zusammengeführt werden. Zweckmäßigerweise wird dabei die Druckmediumversorgung sämtlicher Haupt-Saugdüseneinheiten 2 durch ein einziges Absperrventil 27 gesteuert. - Durch eine strichpunktierte Linie 52 ist in
Fig. 1 noch verdeutlicht, daß die vorhandenen Abströmkanäle 14, 15 ohne weiteres auch zusammengeführt werden können, so daß die Entlüftung über eine gemeinsame Abströmöffnung erfolgt. - Die
Fig. 2 zeigt eine besonders vorteilhafte und kompakte Ausführungsform der Vakuumerzeugervorrichtung 1, bei der das Absperrventil 27 in das auch die Saugdüseneinheiten 2, 3 enthaltende Gehäuse 25 integriert ist. Wie schon angedeutet, ist hier die Beaufschlagungsfläche 32 von einem beweglichen Wandabschnitt des Haupt-Strömungskanals 22 gebildet, wobei sie sich an der Stirnfläche eines Kolbenabschnittes des Ventilgliedes 36 befindet, das in einer entsprechenden Aufnahme 53 des Gehäuses 25 verstellbar geführt ist. Je nach Stellung ragt das Ventilglied 36 mehr oder weniger weit in den Haupt-Saugkanal 22 hinein und steuert dabei den zur Verfügung gestellten Durchströmquerschnitt 53 für das Druckmedium. Die Gegenbeaufschlagungsfläche 35 besitzt die gleiche Ausrichtung wie die Beaufschlagungsfläche 32 und ist von einer weiteren Beaufschlagungsfläche 54 des Ventilgliedes 36 abgewandt, die über eine Bohrung 55 dem Atmosphärendruck pA ausgesetzt ist. - Zusammenfassend kann zu der beschriebenen Vakuumerzeugervorrichtung 1 ausgeführt werden, daß sich das maximal mögliche Vakuum trotz einer vorhandenen Spareinrichtung erreichen läßt. Die Kennlinien für den Betriebsdruck und das Vakuum sind mit und ohne Spareinrichtung identisch. Die vorhandene druckabhängige Regelung des auch als Luftsparventil bezeichenbaren Absperrventils ist bei kleiner Leckage in den Saugkanälen bzw. im zu evakuierenden Raum quasi statisch. Daraus resultiert ein geringer Verschleiß.
Claims (11)
- Vakuumerzeugervorrichtung, mit einer Haupt-Saugdüseneinheit (2), die über einen Haupt-Zuströmkanal (16) mit einem unter einem vorgegebenen Betriebsdruck stehenden Druckmedium versorgt werden kann, das beim Hindurchströmen durch die Haupt-Saugdüseneinheit (2) in einem sich an eine Haupt-Saugöffnung (7) anschließenden, mit einem zu evakuierenden Raum (24) verbundenen oder verbindbaren Haupt-Saugkanal (22) eine Absaugwirkung hervorruft, wobei in den Haupt-Zuströmkanal (16) ein in Abhängigkeit von dem momentan im zu evakuierenden Raum (24) herrschenden Unterdruck betätigbares Absperrventil (27) eingeschaltet ist, das bei Erreichen eines vorbestimmten Soll-Unterdruckes eine Unterbrechung der Druckmediumversorgung der Haupt-Saugdüseneinheit (2) hervorrufen kann, wobei eine der Haupt-Saugdüseneinheit (2) wirkungsmäßig parallelgeschaltete Zusatz-Saugdüseneinheit (3) vorgesehen ist, die im Betrieb der Vorrichtung ständig mit unter einem Betriebsdruck stehendem und über einen Zusatz-Abströmkanal (15) wieder abströmenden Druckmedium versorgt wird und die über eine mit dem Haupt-Saugkanal (22) der Haupt-Saugdüseneinheit (2) in Fluidverbindung stehende Zusatz-Saugöffnung (8) verfügt, wobei in den Haupt-Saugkanal (22) zwischen den beiden Saugöffnungen (7, 8) ein entgegen der von der Haupt-Saugdüseneinheit (2) hervorrufbaren Absaugrichtung (38) sperrendes Rückschlagventil (39) eingeschaltet ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Absperrventil (27) als 2/2-Wegeventil ausgeführt ist und der Zusatz-Abströmkanal (15) der Zusatz-Saugdüseneinheit (3) direkt mit der Atmosphäre (R) kommuniziert.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusatz-Saugdüseneinheit (3) auf eine im Vergleich zur Haupt-Saugdüseneinheit (2) geringere maximale Druckmedium-Durchflußrate des eingespeisten Druckmediums ausgelegt ist.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusatz-Saugdüseneinheit (3) derart ausgelegt ist, daß die bei Anliegen des Betriebsdrukkes durch sie erzeugbare Absaug-Strömungsrate im Bereich der bei dem zu evakuierenden Raum (24) auftretenden Leckage liegt.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung des Absperrventils (27) der im zu evakuierenden Raum (24) herrschende Unterdruck ständig einer mit dem Ventilglied (36) des Absperrventils (27) in Wirkverbindung stehenden Beaufschlagungsfläche (32) aufgeschaltet ist, wobei Gegenbeaufschlagungsmittel (34) vorgesehen sind, die bezüglich des Ventilgliedes (36) eine der vom aufgeschalteten Unterdruck hervorgerufenen Beaufschlagungskraft (FB) entgegengerichtete Gegenbeaufschlagungskraft (FG) hervorrufen.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenbeaufschlagungsmittel eine die Gegenbeaufschlagungskraft (FG) hervorrufende und vorzugsweise einstellbare Federeinrichtung (37) enthalten.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenbeaufschlagungsmittel (34) eine mit dem Ventilglied (36) des Absperrventils (27) in Wirkverbindung stehende Gegenbeaufschlagungsfläche (35) enthalten, der ständig der am Haupt-Zuströmkanal (16) anliegende Betriebsdruck aufgeschaltet ist.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Flächenverhältnis zwischen der Beaufschlagungsfläche (32) und der Gegenbeaufschlagungsfläche (35) so gewählt ist, daß das im zu evakuierenden Raum (24) erzeugbare Vakuum proportional zu dem an den Haupt-Zuströmkanal (16) angelegten Betriebsdruck ist.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beaufschlagungsfläche (32) von einem beweglichen Wandabschnitt des Haupt-Zuströmkanals (16) gebildet und vorzugsweise an einer Stirnfläche des Ventilgliedes (36) vorgesehen ist.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle Saugdüseneinheiten (2, 3) im Betrieb der Vorrichtung mit unter dem gleichen Betriebsdruck stehendem Druckmedium gespeist werden.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere parallelgeschaltete Haupt-Saugdüseneinheiten (2, 48) vorhanden sind.
- Vakuumerzeugervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch ein Absperrventil (27) mit stetigem Stellverhalten.
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