TW533247B - Vacuum device and mechanism for driving the same - Google Patents

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五、發明說明（1 ) 〔發明之技術領域〕 本發明係有關例如濺射裝置，成（長）膜裝置或鈾刻 3¾置的真置’尤其’有關具備用以在真空裝置內要移 動被處理物體，其他物體用之驅動機構的真空裝置者。 〔發明之背景技術〕 先前，做爲真空裝置之一的使用於CD或DVD等之 貝$ δΗ錄用之碟片製造用的單片式磁控（電子）管濺射裝 置，乃使用著由搬運機構從真空裝置外部取進用以由濺射 粘附以金屬或半金屬物質所形成之反射膜於表面用之以塑 膠所形成之光碟基板至內部所用之真空預備室（l〇ad_i〇ck chamber )機構。又在該濺射裝置中，將搬運被取進於真空 裝置內部之被處理物體的光碟基板至真空裝置內之濺射室 下部，並由會在濺射室下部朝上下方向實施往回運動之碟 片推動機構來在於濺射室內朝上升方向搬運。 在於如此之濺射裝置，上述之真空預備室機構及碟片 推動機構，均具備有可在真空裝置內搬運被處理物體來朝 上下方向做往回運動之升降機構。而該升降機構幾乎使用 著高壓空氣氣缸或油壓缸。使用如此之缸筒之理由係如下 。例如真空預備室機構係從真空室外藉真空密封來貫穿， 並將配設於桿前端之衝擊板（striking plate )抵接於載置 光碟基板用之感應器來連結，且推壓感應器於真空室之配 設有真空蓋之內壁。而在該狀態下，爲了取進被處理物體 之光碟基板於真空室內而打開真空蓋時，因大氣壓會產生 (請先閱讀背面之注意事項 »裝—— 乃再填寫本頁) -------訂---------線* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4 - 533247 A7 B7 五、發明說明（2 ) 朝著下面推感應器之作用，因而氣缸必需構成爲可耐於該 力量。而作用於該氣缸（缸筒）之大氣壓所具有之力爲 1 ，27〇〜1 ，47〇牛噸（N)，因此，需使用高壓 空氣氣缸或油壓缸。

又該升降機構係將氣缸桿等其機構之一部分以貫穿構 成真空室的容器來配設，因此有必要真空密封。而做爲該 真空密封，乃使用著0環或波紋管密封。波紋管密封（封 閉）乃重疊金屬製之膜片來熔接者，而以安裝於氣缸桿和 真空裝置之升降機構之固定面間來封閉者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，在於如上述之真空裝置，做爲升降機構因使用 著會佔有大的空間之高壓空氣氣缸或油壓缸，使得具有裝 置會成爲大型化之缺點。又配設於會貫穿升降機構之一部 分的真空容器之〇環密封，因其內側會滑動金屬製之氣缸 桿，因磨損極爲大。而該0環密封之磨損，將使從該部分 破壞真空密封，以致無法維持真空容器之氣密性。以往爲 了防止該磨損，以增進密封性而使用著真空用之滑脂（黃 油），然而，真空容器內之膜剝落物質或碟片基板之破片 等會附著於該滑脂，因而會成爲破壞真空密封之原因。又 亦會產生該滑脂之成分在於真空裝置之使用中飛散於真空 容器內，而混進於應形成於被處理物體之粘附膜（被覆膜 )成分，使得對於其特性會波及不良影響。 另一方面，波紋管密封因其金屬製之膜片會隨著氣缸 桿之往回運動而伸縮，使得因長時間之使用而發生金屬疲 勞，以致波紋管突然間產生破壞，而有破壞真空密封之情 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5 - 533247 A7 B7 五、發明說明（3) 事產生。 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 因此，本發明之目的，係擬提供一種小型，且不需要 特別之真空密封用手段或機構的升降機構及具備該升降機 構之真空裝置者。 〔發明之摘要〕 本發明之真空裝置用驅動機構，其特徵爲：由被固定 設置於真空裝置之氣密容器內之一端成敝開之氣袋收容容 器，和被收容於該收容容器內之氣袋，及供應高壓氣體於 該氣袋內之手段所形成，而由該高壓氣體供應手段來供應 高壓氣體給予前述氣袋內，以令前述氣袋之一部分從前述 氣袋收容容器之敝開端部突出，由而能在前述真空容器內 予以移動對象物體。 又本發明之真空裝置用驅動機構，更具備有要排氣前 述氣袋內之氣體用之手段，而以使用該手段來排出前述氣 袋內之氣體，以令從前述氣袋收容容器之敝開端部所突出 之氣袋之一部分，予以後退收容於前述氣袋收容容器內， 由而能在前述真空容器內予以移動對象物體爲其特徵者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，在於本發明之真空裝置用驅動機構，前述氣袋 乃由彈性體材料所構成，而在由前述氣體排氣手段排出其 內部之氣體時，可由前述氣袋本身之彈性力而被後退收容 於收容容器內爲其特徵者。 再者，在於本發明之真空裝置用驅動機構，配設有在 於由前述氣體排氣手段排出其內部之氣體時，可由彈性力 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（4) 來使前述氣袋後退收容於前述氣袋收容容器內之彈性體手 段於前述氣袋爲其特徵者。 再者，在於本發明之真空裝置用驅動機構，供應高壓 氣體給予前述氣袋內之手段，及排出前述氣袋內之氣體用 之手段，乃藉貫穿前述氣袋收容容器所配設之共同之貫穿 口來實施供應或排氣爲其特徵者。 再者，在於本發明之真空裝置用驅動機構，更具備有 在前述氣袋收容容器上面，被配置成封閉前述敝開端之氣 袋加強體，及被固定於前述氣袋收容容器上面之將收容氣 袋加強體於內部，而引導氣袋加強體之上下方向移動之同 時，限制其移動範圍於一定範圍之止動器爲其特徴者。 其次，本發明之真空裝置，其特徵爲：由形成有氣密 之空間於內部之真空容器，及被配置於該真空容器內之真 空裝置用驅動機構所形成，該真空裝置用驅動機構乃由一 端成敝開之氣袋收容容器，和被收容於該收容容器內之氣 袋，及供應高壓氣體給予該氣袋內用之手段所形成，而由 該高壓氣體供應手段供應高壓氣體給予前述氣袋內，以令 前述氣袋之一部分從前述氣袋收容容器之敝開端部突出， 由而能在前述真空容器內予以移動被處理物體。 又本發明之真空裝置，其特徵爲：具備有：形成有氣 密之空間於內部之被處理物體搬運用之搬運室；由藉被形 成於構成該搬運室之隔壁的處理室開口來設成連續一列之 由氣密室間所構成之處理室；被形成於構成前述搬運室用 之隔壁的搬運室開口部；被配設於前述搬運室內，用以搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 裝---- (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 訂---------線 533247 A7 B7 五、發明說明（5) 運要搬運被處理物體之感應體於前述搬運室開口部和前處 理室開口部間的搬運機構；及被設置於該搬運機構，而用 以驅動前述感應器以開閉前述處理室開口部或前述搬運室 開口部成氣密的真空裝置用驅動機構，而該真空裝置用驅 動機構乃構成爲由一端成敝開之氣袋收容容器，和被收容 於該收容容器內之氣袋，及供應高壓氣體給予該氣袋內的 手段所形成，而由該高壓氣體供應手段來供應高壓氣體給 予前述氣袋內，以令前述氣袋之一部分從前述氣袋收容容 器之敝開端部突出，由而將推壓前述感應器，以封閉前述 處理室開口部或前述搬運室開口部成爲氣密者。 再者，在於本發明之真空裝置，設置有外部搬運機構 於前述搬運室之外部，而該外部搬運機構具備有繞著垂直 旋轉軸旋轉之水平臂，及配設於該水平臂端部之開閉前述 搬運室開口部成氣密之真空蓋。 再者，在於本發明之真空裝置，前述處理室係被配設 成連續一列之1個或複數個之濺射室，而前述被處理物體 爲碟片基板爲其特徵者。 再者，本發明之真空裝置，其特徵爲：具備有：形成 有氣密之放電空間於內部之濺射室；被配置於前述濺射室 上方，以施加磁場於該濺射室內的磁場產生裝置；被配置 於前述濺射室內上部，以施加由該磁場產生裝置所產生之 磁場的靶（Target );藉被形成於要構成前述濺射室之底 部的隔壁之開口部來設成連續一列之同時，予以形成從前 述濺射室之底部朝橫向所展延之氣密空間的搬運室；在從 (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本頁) 裝 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（6) 該搬運室之前述濺射室之底部朝橫向展延之氣密空間之頂 上（天花板）部分所配設之搬運室開口部；被配設於前述 搬運室內，用以交替地來搬運用以載置形成濺射膜用之碟 片基板的感應器於前述搬運室開口部和前述濺射室開口部 間用之內部碟片搬運機構；以嵌合於前述搬運室開口部來 封閉該開口部成氣密之同時，保持前述碟片基板成裝卸自 如於下面的複數之真空蓋；以交替地來搬運該等之真空蓋 於前述搬運室開口部和被配置於從前述搬運室有離開之位 置的碟片基板載置台間用之外部碟片搬運機構；及被配設 於前述感應器底部之真空裝置用驅動機構，而該真空裝置 用驅動機構係構成爲被設置成固定於前述感應器底部，並 由下端成敝開之氣袋收容容器，和被收容於該收容容器內 之氣袋，及供應高壓氣體給予該氣袋內之手段所形成，而 由該高壓氣體供應手段來供應高壓氣體於前述氣袋內，以 令前述氣袋之一部分從前述氣袋收容容器之敝開下端部突 出而形成接觸推壓（擠壓）前述搬運室底面，由而可令前 述感應器使之其上面接觸於前述搬運室開口部而封閉該開 口部成氣密者。 再者，在於本發明之真空裝置，配設了用以從前述感 應器上面上升之第2真空裝置用驅動機構於前述感應器上 部，而在前述感應器被推壓至前述搬運室開口部或前述濺 射室開口部之時，將前述碟片基板插入於配設在前述外部 碟片搬運機構之真空蓋的碟片夾持機構，或推壓前述碟片 基板至前述濺射室內之中心掩蔽爲其特徵者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - 裝--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁)

I 533247 A7 B7 五、發明說明（7) 又本發明之真空裝置，其特徵爲具備有：內面形成多 角形空間，而對應於多角形之複數邊的內壁形成有開口之 碟片搬運室；在該碟片搬運室內部中心部成垂直方向展延 所配置之中空旋轉軸；被配置於該旋轉軸之周圍，而與前 述旋轉軸之旋轉一齊旋轉之框體；被固定設置於該框體外 周面之複數個之氣袋驅動機構；爲了供應高壓氣體給予該 等之氣袋驅動機構，或從該等氣袋驅動機構排氣，而藉由 前述中空之旋轉軸內部被連結於個別之前述氣袋驅動機構 的複數支之管；被前述複數個之氣袋驅動機構個個所驅動 而配設成要封閉形成於前述碟片搬運室內壁之開口的複數 個感應器；在前述碟片搬運室外側被配設成可藉前述開口 連通之複數個濺射室；及同樣被配設於前述碟片搬運室外 側’而藉前述開口來使碟片搬入於前述碟片搬運室內，或 搬出於前述碟片搬運室外的真空預備（load lock )機構。 〔實施形態〕 以下，將依據圖式來說明本發明之實施形態。 圖1係顯示適用本發明於爲真空裝置之一形態的單片 式磁控（電子）管濺射裝置的實施形態，爲濺射裝置之剖 面圖。該濺射裝置乃具備有，大致爲圓筒狀之氣密容器的 濺射室1 1 ，及在該濺射室1 1之下方側，以形成連通於 該濺射室所配設之同樣爲氣密容器之碟片搬運室1 2 ◦而 在於濺射室1 1之外壁上面，配設磁鐵裝置1 3成爲可由 旋轉馬達（電動機）1 4來加以轉動。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 項 再 填 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 533247 A7 B7 五、發明說明（8) 在於濺射室1 1之上壁內面，將由（形）成膜（用） 物質所形成之碟片狀之靶1 5被固定於水冷（用）底板 1 6。而從靶1 5之中心部成垂直懸吊有中心掩蔽1 7於 濺射室1 1內。而在劃分濺射室1 1和碟片搬運室1 2之 隔壁1 8，配設有露出碟片基板1 9之上表面於濺射室 1 1用之濺射室開口部2〇。 碟片搬運室1 2係由位於濺射室1 1下方側之第1氣 密空間1 2 - 1及從該處再朝橫（水平）方向所展延之第 2氣密空間1 2 — 2所構成，而該等之第1及第2之氣密 空間，以整體言大致形成圓筒或半圓筒形狀。在第2氣密 空間1 2 - 2之頂上部，配設有搬運室開口部2 1。在於 碟片搬運室1 2內，配設有具備個別載置複數之碟片基板 19 — 1 ，19 — 2用之複數個之感應器22 — 1 ，22 - 2的內部碟片搬運機構2 3。該內部碟片搬運機構2 3 ，將交替地旋轉搬運碟片基板1 9 一 1、 1 9 一 2於濺射 室開口部2 0和搬運室開口部2 1之間。該內部碟片搬運 機構2 3又具備有朝垂直方向所配設之旋轉軸2 5於碟片 搬運室1 2之中央部，並由設置於碟片搬運室1 2外部之 下方側之馬達2 4被驅動旋轉。該旋轉軸2 5頂部固定有 複數之環狀之水平臂2 6 - 1、2 6 - 2，且個別載置有 感應器 22 — 1、22 — 2。 在於配設在第2氣密空間1 2 - 2之頂上部的搬運室 開口部2 1 ，配設有以嵌合於該開口部來封閉成氣密之同 時，下面配設有要保持碟片基板1 9 一 1、 1 9 一 2成裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

• ϋ ϋ ϋ 11 ϋ ϋ } ， ^1 ^1 ϋ ϋ ϋ I ·ϋ I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 533247 A7 B7 五、發明說明（9) 卸自如之複數之真空蓋30-1、 30—2。該等複數之 真空蓋 0 0 - 2乃由配設於碟片搬運室外部之 外部碟片搬運機構3 1所搬運。亦即，外部碟片搬運機構 3 1具備由馬達3 2驅動旋轉之垂直旋轉軸3 3 ，並在該 _直旋轉軸3 3之頂部，固定有朝旋轉軸3 3之半徑方向 所展延之水平臂34 - 1、34 - 2。而在該等水平臂 34-1. 34—2之前端部，固定著要嵌合搬運室開口 部2 1之真空蓋30 — 1、30 — 2。在於真空蓋30 — 1、3 0 - 2下面，配設有要插入於碟片基板1 9中心孔 來實施裝卸用之機械（性）夾頭3 5 — 1、 3 5 — 2，而 構成爲由該等之機械夾頭35-1、 35—2來搬運碟片 基板1 9。在於碟片搬運室1 2之外部，又配設有以馬達 3 6來在於水平面內旋轉之碟片搬運台3 7。 碟片搬運台3 7載置有複數之碟片基板1 9 一 3、 1 9 一 4。當碟片搬運台3 7旋轉而使碟片基板1 9 一 3 到由外部碟片搬運機構3 1所搬運之真空蓋3 0 - 2之正 下方時，就會被真空蓋3 0 - 2所夾持。而被夾持之碟片 基板1 9 - 3 ，將由外部碟片搬運機構3 1之旋轉而被搬 運至碟片搬運室1 2之搬運室開口部2 1之位置。而碟片 基板1 9 一 3會在真空蓋30 — 2嵌合於搬運室開口部 2 1之時，從真空蓋3 0 - 2下面脫離並被載置於碟片搬 運室1 2內之感應器2 2 - 2上。如此狀態之碟片基板， 將以圖上之19一2來表示。 在於感應器22-1、 22—2之底部，形成固定設 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 填 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 533247 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（i〇) 置有真空裝置用驅動機構40-1、 40—2。該等真空 裝置用驅動機構4 0 - 1、4 0 — 2，將使用圖2至圖5 來詳述於後’其乃由下端成敝開之氣袋收容容器4 1 - 1 、41一2’和被收容於該等之收容容器內之氣袋42-1、 42-2’及貫穿前述氣袋收容容器41一1、 41 —2而要供應高壓空氣給予氣袋內用之管43 一 1、43 一 2所構成。該高壓氣體供應（用）管4 3 一 1、 4 3 - 2之端部乃藉形成於內部碟片搬運機構2 3之旋轉 軸2 5內的中空部（未圖示）來被導出於碟片搬運室1 2 之外部。在於管4 3 - 1、4 3 - 2之端部，個別連結有 3通閥44— 1、44 — 2。該等之3通閥44— 1、 4 4 一 2，將會選擇性地連結高壓氣體供應管4 3 - 1、 43 - 2端部至高壓氣體供應源45及排氣泵46。當切 換（轉換）該3通閥44 一 1、44 一 2至高壓氣體供應 源4 5側來供應高壓氣體給予氣袋4 2 一 1、4 2 - 2內 時，將會使氣袋42-1、 42-2之一部分從前述氣袋 收容容器4 1 一 1、4 1 一 2之敝開下端部並接觸於碟片 搬運室1 2之底面。以該狀態下，更進一層地從高壓氣體 供應源45供應高壓氣體給予氣袋42 - 1、42 - 2內 時，氣袋42 - 1、42 - 2之下部突出部會推壓（擠壓 )碟片搬運室1 2底面，並由該反作用而使感應器2 2 -1、2 2 - 2上升，使得其上面接觸於濺射室開口部2〇 或搬運室開口部2 1，並封閉該等開口部成爲氣密。 圖2至圖5係顯示真空裝置用驅動機構之構造的圖， (請先閱讀背面之注意事項wf填寫本頁) 裝 訂---------線 f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 533247 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（11) 圖2至圖4之（A )爲剖面圖，（B )爲斜視（立體）圖 。_ 2所示之真空裝置用驅動機構4 〇具備有圓筒狀之氣 衣收容容器4 1。該氣袋收容容器4丨上面形成有開口 51 ，而底面形成有貫穿口52。在於該氣袋收容容器 4 1內，收容有形成有底部連通於氣袋收容容器4丨之貫 牙口 5 2之空氣導入口 5 3的氣袋4 2。氣袋4 2之底部 乃被固定於氣袋收容容器4 1之底部。而從氣袋4 2之本 體中央部以上之部分，形成有較本體下部更小直徑之波紋 管5 4，並構成該波紋管5 4伸長時，可通過氣袋收容容 器4 1之開口 5 1突出於收容容器4丄之外部。氣袋42 係由例如聚氨脂橡膠或布納（或丁鈉）橡膠之彈性有機材 料所構成，而在其內部大致排氣成真空狀態下，氣袋4 2 之頂部會位於收容容器4 1之外部，惟波紋管5 4之大部 分仍被收容於收容容器4 1內。再者，收容容器4 1係由 較氣袋4 2具有更高強度且難以變形之材料，例如金屬材 料所構成。 於氣袋收容容器4 1之貫穿口 5 2，連結有圖1所示 之高壓氣體供應管43 - 1、43 - 2 ，以令高壓氣體從 貫穿口 5 2供予氣袋4 2內。其結果，高壓氣體會塡滿於 氣袋4 2內而使氣袋4 2之波紋管5 4部分通過開口 5 1 伸長突出於收容容器4 1之外部。該時，由於氣袋4 2之 下部之直徑較波紋管5 4部分更大，因而並不會通過氣袋 收容容器4 1之開口 5 1而殘留於收容容器4 1內。至於 通過氣袋收容容器4 1之開口 5 1而伸長突出於收容容器 裝---- I (請先閱讀背面之注意事項^填寫本頁) « — — — — — I. 線·· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- 533247 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（12) 4 1之外部的波紋管5 4部分，可由其頂部來推壓接觸於 該頂部之其他物體。於圖1中，真空裝置用驅動機構4 0 - 1、4 0 - 2係對於圖2所示之狀態成上下倒轉狀態來 設置於感應器22—1、 22-2之底面。因而伸長突出 於收容容器4 1外部之氣袋4 2之頂部乃推壓碟片搬運室 12之底面，使得感應器22—1、 22-2可由該反作 用而上升。 在於塡滿高壓氣體於氣袋4 2.內之狀態下，將圖1所 示之3通閥4 4 一 1、4 4 一 2切換成排氣泵4 6側，以 排氣氣袋4 2內之氣體，氣袋4 2之波紋管5 4可由其彈 性而收縮，而形成如圖2所示，其頂部雖會在於收容容器 4 1之外部，惟其大部分會回歸於收容容器4 1內。 圖3所示之真空裝置用驅動機構6 0，除了氣體收容 容器6 1整體形成長方體之框體，而要被收容於該氣袋收 容容器6 1內之氣袋6 2之伸縮機構的波紋（管）6 3之 構造具有相異之外，與圖2之真空裝置用驅動機構4 0大 致成同一構造。爲此，將對於同一結構部分附上同一之符 號，並省略其說明。在於該真空裝置用驅動機構6 0之氣 袋6 2之波紋6 3部分，其垂直部面乃被彎曲成S字狀。 亦即，該氣袋6 2之本體下部乃其水平剖面具有與氣袋收 容容器6 1之底面大致爲同一形狀及面積，而本體上部係 水平剖面構成爲較形成於氣袋收容容器6 1上面之矩形開 口 6 4之開口面較小面積之矩形。氣袋6 2本體上部和本 體下部則如上述，由彎曲成垂直剖面成S字狀之波紋6 3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) c再埴 裝 ----訂---------線 f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（13) 所結合。該波紋6 3當供應有高壓氣體於氣袋6 2時會伸 長，其結果，會藉由開口 6 4來使位於氣袋收容容器6 1 外部之頂部上升。而在排出氣袋6 2內之氣體時’波紋 6 3將由其彈性力而收縮，其結果，藉由開口 6 4來使位 於氣袋收容容器6 1外部之頂部產生下降。 圖4所示之真空裝置用驅動機構6 5 ，除了氣袋6 6 之伸縮機構有相異之處以外，大致與圖3之真空裝置用驅 動機構6 0爲同一構造，因此對於同一結構之部分附上同 一符號並省略其說明。該真空裝置用驅動機構6 5之氣袋 6 6乃未配設如圖2或圖3之氣袋42、6 2之波紋（管 )5 4、6 3 ，而是構成爲可由氣袋6 6整體之彈性力來 進行伸縮者。 圖5係顯示本發明之另一實施形態之真空裝置用驅動 機構之剖面。同圖中，與圖3之真空裝置用驅動機構6 0 爲同一結構部分，將附上同一之符號，並省略其詳細說明 ’於圖5所不之真空裝置用驅動機構6 7，乃在形成於氣 袋收容容器6 1上面之矩形開口 6 4上部，配設有要封閉 該開口 6 4用之氣袋加強體6 8。該氣袋加強體6 8乃具 有其底部6 8 — 1可封閉氣袋收容容器6 1之開口 6 4部 之面積。又本體部6 8 - 2係其水平剖面具有較底部6 8 - 1較狹窄之面積。而氣袋加強體6 8係構成其垂直剖面 大致形成凸字形。該氣袋加強體6 8對於由彈性有機材料 所構成之氣袋6 2本體，乃以金屬等之強度更爲高之難以 變形之材料所構成。在於氣袋收容容器6 1之開口周圍， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 16 ϋ i··— IB1 n- ϋ 1 —Bi I I (請先閱讀背面之注意事項兩填寫本頁) i 線·»· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（14) 將由螺栓7 0來固定止動器6 9。該止動器6 9係要收容 氣袋加強體6 8於內部，且引導氣袋加強體6 8之上下方 向移動，並予以限制該移動範圍於一定範圍。亦即，止動 器6 9係在頂部由形成有可令氣袋加強體6 8之本體部 6 8 - 2通過之開口部6 9 - 1之框體所構成，而使氣袋 加強體6 8可朝上下被引導於其內部來移動。氣袋加強體 6 8之移動行程（衝程），以其底部6 8 - 1接觸於氣袋 收容容器6 1上之位置做爲下限，而其底部6 8 - 1到達 止動器6 9之頂部開口部6 9 - 1之位置做爲上限之範圍 者。在於移動行程之上限，氣袋加強體6 8由於其底部 6 8 - 1之面積較開口部6 9 — 1之面積更爲廣闊，因而 無法通過開口部6 9 - 1，使得會停止其移動於該位置。 圖2至圖4所示之真空裝置用驅動機構，氣袋雖被金 屬製之氣袋收容容器所覆蓋，惟由於供應高壓氣體而使氣 袋突出之邰分的由彈性有機材料所構成之氣袋本身卻會突 出於真空室內。因此，倘若要接住氣袋所突出部的對象物 確實不存在時，就使氣袋膨脹直至破裂爲止。而圖5所示 之真空裝置用驅動機構，爲了要去除可能產生如此之情事 及可安全且確實地動作，設置了金屬等之加強體6 8於氣 袋突出部，使得可構成爲氣袋6 2並不會伸長到安全行程 以上之收容容器6 1之外部。 圖6係顯示由構成爲如上述之真空裝置用驅動機構所 形成之驅動循環之圖。同圖之橫軸係以1個刻度爲1 〇 〇 m s e c來表示時間。又縱軸係表示由真空裝置用驅動機 裝------ (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) ^---------線·#· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 17 533247 A7 ___B7 五、發明說明（15) 構所距離’以1個刻度爲〇 · 5 m m者。該圖係對於被設 置於真空中之真空裝置用驅動機構，大致以丨秒鐘之問題 交替的重覆進行5 · 9 X 1 〇 — 3 P a之高壓氣體之供應和 排規’而測疋氣袋頂部之移動距離的變化者。由該圖可察 明該真空裝置用驅動機構之上升爲〇 · 〇 2秒鐘，下降爲 〇· 0 9秒鐘。 接著，將說明構成如此之圖1的單片式磁控管濺射裝 置之動作。首先，以高壓氣體供應源4 5來驅動被設置於 配置於構成碟片搬運室1 2之第2氣密容間1 2 — 2內的 感應器2 2 — 2下面之真空裝置用驅動機構4 0 — 2。則 真空裝置用驅動機構4 0 - 2將使感應器2 2 - 2從水平 臂2 6 - 2上上升，而由感應器2 2 — 2上面來封閉搬運 室開口部2 1成爲氣密。 另一方面，被載置於碟片搬運台3 7上之施加濺射處 理之前的碟片基板19一3、 19一4，將會被夾持於由 外部碟片搬運機構所搬運之真空蓋3 0 - 2下面。真空蓋 3 0 - 2可由碟片搬運機構3 1被旋轉來搬運至碟片搬運 室1 2之搬運室開口部2 1。該狀態係由圖1之真空蓋 3 0 - 1所示，真空蓋3 0 - 1將嵌合於該搬運室開口部 2 1之同時，將夾持於下面之碟片基板1 9 - 3使之距離 ，並載置其於碟片搬運室內之感應器2 2 - 2上。圖上之 碟片基板1 9 一 2係表示該狀態者。接著，由排氣栗4 6 來驅動真空裝置用驅動機構4 0 — 2，以降下感應器2 2 - 2至水平臂2 6 - 2上面。並在該狀態下’內部碟片搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項^填寫本頁) 裝 ----訂---------線j 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18- 533247 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（16) 運機構2 3乃由馬達2 4所驅動旋轉，而搬運感應器2 2 —2至第1氣密空間1 2 — 1內。該狀態在圖1中係做爲 感應器2 2 - 1、碟片基板1 9 一 1 ，真空裝置用驅動機 構40-1來表示。 被配置於構成碟片搬運室1 2之第1氣密空間1 2 -1內之感應器2 2 — 1 ，係由設置於其下面之真空裝置用 驅動機構4 0 - 1所驅動。由而感應器2 2 - 1將會從水 平臂2 6 — 1上升，而由感應器2 2 - 1上面來封閉形成 於劃分濺射室1 1和碟片搬運室1 2之隔（開）壁1 8的 濺射室開口部2 0成氣密。由而，令濺射室成爲密閉，且 在碟片基板1 9 一 1中心孔會嵌合中心掩蔽1 7。 在於該狀態下，從氣體導入口（未圖示）導入氬氣於 濺射室1 1 ，而施加放電用高電壓於濺射室1 1上壁和側 壁間。且旋加由磁鐵裝置1 3所產生之旋轉磁場於濺射室 1 1內，使得在濺射室1 1內可產生由放電而形成電漿。 由該放電將會從靶（Target ) 1 5下面放出靶材料之物質 ，而沈積於被載置在感應器2 2 - 1上之碟片基板1 9 -1表面，並形成濺射膜。 當完成對於碟片基板之濺射膜形成製程時，再度驅動 真空裝置用驅動機構40-1，來降下感應器22-1至 水平臂2 6 - 1上面之位置。接著，由馬達2 4驅動旋轉 ，以搬運感應器2 2 — 1至第2氣密空間1 2 — 2內。該 狀態係在圖1中，以做爲感應器2 2 — 2，碟片基板1 9 一 2，真空裝置用驅動機構40 - 2來表示。 (請先閱讀背面之注意事項#(填寫本頁) | 裝 111111 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 _______ B7 五、發明說明（18) 位置關係，並不需要正確地成爲一致。爲此，具有可在真 空裝置內之設計真空裝置用驅動機構40 — 1、40-2 位置的自由度，由而可意圖空間之有效活用。 再者，本發明之真空裝置用驅動機構4 0 — 1、40 - 2較習知之更換維護0環或波紋管，在於更換維護氣袋 4 2等時並不需要熟練（老手），且可在短時間內予以更 換。 圖7係顯示本發明之其他實施形態之多目的之濺射（ 形）成膜裝置結構的水平剖面圖。在剖面大致爲正方形之 氣密的碟片搬運室7 1之內部中心部，乃配設有朝垂直方 向所展延之中空旋轉軸7 2。而在於該旋轉軸7 2之周圍 ，配設有剖面大致爲正方形且可伴隨著旋轉軸7 2之旋轉 而旋轉之框體7 3。該框體7 3之4個壁面之外周面乃配 設有如圖2至圖4所示之4個氣袋驅動機構7 4 - 1〜 7 4 - 4。該等氣袋驅動機構7 4 - 1〜7 4 - 4乃個別 連結有藉中空之旋轉軸7 2從外部導入之管7 5 - 1〜 7 5 — 4，而藉由該導管7 5-1〜7 5 - 4來供應或排 出高壓氣體。4個氣袋驅動機構7 4 - 1〜7 4 - 4係由 個個氣袋之一部分的突出作用，而推壓感應器7 6 - 1〜 7 6 - 4來封閉形成於碟片搬運室7 1周圍之4個壁面的 開口 7 7 - 1〜7 7 — 4。在於碟片搬運室7 1之3個壁 面之外周面◦個別以藉開口 7 7 — 1〜7 7 — 4來固定3 個濺射室7 8 — 1〜7 8 - 3成連通。該等3個濺射室 7 8 — 1〜7 8 - 3係以要進行多目的之濺射用之不同條 1 1 1 a^i i·— n an .^1 ϋ ϋ . (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 線·#. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（19) 件來動作者，例如雖未圖示，個別具有相異材料之靶，而 構成爲可形成不同種類之膜。碟片搬運室7 1外部乃設置 有真空預備（load lock )機構7 9。真空預備機構7 9具 備有會與朝垂直方向展延所配置之第2中空旋轉軸8 1 — 齊旋轉之第2框體8 2，並在該框體8 2成相對向之2個 壁面外周面，配設有如圖2至圖4所示之2個之氣袋驅動 機構8 3 - 1、8 3 - 2。對於該等之氣袋驅動機構8 3 —1、8 3 — 2 ，個別由藉第2中空旋轉軸8 1從外部所 導入之未圖示的高壓氣體供應管來個別供應高壓氣體。2 個之氣袋驅動機構8 3 - 1、8 3 - 2係由個別氣袋之一 部分突出作用來推壓碟片搬運台80 - 1、80 — 2 ，以 封閉形成於碟片搬運室7 1壁面之開口 7 7 — 4。在於碟 片搬運台80 — 1、80 — 2雖未圖示，其表面載置固定 有要形成濺射膜用之碟片基板，而真空預備機構7 9係藉 開口 7 7 - 4從外部供應碟片基板於碟片搬運室內’或從 碟片搬運室內取出。 依據此一實施形態的多目的濺射成膜裝置’因可設置 驅動感應器7 6 - 1〜7 6 - 4用之所有的氣袋驅動機構 74 — 1〜74 — 4至氣密容器的碟片搬運室7 1內，因 而並不需要如在使用習知之缸筒機構時之會實施往回運動 之活塞的氣密之密封手段，使得裝置整體可成爲精簡化， 小型化。又被設置於碟片搬運室7 1外部之真空預備機構 7 9，亦同樣可意圖精簡化、小形化。 圖8係顯示要使用於本發明之氣袋驅動機構之其他實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -22- * ^1 ϋ I Ml ·1 a·—^-OJ ϋ ϋ I (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本頁) 4 533247 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（2Q) 施形態的剖面圖。再者，在同圖中，因與圖2之氣袋驅動 機構於基本性之結構相同，因而對於相對應之結構部分， 將附上同一符號，並省略詳細之說明。 在於此一實施形態，乃具備有引導波紋部5 4之伸縮 方向用之引導機構9 1和在高壓氣體之排氣時，要使波紋 部5 4後退用之彈簧機構9 2於氣袋4 2內部。而在氣袋 4 2頂部之厚壁內埋設有金屬盤9 3，並在該金屬盤9 3 中心，連結有朝垂直展延於氣袋4 2內之活塞軸9 4。活 塞軸9 4係被支撐於配設在引導機構9 1之軸承.9 5，活 塞軸9 4則可朝垂直方向進行往回運動於該軸承9 5內。 該軸承9 5內以使用油性之潤滑劑來確保順暢之往回運動 。彈簧機構9 2乃由結合金屬盤9 3周邊部和氣袋收容容 器4 1底面之間的複數條之彈簧所構成。 構成爲如上述之氣袋驅動機構，當從配設於氣袋收容 容器4 1底面之貫穿口 5 2送進高壓空氣時，氣袋4 2之 波紋部5 4會伸長而使氣袋4 2之頂部上升。此時，氣袋 4 2之頂部厚壁內之金屬盤.9 3 ，因其活塞軸9 4會被引 導於軸承9 5內，因而氣袋4 2之頂部亦朝垂直方向以高 的方向精度來移動。又該時，彈簧機構9 2會與氣袋4 2 之頂部一齊伸長。其次，當高壓空氣從貫穿孔5 2被排出 時，由於氣袋4 2內部之氣壓會下降，使得頂部厚壁內之 金屬盤9 3乃由彈簧機構9 2之收縮而朝下方拉下，由而 波紋部5 4亦會成爲收縮。此時，被連結於金屬盤9 3之 活塞軸9 4因會被引導於軸承9 5內，以致氣袋4 2頂部 (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 裝 訂-------- 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -23- 533247 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（21) 亦能以高的方向精度來朝垂直方向下降。 如上述，此一實施形態之氣袋驅動機構，可增進以柔 軟之彈性體所形成之氣袋伸縮而所驅動之位置精度。又在 本實施形態，引導機構因配設於密閉之氣袋內，因此，甚 至在於使用氣袋驅動機構於真空容器內之時，亦可使用油 性之潤滑劑。 圖9係顯示本發明之真空裝置的其他實施形態之主要 部分之剖面圖。再者，同圖之結構乃相當於被支撐於圖1 所示之真空裝置之內部碟片搬運機構2 3的感應器2 2 -1部分，因而，對於所對應之部分將附上所對應之符號， 並省略詳細之說明。在此一實施形態，將2個之氣袋驅動 機構101、 102朝垂直方向疊層配置成2層於感應器 2 2 - 1內。並在第1層之氣袋驅動機構1 〇 1之氣袋突 出部配設連通口 1 0 3，且連結其於第2層之氣袋驅動機 構10 2之高壓氣體導入口（未圖示），以構成爲多層構 造之氣袋驅動機構。再者，2個之氣袋驅動機構1 0 1、 1 0 2之連結部，係藉複數個之氣密密封1 0 4以螺釘 1 0 5來鎖住。由於具有如此之結構，因而可獲得加算各 層之氣袋突出部的移動行程之更大行程的驅動機構。 圖1 0係顯示本發明之再另一實施形態的真空裝置之 主要部分剖面圖。再者，同圖之結構將對於對應於圖1所 示之真空裝置的各構成部分予以附上所對應之符號，並省 略詳細之說明。在於此一實施形態，將在感應器2 2 - 1 、2 2 - 2內之上部，配設有除了配設於低部之真空裝置 (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 裝 I an i>— 一嫌OJ ϋ ϋ . 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 ------- B7 五、發明說明（22) 用驅動機構4 0〜1、4 0 - 2 (以下，將該等稱爲第1 真空裝置用驅動機構）之外的第2真空裝置用驅動機構 11〇一1、 110-2之個個。該等之第2真空裝置用 驅動機構1 1 〇 — 1、 1 1 0 - 2，將個別地來朝上下方 向進行往回運動被載置於感應器22-1、 22-2上面 之碟片基板19 — ；[、 19 一 2者。而該等第2真空裝置 用驅動機構1 1 〇 一 1、 1 1 0 — 2係個別由與高壓氣體 供應管43-1、 43-2 (以下，將該等管稱爲第1高 壓氣體供應管）成獨立之第2高壓氣體供應管11 2 - 1 、1 1 2 - 2來供應驅動用之高壓氣體。在於同圖之真空 裝置，顯示有在圖1中所省略之濺射室1 1及碟片搬運室 1 2用之排氣機構。亦即，在形成於濺射室1 1之側壁的 排氣口 1 1 一 1 ，配置有成鄰接於碟片搬運室1 2且朝真 空裝置底部展延之排氣管1 1 - 2。並在該排氣管1 1 一 2下端，連結有排氣用之主泵1 1 4 一 1及輔助泵1 1 4 一 2。又在形成於第2氣密空間1 2 - 2底部之排氣口 1 2 - 3，連結有排氣用之主泵1 1 6 - 1及輔助泵 1 16 - 2。再者，在碟片搬運台37，配設有要裝卸碟 片基板19 一 3、 19 一 4至外部碟片搬運機構3 1之機 械性夾頭3 5 — 1、3 5 — 2用之碟片推動器1 1 8。 圖1 1係顯示以第1真空裝置用驅動機構4 0 - 1、 40 — 2來朝上方舉起感應器22 — 1、 22 — 2之同時 ，以第2真空裝置用驅動機構1 1 〇 — 1、 1 1 〇 — 2來 朝上方舉起碟片基板1 9 一 1、 1 9 一 2之狀態者。於該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25- 裝------ (請先閱讀背面之注音2事項^填寫本頁) 訂-------- 線·# 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 __ B7 五、發明說明（23) 狀態下，碟片基板1 9 - 1係被推壓至濺射室1 1內之中 心掩蔽1 7下面之同時，碟片基板1 9 一 2係形成接觸配 置於真空蓋30 - 1。 圖1 2、 1 3係更詳細地顯示個別被設置於圖1 〇、 1 1所示之真空裝置的感應器之真空裝置用驅動機構的構 造及動作之主要部分剖面圖。再者，在於同圖中，與圖1 至圖5、圖1 0至圖1 1所示之結構部分爲同一之部分， 亦將附上同一符號，並省略詳細說明。 圖1 2係顯示配置被支撐於內部碟片搬運機構2 3之 環狀之水平臂2 6 - 2之感應器2 2 - 2於被配置於搬運 室開口部2 1之正下面之狀態。感應器2 2 — 2下面予以 設置第1真空裝置用驅動機構4 0 - 2，而在上面則設置 有第2真空裝置用驅動機構1 1 〇 - 2。第1真空裝置用 驅動機構4 0 - 2係以面朝下來設置於感應器2 2 - 2下 面，而其氣袋4 2乃被構成爲可朝向碟片搬運室1 2之底 部1 3 4突出之結構。至於第2真空裝置用驅動機構 1 1 0 - 2乃被設置成氣袋6 6可朝向碟片搬運室1 2之 頂部部分突出且成朝上方來設置於感應器2 2 - 2上面。 第2真空裝置用驅動機構1 1 〇 - 2乃具有圖5所示之氣 袋加強（補強）體6 8，以令朝上方突出之氣袋6 6可由 止動器6 9來限制於一定範圍。在於氣袋加強體6 8上面 乃固定有要嵌合於碟片基板1 9之中心孔用之中心導件 1 2 0。該中心導件1 2 0乃由對應於要構成機械夾頭 3 5 - 1之3支上爪的3支下爪所構成。該中心導件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 26- 裝--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 533247 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（24) 1 2 0係構成爲當在碟片基板1 9 一 2要上升以前，會固 定碟片基板1 9 一 2於感應器2 2 - 2上面，但在碟片基 板1 9 一 2已上升時，將使構成機械夾頭3 5 - 1之上爪 貫穿碟片基板1 9 - 2之中心孔來打開，以機械性地來保 持碟片基板1 9 一 2。 而在於被支撐於內部碟片搬運機構2 3的環狀水平臂 2 6 - 2之感應器2 2 - 2 ，又配設有複數個之感應器拉 回機構1 2 4。該等之感應器拉回機構1 2 4係由被形成 於感應器2 2 - 2周圍之水平臂2 6 - 2之複數個之通孔 ，和貫穿該等通孔1 2 6而上端被固定於感應器2 2 - 2 之鍔（突出）部1 2 8之導軸1 3 0，及對於導軸1 3 0 下端和水平臂2 6 - 2下面，可賦與該等互相朝拉開方向 之彈性力的盤簧1 3 2所構成。再者，於圖1 2及圖1 3 中符號1 3 6係表示真空封閉用之〇環。 接著，使用圖1 2及圖1 3來說明由第1真空裝置用 驅動機構4 0 - 2及第2真空裝置用驅動機構1 1 0 - 2 所實施之感應器2 2 - 2及碟片基板1 9之驅動動作。圖 1 2乃對於第1真空裝置用驅動機構4 0 - 2及第2真空 裝置用驅動機構1 1 0 - 2之任何之一供應有驅動用之高 壓氣體，因而，個個氣袋4 2、6 6乃維持被收容於收容 容器6 1內之狀態。接著，個別藉第1之高壓氣體供應管 43-2及第2之高壓氣體供應管112-2來供應驅動 用之高壓氣體給予第1真空裝置用驅動機構4 0 — 2及第 2真空裝置用驅動機構1 1 〇 — 2時，個個氣袋4 2、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- · ϋ ϋ »1 n 1_1 一一口， I I ·ϋ · (請先閱讀背面之注意事項^填寫本頁) •線·#· 533247 A7 ___ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（25) 6 6就開始膨脹，並從收容容器6 1內朝下方及上方突出 。由而，第1真空裝置用驅動機動40 — 2之氣袋42， 將藉氣袋加強體6 8來推壓碟片搬運室1 2之底板1 3 4 ’而由其反作用令感應器2 2 - 2上升。由而，感應器 2 2 - 2可由其面來封閉搬運室之同時，將使感應器拉回 機構1 24之盤簧1 3 2更被壓縮。 另一方面，第2真空裝置用驅動機構1 1 〇 — 2之氣 袋6 6 ，將藉氣袋加強體6 8來使碟片基板1 9朝外部碟 片搬運機構31之真空蓋30-1方向推上。而使構成機 械（性）夾頭3 5 - 1之上爪會插入於碟片基板1 9之中 心孔並打開3支爪，由而可保持碟片基板1 9 一 2。 當從第1真空裝置用驅動機構4 0 — 2及第2真空裝 置用驅動機構1 1 0 - 2排出驅動用之高壓氣體時，感應 器拉回機構1 2 4之盤簧1 3 2可由其彈性力而伸長，而 拉回感應器2 2 — 2至圖1 2所示之原來位置。 再者，在於圖1 2，1 3 ，雖對於被配置於碟片搬運 室1 2之搬運開口部2 1之正下面的感應器2 2 — 2來力口 以說明，惟被配置於圖1 0、 1 1所示之濺射室1 1開口 部2 0正下面之感應器2 2 - 1 ，當然亦具有同樣之構造 ，亦會實施同樣之動作。但被配置於濺射室1 1之開口部 2 1正下面之感應器2 2 — 1 ，可封閉濺射室1 1開口部 2 0之同時，可推上濺射室1 1內之碟片基板1 9 一 2來 接觸於中心掩蔽1 7下面。 以如上述，將碟片基板19一1、 19一2以第2真 裝------ (請先閱讀背面之注意事項¾填寫本頁) 1 訂--------- 線·#· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -28- 533247 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（26) 空裝置用驅動機構1 1 0 — 1、 1 1 0 — 2來加以移動， 就可解決如下所述之在於習知裝置的課題。亦即，載置於 感應器22 - 1、22 - 2上面之碟片基板19 一 1、 1 9 一 2，會在濺射室1 1使感應器2 2 - 1被推壓至其 開口部2 0，且使碟片基板1 9 一 1被推壓至中心掩蔽 17。然而，將所謂感應器22 — 1及碟片基板19 一 1 之2個構造物，以同時推壓至相異對象物之濺射室開口部 2 0及中心掩蔽1 7乙事，以機械性尺寸上言會伴隨著產 生困難。在於感應器22 - 1、22 — 2，配設有推壓其 於碟片搬運室1 2之開口部2 1時，要從大氣封閉碟片搬 運室1 2用之〇環1 3 6。而該〇環1 3 6在於濺射室 1 1開口部2 0側，因不封閉大氣，以致未以足夠之力量 來推壓。因而，感應器2 2 - 1和濺射室開口部2 0，將 介居有〇環1 3 6而無法緊密附著，使得該間隙之尺寸無 法成爲一定，以致要推壓碟片基板1 9 - 1至中心掩蔽 1 7或外周掩蔽（未圖示）乙事會成爲困難。換言之，當 進行推壓碟片基板1 9 一 1於中心掩蔽1 7之時，倘若感 應器2 2 — 1之〇環1 3 6並未接觸於濺射室開口部2 0 之狀態，或其相反，感應器2 2 - 1之0環1 3 6接觸於 濺射室開口部2 0之狀態時，有可能產生碟片基板1 9 -1不接觸於中心掩蔽1 7之狀態。爲此，將感應器2 2 -1、2 2 — 2和碟片基板1 9 — 1、1 9 — 2，以個別之 真空裝置用驅動機構來舉起時，就可解決上述之問題。 再者，在於碟片搬運室開口部2 1側，當要實施碟片 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -29- 裝---- (請先閱讀背面之注意事項用填寫本頁) 訂--------- 533247 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（27) 基板1 9 一 2、1 9 一 3之交接時，外部碟片搬運機構 3 1乃使用著機械（性）夾頭3 5 — 1、3 5 - 2或真空 夾頭（夾盤）。感應器22 - 1、22 - 2上面形成有， 當載置碟片基板1 9 - 2以高速搬運其至濺射室1 1時， 不讓其掉落所用之連續於控下成推拔（倒錐形）狀之支承 部的朝垂直挖下之支承部。因此，碟片基板1 9 一 1、 19 一 2乃被放置於從感應器2 2 - 1、2 2 - 2上面約 下降5 m m之深度位置。而外部碟片搬運機構3 1之機械 (性）夾頭3 5 - 1、3 5 - 2等之夾頭機構，爲了取出 被載置於該深處位置之碟片基板19一1、 19一2而有 需要長的夾頭機構，亦即從要封閉碟片搬運室開口部2 1 成氣密之真空蓋3 0 - 1下面，至少需要突出約5mm左 右之長度。另一方面，載置有碟片基板19 — 1、 19 — 2之感應器22-1、 22-2，成爲有需要加上爲了迴 避該夾頭機構來搬運用之餘隙2 m m之總計7 m m左右之 餘隙（間隙）。感應器2 2 — 1、 2 2 — 2因由該等之真 空裝置用驅動機構4 0 - 1、4 0 - 2來朝上下移動，因 而要確保上述之餘隙乃有可能。然而，感應器2 2 - 1、 2 2 - 2之上下移動之行程變爲長時，不僅會使真空裝置 用驅動機構4 0 - 1、4 0 - 2成爲大型化、高價化，且 亦會加長上下移動所需要之時間，因而，要縮短該行程甚 至爲1mm或2mm亦成爲重要之情事。爲此，除了感應 益2 2 - 1、2 2 — 2之上下移動之外，另外個別地實施 碟片基板1 9 一 1、 1 9 — 2之上下移動時，就可滿足上 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^30 - 裝------ (請先閱讀背面之注意事項#1填寫本頁) 訂------- 線·#· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 Α7 --- Β7 五、發明說明（28) 述之要求。 圖1 4係顯不本發明之再另一實施形態之真空裝置咅[J 面圖。再者，同圖之結構，對於對應於圖1、圖1 〇或圖 1 1所示之真空裝置的各結構部，將附上所對應之符號而 省略詳細說明。在此一實施形態，用以上升或下降感應器 22〜1、22 - 2用之第1真空裝置用驅動機構140 一1、 140 — 2 ，並非設置於感應器22 — 1、22 — 2之內，而是設置於碟片搬運室底部1 3 4上，並使該等 之氣袋142 - 1、142 - 2設置成個別可朝感應器 2 2-1、2 2 - 2 側。 依據此一實施形態，當要使感應器輕量化或薄型化之 時，極爲有效。亦即，設置氣袋驅動機構1 4 0 - 1、 140 - 2於搬運室底部134，而僅令氣袋142 - 1 、142-2之突出部碰觸（抵接）於感應器22-1、 2 2 - 2下端面來驅動感應器者。 再者，由於製作感應器之條件，或感應器下端部形狀 之條件等，亦可採用兼備有氣袋於感應器下端部和搬運室 底部之構造的狀態。 以上雖由種種之實施形態來說明本發明，惟本發明並 非僅被限定於該等之實施形氣而已’當然可在本發明之車β 圍內加以種種變化者。 例如在記載於圖1、圖1 0、圖1 1及圖1 4所記載 之真空裝置，雖顯示著單一之濺射室，惟不用說’當然亦 可適用本發明於如圖7所示之具有要進行不同種類之（形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -31 - 裝--- (請先閱讀背面之注意事項^填寫本頁) 訂---------線一 533247 A7 _____ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（29) )成膜的複數個濺射室的真空裝置。該時，予以構成爲對 於複數個之灑射室配設公用之搬運室，並從外部搬入碟片 基板於該搬運室，而由旋轉該碟片基板於水平面內之搬運 機構來搬運至各濺射室加以形成膜，而後所被形成膜之碟 片基板再藉搬運室來取出於真空裝置外部之構造即可。 如以上所說明，本發明之真空裝置用驅動機構因可由 高壓氣體來動作且可使整體小型化，因而可設置驅動機構 整體於真空裝置內部。因此，並不需要特別爲了真空封閉 所用之手段或機構，又亦不具有潤滑油成分等之雜質混進 於真空裝置內之虞。 再者，上述本發明之實施例的說明，雖對於磁控管濺 射裝置來加以說明’惟本發明並非僅限於濺射裝置，亦可 適用於CVD裝置或如蒸發塗膜裝置之（形）成膜裝置， 如CDE或R I E之蝕刻裝置之真空裝置。 〔圖式之簡單說明〕 圖1係顯不適用本發明於真空裝置之一形態的單片式 磁控管濺射裝置之實施形態的濺射裝置之剖面圖。 Η 2係#員不本發明之真空裝置用驅動機構之構造圖， 各圖之（A )爲剖面圖，（B )爲斜視圖（立體圖）。 圖3係顯示本發明之真空裝置用驅動機構的構造圖， 各圖之（A )爲剖面圖，（B )爲斜視圖。 圖4係顯示本發明之真空裝置用驅動機構之其他構造 圖’各圖之（A )爲剖面圖，（b )爲斜視圖。 (請先閱讀背面之注意. 寫本頁)

丨 — I I I 1 I 線·#· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 32 533247

五、發明說明（30) _ 5係顯示本發明之真空裝置用驅動機構之另一構造 圖’各圖之（A )爲剖面圖’ （B )爲斜視圖。 圖6係顯示由本發明之真空裝置用驅動機構所實施之 馬區動循環之圖。 _ 7係顯示本發明之其他實施形態的多目的用濺射形 成膜裝置之結構的水平剖面圖。 _ 8係顯不本發明之氣袋驅動機構之其他實施形態的 剖面圖。 圖9係顯示本發明之真空裝置之其他實施形態的主要 部分剖面圖。 圖1 0係藏不本發明之再另一實施形態的真空裝置之 剖面圖。 圖1 1係顯示圖1 0所示之真空裝置的動作狀態之剖 面圖。 圖1 2係顯示圖1 0 ’ 1 1所示之真空裝置的主要部 分剖面圖。 圖1 3係顯不圖1 2所不之真空裝置的動丨乍爿犬熊、q胃 圖。 圖1 4係顯示本發明之再另一實施形態的真_裝置剖 面圖。 〔符號之說明〕 1 1 :濺射室 1 1 — 1 :排氣口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）""""^33 - " (請先閱讀背面之注意事 裝———訂---------線 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（31 ) 1 一 2 :排氣管 2 2 2 2 3 4 1—I IX γΉ r—I 1—Η T-Η 間間 空空 } 密密 機 室氣氣口 動 運 1 2 氣置電 搬第第排裝{ 片......鐵達 碟 1—- 2 3 磁 馬

56789901 τ—I r—I Τ—I Γ—I r—I r—I CXI CXI 肥 板 底 \)y 用蔽 板 {掩 基 冷心壁片 水中隔碟 (請先閱讀背面之注意事項4(填寫本頁) 裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 234560123 222223333 β, RU. 4 立口 立口 ΙΡΡΙ 9 開開 2 1 室室 ~ 射運 1濺搬 板 基 片 碟 訂---------線一 器 應 感構 : 機 運 搬 片 碟 2 2 軸 部達轉 內馬旋 臂蓋 平空 水真構 :: 機 2 2 運 I I 搬 軸 6 ο 片 轉 2 3 碟 旋 ，，部達直 ^^~^ 外馬垂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -34- 533247 A7 _B7_五、發明說明（32) 3 4 — 1，3 4 — 2 :水平臂 3 5 - 1，3 5 - 2 ··機械（性）夾頭 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6700112345612340123456 3344444444455556666666 構 機 ΠΠίΠ 驅 上口 用 運置 搬裝 達片空 馬碟真 〇 4 2 器 容 容 收 袋 氣 4 4 2 4 4 13 4 2 4 2 2 2 源 應 供 氣泵 壓氣 高排 □ 開

構 機 區 η吝 馬 蓉 用}容袋 置器容氣 裝容收： 空容袋 2 真收氣 I 管 應 供 體 氣閥 壓通 高三 構 機 驅器 口 } 用容 } 入管置容 管 口導 { 裝收 丨 穿氣紋空袋袋紋 貫空波真氣氣波 □ 開 構 機 3M3 區 馬 用 置 裝 空袋 真氣 1 ϋ ϋ ϋ ϋ 一 θ、I n 1- l^i I (請先閱讀背面之注意事項耳填寫本頁) 線·# 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -35- 533247 A7 B7 五、發明說明（33) 6 7 :真空裝置用驅動機構 8 8 8 9 6 6 6 6 901234567890 677777777778 } 體 體強 強加 加袋 袋氣 氣C 體 { 部 部 強部體 口 加底本器開 袋·· : 0 氣 1 2 止 1 室軸 運轉 搬旋 栓片空體 螺碟中框 4 5 6 7 7 7 7 7 裝---- (請先閱讀背面之注意事項馬填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 12 3 8 8 8 12 3 4 9 9 9 9 氣管感開濺機碟 • . : · . : : · . )一^^ ·. 22222 室 2 轉 2 I I I I I C | 旋 I 8 備 ο 空 3 構構 7 預 8 中 8 機機盤軸 ， 空，2 體，導簧屬塞 1 真 1 第框 1 引彈金活 構 機 動 } 驅子器 袋 { 應 台 運 室 搬 口 射構片 構 機 區 屠 袋 氣 訂-------- 線^·· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -36- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 533247 A7 B7 五、發明說明（34) 9 5 :軸承 1〇1、 1〇2 :氣袋驅動機構 1〇4 :氣密封閉 1〇5 :螺栓 110-1. 1 1 0 — 2 ··真空裝置用驅動機構 112-1. 112 - 2:高壓氣體供應管 1 1 4 一 1 :主栗 1 14 一 2 :輔助栗 1 1 6 — 1 :主栗 1 1 6 - 2 :輔助泵 1 1 8 :推動器 1 2 0 :中心導件 1 2 4 :感應器拉回機構 1 2 6 =通孔 1 2 8 :鍔（突出）部 1 3〇：引導軸 1 3 2 :盤簧 134:底板（搬運室底部） 1 3 6 :〇環 140 — 1 ，140 - 2 ·_氣袋（真空裝置用）驅動 機構 142 — 1，142 — 2 :氣袋 裝------ (請先閱讀背面之注意事項Θ填寫本頁) ·111111. •線！- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -37-

Claims (1)

1. 533242. 会 告 本丨 A8 B8 C8 D8

   々、申請專利範圍 第88 1 14202號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國91年2月修正 1 . 一種真空裝置用驅動機構，其特徵爲：由被固定 設置於真空裝置之氣密容器內之一端成敝開之氣袋收容容 器，和被收容於該收容容器內之氣袋，及供應高壓氣體於 該氣袋內之手段’，及排S氣袋內氣體之手段所形成；氣袋 係由彈性材料所構成，而由該高壓氣體供應手段來供應高 壓氣體給予前述氣袋內，以令前述氣袋之一部分從前述氣 袋收容容器之敝開端部突出，由而能在前述真空容器內予 以移動對象物體。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 2 .如申請專利範圍第1項之真空裝置用驅動機構， 其中前述真空裝置用驅動機構，更具備有要排氣前述氣袋 內之氣體用之手段，而以使用該手段來排出前述氣袋內之 氣體，以令從前述氣袋收容容器之敝開端部所突出之氣袋 之一部分，予以後退收容於前述氣袋收容容器內，由而能 在前述真空容器內予以移動對象物體。 3 .如申請專利範圍第2項之真空裝置用驅動機構， 其中前述氣袋乃由彈性體材料所構成，而在由.前述氣體排 氣手段排出其內部之氣體時，可由前述氣袋本身之彈性力 而被後退收容於收容容器內。 4 .如申請專利範圍第2項之真空裝置用驅動機構， 其中在於前述氣袋配設有當由前述氣體排氣手段排出其內 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 533247 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 部之氣體時，可由彈性力來使前述氣袋後退收容於前述氣 袋收容容器內之彈性體手段。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 .如申請專利範圍第1、 2、 3或4項之真空裝置 用驅動機構，其中供應高壓氣體給予前述氣袋內之手段， 乃藉貫穿前述氣袋收容容器所配設之貫穿口來供應氣體。 6 ·如申請專利範圍第1、 2、 3或4項之真空裝置 用驅動機構，其中要排出前述氣袋內之氣體的手段，乃藉 貫穿前述氣袋收容容器所配設之貫穿口來實施排氣。 7 .如申請專利範圍第1、2、3或4項之真空裝置 用驅動機構，其中更具備有在於前述氣袋收容容器上面， 被配置成封閉前述敝開端之氣袋加強體，及被固定於前述 氣袋收容容器上面之將收容氣袋加強體於內部，而引導氣 袋加強體之上下方向移動之同時，限制其移動範圍於一定 範圍之止動器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 · —種真空裝置，其特徵爲：由形成有氣密之空間 於內部之真空容器，及被配置於該真空容器內之真空裝置 用驅動機構（40 )所形成，該真空裝置用驅動機構（40 ) 乃由一端成敝開之氣袋收容容器（4 1 )，和被收容於該收 容容器（41)內之氣袋（42-1、42-2)，及供應高壓氣體給 予該氣袋內用之手段，及排出氣袋內氣體之手.段所形成； 氣袋（42-1、42-2 )係由彈性材料所構成，而由該高壓氣體 供應手段供應高壓氣體給予前述氣袋（42-1、42-2 )內’以 令前述氣袋（42-1、42-2)之一部分從前述氣袋收容容器 (41)之敝開端部突出，由而能在前述真空容器內予以移 -2 - 本紙張又度適用中國國家梯準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） 533247 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 動被處理物體。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9·一種真空裝置，其特徵爲：具備有：形成有被處 理物體搬運用之氣密空間於內部之搬運室（12 );由藉被 形成於構成該搬運室（丨2 )之隔壁的處理室開口來設成連 續一列之由氣密室間所構成之處理室；被形成於構成前述 搬運室用之隔壁的其他部分之搬運室開口部（2 1 );被配 設於前述搬運室（12)內’用以搬運要搬運被處理物體之 感應器（22-1、22-2)於前述搬運室開口部（21)和前處理 室開口部（2 1 )間的搬運機構；及被設置於該搬運機構， 而用以驅動前述感應器（22-1、22-2 )以開閉前述處理室開 口部或前述搬運室開口部（21)成氣密的真空裝置用驅動 機構（40 )，而該真空裝置用驅動機構（4〇 )乃構成爲由 一端成敝開之氣袋收容容器（41-丨、41-2) ’和被收容於該 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 收容容器（41-1、41-2)內之氣袋（42)，及供應高壓氣體 給予該氣袋（42 )內的手段，及排出氣袋（42 )內氣體之 手段所形成；氣袋（42 )係由彈性材料所構成’而由該高 壓氣體供應手段來供應高壓氣體給予前述氣袋（42 )內’ 以令前述氣袋（42)之一部分從前述氣袋收容容器Γ41-1、 4 1-2 )之敝開端部突出，由而將推壓前述感應器（22-1 ' 22-2 )，以封閉前述處理室開口部或前述搬運室開口部 (2 1 )成爲氣密者。 ]_〇.如申請專利範圍第9項之真空裝置’其中設置 有外部搬運機構於前述搬運室之外部，而該外部‘搬運機構 具備有會繞著垂直旋轉軸旋轉之水平臂’及被配設於_ 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（2iOX297公釐） 533247 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 平臂端部之用以開閉前述搬運室開口部成氣密之真空蓋。 1 1 .如申請專利範圍第9或1 0項之真空裝置，其 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 中前述處理室係被配設成連續一列之1個或複數個之濺射 室，而前述被處理物體爲碟片基板。 1 2 ·如申請專利範圍第8、 9或1 0項之真空裝 置，其中前述真空裝置驅動機構，更具備有要排出前述氣 袋內之氣體用之手段，而以使用該手段來排出前述氣袋內 之氣體，以令從前述氣袋收容容器之敝開端部所突出之氣 袋之一部分，予以後過收容於前述氣袋收容容器內，由而 能在前述真空容器內予以移動對象物體。 1 3 ·如申請專利範圍第8、 9或1 0項之真空裝 置，其中要供應高壓氣體給予前述氣袋內之手段，乃藉貫 穿前述氣袋收容器所配設之貫穿口來供應氣體。 1 4 ·如申請專利範圍第1 2項之真空裝置，其中要 排出前述氣袋內之氣體用之手段，乃藉貫穿前述氣袋收容 容器所配設之貫穿口來實施排氣。 經濟部智慧財產局員工消脅合作社印製 15 · —種真空裝置，其特徵爲：具備有：形成有氣 密之放電空間於內部之濺射室（11 );被配置於前述濺射 室（11 )上方，以施加磁場於該濺射室（11 )內的磁場產 生裝置；被配置於前述濺射室（11 )內上部，.以施加由該 磁場產生裝置所產生之磁場的靶（Target );藉被形成於要 構成前述濺射室（1 1 )之底部的隔壁之開口部來設成連續 一列之同時，予以形成從前述濺射室（11 )之底部朝橫向 所展延之氣密空間的搬運室（1 2 );在從該搬運室（丨2 ) 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格(210 X 297公釐） ΤΙΊ 一 "" ' 533247 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作：ii印製 之前述濺射室（11 )之底部朝橫向展延之氣密空間之頂上 (天花板）部分所配設之搬運室開口部（2 1 );被配設於 前述搬運室（12)內，用以交替地來搬運用以載置形成濺 射膜用之碟片基板（19 )的感應器（22-1、22-2 )於前述搬 運室開口部（2 1 )和前述濺射室開口部（20 )間用之內部 碟片搬運機構（30 );以嵌合於前述搬運室開口部（21 ) 來封閉該開口部成氣密之同時，保持前述碟片基板（1 9 ) 成裝卸自如於下面的複數之真空蓋（30-1、30-2 );以交替 地來搬運該等之真空蓋（30-1、30-2 )於前述搬運室開口部 (2 1 )和被配置於從前述搬運室（1 2 ).有離開之位置的碟 片基板載置台間用以外部碟片搬運機構\ 3 1 );及被配設 於前述感應器（22-1、22-2 )底部之真空裝置用驅動機構 (40 )，而該真空裝置用驅動機構（40 )係構成爲被設置 成固定於前述感應器（22-1、22-2 )底部，並由下端成敝開 之氣袋收容容器（41)，和被收容於該收容容器內之氣袋 (42 )，及供應高壓氣體給予該氣袋（42 )內之手段，及 排出氣袋（42 )內氣體之手段所形成；氣袋（42 )係由彈 性材料所構成，而由該高壓氣體供應手段來供應高壓氣體 於前述氣袋（42 )內，以令前述氣袋（42 )之一部分從前 述氣袋收容容器（4 1 )之敝開下端部突出而形.成接觸推壓 (擠壓）前述搬運室（12)底面，由而可令前述感應器 (22-1、22-2)使之其上面接觸於前述搬運室開口部（21) 而封閉該開口部成氣密者。 · 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之真空裝置，其中配 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4洗格（210Χ297公釐） -5- 533247 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 設了用以從前述感應器上面上升之第2真空裝置用驅動機 丰冓於前述感應器上部，而在前述感應器被推壓至前述搬運 室開□部或前述濺射室開口部之時，將前述碟片基板插入 於配設在前述外部碟片搬運機構之真空蓋的碟片夾持機 構’或推壓前述碟片基板至前述濺射室內之中心掩蔽。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之真空裝置，其中前 述真空裝置用驅動機構，更具備有要排氣前述氣袋內之氣 體用之手段，而以使用該手段來排出前述氣袋內之氣體， 以令從前述氣袋收容容器之敝開端部所突出之氣袋之一部 分’予以後退收容於前述氣袋收容容器內，由而能在前述 真空容器內予以移動對象物體。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項之真空裝置，其中供 應高壓氣體於前述氣袋內之手段，乃藉貫穿前述氣袋收容 容器所配設之貫穿口來供應氣體。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之真空裝置，其中要 排出前述氣袋內之氣體的手段，乃藉貫穿前述氣袋收容容 器所配設之貫穿口來實施排體。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 20.—種真空裝置，其特徵爲：具備有：內面形成 多角形空間，而對應於多角形之複數邊的內壁形成有開口 之碟片搬運室（7 1 );在該碟片搬運室（7 1 ).內部中心部 成垂直方向展延所配置之中空旋轉軸’（72 );被配置於該 旋轉軸（72 )之周圍，而與前述旋轉軸（72 )之旋轉一齊 旋轉之框體（7 3 );被固定設置於該框體（7 3厂外周面之 複數個之氣袋驅動機構（74-1〜74-4 );氣袋係由彈性材料 -6- 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 533247 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 所構成，而爲了供應高壓氣體給予該等之氣袋驅動機構 (74-1〜74-4)，或從.該等氣袋驅動機構（74-1〜74-4)排 氣，而藉由前述中空之旋轉軸（72 )內部被連結於個別之 前述氣袋驅動機構（74-1〜74-4)的複數支之管（75-1、75-2);被前述複數個之氣袋驅動機構（74-1〜74-4 )各個所 驅動而配設成要封閉形成於前述碟片搬運室（7 1 )內壁之 開口的複數個感應器（76-1、76-2);在前述碟片搬運室 (7 1 )外側被配設成可藉前述開口連通之複數個濺射室 (78-1、78-2 );及同樣被配設於前述碟片搬運室（η )外 側，而藉前述開口來使碟片搬入於前述碟片搬運室內 (71)，或搬出於前述碟片搬運室（7 1 )外的真空預備 (load lock)機構（79)。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項之真空裝置，其中前 述複數個之濺射室乃個別具備有不同材料之祀，以形成不 同種類之膜於前述碟片表面。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4洗格（210X297公釐）