KR20010031194A - 진공 장치용 구동 기구 및 진공 장치 - Google Patents

진공 장치용 구동 기구 및 진공 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소형이며 특별한 진공 시일을 위한 수단 혹은 기구를 필요로 하지 않는 리프트 기구를 구비한 진공 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기밀 용기 내에 고정 설치되는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기(41)와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백(42)과, 이 에어백(42) 내에 상기 에어백 수납 용기(41)를 관통하여 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되어 있다. 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백(42) 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백(42)의 일부가 상기 에어백 수납 용기(41)의 개방 단부로부터 돌출하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시킨다.

Description

진공 장치용 구동 기구 및 진공 장치{DRIVE MECHANISM FOR VACUUM DEVICE AND VACUUM DEVICE}
종래, 진공 장치의 하나인 CD 혹은 DVD 등의 정보 기록용 디스크의 제조에 사용하는 낱장식 마그네트론 스퍼터 장치에 있어서는 표면에 금속 혹은 반금속 물질로 이루어진 반사막을 스퍼터링에 의해 피착하기 위한 플라스틱으로 이루어진 광디스크 기판을, 반송 기구에 의해 진공 장치 외부로부터 내부로 취입하기 위한 로드 로크 기구가 이용되고 있다. 또, 이 스퍼터 장치에 있어서는 진공 장치 내부에 취입된 피처리 물체인 광디스크 기판은 상기 반송 기구에 의해 진공 장치내의 스퍼터실 하부로 반송되고, 스퍼터실 하부에 있어서 상하 방향으로 왕복 운동하는 디스크 푸셔 기구에 의해 스퍼터실 내로 상승 반송된다.
이와 같은 스퍼터 장치에 있어서는, 상기의 로드 로크 기구 및 디스크 푸셔 기구는 모두 진공 장치내에서 피처리 물체를 반송하여 상하 방향으로 왕복 운동시키는 리프트 기구를 구비하고 있다. 이 리프트 기구는 그 대부분이 고압 공기 실린더 혹은 유압 실린더가 사용되고 있다. 이와 같은 실린더를 사용하는 이유는 다음과 같다. 예를 들어, 로드 로크 기구는 진공실 외부로부터 진공 시일을 거쳐서 진공실 내부로 실린더 로드를 관통시키고, 로드의 선단에 설치한 받침 시트를 광디스크 기판을 적재하기 위한 서셉터에 맞닿게 하여 연결하고, 서셉터를 진공실의 진공 덮개가 설치된 내벽에 가압한다. 이 상태에서 피처리 물체인 광디스크 기판을 진공실내로 취입하기 위해 진공 덮개를 개방하면, 대기압이 서셉터를 압하하는 방향으로 작용하므로, 실린더는 이 힘을 이겨내야 한다. 이 실린더에 작용하는 대기압에 의한 힘은 1,270 내지 1,470 뉴튼(N)이 되므로, 고압 공기 실린더 혹은 유압 실린더가 사용된다.
또, 이 리프트 기구는 실린더 로드 등 그 기구의 일부가 진공실을 구성하는 용기를 관통하여 설치되므로, 진공 시일을 필요로 한다. 이 진공 시일로서는 0링 시일이나 벨로우즈 시일이 사용되고 있다. 벨로우즈 시일은 금속제의 다이어프램을 중합하여 용접한 것으로, 실린더 로드와 진공 장치의 리프트 기구의 고정면 사이에 부착함으로써 밀봉하는 것이다.
그러나, 상기와 같은 진공 장치에 있어서는 리프트 기구로서 큰 공간을 차지하는 고압 공기 실린더 혹은 유압 실린더를 사용하므로, 장치가 대형화되는 결점이 있었다. 또, 리프트 기구의 일부가 관통하는 진공 용기에 설치되는 0링 시일은 그 내측을 금속제의 실린더 로드가 미끄럼 이동하므로, 마모가 심하다. 0링 시일의 마모는 이 부분으로부터 진공 시일이 파괴되어, 진공 용기의 기밀성을 유지할 수 없게 된다. 이 마모를 방지하여 밀봉성의 향상을 위해, 종래부터 진공용의 윤활유가 사용되고 있지만, 이 윤활유에 진공 용기 내의 막 박리 물질이나 디스크 기판의 파편 등이 부착되어 진공 시일을 파괴하는 원인이 되었다. 또, 이 윤활유의 성분이 진공 장치의 사용중에 진공 용기 내로 비산하여, 피처리 물체에 형성해야 하는 피막 성분에 혼입되어 그 특성에 악영향을 미치게 하는 경우가 있었다.
한편, 벨로우즈 시일은 금속제의 다이어프램이 실린더 로드의 왕복 운동에 수반하여 신축되므로, 장시간의 사용에 의해 금속 피로가 발생하여 갑자기 벨로우즈가 파괴되고, 진공 시일이 파괴되는 경우가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 소형이며 특별한 진공 시일을 위한 수단 혹은 기구를 필요로 하지 않는 리프트 기구 및 이를 구비한 진공 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명은 예를 들어 스퍼터 장치, 성막 장치 혹은 엣칭 장치와 같은 진공 장치에 관한 것으로, 특히 피처리 물체 및 그 밖의 물체를 진공 장치내에서 이동시키는 구동 기구를 구비한 진공 장치에 관한 것이다.
도1은 본 발명을 진공 장치의 일 형태인 낱장식 마그네트론 스퍼터 장치에 적용한 실시 형태를 도시한 스퍼터 장치의 단면도이다.
도2a 및 도2b는 본 발명의 진공 장치용 구동 기구의 구조를 도시한 단면도 및 사시도이다.
도3a 및 도3b는 본 발명의 진공 장치용 구동 기구의 구조를 도시한 단면도 및 사시도이다.
도4a 및 도4b는 본 발명의 진공 장치용 구동 기구의 다른 구조를 도시한 단면도 및 사시도이다.
도5는 본 발명의 진공 장치용 구동 기구의 또 다른 구조를 도시한 단면도이다.
도6은 본 발명의 진공 장치용 구동 기구에 의한 구동 사이클을 도시한 그래프이다.
도7은 본 발명의 다른 실시 형태를 도시한 다목적 스퍼터 성막 장치의 구성을 도시한 수평 단면도이다.
도8은 본 발명의 에어백 구동 기구의 다른 실시 형태를 도시한 단면도이다.
도9는 본 발명의 진공 장치의 다른 실시 형태를 도시한 요부 단면도이다.
도10은 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시한 진공 장치의 단면도이다.
도11은 도10에 도시한 진공 장치의 동작 상태를 도시한 단면도이다.
도12는 도10, 도11에 도시한 진공 장치의 요부를 도시한 단면도이다.
도13은 도12에 도시한 진공 장치의 동작 상태를 도시한 단면도이다.
도14는 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시한 진공 장치의 단면도이다.
본 발명의 진공 장치용 구동 기구는, 기밀 용기 내에 고정 설치되는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구는 또한 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단을 구비하고, 이 수단을 이용하여 상기 에어백 내의 기체를 배기함으로써, 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출한 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구에 있어서는, 상기 에어백은 탄성체 재료에 의해 구성되고, 상기 기체 배기 수단에 의해 그 내부의 기체가 배기되었을 때, 상기 에어백 자체의 탄성력에 의해 수납 용기 내에 후퇴 수납되는 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구에 있어서는, 상기 에어백에는 상기 기체 배기 수단에 의해 그 내부의 기체가 배기되었을 때, 상기 에어백을 탄성력에 의해 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납시키는 탄성체 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구에 있어서는, 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단 및 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 공통의 관통구를 거쳐서 기체를 공급하거나 혹은 배기하는 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구에 있어서는, 상기 에어백 수납 용기의 상면에 상기 개방 단부를 폐색하도록 배치된 에어백 보강 부재와, 이 에어백 보강 부재를 내부에 수납하여 에어백 보강 부재의 상하 방향의 이동을 안내하는 동시에, 그 이동 범위를 일정한 범위로 제한하도록 상기 에어백 수납 용기의 상면에 고정된 스톱퍼를 또한 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
다음에, 본 발명의 진공 장치는, 내부에 기밀 공간이 형성된 진공 용기와, 이 진공 용기 내에 배치된 진공 장치용 구동 기구로 구성되고, 이 진공 장치용 구동 기구는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 피처리 물체를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 진공 장치는, 내부에 기밀 공간을 형성하는 피처리 물체의 반송실과, 이 반송실을 구성하는 격벽에 형성된 처리실 개구부를 거쳐서 연결되는 기밀 공간에 의해 구성되는 처리실과, 상기 반송실을 구성하는 격벽에 형성된 반송실 개구부와, 상기 반송실 내에 설치되어 피처리 물체를 반송하기 위한 서셉터를 상기 반송실 개구부와 상기 처리실 개구부 사이에서 반송하는 반송 기구와, 이 반송 기구에 설치되어 상기 처리실 개구부 혹은 상기 반송실 개구부를 기밀하게 개폐하도록 상기 서셉터를 구동하는 진공 장치용 구동 기구를 구비하고, 이 진공 장치용 구동 기구는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출시키고, 이로써 상기 서셉터를 가압하여 상기 처리실 개구부 혹은 상기 반송실 개구부를 기밀하게 폐색하도록 구성한 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치에 있어서는, 상기 반송실의 외부에는 외부 반송 기구가 설치되어 있고, 이 외부 반송 기구에는 수직 회전축 주위로 회전하는 수평 아암과, 이 수평 아암의 단부에 설치된 상기 반송실 개구부를 기밀하게 개폐하는 진공 덮개를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치에 있어서는, 상기 처리실은 상기 반송실에 연결된 한 개 또는 복수개의 스퍼터실이고, 상기 피처리 물체는 디스크 기판인 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치는, 내부에 기밀 방전 공간을 형성하는 스퍼터실과, 이 스퍼터실 내에 자계를 인가하도록 상기 스퍼터실의 상방에 배치된 자계 발생 장치와, 이 자계 발생 장치에 의한 자계가 인가되도록 상기 스퍼터실 내측 상부에 배치된 타겟과, 상기 스퍼터실의 바닥부를 구성하는 격벽에 형성된 개구부를 거쳐서 연결되는 동시에, 상기 스퍼터실의 바닥부로부터 횡방향으로 연장된 기밀 공간을 형성하는 반송실과, 이 반송실의 상기 스퍼터실의 바닥부로부터 횡방향으로 연장된 기밀 공간의 천장 부분에 형성된 반송실 개구부와, 상기 반송실 내에 설치되어 스퍼터막을 형성하기 위한 디스크 기판을 적재하기 위한 서셉터를 상기 반송실 개구부와 상기 스퍼터실 개구부 사이에서 교대로 반송하는 내부 디스크 반송 기구와, 상기 반송실 개구부에 끼워 맞춰서 이 개구부를 기밀하게 폐색하는 동시에, 하면에 상기 디스크 기판을 착탈 가능하게 보유 지지하는 복수의 진공 덮개와, 이들 진공 덮개를 상기 반송실 개구부와 상기 반송실로부터 이격된 위치에 배치된 디스크 기판 적재 테이블 사이에서 교대로 반송하는 외부 디스크 반송 기구와, 상기 서셉터 바닥부에 설치된 진공 장치용 구동 기구를 구비하고, 이 진공 장치용 구동 기구는 상기 서셉터 바닥부에 고정 설치되고 하단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 하단부로부터 돌출하여 상기 반송실 바닥면에 접촉 가압되고, 이로써 상기 서셉터를 그 상면이 상기 반송실 개구부에 접촉하여 이 개구부를 기밀하게 폐색하도록 구성한 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 본 발명의 진공 장치에 있어서는, 상기 서셉터 상부에는 상기 디스크 기판을 상기 서셉터 상면으로부터 상승시키는 제2 진공 장치용 구동 기구가 설치되어, 상기 서셉터가 상기 반송실 개구부 혹은 상기 스퍼터실 개구부에 가압될 때, 상기 외부 디스크 반송 기구의 진공 덮개에 설치한 디스크 척킹 기구에 상기 디스크 기판을 삽입시키거나, 혹은 상기 스퍼터실 내의 센터 마스크에 상기 디스크 기판을 가압시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명의 진공 장치는, 내면이 다각형의 공간을 형성하고, 다각형의 복수의 변에 대응하는 내벽에 개구가 형성된 디스크 반송실과, 이 디스크 반송실의 내부 중심부에 수직 방향으로 연장 배치된 중공의 회전축과, 이 회전축 주위에 배치되어 상기 회전축의 회전과 동시에 회전하는 프레임 부재와, 이 프레임 부재의 외주면에 고정 설치된 복수개의 에어백 구동 기구와, 이들 에어백 구동 기구에 고압 기체를 공급하거나 혹은 이들로부터 배기를 행하기 위해 상기 중공의 회전축 내부를 거쳐서 상기 에어백 구동 기구에 각각 연결된 복수개의 파이프와, 상기 복수개의 에어백 구동 기구의 각각으로 구동되어 상기 디스크 반송실 내벽에 형성된 개구를 폐색하도록 설치된 복수개의 서셉터와, 상기 디스크 반송실의 외측에 상기 개구를 거쳐서 연통하도록 설치된 복수개의 스퍼터실과, 마찬가지로 상기 디스크 반송실의 외측에 설치되어 상기 개구를 거쳐서 디스크를 상기 디스크 반송실 내로 반입하거나 혹은 상기 디스크 반송실 외측으로 반출하는 로드 로크 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도1은 본 발명을 진공 장치의 일 형태인 낱장식 마그네트론 스퍼터 장치에 적용한 실시 형태를 도시한 스퍼터 장치의 단면도이다. 이 스퍼터 장치는 대략 원통형의 기밀 용기인 스퍼터실(11)과, 이 스퍼터실(11)의 하측에 이 스퍼터실(11)에 연통하여 설치된 마찬가지로 기밀 용기인 디스크 반송실(12)을 구비하고 있다. 스퍼터실(11)의 상벽 외면에는 자석 장치(13)가 회전 모터(14)에 의해 회전 가능하게 설치되어 있다.
스퍼터실(11)의 상벽 내면에는 성막 물질로 이루어진 데스크 형상의 타겟(15)이 수냉 배킹 플레이트(16)에 고정되어 있다. 타겟(15)의 중심부로부터는 센터 마스크(17)가 스퍼터실(11) 내로 수직으로 현수되어 있다. 스퍼터실(11)과 디스크 반송실(12)을 구획하는 격벽(18)에는 디스크 기판(19)의 상부 표면을 스퍼터실(11)에 노출시키기 위한 스퍼터실 개구부(20)가 형성되어 있다.
디스크 반송실(12)은 스퍼터실(11)의 하측에 위치하는 제1 기밀 공간(12-1)과, 이 부분으로부터 또 다시 횡(수평)방향으로 연장된 제2 기밀 공간(12-2)으로 구성되어 있고, 이들 제1 및 제2 기밀 공간은 전체적으로 대략 원통 혹은 반원통 형상으로 되어 있다. 제2 기밀 공간(12-2)의 천장 부분에는 반송실 개구부(21)가 형성되어 있다. 디스크 반송실(12) 내에는 복수의 디스크 기판(19-1, 19-2)을 각각 적재하기 위한 복수개의 서셉터(22-1, 22-2)를 구비한 내부 디스크 반송 기구(23)가 설치되어 있다. 이 내부 디스크 반송 기구(23)는 디스크 기판(19-1, 19-2)을 스퍼터실 개구부(20)와 반송실 개구부(21) 사이에서 교대로 회전 반송한다. 이 내부 디스크 반송 기구(23)는 또한 디스크 반송실(12)의 중앙부에 수직 방향으로 설치된 회전축(25)을 구비하고, 디스크 반송실(12)의 외부 하측에 설치된 모터(24)에 의해 회전 구동된다. 이 회전축(25)의 상부에는 복수의 링형의 수평 아암(26-1, 26-2)이 고정되어 있고, 각각에 서셉터(22-1, 22-2)가 적재되어 있다.
제2 기밀 공간(12-2)의 천장 부분에 형성된 반송실 개구부(21)에는 이 개구부에 끼워 맞춰서 기밀하게 폐색하는 동시에, 하면에 디스크 기판(19-1, 19-2)을 착탈 가능하게 보유 지지하는 복수의 진공 덮개(30-1, 30-2)가 설치된다. 이들 복수의 진공 덮개(30-1, 30-2)는 디스크 반송실(12)의 외부에 설치된 외부 디스크 반송 기구(31)에 의해 반송된다. 즉, 외부 디스크 반송 기구(31)는 모터(32)에 의해 회전 구동되는 수직 회전축(33)을 구비하고, 이 수직 회전축(33)의 상부에는 회전축(33)의 반경 방향으로 연장되는 수평 아암(34-1, 34-2)이 고정되어 있다. 이들 수평 아암(34-1, 34-2)의 선단부에는 반송실 개구부(21)에 끼워 맞추는 진공 덮개(30-1, 30-2)가 고정되어 있다. 진공 덮개(30-1, 30-2)의 하면에는 디스크 기판(19)의 중심 구멍에 삽입하여 디스크를 착탈하는 메카니컬 척(35-1, 35-2)이 설치되어 있고, 이들 메카니컬 척(35-1, 35-2)에 의해 디스크 기판(19)을 반송하도록 구성되어 있다. 디스크 반송실(12)의 외부에는 또한 모터(36)에 의해 수평면 내에서 회전하는 디스크 반송 테이블(37)이 설치되어 있다.
디스크 반송 테이블(37)에는 복수의 디스크 기판(19-3, 19-4)이 적재되어 있다. 디스크 반송 테이블(37)이 회전하여 디스크 기판(19-3)이 외부 디스크 반송 기구(31)에 의해 반송되는 진공 덮개(30-2)의 바로 아래로 이동했을 때, 진공 덮개(30-2)에 척된다. 척된 디스크 기판(19-3)은 외부 디스크 반송 기구(31)의 회전에 의해 디스크 반송실(12)의 반송실 개구부(21)의 위치로 반송된다. 그리고, 디스크 기판(19-3)은 진공 덮개(30-2)가 반송실 개구부(21)에 끼워 맞춰졌을 때 진공 덮개(30-2)의 하면으로부터 이탈되어, 디스크 반송실(12) 내의 서셉터(22-2) 상에 적재된다. 이 상태의 디스크 기판이 도면의 19-2로 도시되어 있다.
서셉터(22-1, 22-2)의 바닥부에는 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)가 고정 설치되어 있다. 이들 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 뒤에 도2a 내지 도5를 참조하여 상세하게 설명하지만, 하단부가 개방된 에어백 수납 용기(41-1, 41-2)와, 이들 수납 용기 내에 수납된 에어백(42-1, 42-2)과, 이들 에어백 내에 상기 에어백 수납 용기(41-1, 41-2)를 관통하여 고압 기체를 공급하는 파이프(43-1, 43-2)로 구성되어 있다. 이 고압 기체 공급 파이프(43-1, 43-2)의 단부는 내부 디스크 반송 기구(23)의 회전축(25) 내에 형성된 중공부(도시 생략)를 거쳐서 디스크 반송실(12)의 외부로 도출된다. 그리고, 파이프(43-1, 43-2)의 단부에는 각각 3방 밸브(44-1, 44-2)가 연결되어 있다. 이들 3방 밸브(44-1, 44-2)는 고압 기체 공급 파이프(43-1, 43-2)의 단부를 고압 기체 공급원(45) 및 배기 펌프(46)에 선택적으로 연결한다. 이 3방 밸브(44-1, 44-2)를 고압 기체 공급원(45)측으로 절환하여 에어백(42-1, 42-2) 내에 고압 기체를 공급하면, 에어백(42-1, 42-2)의 일단부가 상기 에어백 수납 용기(41-1, 41-2)의 개방 하단부로부터 돌출하여 디스크 반송실(12)의 바닥면에 접촉한다. 이 상태에서 또 다시 고압 기체 공급원(45)으로부터 에어백(42-1, 42-2) 내에 고압 기체를 공급하면, 에어백(42-1, 42-2)의 하부 돌출부가 디스크 반송실(12)의 바닥면을 가압하고, 이 반작용에 의해 서셉터(22-1, 22-2)가 상승하여 그 상면이 스퍼터실 개구부(20) 혹은 반송실 개구부(21)에 접촉하여 이들 개구부를 기밀하게 폐색한다.
도2a 내지 도5는 진공 장치용 구동 기구의 구조를 도시한 도면으로, 도2a 내지 도4b 중 a는 단면도이고, b는 사시도이다. 도2a 및 도2b에 도시한 진공 장치용 구동 기구(40)는 원통형의 에어백 수납 용기(41)를 구비하고 있다. 이 에어백 수납 용기(41)의 상면에는 개구(51)가 형성되고, 바닥면에는 관통구(52)가 형성되어 있다. 이 에어백 수납 용기(41) 내에는 바닥부에 에어백 수납 용기(41)의 관통구(52)에 연통하는 에어 도입구(53)가 형성된 에어백(42)이 수납되어 있다. 에어백(42)은 그 바닥부가 에어백 수납 용기(41)의 바닥부에 고정되어 있다. 에어백(42)의 본체 중앙부로부터 상부에는 본체 하부보다 작은 직경의 주름 상자(54)가 형성되어 있고, 이 주름 상자(54)는 그것이 신장할 때 에어백 수납 용기(41)의 개구(51)를 통과하여 수납 용기(41)의 외부로 돌출 가능하게 구성되어 있다. 에어백(42)은 예를 들어 우레탄 고무 혹은 부나 고무와 같은 탄성 유기 재료에 의해 구성되어 있고, 그 내부가 거의 진공으로 배기되어 있는 상태에 있어서는 에어백(42)의 상부는 수납 용기(41)의 외부에 위치하지만, 주름 상자(54)의 대부분은 수납 용기(41) 내에 수납되어 있다. 또, 수납 용기(41)는 에어백(42)보다 강도가 높은 변형되기 어려운 재료, 예를 들어 금속 재료에 의해 구성된다.
에어백 수납 용기(41)의 관통구(52)에는 도1에 도시한 고압 기체 공급 파이프(43-1, 43-2)가 연결되고, 고압 기체가 관통구(52)로부터 에어백(42) 내로 공급된다. 이 결과, 에어백(42) 내에 고압 기체가 충만하여 에어백(42)의 주름 상자(54) 부분이 개구(51)를 통과하여 수납 용기(41)의 외부로 신장 돌출한다. 이 때, 에어백(42)의 하부는 그 직경이 주름 상자(54) 부분보다도 크므로, 에어백 수납 용기(41)의 개구(51)를 통과하지 못하고 수납 용기(41) 내에 잔류하고 있다. 에어백 수납 용기(41)의 개구(51)를 통과하여 수납 용기(41)의 외부로 신장 돌출한 주름 상자(54) 부분은 그 상부에 의해 이에 접촉하는 다른 물체를 가압한다. 도1에 있어서는, 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 서셉터(22-1, 22-2)의 바닥면에 도2a 및 도2b에 도시되어 있는 상태에 대하여 상하를 역전하여 설치되어 있다. 이로 인해, 수납 용기(41)의 외부로 신장 돌출한 에어백(42)의 상부는 디스크 반송실(12)의 바닥면을 가압하고, 이 반작용에 의해 서셉터(22-1, 22-2)가 상승한다.
에어백(42) 내에 고압 기체가 충만한 상태에 있어서, 도1에 도시한 3방 밸브(44-1, 44-2)를 배기 펌프(46)측으로 절환하여 에어백(42) 내의 기체를 배기하면, 에어백(42)의 주름 상자(54)는 그 탄성력에 의해 수축되어 도2a 및 도2b에 도시한 바와 같이 그 상부는 수납 용기(41)의 외부에 위치하지만, 그 대부분은 수납 용기(41) 내로 복귀한다.
도3a 및 도3b에 도시한 진공 장치용 구동 기구(60)는, 에어백 수납 용기(61)가 전체적으로 직육면체의 하우징이며, 이 에어백 수납 용기(61) 내에 수납되는 에어백(62)의 신축 기구인 주름 상자(63)의 구조가 다른 점을 제외하고 도2a 및 도2b의 진공 장치용 구동 기구(40)와 거의 동일한 구조이다. 이에 따라, 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 이 진공 장치용 구동 기구(60)에 있어서의 에어백(62)의 주름 상자(63) 부분은 그 수직 단면이 S자형으로 절곡되어 있다. 즉, 이 에어백(62)의 본체 하부는 그 수평 단면이 에어백 수납 용기(61)의 바닥면과 대략 동일한 형상 및 면적을 갖고 있고, 본체 상부는 수평 단면이 에어백 수납 용기(61)의 상면에 형성된 직사각형 개구(64)의 개구면보다 작은 면적의 직사각형으로 구성되어 있다. 그리고, 에어백(62)의 본체 상부와 본체 하부는 상술한 바와 같이, 수직 단면이 S자형으로 절곡된 주름 상자(63)에 의해 결합되어 있다. 이 주름 상자(63)는 에어백(62) 내에 고압 기체가 공급되면 신장하고, 이 결과 개구(64)를 거쳐서 에어백 수납 용기(61)의 외부에 위치하는 상부가 상승한다. 그리고, 에어백(62) 내의 기체가 배기되면 주름 상자(63)는 그 탄성력에 의해 수축되고, 이 결과 개구(64)를 거쳐서 에어백 수납 용기(61)의 외부에 위치하는 상부가 하강한다.
도4a 및 도4b에 도시한 진공 장치용 구동 기구(65)는, 에어백(66)의 신축 기구가 다른 점을 제외하고 도3a 및 도3b의 진공 장치용 구동 기구(60)와 거의 동일한 구조이므로, 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 이 진공 장치용 구동 기구(65)의 에어백(66)은 도2a 및 도2b 혹은 도3a 및 도3b의 에어백(42, 62)과 같이 주름 상자(54, 63)를 형성하지 않고, 에어백(66) 전체의 탄성력에 의해 신축하도록 구성되어 있다.
도5는 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시한 진공 장치용 구동 기구의 단면이다. 동도면에 있어서는, 도3a 및 도3b의 진공 장치용 구동 기구(60)와 동일 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 도5에 도시한 진공 장치용 구동 기구(67)에 있어서는, 에어백 수납 용기(61)의 상면에 형성된 직사각형 개구(64)의 상부에, 이 개구(64)를 폐색하는 에어백 보강 부재(68)가 설치되어 있다. 이 에어백 보강 부재(68)는 그 바닥부(68-1)가 에어백 수납 용기(61)의 개구(64)부를 폐색하는 면적을 갖고 있다. 또, 본체부(68-2)는 그 수평 단면이 바닥부(68-1)보다 좁은 면적을 갖고 있다. 에어백 보강 부재(68)는 그 수직 단면이 대략 철(凸)자형을 이루도록 구성되어 있다. 이 에어백 보강 부재(68)는 탄성 유기 재료로 구성되는 에어백(62) 본체에 대하여, 금속 등의 보다 강도가 높은 변형되기 어려운 재료에 의해 구성된다. 에어백 수납 용기(61)의 개구(64) 주위에는 스톱퍼(69)가 볼트(70)에 의해 고정되어 있다. 이 스톱퍼(69)는 에어백 보강 부재(68)를 내부에 수납하고, 에어백 보강 부재(68)의 상하 방향의 이동을 안내하는 동시에 그 이동 범위를 일정한 범위로 제한한다. 즉, 스톱퍼(69)는 상부에 에어백 보강 부재(68)의 본체부(68-2)가 통과할 수 있는 개구부(69-1)가 형성된 하우징에 의해 구성되고, 에어백 보강 부재(68)가 그 내부를 상하로 안내되어 이동한다. 에어백 보강 부재(68)의 이동 스트로크는 그 바닥부(68-1)가 에어백 수납 용기(61) 상에 접촉하는 위치를 하한으로 하고, 그 바닥부(68-1)가 스톱퍼(69)의 상부 개구부(69-1)에 도달하는 위치를 상한으로 하는 범위이다. 이동 스트로크의 상한에 있어서, 에어백 보강 부재(68)는 그 바닥부(68-1)의 면적이 개구부(69-1)의 면적보다 넓으므로, 개구부(69-1)를 통과하지 못하고 이 위치에서 그 이동을 정지한다.
도2a 내지 도4b에 도시한 진공 장치용 구동 기구에 있어서는, 에어백은 금속제의 에어백 수납 용기로 피복되어 있지만, 고압 기체의 공급에 의해 에어백이 돌출하는 부분은 탄성 유기 재료로 구성된 에어백 자체가 진공실 내로 돌출한다. 이로 인해, 에어백이 돌출하는 부분을 막아내는 대상물이 확실하게 존재하지 않으면, 에어백은 파열되기까지 팽창하게 된다. 도5에 도시한 진공 장치용 구동 기구는 이와 같은 우려를 제거하여 안전하고 또한 확실하게 동작시키기 위해, 에어백 돌출부에 금속 등의 보강 부재(68)를 설치하여 에어백(62)이 안전한 스트로크 이상으로 수납 용기(61)의 외부로 신장하지 않도록 구성되어 있다.
도6은 이와 같이 구성된 진공 장치용 구동 기구에 의한 구동 사이클을 도시한 그래프이다. 동도면의 횡축은 시간이며, 1 눈금은 1OO mses로 표시되어 있다. 또, 종축은 진공 장치용 구동 기구에 의한 구동 거리이며, 1 눈금은 0.5 mm로 표시되어 있다. 이 그래프는 진공속에 설치된 진공 장치용 구동 기구에, 5.9×10-3Pa의 고압 기체의 공급과 배기를 대략 1초 간격으로 교대로 반복하여 에어백 상부의 이동 거리의 변화를 측정한 것이다. 이 그래프로부터, 이 진공 장치용 구동 기구의 급상승은 0.02초, 급하강은 0.09초를 필요로 함을 알 수 있다.
다음에, 이와 같이 구성된 도1의 낱장식 마그네트론 스퍼터 장치의 동작을 설명한다. 우선, 디스크 반송실(12)을 구성하는 제2 기밀 공간(12-2) 내에 배치된 서셉터(22-2) 하면에 설치된 진공 장치용 구동 기구(40-2)를 고압 기체 공급원(45)에 의해 구동한다. 진공 장치용 구동 기구(40-2)는 서셉터(22-2)를 수평 아암(26-2)의 상면으로부터 상승시켜, 반송실 개구부(21)를 서셉터(22-2)의 상면에 의해 기밀하게 폐색한다.
한편, 디스크 반송 테이블(37) 상에 적재된 스퍼터 처리가 실시되기 전의 디스크 기판(19-3, 19-4)은 외부 디스크 반송 기구(31)에 의해 반송되는 진공 덮개(30-2)의 하면에 척된다. 진공 덮개(30-2)는 외부 디스크 반송 기구(31)에 의해 디스크 반송실(12)의 반송실 개구부(21)로 회전 반송된다. 이 상태는 도1의 진공 덮개(30-1)로 도시되어 있다. 진공 덮개(30-1)는 이 반송실 개구부(21)에 끼워 맞춰져서 이를 기밀하게 폐색하는 동시에, 하면에 척된 디스크 기판(19-3)을 이탈시켜 이를 디스크 반송실(12) 내의 서셉터(22-2) 상에 적재한다. 도면의 디스크 기판(19-2)은 이 상태를 나타내고 있다. 이어서, 진공 장치용 구동 기구(40-2)를 배기 펌프(46)에 의해 구동하여, 서셉터(22-2)를 수평 아암(26-2)의 상면 위치까지 하강시킨다. 이 상태에 있어서 내부 디스크 반송 기구(23)는 모터(24)에 의해 회전 구동되어, 서셉터(22-2)를 제1 기밀 공간(12-1) 내로 반송한다. 이 상태는 도1에 있어서는 서셉터(22-1), 디스크 기판(19-1), 진공 장치용 구동 기구(40-1)로서 도시되어 있다.
디스크 반송실(12)을 구성하는 제1 기밀 공간(12-1) 내에 배치된 서셉터(22-1)는 그 하면에 설치된 진공 장치용 구동 기구(40-1)를 구동한다. 이로써, 서셉터(22-1)는 수평 아암(26-1)의 상면으로부터 상승하여, 스퍼터실(11)과 디스크 반송실(12)을 구획하는 격벽(18)에 형성된 스퍼터실 개구부(20)를 서셉터(22-1)의 상면에 의해 기밀하게 폐색한다. 이로써 스퍼터실(11)이 밀폐되고, 디스크 기판(19-1)의 중심 구멍에는 센터 마스크(17)가 끼워 맞춰진다.
이 상태에 있어서, 스퍼터실(11)에는 가스 도입구(도시 생략)로부터 아르곤 가스가 도입되어, 스퍼터실(11) 상벽과 측벽 사이에 방전용 고전압이 인가된다. 그리고, 자석 장치(13)에 의한 회전 자계가 스퍼터실(11) 내에 인가되어, 스퍼터실(11) 내에는 방전에 의한 플라즈마가 발생한다. 이 방전에 의해, 타겟(15)의 하면으로부터 타겟 재료 물질이 방출되고, 서셉터(22-1) 상에 적재된 디스크 기판(19-1)의 표면에 퇴적되어 스퍼터막이 형성된다.
디스크 기판 표면에의 스퍼터막 형성 공정이 완료되면, 진공 장치용 구동 기구(40-1)를 다시 구동하여 서셉터(22-1)를 수평 아암(26-1)의 상면 위치까지 강하시킨다. 이어서, 내부 디스크 반송 기구(23)를 모터(24)에 의해 회전 구동하여, 서셉터(22-1)를 제2 기밀 공간(12-2) 내로 반송한다. 이 상태는 도1에 있어서는 서셉터(22-2), 디스크 기판(19-2), 진공 장치용 구동 기구(40-2)로서 도시되어 있다.
이어서, 서셉터(22-2) 하면에 설치된 진공 장치용 구동 기구(40-2)를 다시 구동하여 서셉터(22-2)를 수평 아암(26-2)의 상면으로부터 상승시키고, 반송실 개구부(21)를 서셉터(22-2)의 상면에 의해 디스크 반송실(12)의 내부로부터 기밀하게 폐색한다. 이 상태에 있어서 디스크 기판(19-2)은 진공 덮개(30-1)의 하면에 척되고, 외부 디스크 반송 기구(31)에 의해 디스크 반송 테이블(37) 상으로 회전 반송된다. 그리고, 디스크 기판(19-2)은 이 상태에서 진공 덮개(30-1)의 하면으로부터 이탈되어 디스크 반송 테이블(42) 상에 적재된다. 이 상태는 도1의 디스크 기판(19-3)으로 도시되어 있다. 디스크 기판(19-3)은 디스크 반송 테이블(37)에 의해 반송되어, 표면에 스퍼터막이 형성된 디스크 기판(19-4)으로서 취출된다.
이상 설명한 본 발명의 실시 형태에 제시된 바와 같이, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 그 구동 기구 전체가 진공 장치를 구성하는 디스크 반송실(12) 내에 설치되어 있으므로, 진공 시일을 필요로 하지 않는 잇점이 있다. 따라서, 진공 시일용 0링의 마모나 이에 의한 불순물의 스퍼터막으로의 혼입 등의 문제를 발생시키지 않는다.
또, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 전체적으로 소형으로 할 수 있으므로, 진공 장치 전체의 구조를 소형으로 할 수 있다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 그 형상이 변형 가능한 에어백(42)의 상부에 의해 디스크 반송실(12)의 바닥면 등, 대상 물체를 가압하므로, 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)와 가압 대상 물체와의 상대적인 위치 관계는 반드시 정확하게 일치할 필요가 없다. 이에 따라, 진공 장치내에서의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)의 설치 위치의 자유도가 있고, 공간의 유효 활용을 도모할 수 있다.
그리고, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)는 종래의 0링 시일이나 벨로우즈의 교환 보수에 비교하여, 에어백(42) 등의 교환 보수에 숙련을 필요로 하지 않으며 단시간에 교환이 가능하다.
도7은 본 발명의 다른 실시 형태를 도시한 다목적 스퍼터 성막 장치의 구성을 도시한 수평 단면도이다. 단면이 대략 정사각형인 기밀 디스크 반송실(71)의 내부 중심부에는 수직 방향으로 연장된 중공의 회전축(72)이 설치되어 있다. 이 회전축(72)의 주위에는 단면이 대략 정사각형이며 회전축(72)의 회전에 수반하여 수평면 내에서 회전하는 프레임 부재(73)가 설치되어 있다. 이 프레임 부재(73)의 4개의 벽면의 외주면에는 도2a 내지 도4b에 도시한 바와 같은 4개의 에어백 구동 기구(74-1 내지 74-4)가 설치되어 있다. 이들 에어백 구동 기구(74-1 내지 74-4)에는 각각 중공의 회전축(72)을 거쳐서 외부로부터 도입되는 파이프(75-1 내지 75-4)가 연결되어 있고, 이들 파이프(75-1 내지 75-4)를 거쳐서 에어백 구동 기구(74-1 내지 74-4)에 고압 기체가 공급되거나 혹은 그들이 배기된다. 4개의 에어백 구동 기구(74-1 내지 74-4)는 각각의 에어백의 일부의 돌출 작용에 의해, 서셉터(76-1 내지 76-4)를 디스크 반송실(71)의 주위 네 벽면에 형성된 개구(77-1 내지 77-4)를 폐색하도록 가압한다. 디스크 반송실(71)의 3개의 벽면의 외주면에는 각각 개구(77-1 내지 77-3)를 거쳐서 3개의 스퍼터실(78-1 내지 78-3)이 연통하도록 고정되어 있다. 이들 3개의 스퍼터실(78-1 내지 78-3)은 다목적의 스퍼터링을 행하기 위한 다른 조건으로 동작하는 것으로, 예를 들어 도시되어 있지는 않지만 각각 다른 재료의 타겟을 구비하여, 다른 종류의 막을 형성할 수 있도록 구성되어 있다. 디스크 반송실(71)의 외부에는 로드 로크 기구(79)가 설치되어 있다. 로드 로크 기구(79)는 수직 방향으로 연장 배치된 제2의 중공 회전축(81)과 동시에 회전하는 제2 프레임 부재(82)를 구비하고, 이 프레임 부재(82)의 대향하는 2개의 벽면 외주면에 도2a 내지 도4b에 도시한 바와 같은 2개의 에어백 구동 기구(83-1, 83-2)가 설치되어 있다. 이들 에어백 구동 기구(83-1, 83-2)에는 도시되어 있지는 않지만 제2의 중공 회전축(81)을 거쳐서 외부로부터 도입되는 고압 기체 공급 파이프에 의해 각각 고압 기체가 공급된다. 2개의 에어백 구동 기구(83-1, 83-2)는 각각의 에어백의 일부의 돌출 작용에 의해, 디스크 반송 테이블(80-1, 80-2)을 디스크 반송실(71)의 벽면에 형성된 개구(77-4)를 폐색하도록 가압한다. 디스크 반송 테이블(80-1, 80-2)에는 도시되어 있지는 않지만, 그 표면에 스퍼터막을 형성하기 위한 디스크 기판이 적재 고정되고, 로드 로크 기구(79)는 디스크 기판을 개구(77-4)를 거쳐서 외부로부터 디스크 반송실(71) 내로 공급하거나 혹은 디스크 반송실(71) 내로부터 외부로 취출한다.
이 실시 형태에 의한 다목적 스퍼터 성막 장치는 서셉터(76-1 내지 76-4)를 구동하는 에어백 구동 기구(74-1 내지 74-4)를 전부 기밀 용기인 디스크 반송실(71) 내에 설치할 수 있으므로, 종래의 실린더 기구를 이용하는 경우와 같이 왕복 운동하는 피스톤의 기밀 시일 수단을 필요로 하지 않고, 장치가 전체적으로 간소화, 소형화된다. 또한, 디스크 반송실(71)의 외부에 설치되는 로드 로크 기구(79)도 마찬가지로 간소화, 소형화를 꾀할 수 있다.
도8은 본 발명에 사용되는 에어백 구동 기구의 다른 실시 형태를 도시한 단면도이다. 또, 동도면에 있어서는 도2a 및 도2b의 에어백 구동 기구와 기본적인 구성은 동일하므로, 대응하는 구성 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.
이 실시 형태에 있어서는, 에어백(42) 내부에 주름 상자부(54)의 신축 방향을 안내하는 안내 기구(91)와, 고압 기체의 배기를 행할 때 주름 상자부(54)를 후퇴시키기 위한 스프링 기구(92)를 구비하고 있다. 에어백(42)의 상부 두께 내부에는 금속 디스크(93)가 매설되어 있고, 이 금속 디스크(93)의 중심에는 에어백(42) 내에 수직으로 연장된 피스톤축(94)이 연결되어 있다. 피스톤축(94)은 안내 기구(91)에 설치된 베어링(95)에 지지되고, 피스톤축(94)은 이 베어링(95) 내를 수직 방향으로 왕복 운동한다. 이 베어링(95) 내에는 유성의 윤활재를 사용함으로써 원활한 왕복 운동을 확보한다. 스프링 기구(92)는 금속 디스크(93)의 주변부와 에어백 수납 용기(41)의 바닥면 사이를 결합하는 복수개의 스프링에 의해 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 에어백 구동 기구는 에어백 수납 용기(41)의 바닥면에 형성된 관통구(52)로부터 고압 공기가 송입되면, 에어백(42)의 주름 상자부(54)가 신장되어 에어백(42)의 상부가 상승한다. 이 때, 에어백(42)의 상부 두께 내부의 금속 디스크(93)는 그 피스톤축(94)이 베어링(95) 내를 안내받음으로써, 에어백(42)의 상부도 수직 방향으로 높은 방향 정밀도를 갖고 이동한다. 이 때, 스프링 기구(92)는 에어백(42)의 상부의 상승과 함께 신장한다. 다음에, 고압 공기가 관통구(52)로부터 배출되면 에어백(42) 내부의 기압이 저하되므로, 상부 두께 내부의 금속 디스크(93)가 스프링 기구(92)의 수축에 의해 하방으로 인장되고, 이로써 주름 상자부(54)도 수축된다. 이 때, 금속 디스크(93)에 연결된 피스톤축(94)이 베어링(95) 내를 안내받음으로써, 에어백(42)의 상부도 수직 방향으로 높은 방향 정밀도를 갖고 하강한다.
이와 같이, 이 실시 형태의 에어백 구동 기구는 유연한 탄성체로 이루어진 에어백의 신축에 의한 구동의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 이 실시 형태에 있어서는 안내 기구가 밀폐된 에어백 내에 설치되어 있으므로, 에어백 구동 기구를 진공 용기 내에 있어서 이용하는 경우라도 유성의 윤활재를 사용할 수 있다.
도9는 본 발명의 진공 장치의 다른 실시 형태를 도시한 요부 단면도이다. 또, 동도면의 구성은 도1에 도시한 진공 장치에 있어서의 내부 디스크 반송 기구(23)에 지지된 서셉터(22-1)의 부분에 상당하므로, 대응하는 부분에는 대응하는 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 이 실시 형태에 있어서는 서셉터(22-1) 내에 2개의 에어백 구동 기구(101, 102)가 수직 방향으로 2단으로 적층 배치되어 있다. 그리고, 1단째의 에어백 구동 기구(101)에 있어서의 에어백의 돌출부에 연통구(103)를 형성하고, 이를 2단째의 에어백 구동 기구(102)의 고압 기체 도입구(도시 생략)에 연결하여, 다단 구조의 에어백 구동 기구를 구성하고 있다. 또, 2개의 에어백 구동 기구(101, 102)의 연결부는 복수개의 기밀 시일(104)을 거쳐서 나사 고정(105)되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 각단의 에어백 돌출부의 이동 스트로크가 가산된, 보다 큰 스트로크의 구동 기구를 얻을 수 있다.
도10은 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시한 진공 장치의 요부 단면도이다. 또, 동도면의 구성은 도1에 도시한 진공 장치에 있어서의 각 구성 부분에 대응하는 부분에는 대응하는 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 이 실시 형태에 있어서는 서셉터(22-1, 22-2)의 내측 상부에, 바닥부에 설치된 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)(이하에서는 이들을 제1 진공 장치용 구동 기구라 함) 이외에 제2 진공 장치용 구동 기구(110-1, 110-2)가 각각 설치되어 있다. 이들 제2 진공 장치용 구동 기구(110-1, 110-2)는 각각 서셉터(22-1, 22-2) 상면에 적재되는 디스크 기판(19-1, 19-2)을 상하 방향으로 왕복 이동시킨다. 이들 제2 진공 장치용 구동 기구(110-1, 110-2)는 각각 고압 기체 공급 파이프(43-1, 43-2)(이하, 이들을 제1 고압 기체 공급 파이프라 함)와는 독립된 제2 고압 기체 공급 파이프(112-1, 112-2)에 의해 구동용의 고압 기체가 공급되고 있다. 동도면의 진공 장치에는, 도1에 있어서는 생략된 스퍼터실(11) 및 디스크 반송실(12)용의 배기 기구가 도시되어 있다. 즉, 스퍼터실(11)의 측벽에 형성된 배기구(11-1)에는 디스크 반송실(12)에 인접하여 진공 장치 바닥부에 연장 배치된 배기 덕트(11-2)가 설치되어 있다. 이 배기 덕트(11-2)의 하단부에는 배기용의 주 펌프(114-1) 및 보조 펌프(114-2)가 연결되어 있다. 또, 제2 기밀 공간(12-2)의 바닥부에 형성된 배기구(12-3)에는 배기용의 주 펌프(116-1) 및 보조 펌프(116-2)가 연결되어 있다. 또한, 디스크 반송 테이블(37)에는 외부 디스크 반송 기구(31)의 메카니컬 척(35-1, 35-2)에 디스크 기판(19-3, 19-4)을 착탈하기 위한 디스크 푸셔(118)가 설치되어 있다.
도11은 제1 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)에 의해 서셉터(22-1, 22-2)를 상방으로 들어올리는 동시에, 제2 진공 장치용 구동 기구(110-1, 110-2)에 의해 디스크 기판(19-1, 19-2)을 상방으로 들어올린 상태를 도시하고 있다. 이 상태에 있어서는, 디스크 기판(19-1)은 스퍼터실(11) 내의 센터 마스크(17)의 하면에 가압되는 동시에, 디스크 기판(19-2)은 진공 덮개(30-1)의 하면에 접촉 배치되어 있다.
도12, 도13은 각각 도10, 도11에 도시된 진공 장치의 서셉터에 설치된 진공 장치용 구동 기구의 구조 및 동작을 보다 상세하게 도시한 요부 단면도이다. 또, 동도면에 있어서도 도1 내지 도5, 도10 내지 도11에 도시된 구성 부분과 동일한 구성 부분에는 동일 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.
도12는 내부 디스크 반송 기구(23)의 링형의 수평 아암(26-2)에 지지된 서셉터(22-2)가 반송실 개구부(21)의 바로 아래에 배치된 상태를 도시하고 있다. 서셉터(22-2)의 하면에는 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2)가 설치되고, 상면에는 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)가 설치되어 있다. 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2)는 서셉터(22-2)의 하면에 하방을 향해 설치되어 있고, 그 에어백(42)은 디스크 반송실(12)의 바닥부(134)를 향해서 돌출하도록 구성되어 있다. 이에 대하여, 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)는 에어백(66)이 디스크 반송실(12)의 천장 부분을 향해서 돌출하도록 서셉터(22-2)의 상면에 상방을 향해 설치되어 있다. 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)는 도5에 도시한 에어백 보강 부재(68)를 갖고 있고, 에어백(66)의 상방으로의 돌출이 스톱퍼(69)에 의해 일정한 범위로 제한된다. 에어백 보강 부재(68)의 상면에는 디스크 기판(19)의 중심 구멍에 끼워 맞추는 중심 안내부(120)가 고정되어 있다. 이 중심 안내부(120)는 메카니컬 척(35-1)을 구성하는 3개의 상부 갈고리에 대응하는 3개의 하부 갈고리에 의해 구성되어 있다. 이 중심 안내부(120)는 디스크 기판(19-2)이 상승하기 이전에 있어서는 디스크 기판(19-2)을 서셉터(22-2)의 상면에 고정하지만, 디스크 기판(19-2)이 상승했을 때는 메카니컬 척(35-1)을 구성하는 상부 갈고리가 디스크 기판(19-2)의 중심 구멍을 관통하여 개방하고, 디스크 기판(19-2)을 기계적으로 보유 지지하도록 구성되어 있다.
내부 디스크 반송 기구(23)의 링형의 수평 아암(26-2)에 지지된 서셉터(22-2)에는 또한 복수개의 서셉터 복귀 기구(124)가 설치되어 있다. 이들 서셉터 복귀 기구(124)는 서셉터(22-2) 주위의 수평 아암(26-2)에 형성된 복수개의 관통 구멍(126)과, 이들 관통 구멍(126)을 관통하여 상단부가 서셉터(22-2)의 플랜지부(128)에 고정된 안내축(130)과, 이 안내축(130)에 헐겁게 삽입되어, 안내축(130)의 하단부와 수평 아암(26-2)의 하면에 대하여 이들을 서로 이격시키는 방향의 탄성력을 부여하는 코일 스프링(132)에 의해 구성되어 있다. 또, 도12 및 도13에 있어서 도면 부호 134는 디스크 반송실(12)용의 배기구를, 그리고 136은 진공 시일용의 0링을 각각 나타내고 있다.
다음에, 도12 및 도13을 참조하여 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2) 및 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)에 의한 서셉터(22-2) 및 디스크 기판(19)의 구동 동작을 설명한다. 도12는 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2) 및 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)의 어느 것에도 구동용의 고압 기체가 공급되지 않으며, 따라서 각각의 에어백(42, 66)은 수납 용기(61) 내에 수납된 채로의 상태로 있다. 다음에, 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2) 및 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)에 각각 제1 고압 기체 공급 파이프(43-2) 및 제2 고압 기체 공급 파이프(112-2)를 거쳐서 구동용의 고압 기체가 공급되면, 각각의 에어백(42, 66)은 팽창하여 수납 용기(61) 내로부터 하방 및 상방으로 돌출한다. 이로써, 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2)의 에어백(42)은 에어백 보강 부재(68)를 거쳐서 디스크 반송실(12)의 바닥판(134)을 가압하고, 그 반작용에 의해 서셉터(22-2)가 상승한다. 이로써, 서셉터(22-2)는 그 상면에 의해 반송실 개구부(21)를 폐색하는 동시에, 서셉터 복귀 기구(124)의 코일 스프링(132)은 더욱 압축된다.
한편, 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)의 에어백(66)은 에어백 보강 부재(68)를 거쳐서 디스크 기판(19)을 외부 디스크 반송 기구(31)의 진공 덮개(30-1) 방향으로 밀어올린다. 그리고, 메카니컬 척(35-1)을 구성하는 상부 갈고리가 디스크 기판(19)의 중심 구멍에 삽입되어 3개의 갈고리를 개방하고, 이로써 디스크 기판(19-2)이 보유 지지된다. 제1 진공 장치용 구동 기구(40-2) 및 제2 진공 장치용 구동 기구(110-2)로부터 구동용의 고압 기체가 배기되면, 서셉터 복귀 기구(124)의 코일 스프링(132)이 그 탄성력에 의해 신장하여, 서셉터(22-2)를 도12에 도시한 원래의 위치로 복귀시킨다.
또, 도12, 도13에 있어서는 디스크 반송실(12)의 반송실 개구부(21)의 바로 아래에 배치된 서셉터(22-2)에 대하여 설명했지만, 도10, 도11에 도시한 스퍼터실(11)의 개구부(20)의 바로 아래에 배치된 서셉터(22-1)도 동일한 구조를 가지며, 동일한 동작을 행함은 물론이다. 단, 스퍼터실(11)의 개구부(20)의 바로 아래에 배치된 서셉터(22-1)는 스퍼터실(11)의 개구부(20)를 폐색하는 동시에, 스퍼터실(11) 내의 디스크 기판(19-1)을 밀어올려 센터 마스크(17) 하면에 접촉시킨다.
이와 같이 디스크 기판(19-1, 19-2)을 제2 진공 장치용 구동 기구(110-1, 110-2)에 의해 이동시킴으로써, 이하에 기술한 바와 같은 종래 장치에 있어서의 과제를 해결할 수 있다. 즉, 서셉터(22-1, 22-2) 상면에 적재한 디스크 기판(19-1, 19-2)은 스퍼터실(11)에서 서셉터(22-1)가 그 개구부(20)에 가압되고, 또한 디스크 기판(19-1)이 센터 마스크(17)에 가압된다. 그러나, 서셉터(22-1) 및 디스크 기판(19-1)이라는 2개의 구조물을 동시에 다른 대상물인 스퍼터실 개구부(20) 및 센터 마스크(17)에 가압하는 일은 기계 치수면에서 무리가 따른다. 서셉터(22-1, 22-2)에는 디스크 반송실(12)의 개구부(21)에 가압을 행할 때, 디스크 반송실(12)을 대기로부터 밀봉하기 위한 0링(136)이 설치되어 있다. 이 0링(136)은 스퍼터실(11)의 개구부(20)측에서는 대기를 밀봉하지 않으므로, 충분한 힘으로 가압되지 않는다. 이에 따라, 서셉터(22-1)와 스퍼터실 개구부(20)는 0링(136)이 개재되어 밀착되지 않으므로, 이 간극의 치수가 정해지지 않아 디스크 기판(19-1)을 센터 마스크(17)나 외주 마스크(도시 생략)에 가압하는 것이 곤란해진다. 즉, 디스크 기판(19-1)을 센터 마스크(17)에 가압하도록 하면, 서셉터(22-1)의 0링(136)이 스퍼터실 개구부(20)에 접촉하지 않는 경우, 혹은 이 반대로 서셉터(22-1)의 0링(136)을 스퍼터실 개구부(20)에 접촉시킨 경우, 디스크 기판(19-1)이 센터 마스크(17)에 접촉하지 않는 경우가 발생하게 된다. 이에 따라, 서셉터(22-1, 22-2)와 디스크 기판(19-1, 19-2)을 다른 진공 장치용 구동 기구에 의해 들어올림으로써 상기의 문제가 해결된다.
그리고, 디스크 반송실 개구부(21)측에서는 디스크 기판(19-2, 19-3)의 교환을 행할 때, 외부 디스크 반송 기구(31)는 메카니컬 척(35-1, 35-2)이나 진공 척을 사용하고 있다. 서셉터(22-1, 22-2) 상면에는 디스크 기판(19-2)을 적재하여 이를 스퍼터실(11)까지 고속으로 반송할 때, 디스크 기판(19-2)이 낙하되지 않도록 테이퍼 형상으로 파내려간 수용부에 연결되어 디스크를 돌출시키지 않기 위해 수직으로 파내려간 수용부가 형성되어 있다. 따라서, 디스크 기판(19-1, 19-2)은 서셉터(22-1, 22-2)의 상면으로부터 약 5 mm 정도 하강한 깊숙한 위치에 놓여 있다. 외부 디스크 반송 기구(31)의 메카니컬 척(35-1, 35-2) 등의 척킹 기구는 이 깊숙한 위치에 적재된 디스크 기판(19-1, 19-2)을 취출하기 위해서 긴 척킹 기구, 즉 디스크 반송실 개구부(21)를 기밀하게 폐색하는 진공 덮개(30-1)의 하면으로부터 적어도 5 mm 정도 돌출하는 길이를 필요로 한다. 한편, 디스크 기판(19-1, 19-2)을 적재한 서셉터(22-1, 22-2)는 이 척킹 기구를 회피하여 반송하기 위한 간극 2 mm를 더하여 합계 7 ㎜ 정도의 간극을 필요로 하게 된다. 서셉터(22-1, 22-2)는 그들의 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)에 의해 상하로 이동함으로써 상기 간극을 확보하는 것은 가능하다. 그러나, 서셉터(22-1, 22-2)의 상하 이동의 스트로크가 길어지면, 진공 장치용 구동 기구(40-1, 40-2)가 대형화되어 가격이 높아지는 동시에 상하 이동에 필요한 시간도 길어지므로, 이 스트로크를 1 mm, 2 mm라도 단축시키는 것이 중요하다. 이에 따라, 서셉터(22-1, 22-2)의 상하 이동 이외에 디스크 기판(19-1, 19-2)을 별개로 상하 이동시킴으로써, 상기의 요구를 만족시킬 수 있다.
도14는 본 발명의 또 다른 실시 형태를 도시한 진공 장치의 단면도이다. 또, 동도면의 구성은 도1, 도10 혹은 도11에 도시한 진공 장치에 있어서의 각 구성 부분에 대응하는 부분에는 대응하는 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다. 이 실시 형태에 있어서는 서셉터(22-1, 22-2)를 상승 혹은 하강시키기 위한 제1 진공 장치용 구동 기구(140-1, 140-2)가 서셉터(22-1, 22-2) 내부가 아니라, 디스크 반송실의 바닥부(134) 상에 그들의 에어백(142-1, 142-2)이 각각 서셉터(22-1, 22-2)측으로 돌출하도록 설치되어 있다.
이 실시 형태에 따르면, 서셉터를 경량화하거나 혹은 박형화하는 경우에 유효하다. 즉, 반송실 바닥부(134)에 에어백 구동 기구(140-1, 140-2)를 설치하여, 에어백(142-1, 142-2)의 돌출부만을 서셉터(22-1, 22-2)의 하단부면에 맞닿게 하여 서셉터를 구동한다.
또한, 서셉터의 제작 조건이나 서셉터 하단부의 형상 조건 등으로, 에어백을 서셉터 하단부와 반송실 바닥부에 함께 갖는 구조도 취할 수 있다.
이상 본 발명을 각종 실시 형태에 의해 설명했지만, 본 발명은 이들 실시 형태로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 범위내에 있어서 각종 변형이 가능한 것은 물론이다.
예를 들어, 도1, 도10, 도11 및 도14에 기재된 진공 장치에 있어서는 단일의 스퍼터실이 도시되어 있지만, 도7에 도시한 바와 같이 다른 종류의 성막을 행하는 복수개의 스퍼터실을 갖는 진공 장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있음은 물론이다. 이 경우에는 복수개의 스퍼터실에 대하여 공통의 반송실을 형성하고, 디스크 기판을 외부로부터 이 반송실내로 반입하고, 이 디스크 기판을 수평면 내에서 회전시키는 반송 기구에 의해 각 스퍼터실로 반송하여 성막하고, 성막된 디스크 기판을 다시 반송실을 거쳐서 진공 장치 외부로 취출하도록 하면 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 진공 장치용 구동 기구는 고압 기체에 의해 동작시켜 전체를 소형화할 수 있으므로, 구동 기구 전체를 진공 장치 내부에 설치하는 것이 가능하다. 따라서, 특별한 진공 시일을 위한 수단 혹은 기구를 필요로 하지 않으며, 또한 진공 장치내에 윤활유 성분 등의 불순물이 혼입될 우려도 없다.
또, 상기 본 발명의 실시예의 설명은 마그네트론 스퍼터 장치에 대하여 행하였지만, 본 발명은 스퍼터 장치에 한하지 않고 CVD 장치 혹은 증착 장치와 같은 성막 장치, CDE 혹은 RIE 등의 엣칭 장치와 같은 진공 장치에도 적용할 수 있다.

Claims (21)

  1. 진공 장치의 기밀 용기 내에 고정 설치되는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진공 장치용 구동 기구는 또한 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단을 구비하고, 이 수단에 의해 상기 에어백 내의 기체를 배기함으로써, 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출한 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  3. 제2항에 있어서, 상기 에어백은 탄성체 재료에 의해 구성되고, 상기 기체 배기 수단에 의해 그 내부의 기체가 배기되었을 때, 상기 에어백 자체의 탄성력에 의해 수납 용기 내에 후퇴 수납되는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  4. 제2항에 있어서, 상기 에어백에는 상기 기체 배기 수단에 의해 그 내부의 기체가 배기되었을 때, 상기 에어백을 탄성력에 의해 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납시키는 탄성체 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 배기하는 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어백 수납 용기의 상면에 상기 개방 단부를 폐색하도록 배치된 에어백 보강 부재와, 이 에어백 보강 부재를 내부에 수납하여 에어백 보강 부재의 상하 방향의 이동을 안내하는 동시에, 그 이동 범위를 일정한 범위로 제한하도록 상기 에어백 수납 용기의 상면에 고정된 스톱퍼를 또한 구비한 것을 특징으로 하는 진공 장치용 구동 기구.
  8. 내부에 기밀 공간이 형성된 진공 용기와, 이 진공 용기 내에 배치된 진공 장치용 구동 기구로 구성되고, 이 진공 장치용 구동 기구는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 피처리 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  9. 내부에 피처리 물체 반송용의 기밀 공간이 형성되는 반송실과, 이 반송실을 구성하는 격벽에 형성된 처리실 개구부를 거쳐서 연결되는 기밀 공간에 의해 구성되는 처리실과, 상기 반송실을 구성하는 격벽의 다른 부분에 형성된 반송실 개구부와, 상기 반송실 내에 설치되어 피처리 물체를 반송하기 위한 서셉터를 상기 반송실 개구부와 상기 처리실 개구부 사이에서 반송하는 반송 기구와, 이 반송 기구에 설치되어 상기 처리실 개구부 혹은 상기 반송실 개구부를 기밀하게 개폐하도록 상기 서셉터를 구동하는 진공 장치용 구동 기구를 구비하고, 이 진공 장치용 구동 기구는 일단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출시키고, 이로써 상기 서셉터를 가압하여 상기 처리실 개구부 혹은 상기 반송실 개구부를 기밀하게 폐색하도록 구성한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 반송실의 외부에는 외부 반송 기구가 설치되어 있고, 이 외부 반송 기구에는 수직 회전축 주위로 회전하는 수평 아암과, 이 수평 아암의 단부에 설치된 상기 반송실 개구부를 기밀하게 개폐하는 진공 덮개를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 처리실은 상기 반송실에 연결된 한 개 또는 복수개의 스퍼터실이고, 상기 피처리 물체는 디스크 기판인 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  12. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공 장치용 구동 기구는 또한 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단을 구비하고, 이 수단에 의해 상기 에어백 내의 기체를 배기함으로써, 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출한 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  13. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 배기하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  15. 내부에 기밀 방전 공간이 형성된 스퍼터실과, 이 스퍼터실 내에 자계를 인가하도록 상기 스퍼터실의 상방에 배치된 자계 발생 장치와, 이 자계 발생 장치에 의한 자계가 인가되도록 상기 스퍼터실 내측 상부에 배치된 타겟과, 상기 스퍼터실의 바닥부를 구성하는 격벽에 형성된 개구부를 거쳐서 연결되는 동시에, 상기 스퍼터실의 바닥부로부터 횡방향으로 연장된 기밀 공간을 형성하는 반송실과, 이 반송실의 상기 스퍼터실의 바닥부로부터 횡방향으로 연장된 기밀 공간의 천장 부분에 형성된 반송실 개구부와, 상기 반송실 내에 설치되어 스퍼터막을 형성하기 위한 디스크 기판을 적재하기 위한 서셉터를 상기 반송실 개구부와 상기 스퍼터실 개구부 사이에서 교대로 반송하는 내부 디스크 반송 기구와, 상기 반송실 개구부에 끼워 맞춰서 이 개구부를 기밀하게 폐색하는 동시에, 하면에 상기 디스크 기판을 착탈 가능하게 보유 지지하는 복수의 진공 덮개와, 이들 진공 덮개를 상기 반송실 개구부와 상기 반송실로부터 이격된 위치에 배치된 디스크 기판 적재 테이블 사이에서 교대로 반송하는 외부 디스크 반송 기구와, 상기 서셉터 바닥부에 설치된 진공 장치용 구동 기구를 구비하고, 이 진공 장치용 구동 기구는 상기 서셉터 바닥부에 고정 설치되고 하단부가 개방된 에어백 수납 용기와, 이 수납 용기 내에 수납된 에어백과, 이 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단으로 구성되고, 이 고압 기체 공급 수단에 의해 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급함으로써, 상기 에어백의 일부가 상기 에어백 수납 용기의 개방 하단부로부터 돌출하여 상기 반송실 바닥면에 접촉 가압되고, 이로써 상기 서셉터를 그 상면이 상기 반송실 개구부에 접촉하여 이 개구부를 기밀하게 폐색하도록 구성한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 서셉터 상부에는 상기 디스크 기판을 상기 서셉터 상면으로부터 상승시키는 제2 진공 장치용 구동 기구가 설치되어, 상기 서셉터가 상기 반송실 개구부 혹은 상기 스퍼터실 개구부에 가압될 때, 상기 외부 디스크 반송 기구의 진공 덮개에 설치한 디스크 척킹 기구에 상기 디스크 기판을 삽입시키거나, 혹은 상기 스퍼터실 내의 센터 마스크에 상기 디스크 기판을 가압시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 진공 장치용 구동 기구는 또한 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단을 구비하고, 이 수단에 의해 상기 에어백 내의 기체를 배기함으로써, 상기 에어백 수납 용기의 개방 단부로부터 돌출한 에어백의 일부를 상기 에어백 수납 용기 내에 후퇴 수납하고, 이로써 상기 진공 용기 내에 있어서 대상 물체를 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 에어백 내에 고압 기체를 공급하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 에어백 내의 기체를 배기하는 수단은 상기 에어백 수납 용기를 관통하여 형성되는 관통구를 거쳐서 기체를 배기하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  20. 내면이 다각형의 공간을 형성하고, 다각형의 복수의 변에 대응하는 내벽에 개구가 형성된 디스크 반송실과, 이 디스크 반송실의 내부 중심부에 수직 방향으로 연장 배치된 중공의 회전축과, 이 회전축 주위에 배치되어 상기 회전축의 회전과 동시에 회전하는 프레임 부재와, 이 프레임 부재의 외주면에 고정 설치된 복수개의 에어백 구동 기구와, 이들 에어백 구동 기구에 고압 기체를 공급하거나 혹은 이들로부터 배기를 행하기 위해 상기 중공의 회전축 내부를 거쳐서 상기 에어백 구동 기구에 각각 연결된 복수개의 파이프와, 상기 복수개의 에어백 구동 기구의 각각으로 구동되어 상기 디스크 반송실 내벽에 형성된 개구를 폐색하도록 설치된 복수개의 서셉터와, 상기 디스크 반송실의 외측에 상기 개구를 거쳐서 연통하도록 설치된 복수개의 스퍼터실과, 마찬가지로 상기 디스크 반송실의 외측에 설치되어 상기 개구를 거쳐서 디스크를 상기 디스크 반송실 내로 반입하거나 혹은 상기 디스크 반송실 외측으로 반출하는 로드 로크 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 복수개의 스퍼터실은 각각 다른 재료의 타겟을 구비하고, 상기 디스크 표면에 다른 종류의 막을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
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