CN115196166B - 一种晶圆测试用转运装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆测试用转运装置，具体包括：存储箱，该存储箱具有空腔结构，以及设置在所述存储箱底部的运输车，所述运输车顶部与存储箱底部固定连接，所述存储箱一侧开设有放置口，所述存储箱内部设置有放置装置；转动台，该转动台具有电子控制结构，以及设置在所述转动台上的转动支架，所述转动支架一端与转动台的转动部固定连接，所述转动支架远离转动台的一端固定连接有调节装置，所述调节装置一端固定连接有夹持机构；所述放置装置包括：放置套筒，该放置套筒具有筒状结构，本发明涉及晶圆转运技术领域。该一种晶圆测试用转运装置，方便对晶圆进行单独存放，避免晶圆在转运的过程中由于堆积导致的挤压损坏，方便保护晶圆。

Description

一种晶圆测试用转运装置
技术领域
本发明涉及晶圆转运技术领域，具体为一种晶圆测试用转运装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。目前使用的晶圆转运装置在存放晶圆时通常采用多片晶圆堆积存放，转运过程中容易造成晶圆挤压损伤，并且堆积的晶圆在拿取时也不太方便。
发明内容
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆测试用转运装置，具体包括：
存储箱，该存储箱具有空腔结构，以及设置在所述存储箱底部的运输车，所述运输车顶部与存储箱底部固定连接，所述存储箱一侧开设有放置口，所述存储箱内部设置有放置装置；
转动台，该转动台具有电子控制结构，以及设置在所述转动台上的转动支架，所述转动支架一端与转动台的转动部固定连接，所述转动支架远离转动台的一端固定连接有调节装置，所述调节装置一端固定连接有夹持机构；
所述放置装置包括：
放置套筒，该放置套筒具有筒状结构，以及设置在所述放置套筒一侧的滑口，所述滑口一侧固定连接有导向板，所述导向板侧面开设有导向滑槽；
放置座，该放置座具有圆形结构，以及开设在所述放置座内部的气腔，所述放置座设置在导向滑槽内部并与导向滑槽内壁滑动连接，所述气腔顶部连通有支撑气囊；
滑动气道，该滑动气道具有柱形内壁结构，以及设置在所述滑动气道内部的挤压活塞，所述滑动气道一端与气腔连通，所述挤压活塞一端贯穿放置座并与放置套筒内壁固定连接，所述放置套筒外侧固定连接有伸缩推杆。
设置有放置装置，使用时通过转动台和转动支架带动夹持机构对晶圆夹持，同时通过伸缩推杆将放置座从放置套筒内部推出，设置有多组放置座，可通过夹持机构将晶圆放置到单独的放置座内部，方便对晶圆进行单独存放，避免晶圆在转运的过程中由于堆积导致的挤压损坏，方便保护晶圆，并且设置有支撑气囊，当放置座向放置套筒外部移动时，挤压活塞在放置套筒的拉动下在滑动气道内部滑动，挤压活塞挤压滑动气道内部的气体，气体经过气腔进入支撑气囊内部，当放置座从放置套筒中伸出时，支撑气囊完全撑开，即可通过夹持机构将晶圆放置在支撑气囊上，然后通过伸缩推杆带动放置座收入放置套筒内部，同时支撑气囊收缩，即可将晶圆收入放置座内部，使得取方时晶圆可通过支撑气囊被顶在放置座外部，方便夹持机构进行夹持，取放操作比较方便。
优选的，所述放置套筒设置在存储箱内部并与存储箱内壁固定连接，所述滑口正对放置口，所述导向板通过放置口延伸至存储箱外部。
优选的，所述伸缩推杆一端贯穿放置套筒与放置套筒内部的放置座固定连接，所述挤压活塞与放置座之间设置有密封套。
优选的，所述放置座一侧开设有连通气道，所述连通气道一端与气腔内部连通，所述连通气道靠近气腔的一端内壁滑动连接有堵头，所述堵头位于连通气道内部的一端固定连接有拉紧弹簧，所述拉紧弹簧远离堵头的一端与连通气道内壁固定连接，设置有连通气道和堵头，当放置座向放置套筒内部移动时，挤压活塞带动支撑气囊内部的气体通过气腔进入滑动气道内部，当支撑气囊内部的气体不足时，在挤压活塞的抽动下，气腔内部的气压降低，外部气体即可通过连通气道将堵头推开，对气腔内部进行补气，方便在气腔和滑动气道内部的气体不足时可通过连通气道自动进行补气，方便保证支撑气囊能够将晶圆顶起，并且可通过人工对连通气道内部充气的方式向气腔内部充气，方便自由调节气腔内部的气压，调节适应性较好。
优选的，所述堵头一侧设置为锥形，所述堵头侧面与连通气道之间设置哟密封垫圈，所述连通气道远离气腔的一端延伸至放置座外部。
优选的，所述调节装置包括固定圈，所述固定圈内部设置有内圈，所述内圈侧面开设有环形槽，所述固定圈侧面贯穿并螺纹连接有螺纹推杆，所述螺纹推杆一端延伸至环形槽内部并转动连接有与环形槽内壁相适配的弧形压块，所述内圈内壁固定连接有电动伸缩杆，设置有调节装置，使用时通过调节装置，调节装置内部设置有固定圈和内圈，可通过松动螺纹推杆，使弧形压块与环形槽内壁之间的压紧力减小，内圈即可在固定圈内部转动，从而调节电动伸缩杆的角度，可通过调节电动伸缩杆的角度带动夹持机构转动，方便对夹持机构的角度进行调节，使得长时间使用之后夹持机构发生偏移时可进行适应性调节，并且内圈可从固定圈内部取出，方便对电动伸缩杆和夹持机构进行拆卸维护。
优选的，所述固定圈一侧与转动支架侧面固定连接，所述电动伸缩杆的活动端与夹持机构固定连接。
优选的，所述螺纹推杆设置有多组并且均匀分布在固定圈上，所述弧形压块与环形槽内壁之间设置有摩擦垫。
优选的，所述夹持机构包括支撑杆，所述支撑杆一端固定连接有夹爪，所述支撑杆远离夹爪的一端固定连接有转动座，所述转动座靠近支撑杆的一侧顶部和底部均转动连接有盖板，夹持机构内部设置有盖板，当不需要使用夹爪时，可转动盖板，将盖板覆盖在夹爪两侧，使得夹爪能够收纳到盖板内部，避免运输车在带动内部的晶圆转移时夹爪被误触损坏，方便在转移晶圆的过程中对夹爪进行保护。
优选的，所述转动座远离支撑杆的一侧与电动伸缩杆固定连接，所述盖板内部设置有与夹爪相适配的凹槽。
本发明提供了一种晶圆测试用转运装置。具备以下有益效果：
1.该一种晶圆测试用转运装置，设置有放置装置，使用时通过转动台和转动支架带动夹持机构对晶圆夹持，同时通过伸缩推杆将放置座从放置套筒内部推出，设置有多组放置座，可通过夹持机构将晶圆放置到单独的放置座内部，方便对晶圆进行单独存放，避免晶圆在转运的过程中由于堆积导致的挤压损坏，方便保护晶圆。
2.该一种晶圆测试用转运装置，设置有支撑气囊，当放置座向放置套筒外部移动时，挤压活塞在放置套筒的拉动下在滑动气道内部滑动，挤压活塞挤压滑动气道内部的气体，气体经过气腔进入支撑气囊内部，当放置座从放置套筒中伸出时，支撑气囊完全撑开，即可通过夹持机构将晶圆放置在支撑气囊上，然后通过伸缩推杆带动放置座收入放置套筒内部，同时支撑气囊收缩，即可将晶圆收入放置座内部，使得取方时晶圆可通过支撑气囊被顶在放置座外部，方便夹持机构进行夹持，取放操作比较方便。
3.该一种晶圆测试用转运装置，设置有连通气道和堵头，当放置座向放置套筒内部移动时，挤压活塞带动支撑气囊内部的气体通过气腔进入滑动气道内部，当支撑气囊内部的气体不足时，在挤压活塞的抽动下，气腔内部的气压降低，外部气体即可通过连通气道将堵头推开，对气腔内部进行补气，方便在气腔和滑动气道内部的气体不足时可通过连通气道自动进行补气，方便保证支撑气囊能够将晶圆顶起，并且可通过人工对连通气道内部充气的方式向气腔内部充气，方便自由调节气腔内部的气压，调节适应性较好。
4.该一种晶圆测试用转运装置，设置有调节装置，使用时通过调节装置，调节装置内部设置有固定圈和内圈，可通过松动螺纹推杆，使弧形压块与环形槽内壁之间的压紧力减小，内圈即可在固定圈内部转动，从而调节电动伸缩杆的角度，可通过调节电动伸缩杆的角度带动夹持机构转动，方便对夹持机构的角度进行调节，使得长时间使用之后夹持机构发生偏移时可进行适应性调节，并且内圈可从固定圈内部取出，方便对电动伸缩杆和夹持机构进行拆卸维护。
5.该一种晶圆测试用转运装置，夹持机构内部设置有盖板，当不需要使用夹爪时，可转动盖板，将盖板覆盖在夹爪两侧，使得夹爪能够收纳到盖板内部，避免运输车在带动内部的晶圆转移时夹爪被误触损坏，方便在转移晶圆的过程中对夹爪进行保护。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明放置装置结构示意图；
图3为本发明放置座内部结构示意图；
图4为本发明A部放大结构示意图；
图5为本发明调节装置结构示意图；
图6为本发明夹持机构结构示意图。
图中：1、存储箱；2、运输车；3、放置口；4、转动台；5、转动支架；6、调节装置；61、固定圈；62、内圈；63、环形槽；64、螺纹推杆；65、弧形压块；66、电动伸缩杆；7、夹持机构；71、支撑杆；72、夹爪；73、转动座；74、盖板；8、放置装置；81、放置套筒；82、滑口；83、导向板；84、导向滑槽；85、放置座；851、连通气道；852、堵头；853、拉紧弹簧；86、气腔；87、支撑气囊；88、滑动气道；89、挤压活塞；80、伸缩推杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
请参阅图1-图3，本发明提供一种技术方案：一种晶圆测试用转运装置，具体包括：
存储箱1，该存储箱1具有空腔结构，以及设置在存储箱1底部的运输车2，运输车2顶部与存储箱1底部固定连接，存储箱1一侧开设有放置口3，存储箱1内部设置有放置装置8；
转动台4，该转动台4具有电子控制结构，以及设置在转动台4上的转动支架5，转动支架5一端与转动台4的转动部固定连接，转动支架5远离转动台4的一端固定连接有调节装置6，调节装置6一端固定连接有夹持机构7；
放置装置8包括：
放置套筒81，该放置套筒81具有筒状结构，以及设置在放置套筒81一侧的滑口82，滑口82一侧固定连接有导向板83，导向板83侧面开设有导向滑槽84；
放置座85，该放置座85具有圆形结构，以及开设在放置座85内部的气腔86，放置座85设置在导向滑槽84内部并与导向滑槽84内壁滑动连接，气腔86顶部连通有支撑气囊87；
滑动气道88，该滑动气道88具有柱形内壁结构，以及设置在滑动气道88内部的挤压活塞89，滑动气道88一端与气腔86连通，挤压活塞89一端贯穿放置座85并与放置套筒81内壁固定连接，放置套筒81外侧固定连接有伸缩推杆80。
放置套筒81设置在存储箱1内部并与存储箱1内壁固定连接，滑孔82正对放置口3，导向板83通过放置口3延伸至存储箱1外部。
伸缩推杆80一端贯穿放置套筒81与放置套筒81内部的放置座85固定连接，挤压活塞89与放置座85之间设置有密封套。
设置有放置装置8，使用时通过转动台4和转动支架5带动夹持机构7对晶圆夹持，同时通过伸缩推杆80将放置座85从放置套筒81内部推出，设置有多组放置座85，可通过夹持机构7将晶圆放置到单独的放置座85内部，方便对晶圆进行单独存放，避免晶圆在转运的过程中由于堆积导致的挤压损坏，方便保护晶圆，并且设置有支撑气囊87，当放置座85向放置套筒81外部移动时，挤压活塞89在放置套筒81的拉动下在滑动气道88内部滑动，挤压活塞89挤压滑动气道88内部的气体，气体经过气腔86进入支撑气囊87内部，当放置座85从放置套筒81中伸出时，支撑气囊87完全撑开，即可通过夹持机构7将晶圆放置在支撑气囊87上，然后通过伸缩推杆80带动放置座85收入放置套筒81内部，同时支撑气囊87收缩，即可将晶圆收入放置座85内部，使得取方时晶圆可通过支撑气囊87被顶在放置座85外部，方便夹持机构7进行夹持，取放操作比较方便。
实施例二：
请参阅图1-图4，在实施例一的基础上本发明提供一种技术方案：放置座85一侧开设有连通气道851，连通气道851一端与气腔86内部连通，连通气道851靠近气腔86的一端内壁滑动连接有堵头852，堵头852位于连通气道851内部的一端固定连接有拉紧弹簧853，拉紧弹簧853远离堵头852的一端与连通气道851内壁固定连接，堵头852一侧设置为锥形，堵头852侧面与连通气道851之间设置有密封垫圈，连通气道851远离气腔86的一端延伸至放置座85外部，设置有连通气道851和堵头852，当放置座85向放置套筒81内部移动时，挤压活塞89带动支撑气囊87内部的气体通过气腔86进入滑动气道88内部，当支撑气囊87内部的气体不足时，在挤压活塞89的抽动下，气腔86内部的气压降低，外部气体即可通过连通气道851将堵头852推开，对气腔86内部进行补气，方便在气腔86和滑动气道88内部的气体不足时可通过连通气道851自动进行补气，方便保证支撑气囊87能够将晶圆顶起，并且可通过人工对连通气道851内部充气的方式向气腔86内部充气，方便自由调节气腔86内部的气压，调节适应性较好。
实施例三：
请参阅图1-图5，在实施例一和实施例二的基础上本发明提供一种技术方案：调节装置6包括固定圈61，固定圈61内部设置有内圈62，内圈62侧面开设有环形槽63，固定圈61侧面贯穿并螺纹连接有螺纹推杆64，螺纹推杆64一端延伸至环形槽63内部并转动连接有与环形槽63内壁相适配的弧形压块65，内圈62内壁固定连接有电动伸缩杆66，固定圈61一侧与转动支架5侧面固定连接，电动伸缩杆66的活动端与夹持机构7固定连接，螺纹推杆64设置有多组并且均匀分布在固定圈61上，弧形压块65与环形槽63内壁之间设置有摩擦垫，设置有调节装置6，使用时通过调节装置6，调节装置6内部设置有固定圈61和内圈62，可通过松动螺纹推杆64，使弧形压块65与环形槽63内壁之间的压紧力减小，内圈62即可在固定圈61内部转动，从而调节电动伸缩杆66的角度，可通过调节电动伸缩杆66的角度带动夹持机构7转动，方便对夹持机构7的角度进行调节，使得长时间使用之后夹持机构7发生偏移时可进行适应性调节，并且内圈62可从固定圈61内部取出，方便对电动伸缩杆66和夹持机构7进行拆卸维护。
实施例四：
请参阅图1-图6，在实施例一、实施例二和实施例三的基础上本发明提供一种技术方案：夹持机构7包括支撑杆71，支撑杆71一端固定连接有夹爪72，支撑杆71远离夹爪72的一端固定连接有转动座73，转动座73靠近支撑杆71的一侧顶部和底部均转动连接有盖板74，转动座73远离支撑杆71的一侧与电动伸缩杆66固定连接，盖板74内部设置有与夹爪72相适配的凹槽，夹持机构7内部设置有盖板74，当不需要使用夹爪72时，可转动盖板74，将盖板74覆盖在夹爪72两侧，使得夹爪72能够收纳到盖板74内部，避免运输车2在带动内部的晶圆转移时夹爪72被误触损坏，方便在转移晶圆的过程中对夹爪72进行保护。
显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

Claims (10)

1.一种晶圆测试用转运装置，具体包括：
存储箱(1)，该存储箱(1)具有空腔结构，以及设置在所述存储箱(1)底部的运输车(2)，所述运输车(2)顶部与存储箱(1)底部固定连接，所述存储箱(1)一侧开设有放置口(3)，所述存储箱(1)内部设置有放置装置(8)；
转动台(4)，该转动台(4)具有电子控制结构，以及设置在所述转动台(4)上的转动支架(5)，所述转动支架(5)一端与转动台(4)的转动部固定连接，所述转动支架(5)远离转动台(4)的一端固定连接有调节装置(6)，所述调节装置(6)一端固定连接有夹持机构(7)；
该晶圆测试用转运装置的特征在于：所述放置装置(8)包括：
放置套筒(81)，该放置套筒(81)具有筒状结构，以及设置在所述放置套筒(81)一侧的滑口(82)，所述滑口(82)一侧固定连接有导向板(83)，所述导向板(83)侧面开设有导向滑槽(84)；
放置座(85)，该放置座(85)具有圆形结构，以及开设在所述放置座(85)内部的气腔(86)，所述放置座(85)设置在导向滑槽(84)内部并与导向滑槽(84)内壁滑动连接，所述气腔(86)顶部连通有支撑气囊(87)；
滑动气道(88)，该滑动气道(88)具有柱形内壁结构，以及设置在所述滑动气道(88)内部的挤压活塞(89)，所述滑动气道(88)一端与气腔(86)连通，所述挤压活塞(89)一端贯穿放置座(85)并与放置套筒(81)内壁固定连接，所述放置套筒(81)外侧固定连接有伸缩推杆(80)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述放置套筒(81)设置在存储箱(1)内部并与存储箱(1)内壁固定连接，所述滑口(82)正对放置口(3)，所述导向板(83)通过放置口(3)延伸至存储箱(1)外部。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述伸缩推杆(80)一端贯穿放置套筒(81)与放置套筒(81)内部的放置座(85)固定连接，所述挤压活塞(89)与放置座(85)之间设置有密封套。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述放置座(85)一侧开设有连通气道(851)，所述连通气道(851)一端与气腔(86)内部连通，所述连通气道(851)靠近气腔(86)的一端内壁滑动连接有堵头(852)，所述堵头(852)位于连通气道(851)内部的一端固定连接有拉紧弹簧(853)，所述拉紧弹簧(853)远离堵头(852)的一端与连通气道(851)内壁固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述堵头(852)一侧设置为锥形，所述堵头(852)侧面与连通气道(851)之间设置有密封垫圈，所述连通气道(851)远离气腔(86)的一端延伸至放置座(85)外部。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述调节装置(6)包括固定圈(61)，所述固定圈(61)内部设置有内圈(62)，所述内圈(62)侧面开设有环形槽(63)，所述固定圈(61)侧面贯穿并螺纹连接有螺纹推杆(64)，所述螺纹推杆(64)一端延伸至环形槽(63)内部并转动连接有与环形槽(63)内壁相适配的弧形压块(65)，所述内圈(62)内壁固定连接有电动伸缩杆(66)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述固定圈(61)一侧与转动支架(5)侧面固定连接，所述电动伸缩杆(66)的活动端与夹持机构(7)固定连接。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述螺纹推杆(64)设置有多组并且均匀分布在固定圈(61)上，所述弧形压块(65)与环形槽(63)内壁之间设置有摩擦垫。
9.根据权利要求7所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述夹持机构(7)包括支撑杆(71)，所述支撑杆(71)一端固定连接有夹爪(72)，所述支撑杆(71)远离夹爪(72)的一端固定连接有转动座(73)，所述转动座(73)靠近支撑杆(71)的一侧顶部和底部均转动连接有盖板(74)。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆测试用转运装置，其特征在于：所述转动座(73)远离支撑杆(71)的一侧与电动伸缩杆(66)固定连接，所述盖板(74)内部设置有与夹爪(72)相适配的凹槽。
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