CN215342544U - 一种基于激光传感器的晶圆定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种基于激光传感器的晶圆定位装置，涉及定位装置技术领域。该装置包括升降设备，升降设备的一侧装配有支撑板，支撑板的一侧装配有激光设备，升降设备的上表面装配有晶匣，晶匣的内部放置有晶圆。该晶圆定位装置在使用时，通过旋转转动杆，使得转动杆外表面套接的第一锥齿轮转动，从而使得与其啮合的第二锥齿轮带动连接杆转动，使得连接杆两侧的双向螺纹杆进行转动，进而使两组U形板移动，使得定位块卡接在晶匣内部的定位槽中，使得晶匣不会在固定座的上表面移动，使晶圆出现从晶圆匣中滑出损坏。

Description

一种基于激光传感器的晶圆定位装置

技术领域

本实用新型涉及B技术领域，具体为一种基于激光传感器的晶圆定位装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

现有对晶圆通常采用激光设备对晶圆进行检测，在进行检测时，目前通常将装有多组晶圆的晶圆匣放置在升降平台上，然后使用激光设备对晶圆进行检测，由于升降平台上未对晶圆匣进行定位，导致在对晶圆进行输送时，晶圆匣容易出现晃动和倾倒，使晶圆出现从晶圆匣中滑出损坏，且晶圆的尺寸存在差异放置晶圆的晶圆匣尺寸随之会存在差异，因此需要对不同尺寸晶圆匣进行定位，以使得晶匣在移动过程中不会移位，进而影响检测结果，针对上述情况，我们提出一种基于激光传感器的晶圆定位装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种基于激光传感器的晶圆定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种基于激光传感器的晶圆定位装置，包括：

升降设备，所述升降设备的一侧装配有支撑板，所述支撑板的一侧装配有激光设备，所述升降设备的内部滑动连接有固定座，所述固定座的上表面装配有晶匣，所述晶匣的内部放置有晶圆；

定位机构，所述定位机构安装在固定座的内部，所述定位机构包括双向螺纹杆，两组所述双向螺纹杆的一侧分别装配有定位块，所述定位块活动卡接在晶匣的内部。

优选的，所述晶匣的内部开设有定位槽，所述定位块活动卡接在定位槽的内部。

优选的，所述固定座的内部固定安装有方形座，所述方形座的两侧固定安装有L形座，所述L形座的内部转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端固定安装有U形板，所述U形板的一侧固定安装有定位块。

优选的，所述固定座的上表面开设有滑动槽，所述U形板的一端滑动连接在滑动槽的内部，所述定位块滑动连接在滑动槽的上表面。

优选的，所述定位机构还包括转动杆、第一锥齿轮、连接杆和第二锥齿轮，所述方形座的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外表面固定套接有第一锥齿轮，所述方形座的内部转动连接有连接杆，所述连接杆的外表面固定套接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮之间相啮合。

优选的，所述连接杆的两端均固定安装有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的一端通过方形座螺纹连接在L形座的内部。

优选的，所述方形座的内部固定安装有固定板，所述转动杆的一端通过固定板转动连接在方形座的内部。

本实用新型公开了一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其具备的有益效果如下：

1、该晶圆定位装置在使用时，通过旋转转动杆，使得转动杆外表面套接的第一锥齿轮转动，从而使得与其啮合的第二锥齿轮带动连接杆进行转动，从而使得连接杆两侧安装的双向螺纹杆进行转动，使得螺纹连接在双向螺纹杆外表面的两组U形板同时向两侧或者同时向中间移动，进而使得定位块卡接在晶匣内部的定位槽中，使得在对晶匣进行上下移动时，晶匣不会在固定座的上表面移动，使晶圆出现从晶圆匣中滑出损坏。

2、该晶圆定位装置在使用时，通过定位机构的作用，方便对不同尺寸大小的晶匣进行定位，适用性较好，使得晶匣内部的晶圆的中心点与激光设备位于同一轴心处，减少在晶匣移动过程中容易出现位置偏移的问题，进而影响激光设备对晶匣内部多组晶圆的检测。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型固定座结构示意图；

图3为本实用新型定位块结构示意图；

图4为本实用新型固定座内部结构示意图；

图5为本实用新型定位机构示意图。

图中：1、升降设备；2、支撑板；3、激光设备；4、晶匣；5、晶圆；6、固定座；7、定位槽；8、方形座；801、固定板；9、滑动槽；10、L形座；11、U形板；12、定位块；13、定位机构；131、转动杆；132、第一锥齿轮；133、连接杆；134、第二锥齿轮；135、双向螺纹杆。

具体实施方式

本实用新型实施例公开一种基于激光传感器的晶圆定位装置，如图1-5所示，包括：

根据附图1-2所示，升降设备1，升降设备1的一侧装配有支撑板2，支撑板2的一侧装配有激光设备3，升降设备1的内部滑动连接有固定座6，固定座6的上表面装配有晶匣4，晶匣4的内部放置有晶圆5，通过将多组晶圆5放置在晶匣4的内部，再通过升降设备1使得晶匣4上下移动，从而激光设备3能对晶匣4内部的多组晶圆5进行检测。

根据附图3-4所示，固定座6的内部固定安装有方形座8，方形座8的两侧固定安装有L形座10，L形座10的内部转动连接有双向螺纹杆135，双向螺纹杆135的一端固定安装有U形板11，U形板11的一侧固定安装有定位块12，晶匣4的内部开设有定位槽7，定位块12活动卡接在定位槽7的内部，固定座6的上表面开设有滑动槽9，U形板11的一端滑动连接在滑动槽9的内部，定位块12滑动连接在滑动槽9的上表面，通过定位块12与晶匣4内部的定位槽7的作用，使得定位机构13能对不同大小尺寸的晶匣4进行定位固定，从而使得晶匣4在移动过程中位置不会偏移。

根据附图5所示，定位机构13，定位机构13安装在固定座6的内部，定位机构13包括双向螺纹杆135，两组双向螺纹杆135的一侧分别装配有定位块12，定位块12活动卡接在晶匣4的内部，定位机构13还包括转动杆131、第一锥齿轮132、连接杆133和第二锥齿轮134，方形座8的内部转动连接有转动杆131，转动杆131的外表面固定套接有第一锥齿轮132，方形座8的内部转动连接有连接杆133，连接杆133的外表面固定套接有第二锥齿轮134，第二锥齿轮134与第一锥齿轮132之间相啮合，通过两组锥齿轮的作用，带动双向螺纹杆135转动，双向螺纹杆135表面的螺纹相反，使得在转动过程中带动定位块12同时向两侧或者同时向中间移动。

根据附图5所示，连接杆133的两端均固定安装有双向螺纹杆135，双向螺纹杆135的一端通过方形座8螺纹连接在L形座10的内部，方形座8的内部固定安装有固定板801，转动杆131的一端通过固定板801转动连接在方形座8的内部，转动杆131的整体位于方形座8的内部，固定座6在上下移动时，不会使转动杆131与升降设备1的内侧壁阻挡。

工作原理：

该晶圆5定位装置在使用时，首先将多组晶圆5放置在晶匣4的内部，然后将晶匣4放置在升降设备1上表面装配的固定座6的上表面，然后启动升降设备1，使得固定座6完全移动至升降设备1的上端，此时固定座6内部的方形座8与转动杆131的一端露出。

进一步的，旋转转动杆131，使得转动杆131外表面套接的第一锥齿轮132转动，从而使得与其啮合的第二锥齿轮134带动连接杆133进行转动，从而使得连接杆133两侧安装的双向螺纹杆135进行转动，使得螺纹连接在双向螺纹杆135外表面的两组U形板11同时向两侧移动，进而使得U形板11一侧安装的定位块12卡接在晶匣4内部的定位槽7中。

进一步，启动升降设备1，使得升降设备1带动固定座6上下移动，进而使得晶匣4随之进行上下移动，且同时激光设备3进行运作，使得激光设备3对晶匣4内部放置的多组晶圆5进行检测。

最后，当检测完成后，再次旋转转动杆131，使得第一锥齿轮132与第二锥齿轮134之间啮合，进而使得双向螺纹杆135进行转动，使得螺纹连接在双向螺纹杆135外表面的两组U形板11同时向中间移动，进而使得U形板11一侧安装的定位块12从晶匣4内部的定位槽7中移出，使得晶匣4处于活动状态，方便将晶匣4从升降设备1上取走。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于，包括：

升降设备(1)，所述升降设备(1)的一侧装配有支撑板(2)，所述支撑板(2)的一侧装配有激光设备(3)，所述升降设备(1)的内部滑动连接有固定座(6)，所述固定座(6)的上表面装配有晶匣(4)，所述晶匣(4)的内部放置有晶圆(5)；

定位机构(13)，所述定位机构(13)安装在固定座(6)的内部，所述定位机构(13)包括双向螺纹杆(135)，两组所述双向螺纹杆(135)的一侧分别装配有定位块(12)，所述定位块(12)活动卡接在晶匣(4)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述晶匣(4)的内部开设有定位槽(7)，所述定位块(12)活动卡接在定位槽(7)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述固定座(6)的内部固定安装有方形座(8)，所述方形座(8)的两侧固定安装有L形座(10)，所述L形座(10)的内部转动连接有双向螺纹杆(135)，所述双向螺纹杆(135)的一端固定安装有U形板(11)，所述U形板(11)的一侧固定安装有定位块(12)。

4.根据权利要求3所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述固定座(6)的上表面开设有滑动槽(9)，所述U形板(11)的一端滑动连接在滑动槽(9)的内部，所述定位块(12)滑动连接在滑动槽(9)的上表面。

5.根据权利要求3所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述定位机构(13)还包括转动杆(131)、第一锥齿轮(132)、连接杆(133)和第二锥齿轮(134)，所述方形座(8)的内部转动连接有转动杆(131)，所述转动杆(131)的外表面固定套接有第一锥齿轮(132)，所述方形座(8)的内部转动连接有连接杆(133)，所述连接杆(133)的外表面固定套接有第二锥齿轮(134)，所述第二锥齿轮(134)与第一锥齿轮(132)之间相啮合。

6.根据权利要求5所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述连接杆(133)的两端均固定安装有双向螺纹杆(135)，所述双向螺纹杆(135)的一端通过方形座(8)螺纹连接在L形座(10)的内部。

7.根据权利要求6所述的一种基于激光传感器的晶圆定位装置，其特征在于：所述方形座(8)的内部固定安装有固定板(801)，所述转动杆(131)的一端通过固定板(801)转动连接在方形座(8)的内部。

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