CN219892159U - 一种晶圆自动抓取结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆转运技术领域，尤其涉及一种晶圆自动抓取结构，包括底板和支板，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；输送机构，其固定安装在底板上；移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构；负压机，与推动机构固定连接；收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。本实用新型提供的晶圆自动抓取结构不仅可以对对晶圆进行抓取，而且可以将晶圆移动到指定位置进行收集，同时提供了缓冲结构，避免抓取时晶圆损坏，操作简单，实用性强。

Description

一种晶圆自动抓取结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆转运技术领域，尤其涉及一种晶圆自动抓取结构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

现有的晶圆自动抓取结构虽然能够对晶圆进行抓取，但是还存在一些问题，第一，目前的抓取结构不方便将晶圆抓取到指定位置以进行统一存储，第二，目前的抓取结构未提供缓冲，在抓取时容易造成晶圆损坏，故需要一种晶圆自动抓取结构以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种晶圆自动抓取结构，旨在解决以下问题：现有的晶圆自动抓取结构不方便将晶圆抓取到指定位置且未提供缓冲。

本实用新型实施例是这样实现的，一种晶圆自动抓取结构，包括：底板和支板，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；输送机构，其固定安装在底板上，用于对晶圆进行输送；移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构，移动机构用于带动推动机构移动；负压机，与推动机构固定连接，推动机构用于带动负压机上升或下降，负压机用于对晶圆进行吸附；收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。

优选地，所述输送机构包括：固定板，其固定安装在底板上，两侧所述固定板上转动安装有输送辊，输送辊一端固定连接有安装在固定板上的第一动力件；输送带，其设置在输送辊上，输送带可在输送辊的转动下带动晶圆移动。

优选地，所述移动机构包括：第二动力件，其固定安装在顶板一侧，所述第二动力件输出轴固定连接第一齿轮，第一齿轮输出轴固定连接有第二齿轮；丝杆，其两端和顶板所开设凹槽转动连接且和第二齿轮转轴固定连接，第二齿轮用于带动丝杆转动；螺纹块，其螺纹套设在丝杆上，推动机构和螺纹块固定连接，螺纹块可在丝杆的转动下带动推动机构移动；滑槽，其固定设置在凹槽内，滑槽内滑动设置有安装在螺纹块上的滑轮。

优选地，所述推动机构包括：支撑箱，与移动机构动力输出端固定连接，所述支撑箱内固定设置有第三动力件，第三动力件输出轴固定连接有主动锥齿轮；螺纹柱，其两端和支撑箱内壁转动连接，螺纹柱一侧固定连接有和主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮；限转柱，其两端和支撑箱内壁固定连接，限转柱上套设有和螺纹柱螺纹连接的螺纹板，螺纹板可在螺纹柱的转动下沿着限转柱移动；拉杆，其一端设置在支撑箱内且和螺纹板固定连接，另一端设置在支撑箱外且固定连接有缓冲组件，负压机和缓冲组件固定连接。

优选地，所述缓冲组件包括：连板，与拉杆固定连接，所述连板上固定设置有套筒，套筒设置有多个且滑动设置有套杆，负压机和套杆固定连接；缓冲簧，其两端分别和套筒及负压机固定连接，用于对负压机提供缓冲。

本实用新型提供的晶圆自动抓取结构不仅可以对对晶圆进行抓取，而且可以将晶圆移动到指定位置进行收集，同时提供了缓冲结构，避免抓取时晶圆损坏，操作简单，实用性强。

附图说明

图1为晶圆自动抓取结构结构示意图。

图2为晶圆自动抓取结构结构的推动机构示意图。

图3为晶圆自动抓取结构结构的缓冲组件示意图。

附图中：1-底板，2-支板，3-顶板，4-输送机构，5-移动机构，6-推动机构，7-负压机，8-收集箱，9-控制面板，41-固定板，42-输送辊，43-第一动力件，44-输送带，51-第二动力件，52-第一齿轮，53-第二齿轮，54-丝杆，55-螺纹块，56-滑槽，57-滑轮，61-支撑箱，62-第三动力件，63-主动锥齿轮，64-螺纹柱，65-从动锥齿轮，66-限转柱，67-螺纹板，68-拉杆，69-缓冲组件，691-连板，692-套筒，693-套杆，694-缓冲簧。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

请参阅图1，本实用新型实施例提供的一种晶圆自动抓取结构，所述晶圆自动抓取结构包括：

底板1和支板2，所述支板2设置有两个且一端和底板1固定连接，支板2远离底板1的一端固定连接有顶板3，顶板3开设有凹槽；输送机构4，其固定安装在底板1上，用于对晶圆进行输送；移动机构5，其安装在顶板3上，所述移动机构5动力输出端固定连接有推动机构6，移动机构5用于带动推动机构6移动；负压机7，与推动机构6固定连接，推动机构6用于带动负压机7上升或下降，负压机7用于对晶圆进行吸附；收集箱8，其固定安装在一侧支板2上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板2上安装有控制面板9，控制面板9用于控制输送机构4、移动机构5以及推动机构6的开闭。

在使用该晶圆自动抓取结构时，晶圆可在输送机构4上进行输送，可通过控制面板9开启移动机构5，通过移动机构5带动推动机构6以及负压机7移动到晶圆将要移动的轨迹上，当晶圆快要经过负压机7时，通过控制面板9开启推动机构6，推动机构6即可带动负压机7接触到晶圆，开启负压机7，负压机7即可对晶圆进行吸附，吸附后，反向开启推动机构6，推动机构6即可带动晶圆向上移动，反向开启移动机构5，移动机构5即可带动负压机7移动到收集箱8的上侧，随后通过负压机7将晶圆放到收集箱8内进行收集即可。

如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述输送机构4包括：固定板41，其固定安装在底板1上，两侧所述固定板41上转动安装有输送辊42，输送辊42一端固定连接有安装在固定板41上的第一动力件43；输送带44，其设置在输送辊42上，输送带44可在输送辊42的转动下带动晶圆移动。

晶圆在输送时，开启第一动力件43，第一动力件43具体为电机，第一动力件43输出轴带动输送辊42在固定板41上转动，输送辊42转动即可带动输送带44对晶圆进行输送。

如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述移动机构5包括：第二动力件51，其固定安装在顶板3一侧，所述第二动力件51输出轴固定连接第一齿轮52，第一齿轮52输出轴固定连接有第二齿轮53；丝杆54，其两端和顶板3所开设凹槽转动连接且和第二齿轮53转轴固定连接，第二齿轮53用于带动丝杆54转动；螺纹块55，其螺纹套设在丝杆54上，推动机构6和螺纹块55固定连接，螺纹块55可在丝杆54的转动下带动推动机构6移动；滑槽56，其固定设置在凹槽内，滑槽56内滑动设置有安装在螺纹块55上的滑轮57。

在对晶圆进行移动时，开启第二动力件51，第二动力件51具体为电机，第二动力件51输出轴带动第一齿轮52转动，第一齿轮52转动带动第二齿轮53转动，第二齿轮53转动带动丝杆54转动，丝杆54转动即可使得螺纹块55带动滑轮57沿着滑槽56向左或向右移动，螺纹块55移动即可带动与其连接的推动机构6以及负压机7移动，负压机7即可带动晶圆移动，从而方便将晶圆移动到收集箱8内进行收集。

如图2所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述推动机构6包括：支撑箱61，与移动机构5动力输出端固定连接，所述支撑箱61内固定设置有第三动力件62，第三动力件62输出轴固定连接有主动锥齿轮63；螺纹柱64，其两端和支撑箱61内壁转动连接，螺纹柱64一侧固定连接有和主动锥齿轮63啮合的从动锥齿轮65；限转柱66，其两端和支撑箱61内壁固定连接，限转柱66上套设有和螺纹柱64螺纹连接的螺纹板67，螺纹板67可在螺纹柱64的转动下沿着限转柱66移动；拉杆68，其一端设置在支撑箱61内且和螺纹板67固定连接，另一端设置在支撑箱61外且固定连接有缓冲组件69，负压机7和缓冲组件69固定连接。

在对晶圆进行吸附时，开启第三动力件62，第三动力件62具体为电机，第三动力件62输出轴带动主动锥齿轮63转动，主动锥齿轮63转动带动从动锥齿轮65以及螺纹柱64转动，螺纹柱64转动即可使得螺纹板67以及拉杆68沿着限转柱66向下移动，拉杆68向下移动即可通过缓冲组件69带动负压机7向下移动，负压机7接触到晶圆后，开启负压机7即可对晶圆进行吸附，缓冲机构69可对晶圆起到缓冲作用，避免晶圆受到较大冲击力而损坏。

如图3所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述缓冲组件69包括：连板691，与拉杆68固定连接，所述连板691上固定设置有套筒692，套筒692设置有多个且滑动设置有套杆693，负压机7和套杆693固定连接；缓冲簧694，其两端分别和套筒692及负压机7固定连接，用于对负压机7提供缓冲。

当负压机7接触到晶圆后，若拉杆68继续向下移动，拉杆68可带动连板691以及套筒692沿着套杆693向下移动并将缓冲簧694压缩，从而可实现对晶圆的缓冲，避免晶圆受到较大冲击力而损坏。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆自动抓取结构，包括底板和支板，其特征在于，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；

输送机构，其固定安装在底板上，用于对晶圆进行输送；

移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构，移动机构用于带动推动机构移动；

负压机，与推动机构固定连接，推动机构用于带动负压机上升或下降，负压机用于对晶圆进行吸附；

收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述输送机构包括：

固定板，其固定安装在底板上，两侧所述固定板上转动安装有输送辊，输送辊一端固定连接有安装在固定板上的第一动力件；

输送带，其设置在输送辊上，输送带可在输送辊的转动下带动晶圆移动。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述移动机构包括：

第二动力件，其固定安装在顶板一侧，所述第二动力件输出轴固定连接第一齿轮，第一齿轮输出轴固定连接有第二齿轮；

丝杆，其两端和顶板所开设凹槽转动连接且和第二齿轮转轴固定连接，第二齿轮用于带动丝杆转动；

螺纹块，其螺纹套设在丝杆上，推动机构和螺纹块固定连接，螺纹块可在丝杆的转动下带动推动机构移动；

滑槽，其固定设置在凹槽内，滑槽内滑动设置有安装在螺纹块上的滑轮。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述推动机构包括：

支撑箱，与移动机构动力输出端固定连接，所述支撑箱内固定设置有第三动力件，第三动力件输出轴固定连接有主动锥齿轮；

螺纹柱，其两端和支撑箱内壁转动连接，螺纹柱一侧固定连接有和主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮；

限转柱，其两端和支撑箱内壁固定连接，限转柱上套设有和螺纹柱螺纹连接的螺纹板，螺纹板可在螺纹柱的转动下沿着限转柱移动；

拉杆，其一端设置在支撑箱内且和螺纹板固定连接，另一端设置在支撑箱外且固定连接有缓冲组件，负压机和缓冲组件固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述缓冲组件包括：

连板，与拉杆固定连接，所述连板上固定设置有套筒，套筒设置有多个且滑动设置有套杆，负压机和套杆固定连接；

缓冲簧，其两端分别和套筒及负压机固定连接，用于对负压机提供缓冲。