CN118366905B - 硅片生产用移动装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅片生产用移动装置，涉及硅片移动设备技术领域，包括承载桌体和控制装置，还包括第一动力组件、硅片花篮、支撑杆、弧形齿板、连接轴、转动块、扭转弹簧、复位螺杆、复位螺套、挡块、转动齿轮、限位板、硅片移动机构和输送机构。通过复位螺杆与复位螺套间的螺纹传动配合，使得两侧的复位螺套相互靠近，从而使得两侧复位螺套上的挡块相互靠近，从而对硅片进行限位，进而避免了硅片花篮在围绕支撑底板转动时，硅片花篮内的硅片被甩出损坏。

Description

硅片生产用移动装置

技术领域

本发明涉及硅片移动设备技术领域，尤其涉及硅片生产用移动装置。

背景技术

硅片，也称为硅晶圆或晶圆，是现代半导体制造中不可或缺的基础材料。这种薄而透明的圆片由高纯度的硅制成，其制造过程涉及从自然界提取硅并经过精密的纯化和晶体生长技术。硅片的质量直接影响到最终电子产品的性能，包括计算速度、能耗和耐用度。在应用方面，硅片广泛应用于集成电路的制造，这些电路是现代电子设备如计算机、智能手机、平板电脑及各类智能穿戴设备的核心部分。除了电子行业，硅片也用于太阳能板制造，转换阳光为电能，推动可再生能源的发展。硅片的制造和使用展示了人类对自然界材料的深刻理解和创新应用的能力，是现代科技发展的重要基石。

硅片在生产的过程中有很多的移动的需要，如需要将硅片从硅片花篮中取出，目前将硅片从硅片花篮中取出多依赖于人工夹取，这不仅效率低下，还容易因操作不当导致硅片损伤，影响最终产品的质量与产量，虽然目前有将硅片花篮放置在旋转的转盘上，再由机械手进行夹取，这种方式虽然提高了硅片的夹取移动效率，但是花篮在旋转时，由于没有相应对硅片进行限位的机构，这就使得硅片易从花篮中甩出，造成硅片损坏，因此急需改进。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种硅片生产用移动装置，旨在解决上述技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

硅片生产用移动装置，包括承载桌体和控制装置，所述控制装置固定设置于承载桌体上，还包括：

第一动力组件，设置于所述承载桌体上，并与所述控制装置电连接；

支撑底板，设置于所述第一动力组件上；

硅片花篮，具有多组，且多组硅片花篮呈圆周均匀分布在所述支撑底板上，所述硅片花篮包括两个对称设置的花篮支板，且两个花篮支板相互远离的表面开设有放置槽，两个所述花篮支板相对侧的表面上开设有多个等间距的硅片存放槽；

支撑杆，具有多组，且多组支撑杆呈圆周均匀分布在所述承载桌体上；

弧形齿板，具有多个，且各个弧形齿板分别固定设置于各组支撑杆上，且各个弧形齿板端部之间所形成的空间为复位空间；

连接轴，转动设置于两个花篮支板上，且连接轴的端部伸入至所述放置槽内；

转动块，转动设置于所述放置槽内，与所述连接轴的端部固定连接；

扭转弹簧，位于所述放置槽内，且扭转弹簧的两端分别与放置槽的表面和转动块固定连接；

复位螺杆，固定设置于所述转动块上；

复位螺套，具有两个，与所述复位螺杆螺纹传动连接，且两个复位螺套内的螺纹旋向相反；

挡块，与所述复位螺套固定连接，且复位螺套上对称设置有两个挡块，所述复位螺套上的两个挡块分布在相邻的花篮支板上；

转动齿轮，固定设置于远离支撑底板中心的复位螺杆上，并与所述弧形齿板啮合；

限位板，固定设置于靠近支撑底板中心的复位螺杆上；

硅片移动机构，设置于所述承载桌体上，用于移动硅片存放槽内的硅片；

输送机构，设置于所述承载桌体上，并与所述硅片移动机构配合将硅片移动至下一工序。

优选地，所述第一动力组件包括：

第一电机，固定设置于所述承载桌体上，与所述控制装置电连接；

动力盘，固定设置于所述第一电机的输出端上；

凸台，固定设置于所述动力盘远离承载桌体的表面；

拨动杆，固定设置于所述动力盘远离承载桌体的表面；

第一转轴，转动设置于所述承载桌体上，且第一转轴靠近支撑底板的一端与所述支撑底板固定连接；

间歇转板，固定设置于所述第一转轴远离支撑底板的一端；

拨动槽，具有多个，且多个拨动槽均匀的开设在所述间歇转板的表面，所述拨动槽与所述拨动杆配合。

优选地，所述硅片移动机构包括：

第二动力组件，设置于所述承载桌体上，并与所述控制装置电连接；

稳固件，固定设置于所述承载桌体上；

转动盘，固定设置于所述第二动力组件的输出端上；

硅片吸取部，具有多个，且多个硅片吸取部均匀的分布在所述转动盘上，且所述硅片吸取部与所述控制装置电连接。

优选地，所述第二动力组件包括：

第二电机，固定设置于所述承载桌体上，并与所述控制装置电连接；

第二转轴，转动设置于所述承载桌体上，所述第二转轴靠近第二电机的一端与所述第二电机的输出端固定连接。

优选地，所述稳固件包括：

稳固套筒，套设于所述第二转轴上，并与所述第二转轴转动连接；

稳固支板，具有两个，且两个所述稳固支板对称设置于所述承载桌体上，且所述稳固支板的两端分别与承载桌体的稳固套筒固定连接。

优选地，所述硅片吸取部包括：

驱动部，设置于所述转动盘上，并与所述控制装置电连接；

升降部，设置于所述转动盘上，与所述驱动部配合；

转动辅助件，设置于所述转动盘上；

吸附件，设置于所述升降部上，与所述控制装置电连接，用于吸附固定硅片；

防蹭组件，具有两个，且两个防蹭组件对称设置于所述吸附件上，所述防蹭组件与所述控制装置电连接。

优选地，所述驱动部包括：

驱动电机，固定设置于所述转动盘上，并与所述控制装置电连接；

第一齿轮，固定设置于所述驱动电机的输出端上。

优选地，所述升降部包括：

滑动槽，贯穿开设于所述转动盘上；

卡块，位于所述滑动槽内，且所述卡块与所述转动盘固定连接；

第二齿轮，与所述第一齿轮啮合；

升降螺杆，与所述第二齿轮螺纹传动连接，且所述升降螺杆的轴线与所述第二齿轮的轴线重合；

卡槽，开设于所述升降螺杆上，用于通过与卡块间的配合限制升降螺杆转动；

第一距离传感器，设置于所述花篮支板上，与所述控制装置电连接，用于测量下方靠近吸附件的硅片与吸附件间的距离；

第二距离传感器，设置于所述转动盘靠近承载桌体的表面，与所述控制装置电连接，用于测量吸附件与第二距离传感器间的距离。

优选地，所述转动辅助件包括：

第一辅助槽，具有多个，且多个第一辅助槽均匀的开设在所述转动盘上；

挡板，固定设置于所述转动盘上，所述挡板靠近第二齿轮的表面也开设有多个均匀分布的第一辅助槽；

辅助球，滚动设置于所述第一辅助槽内，挡板上的辅助球和转动盘上的辅助球用于限制第二齿轮沿升降螺杆的轴线方向移动。

优选地，所述防蹭组件包括：

防蹭框，固定设置于所述吸附件的表面；

第一电动推杆，固定设置于所述防蹭框内，并与所述控制装置电连接；

滑动块，滑动设置于所述防蹭框内，且滑动块与所述第一电动推杆固定连接；

第二电动推杆，固定设置于所述滑动块靠近承载桌体的表面，并与所述控制装置电连接；

L形板，固定设置于所述第二电动推杆上，用于吸附件吸附硅片前将硅片顶离硅片存放槽的表面。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

在支撑底板间歇性的转动时，使得花篮支板带动与其转动连接的连接轴围绕支撑底板的轴线间歇性的转动，从而使得与连接轴固定连接的复位螺杆围绕支撑底板的轴线间歇性的转动，进而使得与复位螺杆固定连接的转动齿轮围绕支撑底板的轴线间歇性的转动，在转动齿轮围绕支撑底板的轴线转动的过程中，通过转动齿轮与弧形齿板间的啮合，从而使得转动齿轮在围绕支撑底板的轴线转动的同时其自身也在自转，从而使得复位螺杆也自转，通过复位螺杆与复位螺套间的螺纹传动配合，使得两侧的复位螺套相互靠近，从而使得两侧复位螺套上的挡块相互靠近，从而对硅片进行限位，进而避免了硅片花篮在围绕支撑底板转动时，硅片花篮内的硅片被甩出损坏；当支撑底板停止转动时，此时转动齿轮正好位于所述复位空间内，使得转动齿轮与弧形齿板脱离啮合,此时放置槽内的被扭转的扭转弹簧释放弹性势能，使得与扭转弹簧固定连接的转动块反转，进而带动了与转动块固定连接的复位螺杆反转，通过复位螺杆与复位螺套间的螺纹传动配合，从而使得两侧的复位螺套带动两侧复位螺套上的挡块恢复原位，进而撤去对硅片的限位。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1示出了硅片生产用移动装置的斜视立体结构示意图。

图2示出了硅片生产用移动装置的仰视立体结构示意图。

图3示出了硅片生产用移动装置的正视结构示意图。

图4示出了硅片生产用移动装置的右视结构示意图。

图5示出了图4中的A-A剖视图。

图6示出了硅片生产用移动装置的俯视结构示意图。

图7示出了图1中的部分结构示意图。

图8示出了图7的剖视结构示意图。

图9示出了图2中部分结构的爆炸图。

图10示出了硅片移动机构中的部分结构示意图。

图11示出了图10中部分结构的爆炸图。

图12示出了图9中的A处局部结构放大示意图。

图例说明：

1、承载桌体；2、控制装置；3、第一电机；4、动力盘；5、凸台；6、拨动杆；7、第一转轴；8、间歇转板；9、拨动槽；10、支撑底板；11、花篮支板；12、放置槽；13、硅片存放槽；14、支撑杆；15、弧形齿板；16、复位空间；17、连接轴；18、转动块；19、扭转弹簧；20、复位螺杆；21、复位螺套；22、挡块；23、转动齿轮；24、限位板；25、复位槽；26、固定杆；27、矩形块；28、复位弹簧；29、第二电机；30、第二转轴;31、稳固套筒；32、稳固支板；33、转动盘；34、驱动电机；35、第一齿轮；36、滑动槽；37、卡块；38、第二齿轮；39、升降螺杆；40、卡槽；41、第一距离传感器；42、第二距离传感器；43、第一辅助槽；44、挡板；45、辅助球；46、吸附件；47、防蹭框；48、第一电动推杆；49、滑动块；50、第二电动推杆；51、L形板；52、输送支板；53、输送电机；54、输送辊；55、输送带。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1至图12，对本发明硅片生产用移动装置实施例做进一步说明。

硅片生产用移动装置，包括承载桌体1和控制装置2，所述控制装置2固定设置于承载桌体1上，还包括：

第一动力组件，设置于所述承载桌体1上，并与所述控制装置2电连接；

所述第一动力组件包括：

第一电机3，固定设置于所述承载桌体1上，与所述控制装置2电连接；

动力盘4，固定设置于所述第一电机3的输出端上；

凸台5，固定设置于所述动力盘4远离承载桌体1的表面；

拨动杆6，固定设置于所述动力盘4远离承载桌体1的表面；

第一转轴7，转动设置于所述承载桌体1上，且第一转轴7靠近支撑底板10的一端与所述支撑底板10固定连接；

间歇转板8，固定设置于所述第一转轴7远离支撑底板10的一端；

拨动槽9，具有多个，且多个拨动槽9均匀的开设在所述间歇转板8的表面，所述拨动槽9与所述拨动杆6配合。

支撑底板10，设置于所述第一动力组件上；

硅片花篮，具有多组，且多组硅片花篮呈圆周均匀分布在所述支撑底板10上，所述硅片花篮包括两个对称设置的花篮支板11，且两个花篮支板11相互远离的表面开设有放置槽12，两个所述花篮支板11相对侧的表面上开设有多个等间距的硅片存放槽13；

支撑杆14，具有多组，且多组支撑杆14呈圆周均匀分布在所述承载桌体1上；

弧形齿板15，具有多个，且各个弧形齿板15分别固定设置于各组支撑杆14上，且各个弧形齿板15端部之间所形成的空间为复位空间16；

连接轴17，转动设置于两个花篮支板11上，且连接轴17的端部伸入至所述放置槽12内；

转动块18，转动设置于所述放置槽12内，与所述连接轴17的端部固定连接，所述连接轴17的轴线与所述转动块18的轴线重合；

扭转弹簧19，位于所述放置槽12内，且扭转弹簧19的两端分别与放置槽12的表面和转动块18固定连接；

复位螺杆20，固定设置于所述转动块18上，且复位螺杆20的轴线与所述连接轴17的轴线重合；

复位螺套21，具有两个，与所述复位螺杆20螺纹传动连接，且两个复位螺套21内的螺纹旋向相反；

挡块22，与所述复位螺套21固定连接，且复位螺套21上对称设置有两个挡块22，所述复位螺套21上的两个挡块22分布在相邻的花篮支板11上；

转动齿轮23，固定设置于远离支撑底板10中心的复位螺杆20上，并与所述弧形齿板15啮合；

限位板24，固定设置于靠近支撑底板10中心的复位螺杆20上；

需要说明的是，在支撑底板10间歇性的转动时，使得花篮支板11带动与其转动连接的连接轴17围绕支撑底板10的轴线间歇性的转动，从而使得与连接轴17固定连接的复位螺杆20围绕支撑底板10的轴线间歇性的转动，进而使得与复位螺杆20固定连接的转动齿轮23围绕支撑底板10的轴线间歇性的转动，在转动齿轮23围绕支撑底板10的轴线转动的过程中，通过转动齿轮23与弧形齿板15间的啮合，从而使得转动齿轮23在围绕支撑底板10的轴线转动的同时其自身也在自转，从而使得复位螺杆20也自转，通过复位螺杆20与复位螺套21间的螺纹传动配合，使得两侧的复位螺套21相互靠近，从而使得两侧复位螺套21上的挡块22相互靠近，从而对硅片进行限位，进而避免了硅片花篮在围绕支撑底板10转动时，硅片花篮内的硅片被甩出损坏；当支撑底板10停止转动时，此时转动齿轮23正好位于所述复位空间16内，使得转动齿轮23与弧形齿板15脱离啮合,此时放置槽12内的被扭转的扭转弹簧19释放弹性势能，使得与扭转弹簧19固定连接的转动块18反转，进而带动了与转动块18固定连接的复位螺杆20反转，通过复位螺杆20与复位螺套21间的螺纹传动配合，从而使得两侧的复位螺套21带动两侧复位螺套21上的挡块22恢复原位，进而撤去对硅片的限位。

复位辅助件，设置于所述花篮支板11靠近挡块22的表面，且每个花篮支板11上设置有两个复位辅助件；

所述复位辅助件包括：

复位槽25，开设于所述花篮支板11上；

固定杆26，固定设置于所述复位槽25内；

矩形块27，滑动设置于所述复位槽25内，且所述矩形块27与所述固定杆26和固定连接；

复位弹簧28，位于所述复位槽25内，且所述复位弹簧28套设在所述固定杆26上，且所述复位弹簧28的两端分别与复位槽25靠近硅片的表面以及矩形块27固定连接。

本装置通过设置有复位辅助件，在两侧花篮支板11上的挡块22相互靠近的过程中，此时两侧花篮支板11上的矩形块27也在相互靠近，从而对复位弹簧28进行挤压使得复位被压缩，当转动齿轮23与弧形齿板15脱离啮合时，此时复位弹簧28释放其所存储的弹性势能，从而使得两侧花篮支板11上的挡块22相互远离，进而便于两侧花篮支板11上的挡块22复位。

硅片移动机构，设置于所述承载桌体1上，与所述控制装置2电连接，用于移动硅片存放槽13内的硅片；

所述硅片移动机构包括：

第二动力组件，设置于所述承载桌体1上，并与所述控制装置2电连接；

所述第二动力组件包括：

第二电机29，固定设置于所述承载桌体1上，并与所述控制装置2电连接；

第二转轴30，转动设置于所述承载桌体1上，所述第二转轴30靠近第二电机29的一端与所述第二电机29的输出端固定连接。

稳固件，固定设置于所述承载桌体1上；

所述稳固件包括：

稳固套筒31，套设于所述第二转轴30上，并与所述第二转轴30转动连接；

稳固支板32，具有两个，且两个所述稳固支板32对称设置于所述承载桌体1上，且所述稳固支板32的两端分别与承载桌体1的稳固套筒31固定连接。

通过设置有稳固件，在第二转轴30转动时，通过与第二转轴30转动连接稳固套筒31对第二转轴30的稳固作用，使得第二转轴30能够更加平稳的转动。

转动盘33，固定设置于所述第二动力组件的输出端上；

硅片吸取部，具有多个，且多个硅片吸取部均匀的分布在所述转动盘33上，且所述硅片吸取部与所述控制装置2电连接；

需要说明的是，本装置通过设置有多个硅片吸附部，从而使得本装置可对硅片进行多工位的吸附移动工作，相比于目前的硅片移动装置，只能够对硅片进行单工位的移动，本装置多工位对硅片进行吸附移动，从而极大的提高了对硅片移动的效率，从而提高了的硅片的生产速度。

所述硅片吸取部包括：

驱动部，设置于所述转动盘33上，并与所述控制装置2电连接；

所述驱动部包括：

驱动电机34，固定设置于所述转动盘33上，并与所述控制装置2电连接；

第一齿轮35，固定设置于所述驱动电机34的输出端上。

升降部，设置于所述转动盘33上，与所述驱动部配合；

所述升降部包括：

滑动槽36，贯穿开设于所述转动盘33上；

卡块37，位于所述滑动槽36内，且所述卡块37与所述转动盘33固定连接；

第二齿轮38，与所述第一齿轮35啮合；

升降螺杆39，与所述第二齿轮38螺纹传动连接，且所述升降螺杆39的轴线与所述第二齿轮38的轴线重合；

卡槽40，开设于所述升降螺杆39上，用于通过与卡块37间的配合限制升降螺杆39转动；

第一距离传感器41，设置于所述花篮支板11上，与所述控制装置2电连接，用于测量下方靠近吸附件46的硅片与吸附件46间的距离；

第二距离传感器42，设置于所述转动盘33靠近承载桌体1的表面，与所述控制装置2电连接，用于测量吸附件46与第二距离传感器42间的距离。

工作时，第二电机29启动，使得与第二电机29输出端固定连接第二转轴30转动，进而使得与第二转轴30固定连接的转动盘33转动，从而使得设置在转动盘33上的吸附件46围绕第二转轴30转动，直至任意一个吸附件46转动至待移动硅片的正上方，此时第一距离传感器41测量吸附件46下方最近的硅片距离吸附件46的距离，同时第二距离传感器42测量吸附件46与第二距离传感器42件的距离，此时控制装置2控制驱动电机34启动，使得与驱动电机34输出端固定连接的第一齿轮35转动，通过第一齿轮35与第二齿轮38间的啮合，从而带动了第二齿轮38转动，通过第二齿轮38与升降螺杆39间的螺纹传动配合以及卡块37与升降螺杆39上卡槽40间的配合，进而使得升降螺杆39向待移动的硅片的方向移动，直至吸附件46与待吸附的硅片间距离达到预设的距离阈值；

转动辅助件，设置于所述转动盘33上；

所述转动辅助件包括：

第一辅助槽43，具有多个，且多个第一辅助槽43均匀的开设在所述转动盘33上；

挡板44，固定设置于所述转动盘33上，所述挡板44靠近第二齿轮38的表面也开设有多个均匀分布的第一辅助槽43；

辅助球45，滚动设置于所述第一辅助槽43内，挡板44上的辅助球45和转动盘33上的辅助球45用于限制第二齿轮38沿升降螺杆39的轴线方向移动。

吸附件46，设置于所述升降部上，与所述控制装置2电连接，用于吸附固定硅片，吸附件46可选用真空泵；

防蹭组件，具有两个，且两个防蹭组件对称设置于所述吸附件46上，所述防蹭组件与所述控制装置2电连接；

所述防蹭组件包括：

防蹭框47，固定设置于所述吸附件46的表面。

第一电动推杆48，固定设置于所述防蹭框47内，并与所述控制装置2电连接；

滑动块49，滑动设置于所述防蹭框47内，且滑动块49与所述第一电动推杆48固定连接；

第二电动推杆50，固定设置于所述滑动块49靠近承载桌体1的表面，并与所述控制装置2电连接；

L形板51，固定设置于所述第二电动推杆50上，用于吸附件46吸附硅片前将硅片顶离硅片存放槽13的表面。

此时控制装置2控制第一电动推杆48启动，使得与第一电动推杆48固定连接的滑动块49相互远离，进而带动了设置在滑动块49上的第二电动推杆50相互远离，从而使得与第二电动推杆50固定连接的L形板51相互远离，直至硅片两侧的L形板51间的间距大于硅片的直径，而后控制装置2控制第二电动推杆50启动，使得与第二电动推杆50固定连接的L形板51向远离防蹭框47的方向移动，直至L形板51移动至待移动硅片的下方，而后控制装置2控制第一电动推杆48启动，使得与第一电动推杆48固定连接的L形板51相互靠近，直至两个L形板51间的距离大于硅片的直径，控制装置2控制第二电动推杆50启动，使得第二电动推杆50带动L形板51向远离承载桌体1的方向移动，直至L形板51将待移动的硅片托离硅片存放槽13的表面向吸附件46的方向移动，直至待移动的硅片与吸附件46间的距离与预设的吸附距离相等。

通过设置有防蹭组件，在吸附件46对硅片吸附前，通过L形板51将待吸附的硅片托离硅片存放槽13的表面，从而避免了吸附件46带动硅片围绕第二转轴30转动时，硅片与硅片存放槽13的表面发生摩擦，造成硅片的表面缺陷；同时通过设置有防蹭组件，避免了吸附件46开启时，由于待吸附的硅片与吸附件46间的吸附距离过大导致延长了硅片向吸附件46移动的加速时间，使得硅片与吸附件46接触时，硅片的移动速度过大导致硅片被损坏。

输送机构，设置于所述承载桌体1上，与所述控制装置2电连接，并与所述硅片移动机构配合将硅片移动至下一工序；

所述输送机构包括：

输送支板52，具有两个，且两个输送支板52对称设置在所述承载桌体1上，所述输送支板52与所述承载桌体1固定连接；

输送电机53，固定设置于任一输送支板52上，并与所述输送支板52可拆卸式固定连接，所述输送电机53与所述控制装置2电连接；

输送辊54，具有两个，且两个输送辊54转动设置于两个输送支板52之间，靠近输送电机53一侧的输送辊54与所述输送电机53的输出端固定连接；

输送带55，设置于所述输送辊54上，并与所述输送辊54带轮传动配合。

工作时，控制装置2控制输送电机53启动，使得输送电机53带动与其固定连接的输送辊54转动，通过输送辊54与输送带55间的配合，从而将输送带55上分的硅片移动至下一生产工序，从而一定程度上提高硅片的移动效率。

工作原理：工作时，第二电机29启动，使得与第二电机29输出端固定连接第二转轴30转动，进而使得与第二转轴30固定连接的转动盘33转动，从而使得设置在转动盘33上的吸附件46围绕第二转轴30转动，直至任意一个吸附件46转动至待移动硅片的正上方，此时第一距离传感器41测量吸附件46下方最近的硅片距离吸附件46的距离，同时第二距离传感器42测量吸附件46与第二距离传感器42件的距离，此时控制装置2控制驱动电机34启动，使得与驱动电机34输出端固定连接的第一齿轮35转动，通过第一齿轮35与第二齿轮38间的啮合，从而带动了第二齿轮38转动，通过第二齿轮38与升降螺杆39间的螺纹传动配合以及卡块37与升降螺杆39上卡槽40间的配合，进而使得升降螺杆39向待移动的硅片的方向移动，直至吸附件46与待吸附的硅片间距离达到预设的距离阈值；

此时控制装置2控制第一电动推杆48启动，使得与第一电动推杆48固定连接的滑动块49相互远离，进而带动了设置在滑动块49上的第二电动推杆50相互远离，从而使得与第二电动推杆50固定连接的L形板51相互远离，直至硅片两侧的L形板51间的间距大于硅片的直径，而后控制装置2控制第二电动推杆50启动，使得与第二电动推杆50固定连接的L形板51向远离防蹭框47的方向移动，直至L形板51移动至待移动硅片的下方，而后控制装置2控制第一电动推杆48启动，使得与第一电动推杆48固定连接的L形板51相互靠近，直至两个L形板51间的距离大于硅片的直径，控制装置2控制第二电动推杆50启动，使得第二电动推杆50带动L形板51向远离承载桌体1的方向移动，直至L形板51将待移动的硅片托离硅片存放槽13的表面向吸附件46的方向移动，直至待移动的硅片与吸附件46间的距离与预设的吸附距离相等；

而后控制装置2控制吸附件46启动，吸附件46将下方的硅片吸附固定在吸附件46的表面，而后控制装置2控制第二电机29启动，从而带动了与第二电机29输出端固定连接的第二转轴30继续转动，从而使得转动盘33带动硅片吸取部围绕第二转轴30转动，从而将硅片从硅片存放槽13内移出，随着第二转轴30的转动，从而将被吸附的硅片移动至输送带55的上方，控制装置2控制输送带55正上方的驱动电机34启动，通过第一齿轮35和第二齿轮38间的啮合以及第二齿轮38与升降螺杆39间的螺纹传动配合，从而使得与升降螺杆39固定连接的吸附件46将带动被吸附住的硅片向输送带55的方向移动，直至硅片与输送带55间的间距达到相应的距离，控制装置2关闭吸附件46，从而使得被吸附住的硅片落在输送带55上被运送至下一工序，转动盘33上其余吸附件46重复此动作，从而完成了对硅片的移动；

当支撑底板10上的一个硅片花篮内硅片被全部移出后，此时控制装置2控制第二电机29关闭同时控制第一电机3启动，使得与第一电机3输出端固定连接的动力盘4转动，进而使得与动力盘4固定连接的拨动杆6围绕第一电机3输出端的轴线转动，通过拨动杆6和凸台5分别和拨动槽9和间歇转板8的配合，从而使得间歇转板8间歇性的转动，从而使得与间歇转板8固定连接的第一转轴7间歇性的转动，使得与第一转轴7固定连接的支撑底板10间歇性的转动，从而将下一存满硅片的硅片花篮移动至吸附件46的正下方，进而便于后续对硅片的移动。

实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.硅片生产用移动装置，包括承载桌体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）固定设置于承载桌体（1）上，其特征在于，还包括：

第一动力组件，设置于所述承载桌体（1）上，并与所述控制装置（2）电连接；

支撑底板（10），设置于所述第一动力组件上；

硅片花篮，具有多组，且多组硅片花篮呈圆周均匀分布在所述支撑底板（10）上，所述硅片花篮包括两个对称设置的花篮支板（11），且两个花篮支板（11）相互远离的表面开设有放置槽（12），两个所述花篮支板（11）相对侧的表面上开设有多个等间距的硅片存放槽（13）；

支撑杆（14），具有多组，且多组支撑杆（14）呈圆周均匀分布在所述承载桌体（1）上；

弧形齿板（15），具有多个，且各个弧形齿板（15）分别固定设置于各组支撑杆（14）上，且各个弧形齿板（15）端部之间所形成的空间为复位空间（16）；

连接轴（17），转动设置于两个花篮支板（11）上，且连接轴（17）的端部伸入至所述放置槽（12）内；

转动块（18），转动设置于所述放置槽（12）内，与所述连接轴（17）的端部固定连接；

扭转弹簧（19），位于所述放置槽（12）内，且扭转弹簧（19）的两端分别与放置槽（12）的表面和转动块（18）固定连接；

复位螺杆（20），固定设置于所述转动块（18）上；

复位螺套（21），具有两个，与所述复位螺杆（20）螺纹传动连接，且两个复位螺套（21）内的螺纹旋向相反；

挡块（22），与所述复位螺套（21）固定连接，且复位螺套（21）上对称设置有两个挡块（22），所述复位螺套（21）上的两个挡块（22）分布在相邻的花篮支板（11）上；

转动齿轮（23），固定设置于远离支撑底板（10）中心的复位螺杆（20）上，并与所述弧形齿板（15）啮合；

限位板（24），固定设置于靠近支撑底板（10）中心的复位螺杆（20）上；

硅片移动机构，设置于所述承载桌体（1）上，用于移动硅片存放槽（13）内的硅片；

输送机构，设置于所述承载桌体（1）上，并与所述硅片移动机构配合将硅片移动至下一工序。

2.根据权利要求1所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第一动力组件包括：

第一电机（3），固定设置于所述承载桌体（1）上，与所述控制装置（2）电连接；

动力盘（4），固定设置于所述第一电机（3）的输出端上；

凸台（5），固定设置于所述动力盘（4）远离承载桌体（1）的表面；

拨动杆（6），固定设置于所述动力盘（4）远离承载桌体（1）的表面；

第一转轴（7），转动设置于所述承载桌体（1）上，且第一转轴（7）靠近支撑底板（10）的一端与所述支撑底板（10）固定连接；

间歇转板（8），固定设置于所述第一转轴（7）远离支撑底板（10）的一端；

拨动槽（9），具有多个，且多个拨动槽（9）均匀的开设在所述间歇转板（8）的表面，所述拨动槽（9）与所述拨动杆（6）配合。

3.根据权利要求2所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片移动机构包括：

第二动力组件，设置于所述承载桌体（1）上，并与所述控制装置（2）电连接；

稳固件，固定设置于所述承载桌体（1）上；

转动盘（33），固定设置于所述第二动力组件的输出端上；

硅片吸取部，具有多个，且多个硅片吸取部均匀的分布在所述转动盘（33）上，且所述硅片吸取部与所述控制装置（2）电连接。

4.根据权利要求3所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第二动力组件包括：

第二电机（29），固定设置于所述承载桌体（1）上，并与所述控制装置（2）电连接；

第二转轴（30），转动设置于所述承载桌体（1）上，所述第二转轴（30）靠近第二电机（29）的一端与所述第二电机（29）的输出端固定连接。

5.根据权利要求4所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述稳固件包括：

稳固套筒（31），套设于所述第二转轴（30）上，并与所述第二转轴（30）转动连接；

稳固支板（32），具有两个，且两个所述稳固支板（32）对称设置于所述承载桌体（1）上，且所述稳固支板（32）的两端分别与承载桌体（1）的稳固套筒（31）固定连接。

6.根据权利要求5所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片吸取部包括：

驱动部，设置于所述转动盘（33）上，并与所述控制装置（2）电连接；

升降部，设置于所述转动盘（33）上，与所述驱动部配合；

转动辅助件，设置于所述转动盘（33）上；

吸附件（46），设置于所述升降部上，与所述控制装置（2）电连接，用于吸附固定硅片；

防蹭组件，具有两个，且两个防蹭组件对称设置于所述吸附件（46）上，所述防蹭组件与所述控制装置（2）电连接。

7.根据权利要求6所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述驱动部包括：

驱动电机（34），固定设置于所述转动盘（33）上，并与所述控制装置（2）电连接；

第一齿轮（35），固定设置于所述驱动电机（34）的输出端上。

8.根据权利要求7所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述升降部包括：

滑动槽（36），贯穿开设于所述转动盘（33）上；

卡块（37），位于所述滑动槽（36）内，且所述卡块（37）与所述转动盘（33）固定连接；

第二齿轮（38），与所述第一齿轮（35）啮合；

升降螺杆（39），与所述第二齿轮（38）螺纹传动连接，且所述升降螺杆（39）的轴线与所述第二齿轮（38）的轴线重合；

卡槽（40），开设于所述升降螺杆（39）上，用于通过与卡块（37）间的配合限制升降螺杆（39）转动；

第一距离传感器（41），设置于所述花篮支板（11）上，与所述控制装置（2）电连接，用于测量下方靠近吸附件（46）的硅片与吸附件（46）间的距离；

第二距离传感器（42），设置于所述转动盘（33）靠近承载桌体（1）的表面，与所述控制装置（2）电连接，用于测量吸附件（46）与第二距离传感器（42）间的距离。

9.根据权利要求8所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述转动辅助件包括：

第一辅助槽（43），具有多个，且多个第一辅助槽（43）均匀的开设在所述转动盘（33）上；

挡板（44），固定设置于所述转动盘（33）上，所述挡板（44）靠近第二齿轮（38）的表面也开设有多个均匀分布的第一辅助槽（43）；

辅助球（45），滚动设置于所述第一辅助槽（43）内，挡板（44）上的辅助球（45）和转动盘（33）上的辅助球（45）用于限制第二齿轮（38）沿升降螺杆（39）的轴线方向移动。

10.根据权利要求9所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述防蹭组件包括：

防蹭框（47），固定设置于所述吸附件（46）的表面；

第一电动推杆（48），固定设置于所述防蹭框（47）内，并与所述控制装置（2）电连接；

滑动块（49），滑动设置于所述防蹭框（47）内，且滑动块（49）与所述第一电动推杆（48）固定连接；

第二电动推杆（50），固定设置于所述滑动块（49）靠近承载桌体（1）的表面，并与所述控制装置（2）电连接；

L形板（51），固定设置于所述第二电动推杆（50）上，用于吸附件（46）吸附硅片前将硅片顶离硅片存放槽（13）的表面。