CN214503403U - 晶圆检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆检测装置，其包括底座，底座上设有显微镜和齿条，底座上滑动连接有移动板，移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，第二齿轮与齿条啮合，移动板上滑动连接有滑动台，丝杆与滑动台螺纹连接，移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，滑动台上设有检测台，检测台上开设有安装槽，安装槽开口向上。本申请具有改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷的效果。

Description

晶圆检测装置

技术领域

本申请涉及晶圆检测的领域，尤其是涉及一种晶圆检测装置。

背景技术

晶圆是用于制作半导体电路的硅晶片，硅晶棒经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，即为晶圆。晶圆可制成不同的电路元件结构，通过加工可生产出具有特定电学性能的产品。

半导体工业对晶圆的精度要求较高，因此，为了筛选出残次品，以提高晶圆的质量，需要对晶圆表面的缺陷进行检测。常用的晶圆检测方法有针触法、原子力法、光学法等，由于光学检测法无需与晶圆表面接触，减少了对待测晶圆造成损伤的可能性，且光学法能够实现实时检测，因此使用光学法对晶圆进行缺陷检测在半导体工业中较为常见。

针对上述中的相关技术，发明人认为，由于光学检测法一般使用显微镜对晶圆的表面进行观察探测，而目前生产的晶圆尺寸以8-12英寸为主，受设备的结构限制，显微镜的镜头难以调整到晶圆的指定位置，对晶圆检测造成了不便。

实用新型内容

为了改善显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷，本申请提供一种晶圆检测装置。

本申请提供的一种晶圆检测装置采用如下的技术方案：

一种晶圆检测装置，包括底座，所述底座上设有显微镜和齿条，所述底座上滑动连接有移动板，所述移动板上转动连接有第二齿轮和丝杆，所述第二齿轮与齿条啮合，所述移动板上滑动连接有滑动台，所述丝杆与滑动台螺纹连接，所述移动板的移动方向与滑动台的移动方向垂直，所述滑动台上设有检测台，所述检测台上开设有安装槽，所述安装槽开口向上。

通过采用上述技术方案，将晶圆放置于安装槽内，当第二齿轮转动时，由于第二齿轮与齿条啮合，第二齿轮沿着齿条移动，带动移动板移动，从而带动晶圆移动；转动丝杆时，由于滑动台滑动连接于移动板上，且滑动台与丝杆螺纹连接，滑动台沿丝杆长度方向移动，带动检测台移动，从而带动晶圆移动；由于移动板与滑动台的移动方向垂直，使得晶圆的位置能够得到两个方向的调整，便于将晶圆的待测位置与显微镜的镜头对准，改善了显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷。

可选的，所述移动板上设有第一电机，所述第一电机的输出轴上同轴设有第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮啮合。

通过采用上述技术方案，启动第一电机时，第一电机的输出轴带动第一齿轮转动，第二齿轮随之转动，从而带动移动板沿齿条长度方向移动，第一电机和第一齿轮的设置使得晶圆位置的调整便于控制，提高了晶圆检测的便利性。

可选的，所述移动板上设有第二电机，所述第二电机的输出轴与丝杆的一端连接。

通过采用上述技术方案，第二电机的设置使得丝杆无需人工转动，便于控制丝杆对晶圆的位置进行调整，使得晶圆的检测更加方便。

可选的，所述底座上开设有两条滑移槽，所述滑移槽开口向上，所述移动板的底部设有滑移条，所述滑移条滑动连接于滑移槽内，所述滑移条和滑移槽的截面均为燕尾形。

通过采用上述技术方案，在移动板的底部设置两根滑移条，使得移动板得到平衡的支撑，提高移动板滑动时的稳定性，滑移条和滑移槽截面的燕尾形设置，减少了移动板与底座脱离的可能性。

可选的，所述滑移槽的一端与底座的边缘齐平。

通过采用上述技术方案，滑移槽的端部与底座边缘齐平，便于将移动板安装于底座上。

可选的，所述安装槽的横截面为圆形。

通过采用上述技术方案，安装槽截面的圆形设置与晶圆的形状相适应，使得晶圆在安装槽内更加稳定。

可选的，所述检测台上开设有连接槽，所述连接槽开口向上，所述连接槽与安装槽连通，所述连接槽的深度大于安装槽的深度。

通过采用上述技术方案，连接槽的开设便于通过连接槽从安装槽的一侧将晶圆取出。

可选的，所述滑动台上设有底板，所述底板上设有抽风机，所述底板上方设有顶板，所述顶板通过侧板与底板连接，所述检测台设置于顶板上，所述检测台上开设有连接孔，所述连接孔为竖直方向的通孔，所述连接孔与安装槽连通，所述连接孔内设有第一连接管，所述第一连接管的内部与安装槽连通，所述第一连接管贯穿顶板，所述第一连接管与抽风机连接。

通过采用上述技术方案，将晶圆放置于安装槽中，启动抽风机，抽风机使得安装槽上方形成负压，从而使晶圆吸附在安装槽的槽底，抽风机的设置将晶圆固定在安装槽中，减少了检测过程中晶圆在安装槽中的位置发生偏移的可能性。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.将晶圆放置于安装槽内，当第二齿轮转动时，由于第二齿轮与齿条啮合，第二齿轮沿着齿条移动，带动移动板移动，从而带动晶圆移动；转动丝杆时，由于滑动台滑动连接于移动板上，且滑动台与丝杆螺纹连接，滑动台沿丝杆长度方向移动，带动检测台移动，从而带动晶圆移动；由于移动板与滑动台的移动方向垂直，使得晶圆的位置能够得到两个方向的调整，便于将晶圆的待测位置与显微镜的镜头对准，改善了显微镜镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷；

2.连接槽的开设便于通过连接槽从安装槽的一侧将晶圆取出；

3.将晶圆放置于安装槽中，启动抽风机，抽风机使得安装槽上方形成负压，从而使晶圆吸附在安装槽的槽底，抽风机的设置将晶圆固定在安装槽中，减少了检测过程中晶圆在安装槽中的位置发生偏移的可能性。

附图说明

图1是本申请实施例晶圆检测装置的结构示意图。

图2是本申请实施例中用于体现转动板的结构示意图。

图3是图2中A处的放大图。

图4是本申请实施例中用于体现第一连接管和第二连接管的结构示意图。

图5是本申请实施例中用于体现第二连接管和抽风机连接关系的结构示意图。

附图标记说明：1、底座；101、滑移槽；2、显微镜；3、移动板；31、滑移条；32、滑动槽；4、齿条；5、第一安装板；6、第一电机；7、转动板；8、第一齿轮；9、第二齿轮；10、滑动台；11、滑动条；12、转动座；13、丝杆；14、第二安装板；15、第二电机；16、支撑架；161、底板；162、顶板；163、侧板；17、检测台；171、安装槽；172、连接槽；173、连接孔；18、弹性层；19、第一连接管；20、第二连接管；21、抽风机。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种晶圆检测装置。参照图1，晶圆检测装置包括底座1，底座1宽度方向的一侧固定连接有显微镜2，显微镜2的镜头位于底座1上方。底座1上设有移动板3，移动板3的长度方向与底座1的长度方向一致。

参照图1，底座1上开设有两条滑移槽101，滑移槽101位于底座1长度方向的两侧。滑移槽101开口向上，滑移槽101的长度方向与底座1的宽度方向一致，滑移槽101背离显微镜2一端的边缘与底座1的侧壁齐平。移动板3的底部设有两根滑移条31，滑移条31与移动板3一体成型，滑移条31的位置与滑移槽101的位置对应，滑移条31滑动连接于滑移槽101中，使得移动板3滑动连接于底座1上。滑移槽101的纵截面和滑移条31的纵截面均为燕尾形。

参照图2和图3，移动板3的长度小于底座1的长度，底座1长度方向一侧的边缘与移动板3的边缘齐平，底座1长度方向的另一侧固定连接有齿条4，齿条4的长度方向与底座1的宽度方向一致，齿条4的齿牙设置于齿条4的顶部。移动板3靠近齿条4的一侧固定连接有第一安装板5，第一安装板5上固定连接有第一电机6。移动板3靠近第一电机6的一侧固定连接有转动板7，转动板7竖直设置于移动板3短边的边缘。第一电机6的输出轴贯穿转动板7，并与转动板7转动连接，第一电机6输出轴贯穿转动板7的一端同轴固定连接有第一齿轮8。转动板7上转动连接有第二齿轮9，第一齿轮8与第二齿轮9位于转动板7的同侧，第一齿轮8与第二齿轮9啮合，第二齿轮9与齿条4啮合。

参照图1和图2，移动板3上开设有两条滑动槽32，滑动槽32位于移动板3宽度方向的两侧。滑动槽32开口向上，滑动槽32的长度方向与移动板3的长度方向一致。移动板3上设有滑动台10，滑动台10的长度方向与移动板3的长度方向一致。滑动台10底部设有两根滑动条11，滑动条11与滑动台10一体成型，滑动条11的位置与滑动槽32的位置对应，滑动条11滑动连接于滑动槽32中，使得滑动台10与移动板3滑动配合。

参照图1和图2，移动板3长度方向的两侧固定连接有转动座12，移动板3上设有丝杆13，丝杆13的长度方向与移动板3的长度方向一致，丝杆13的两端转动连接于转动座12上。移动板3长度方向背离第一电机6的一侧固定连接有第二安装板14，第二安装板14上固定连接有第二电机15，第二电机15的输出轴与丝杆13的一端同轴固定连接。丝杆13贯穿滑动台10，且丝杆13与滑动台10螺纹连接。

参照图1，滑动台10上固定连接有支撑架16，支撑架16包括底板161、顶板162和两块侧板163。底板161固定连接于滑动台10的顶部，底板161的长度方向与滑动台10的长度方向一致，底板161的横截面大小与滑动台10的横截面大小相等。两块侧板163竖直设置于底板161的顶部，侧板163位于底板161长度方向的两侧，侧板163与底板161一体成型。顶板162水平设置于两块侧板163的顶部，顶板162的长度方向与底板161的长度方向一致，顶板162的横截面大小与底板161的横截面大小相等，顶板162和侧板163一体成型。顶板162、侧板163和底板161组成一个方环形的支撑架16，且围绕出一个沿滑动台10宽度方向的通槽。

参照图2和图4，顶板162上固定连接有检测台17，检测台17的顶部低于显微镜2镜头的底部。检测台17的横截面为正方形，检测台17的宽度大小与顶板162的宽度大小相等。检测台17上开设有安装槽171和连接槽172，安装槽171开口向上，安装槽171的横截面为圆形。连接槽172位于安装槽171的一侧，连接槽172开口向上，连接槽172的横截面为圆形。安装槽171的横截面大于连接槽172的横截面，安装槽171的深度小于连接槽172的深度，安装槽171与连接槽172连通。

参照图4，检测台17上开设有连接孔173，连接孔173为竖直方向的通孔，连接孔173与安装槽171连通，连接孔173的轴线与安装槽171的轴线重合。安装槽171的侧壁和底部，除与连接孔173和连接槽172连通处外，均铺设有弹性层18。弹性层18通过胶水固定连接于安装槽171内，本实施例中，弹性层18的材料为橡胶。

参照图4和图5，连接孔173内设有第一连接管19，第一连接管19的外壁与连接孔173的侧壁固定连接，第一连接管19的内部与安装槽171连通。第一连接管19的一端与安装槽171的槽底齐平，第一连接管19的另一端贯穿顶板162。第一连接管19贯穿顶板162的一端固定连接有第二连接管20，第二连接管20为弯管，第一连接管19的内部与第二连接管20的内部连通。第一连接管19的内径大小与第二连接管20两端的内径大小相等，第一连接管19的外径大小与第二连接管20两端的外径大小相等。底板161上通过螺栓固定有抽风机21（图中未示出螺栓），第二连接管20背离第一连接管19的一端与抽风机21固定连接。

本申请实施例一种晶圆检测装置的实施原理为：需要对晶圆的表面缺陷进行检测时，将晶圆放置于安装槽171内，启动抽风机21，抽风机21通过第一连接管19和第二连接管20与安装槽171连通，检测台17上形成负压，使得晶圆吸附在安装槽171的槽底，从而将待测晶圆固定。

完成晶圆的安装后，可通过显微镜2对晶圆表面进行观察。当需要观察晶圆的指定位置时，启动第一电机6，第一电机6的输出轴带动第一齿轮8转动，带动第二齿轮9转动，使得第二齿轮9带动移动板3沿齿条4长度方向移动，从而带动晶圆在底座1宽度方向移动。

完成晶圆在底座1宽度方向位置的调整后，关闭第一电机6，启动第二电机15。第二电机15的输出轴带动丝杆13转动，带动滑动台10沿移动板3长度方向滑动，从而带动晶圆沿底座1长度方向移动，完成晶圆在底座1长度方向位置的调整后，关闭第二电机15，使用显微镜2对晶圆表面继续进行观察检测。

第一电机6、第一齿轮8、第二齿轮9、齿条4、第二电机15和丝杆13的设置，使得晶圆在底座1上的位置便于调整，便于显微镜2对晶圆的指定位置进行检测，改善了显微镜2镜头难以调整，导致晶圆检测不便的缺陷。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上设有显微镜(2)和齿条(4)，所述底座(1)上滑动连接有移动板(3)，所述移动板(3)上转动连接有第二齿轮(9)和丝杆(13)，所述第二齿轮(9)与齿条(4)啮合，所述移动板(3)上滑动连接有滑动台(10)，所述丝杆(13)与滑动台(10)螺纹连接，所述移动板(3)的移动方向与滑动台(10)的移动方向垂直，所述滑动台(10)上设有检测台(17)，所述检测台(17)上开设有安装槽(171)，所述安装槽(171)开口向上。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述移动板(3)上设有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出轴上同轴设有第一齿轮(8)，所述第一齿轮(8)与第二齿轮(9)啮合。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述移动板(3)上设有第二电机(15)，所述第二电机(15)的输出轴与丝杆(13)的一端连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述底座(1)上开设有两条滑移槽(101)，所述滑移槽(101)开口向上，所述移动板(3)的底部设有滑移条(31)，所述滑移条(31)滑动连接于滑移槽(101)内，所述滑移条(31)和滑移槽(101)的截面均为燕尾形。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述滑移槽(101)的一端与底座(1)的边缘齐平。

6.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述安装槽(171)的横截面为圆形。

7.根据权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述检测台(17)上开设有连接槽(172)，所述连接槽(172)开口向上，所述连接槽(172)与安装槽(171)连通，所述连接槽(172)的深度大于安装槽(171)的深度。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述滑动台(10)上设有底板(161)，所述底板(161)上设有抽风机(21)，所述底板(161)上方设有顶板(162)，所述顶板(162)通过侧板(163)与底板(161)连接，所述检测台(17)设置于顶板(162)上，所述检测台(17)上开设有连接孔(173)，所述连接孔(173)为竖直方向的通孔，所述连接孔(173)与安装槽(171)连通，所述连接孔(173)内设有第一连接管(19)，所述第一连接管(19)的内部与安装槽(171)连通，所述第一连接管(19)贯穿顶板(162)，所述第一连接管(19)与抽风机(21)连接。

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