CN219142623U - 一种晶圆表面缺陷激光检测仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆，所述气动伸缩杆和支撑杆的底端固定连接有承载台，所述承载台的外部设置有摇杆。本实用新型可通过齿轮、上齿条与螺纹柱之间的啮合连接，实现镭射光发射器的左右移动，且通过气缸、气动伸缩杆、支撑杆、伸缩柱、承载台与暗槽之间的相互连接配合使用的情况下，实现镭射光发射器的上下移动，便于调整镭射光发射器与晶圆之间的距离和位置，提高了晶圆表面缺陷的检测效率。

Description

一种晶圆表面缺陷激光检测仪

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，具体为一种晶圆表面缺陷激光检测仪。

背景技术

众所周知，晶圆片表面缺陷检测装置是一种用于生产加工后的晶圆片，对其表面进行瑕疵检测，检测晶圆上是否存在微尘粒子、刮痕、残留物等问题，以便于生产出合格的晶圆片的辅助装置，其在晶圆片检测的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆片表面缺陷检测装置包括检测台、镭射光发射器和侦测器。

目前的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，如公告号CN215493249U的专利所述包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有固定块，所述固定块顶部固定安装有工作台，所述工作台顶部两侧固定安装有第一放置台，所述工作台中间位置两侧滑动设置有与第一放置台相匹配的第二放置台，所述第一放置台与第二放置台顶部均设置有防护垫。本实用新型通过转动第二旋转柄带动齿轮转动，从而带动了齿条上的第一L型移动杆与第二L型移动杆向两侧打开，这样同时实现了带动了底部镭射光发射器的移动，从而实现了可以左右调节镭射光发射器对晶圆流片顶端进行镭射光束发射的位置，提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换检测位置，降低使用局限性，减少人为因素。

针对上述中的相关技术，申请人认为上述中的技术方案实现了镭射光发射器的左右移动，但是晶圆表面与镭射光发射器之间的距离固定，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，容易检测有误，降低晶圆表面缺陷检测精准度，因此本申请提出可以调节镭射光发射器与晶圆表面之间距离的激光检测仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面缺陷激光检测仪，以解决上述背景技术中提出晶圆表面与镭射光发射器之间的距离固定，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，容易检测有误，降低晶圆表面缺陷检测精准度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板，所述底板顶部的一端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端固定连接有顶板，所述顶板底部的中间位置固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆，所述气动伸缩杆和支撑杆的底端固定连接有承载台，所述承载台的外部设置有摇杆，所述摇杆的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的顶部啮合有上齿条，所述齿轮的底部啮合有螺纹柱，所述上齿条和螺纹柱的一端均固定连接有连接块，所述连接块的底端设置有镭射光发射器，所述底板的顶端固定连接有工作台，所述工作台的上面设置有晶圆，实现对晶圆左右和上下的缺陷检测。

作为本实用新型的一种优选方案，所述工作台的一端设置有把手，所述把手的一端固定连接有双向丝杆，所述工作台的两端均固定连接有固定放置板，所述双向丝杆的外部螺纹连接有两组活动放置板，所述工作台的底部开设有滑槽，所述活动放置板与滑槽之间呈滑动连接，实现对晶圆的压紧夹持。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定放置板和活动放置板均呈L形，所述双向丝杆两端的螺纹呈相反状，能够实现对两组晶圆的同时压紧。

作为本实用新型的一种优选方案，所述支撑板的内侧壁开设有暗槽，所述承载台的一端与暗槽的内侧呈滑动连接，辅助承载台稳定升降。

作为本实用新型的一种优选方案，所述承载台顶部的两端均固定连接有伸缩柱，所述伸缩柱的伸缩端与顶板的底端固定连接进一步提升承载台升降的稳定性。

作为本实用新型的一种优选方案，所述工作台顶部的两侧均开设有定位槽，所述定位槽内部的底壁固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的顶端固定连接有限位块，所述活动放置板内部的两侧均开设有供应于限位块贯穿的通槽，实现对活动放置板的限制，以防出现滑动的现象。

作为本实用新型的一种优选方案，所述连接块的底部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部螺纹连接有下齿条，所述镭射光发射器的顶端与下齿条的底端固定连接，可实现镭射光发射器的可拆卸连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)通过设置有暗槽、承载台、伸缩柱、支撑杆、气缸、气动伸缩杆、摇杆、齿轮、上齿条以及螺纹柱，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，可通过齿轮、上齿条与螺纹柱之间的啮合连接，实现镭射光发射器的左右移动，且通过气缸、气动伸缩杆、支撑杆、伸缩柱、承载台与暗槽之间的相互连接配合使用的情况下，实现镭射光发射器的上下移动，便于调整镭射光发射器与晶圆之间的距离和位置，提高了晶圆表面缺陷的检测效率；

(2)通过设置有固定放置板、把手、活动放置板、双向丝杆、定位槽、复位弹簧、限位块以及通槽，在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，可通过把手、双向丝杆、固定放置板与活动放置板之间的配合使用，实现对晶圆的夹持固定，且通过定位槽、复位弹簧、限位块与通槽之间的相互配合使用，实现对活动放置板的限位固定，从而保持晶圆在检测过程中的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的整体剖视结构示意图；

图2为本实用新型的承载台内部结构示意图；

图3为本实用新型的镭射光发射器与连接块连接剖视结构示意图；

图4为本实用新型的工作台俯视剖视结构示意图；

图5为本实用新型的活动放置板与工作台连接局部侧视剖视结构示意图。

图中：1、底板；2、固定放置板；3、支撑板；4、暗槽；5、承载台；6、伸缩柱；7、支撑杆；8、气缸；9、顶板；10、气动伸缩杆；11、摇杆；12、把手；13、工作台；14、活动放置板；15、齿轮；16、上齿条；17、下齿条；18、连接块；19、螺纹柱；20、螺纹槽；21、镭射光发射器；22、双向丝杆；23、定位槽；24、复位弹簧；25、限位块；26、通槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆表面缺陷激光检测仪，请参阅图1和图2，包括底板1，底板1顶部的一端固定连接有支撑板3，支撑板3的顶端固定连接有顶板9，顶板9底部的中间位置固定安装有气缸8，气缸8的输出端固定连接有气动伸缩杆10，气动伸缩杆10伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆7，通过启动气缸8，气缸8输出端的气动伸缩杆10向下延伸可带动支撑杆7同步向下移动，气动伸缩杆10和支撑杆7的底端固定连接有承载台5，承载台5顶部的两端均固定连接有伸缩柱6，伸缩柱6的伸缩端与顶板9的底端固定连接，支撑板3的内侧壁开设有暗槽4，承载台5的一端与暗槽4的内侧呈滑动连接，推动承载台5在暗槽4的内侧向下滑动，同时，伸缩柱6随着承载台5的向下移动而进行长度的延伸，辅助承载台5进行稳定升降，便于调整镭射光发射器21与晶圆之间的距离，提高缺陷的检测效果。

请参阅图1、图2和图3，承载台5的外部设置有摇杆11，摇杆11的一端固定连接有齿轮15，转动摇杆11带动齿轮15转动，齿轮15的顶部啮合有上齿条16，齿轮15的底部啮合有螺纹柱19，上齿条16和螺纹柱19的一端均固定连接有连接块18，连接块18的底端设置有镭射光发射器21，齿轮15带动上齿条16和螺纹柱19进行左右移动，便于调整镭射光发射器21的位置，可扩大晶圆的检测范围。连接块18的底部开设有螺纹槽20，螺纹槽20的内部螺纹连接有下齿条17，镭射光发射器21的顶端与下齿条17的底端固定连接，可实现对镭射光发射器21的可拆卸连接。

请参阅图1、图4和图5，底板1的顶端固定连接有工作台13，工作台13的一端设置有把手12，把手12的一端固定连接有双向丝杆22，转动把手12，使得把手12带动双向丝杆22转动，工作台13的两端均固定连接有固定放置板2，双向丝杆22的外部螺纹连接有两组活动放置板14，固定放置板2和活动放置板14均呈L形，将晶圆放置在固定放置板2和活动放置板14的上面，工作台13的底部开设有滑槽，活动放置板14与滑槽之间呈滑动连接，双向丝杆22的转动带动活动放置板14在工作台13底部开设的滑槽内进行左右滑动，双向丝杆22两端的螺纹呈相反状，可使得两组活动放置板14向两端滑动，可实现对晶圆的压紧。工作台13顶部的两侧均开设有定位槽23，定位槽23内部的底壁固定连接有复位弹簧24，复位弹簧24的顶端固定连接有限位块25，活动放置板14内部的两侧均开设有供应于限位块25贯穿的通槽26，通过复位弹簧24压缩弹力复位的情况下可带动限位块25向上活动，使得限位块25从通槽26的内侧弹出，实现对活动放置板14的限制，从而保持晶圆夹持的稳定性。

工作原理：在对晶圆表面进行缺陷检测的时候，先将晶圆放置在固定放置板2和活动放置板14的上面，并转动把手12，使得把手12带动双向丝杆22转动，双向丝杆22的转动带动活动放置板14在工作台13底部开设的滑槽内进行左右滑动，因为双向丝杆22的双向螺纹下，可使得两组活动放置板14向两端滑动，可实现对晶圆的夹持，并通过复位弹簧24压缩弹力复位的情况下可带动限位块25向上活动，使得限位块25从通槽26的内侧弹出，实现对活动放置板14的限制，从而保持晶圆夹持的稳定性，将下齿条17螺旋向上旋入至螺纹槽20的内侧，实现对镭射光发射器21的安装固定，通过镭射光发射器21实现对晶圆的缺陷检测，可通过转动摇杆11带动齿轮15转动，齿轮15带动上齿条16和螺纹柱19进行左右移动，便于调整镭射光发射器21的位置，可扩大晶圆的检测范围，还可通过启动气缸8，气缸8输出端的气动伸缩杆10向下延伸可带动支撑杆7同步向下移动，推动承载台5在暗槽4的内侧向下滑动，同时，伸缩柱6随着承载台5的向下移动而进行长度的延伸，辅助承载台5进行稳定升降，便于调整镭射光发射器21与晶圆之间的距离，提高缺陷的检测效果。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种晶圆表面缺陷激光检测仪，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的一端固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的顶端固定连接有顶板(9)，所述顶板(9)底部的中间位置固定安装有气缸(8)，所述气缸(8)的输出端固定连接有气动伸缩杆(10)，所述气动伸缩杆(10)伸缩端的两侧均固定连接有支撑杆(7)，所述气动伸缩杆(10)和支撑杆(7)的底端固定连接有承载台(5)，所述承载台(5)的外部设置有摇杆(11)，所述摇杆(11)的一端固定连接有齿轮(15)，所述齿轮(15)的顶部啮合有上齿条(16)，所述齿轮(15)的底部啮合有螺纹柱(19)，所述上齿条(16)和螺纹柱(19)的一端均固定连接有连接块(18)，所述连接块(18)的底端设置有镭射光发射器(21)，所述底板(1)的顶端固定连接有工作台(13)，所述工作台(13)的上面设置有晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述工作台(13)的一端设置有把手(12)，所述把手(12)的一端固定连接有双向丝杆(22)，所述工作台(13)的两端均固定连接有固定放置板(2)，所述双向丝杆(22)的外部螺纹连接有两组活动放置板(14)，所述工作台(13)的底部开设有滑槽，所述活动放置板(14)与滑槽之间呈滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述固定放置板(2)和活动放置板(14)均呈L形，所述双向丝杆(22)两端的螺纹呈相反状。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述支撑板(3)的内侧壁开设有暗槽(4)，所述承载台(5)的一端与暗槽(4)的内侧呈滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述承载台(5)顶部的两端均固定连接有伸缩柱(6)，所述伸缩柱(6)的伸缩端与顶板(9)的底端固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述工作台(13)顶部的两侧均开设有定位槽(23)，所述定位槽(23)内部的底壁固定连接有复位弹簧(24)，所述复位弹簧(24)的顶端固定连接有限位块(25)，所述活动放置板(14)内部的两侧均开设有供应于限位块(25)贯穿的通槽(26)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷激光检测仪，其特征在于：所述连接块(18)的底部开设有螺纹槽(20)，所述螺纹槽(20)的内部螺纹连接有下齿条(17)，所述镭射光发射器(21)的顶端与下齿条(17)的底端固定连接。

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