CN116884871A - 晶圆检测定位平台及其使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶圆检测技术领域，且公开了晶圆检测定位平台及其使用方法，包括底座，所述底座顶端的两侧皆设置有立柱，且立柱的顶端连接有安装架，所述安装架可在底座的上方平移，所述安装架的一侧安装有固定组件，且固定组件的一侧设置有上检测头。该晶圆检测定位平台及其使用方法实现了可以将不同大小的晶圆放置在对应的检测槽中，晶圆的固定可以利用负压吸附组件对其达到固定目的，使得晶圆在检测的时候不会发生移动，从而可以在一定程度上保证晶圆检测的正确率，另外通过负压对晶圆进行固定可以在一定程度少减少夹持对晶圆的损伤，也不会存在夹具和晶圆接触地方检测不到的情况，负压固定使得晶圆检测全面。

Description

晶圆检测定位平台及其使用方法
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为晶圆检测定位平台及其使用方法。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
晶圆在首批生产之后需要经过检测才能大批次的生产，一般是通过专业的检测设备，对晶圆的结构进行测量。
现有技术公开号为CN211980579U，提供了一种半导体晶圆检测旋转平台，属于旋转平台技术领域，该半导体晶圆检测旋转平台包括旋转台机构和尺寸调节机构，所述旋转台机构包括支撑底座、平台主体和减速电机，所述支撑底座顶部开设有第二凹槽，所述减速电机安装于第二凹槽内，所述平台主体设置于所述支撑底座上方，且所述平台主体底部固定连接于所述减速电机的输出端，所述尺寸调节机构包括横向调节杆和竖向调节杆，将晶圆放置在平台主体上方，通过减速电机转动，可带动平台主体缓慢转动，通过拨动横向调节杆和竖向调节杆，使得横向调节杆和竖向调节杆对晶圆进行限位，通过第一刻度纹和第二刻度纹实现对晶圆进行精准定位；提高晶圆检测的精准度。
上述的现有技术，虽然通过带动平台转动从而达到旋转晶圆的目的，但是不具备对晶圆进行固定的功能，对于晶圆的固定常用的有夹持方式，但是对晶圆施加压力可能损坏晶圆，另外在对比文件中缺少对上方检测头的安装方式，现有的检测头一般固定安装，无法移动，在对下方晶圆平台放置晶圆时上方的检测头可能会产生阻挡，另外对比文件中的检测平台只能进行旋转，无法达到X轴和Y轴的移动，无法使得被检测的晶圆得到很好的移动。
可见，需要晶圆检测定位平台及其使用方法，解决上述背景技术中所提到的不具备对晶圆进行固定的功能，对于晶圆的固定常用的有夹持方式，但是对晶圆施加压力可能损坏晶圆，另外在对比文件中缺少对上方检测头的安装方式，现有的检测头一般固定安装，无法移动，在对下方晶圆平台放置晶圆时上方的检测头可能会产生阻挡，另外对比文件中的检测平台只能进行旋转，无法达到X轴和Y轴的移动，无法使得被检测的晶圆得到很好的移动问题。
发明内容
本发明的目的在于提供晶圆检测定位平台及其使用方法，以解决上述背景技术中提出不具备对晶圆进行固定的功能，对于晶圆的固定常用的有夹持方式，但是对晶圆施加压力可能损坏晶圆，另外在对比文件中缺少对上方检测头的安装方式，现有的检测头一般固定安装，无法移动，在对下方晶圆平台放置晶圆时上方的检测头可能会产生阻挡，另外对比文件中的检测平台只能进行旋转，无法达到X轴和Y轴的移动，无法使得被检测的晶圆得到很好的移动的问题。
为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：晶圆检测定位平台，包括底座，所述底座顶端的两侧皆设置有立柱，且立柱的顶端连接有安装架，所述安装架可在底座的上方平移，所述安装架的一侧安装有固定组件，且固定组件的一侧设置有上检测头，所述底座顶端的中间位置处设置有固定板，且固定板的上方设置有可纵向移动的纵向移动板，所述纵向移动板的顶端连接有可横向移动的横向移动板，且横向移动板的顶端设置有放置检测晶圆的平台，所述平台的内部安装有和上检测头相匹配的下检测头，且下检测头的一侧设置有将晶圆吸附的负压吸附组件，所述底座的内部安装有可带动安装架平移的平移组件；
所述固定板的内部开设有纵向槽，且纵向槽的一侧安装有第一电机，所述第一电机的输出端连接有纵向丝杆，且纵向丝杆的一侧设置有纵向套杆，所述纵向移动板内部的上方开设有横向槽，且纵向移动板的下方连接有纵向移动块，所述横向槽的的一侧安装有横向驱动组件；
所述平台包括第一检测槽，且第一检测槽的一侧设置有第二检测槽，所述第一检测槽远离第二检测槽的一侧设置有第三检测槽，且第一检测槽、第二检测槽和第三检测槽中皆设置有负压槽，所述负压吸附组件包括安装块，且安装块的顶端连接有吸附头，所述安装块的底端连接有气管；
所述平移组件包括第二电机，且第二电机的输出端连接有皮带轮组，所述皮带轮组的两侧皆连接有平移丝杆，且平移丝杆的上方设置有平移套杆，所述平移丝杆和平移套杆的外侧皆设置有平移滑块。
优选的，所述立柱的数量为两组，两组所述立柱皆与平移滑块连接，所述底座顶端的两侧皆开设有限位槽，所述平移滑块位于限位槽中移动。
优选的，所述上检测头通过固定组件安装在安装架上，且安装架上设置有安装孔，所述安装孔的数量为多组。
优选的，所述纵向槽内部的边缘设置有支撑板，所述纵向丝杆和纵向套杆皆位于纵向槽中，且纵向丝杆的端部设置有轴承，所述纵向丝杆通过轴承和支撑板转动连接，所述纵向移动块位于纵向丝杆和纵向套杆的外侧，且纵向移动块在纵向槽中移动。
优选的，所述横向移动板的底端连接有横向移动块，且横向移动块位于横向槽中移动，所述横向驱动组件贯穿横向移动块并延伸至其外侧。
优选的，所述第一检测槽、第二检测槽和第三检测槽皆为圆形结构，且第一检测槽、第二检测槽、第三检测槽的直径长短不同，所述负压槽的数量为多组，多组所述负压槽在第一检测槽、第二检测槽和第三检测槽之间等距分布。
优选的，所述负压吸附组件位于第一检测槽、第二检测槽和第三检测槽的下方，且吸附头通过负压槽对晶圆进行吸附，所述吸附头贯穿横向移动板并延伸至其外侧。
优选的，所述皮带轮组包括多槽皮带轮和皮带，且多槽皮带轮通过皮带转动连接有两组从动皮带轮，两组所述从动皮带轮的内部皆设置有平移丝杆，且平移丝杆的底端设置有轴承，所述平移丝杆通过轴承在底座的内部转动。
晶圆检测定位平台的使用方法，包括以下步骤：
步骤一：首先将待检测的晶圆放置在平台上，在放置过程中，为了避免操作误触上检测头，可以启动第二电机，使得第二电机通过皮带轮组带动平移丝杆进行转动，转动的平移丝杆配合平移套杆会带动平移滑块进行移动，从而带动立柱进行移动，立柱通过安装架、固定组件带动上检测头向后移动，错开位置，为操作过程腾出空间；
步骤二：根据晶圆的大概大小将其放置在合适的第一检测槽、第二检测槽或者第三检测槽上方，然后即可将其利用负压吸附组件固定，启动与气管连接的负压气泵，使得通过吸附头将上方放置的晶圆吸附，达到将晶圆固定的目的，然后再控制第二电机反转，使得上检测头前移，使得上检测头和待检测的晶圆处于一个测量平面；
步骤三：开启上检测头对晶圆进行检测，在检测过程中，可以启动第一电机和横向驱动组件，第一电机启动之后会带动纵向丝杆进行转动，纵向丝杆配合纵向套杆带动纵向移动块进行移动，使得纵向移动板在固定板上进行纵向移动，而启动的横向驱动组件会带动横向移动板进行横向移动，作用到平台上就是会带动待检测的晶圆进行X轴和Y轴的移动，从而可以配合上检测头达到移动检测的目的，而平台下方安装的与上检测头相匹配的下检测头可以配合上方的上检测头对晶圆进行检测，检测结果直接传输至上位机；
步骤四：检测完毕之后，关闭气泵启动第二电机使得上检测头向后移动，再将晶圆取出即可。
与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：
第一、本发明通过设置的平台、负压吸附组件，实现了可以将不同大小的晶圆放置在对应的检测槽中，晶圆的固定可以利用负压吸附组件对其达到固定目的，使得晶圆在检测的时候不会发生移动，从而可以在一定程度上保证晶圆检测的正确率，另外通过负压对晶圆进行固定可以在一定程度少减少夹持对晶圆的损伤，也不会存在夹具和晶圆接触地方检测不到的情况，负压固定使得晶圆检测全面。
第二、本发明通过设置的立柱、安装架、固定组件、平移组件，实现了在将晶圆放置在平台上的时候，由于操作过程人为放置或者机械手操作，所以操作空间需要预留出来，在放置晶圆的时候，使得固定组件整体后退就可以为操作过程腾出空间，在放置的时候不会误触上检测头，降低可能造成上检测头的损坏的可能性，使得操作过程更加方便。
第三、本发明通过设置的固定板、纵向移动板、横向移动板，实现了固定板可以带动其上方的纵向移动板进行横向移动，而纵向移动板可以带动其上方的横向移动板进行纵向移动，两个方向的移动可以满足晶圆的寻边，可以使得晶圆移动被上检测头和下检测头进行检测，检测数据更加全面，装置更加灵活。
第四、本发明通过设置的上检测头、下检测头，实现了利用上下一对纳米级分辨率的光谱共焦传感器结合高精度运动模组实现亚微米级测量精度，适用于在诸如晶圆的微结构测量，可为粗糙、参杂或高参杂的晶圆半透明和不透明的塑料、镜面体、玻璃、涂层和粘结剂等透明、半透明材料提供质量监控。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明剖视图；
图3为本发明正视图；
图4为本发明横向移动板和纵向移动板连接结构示意图；
图5为本发明负压吸附组件连接结构示意图；
图6为本发明第二电机连接结构示意图。
其中：1、底座；2、立柱；3、安装架；4、固定组件；5、上检测头；6、固定板；601、纵向槽；602、第一电机；603、纵向丝杆；604、纵向套杆；7、纵向移动板；701、横向槽；702、纵向移动块；703、横向驱动组件；8、横向移动板；9、平台；901、第一检测槽；902、第二检测槽；903、第三检测槽；904、负压槽；10、下检测头；11、负压吸附组件；1101、安装块；1102、吸附头；1103、气管；12、平移组件；1201、第二电机；1202、皮带轮组；1203、平移丝杆；1204、平移套杆；1205、平移滑块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
第一实施例
请参阅图1、2、3和6，晶圆检测定位平台及其使用方法，包括底座1，底座1顶端的两侧皆设置有立柱2，且立柱2的顶端连接有安装架3，安装架3可在底座1的上方平移，安装架3的一侧安装有固定组件4，且固定组件4的一侧设置有上检测头5，底座1的内部安装有可带动安装架3平移的平移组件12，平移组件12包括第二电机1201，且第二电机1201的输出端连接有皮带轮组1202，皮带轮组1202的两侧皆连接有平移丝杆1203，且平移丝杆1203的上方设置有平移套杆1204，平移丝杆1203和平移套杆1204的外侧皆设置有平移滑块1205。
在本实施例中，第二电机1201为正反电机，启动之后会通过皮带轮组1202进行转动，可以在第二电机1201和皮带轮组1202之间安装蜗轮蜗杆减速器，这样可以起到防止逆转的目的，也可以将两组平移丝杆1203设置为梯形丝杆达到防止逆转的目的，两组平移丝杆1203被带动进行转动之后配合固定的1024会使得其外侧的平移滑块1205进行移动，从而通过平移滑块1205带动立柱2进行移动，进而带动安装架3、固定组件4、上检测头5进行移动，达到平移之后与下方的平台9位置错开的目的，为操作过程腾出空间。
具体的，立柱2的数量为两组，两组立柱2皆与平移滑块1205连接，底座1顶端的两侧皆开设有限位槽，平移滑块1205位于限位槽中移动。
在本实施例中，立柱2和安装架3固定连接，安装架3横向设置在底座1的上方，上检测头5位于平台9的上方，上检测头5在检测的时候与晶圆不接触。
具体的，上检测头5通过固定组件4安装在安装架3上，且安装架3上设置有安装孔，安装孔的数量为多组。
在本实施例中，可以根据具体检测过程将上检测头5进行安装，上检测头5的安装高度可调，使得装置具有一定灵活性。
具体的，皮带轮组1202包括多槽皮带轮和皮带，且多槽皮带轮通过皮带转动连接有两组从动皮带轮，两组从动皮带轮的内部皆设置有平移丝杆1203，且平移丝杆1203的底端设置有轴承，平移丝杆1203通过轴承在底座1的内部转动。
在本实施例中，两组平移套杆1204分别贯穿对应的平移滑块1205，且两组平移套杆1204皆固定设置在底座1中，平移滑块1205中开设有与平移套杆1204相匹配的通孔，在通孔的下方设置有与平移丝杆1203相匹配的螺纹孔。
第二实施例
请参阅图1、2、3、4和6，在第一实施例的基础上，为了方便搭载晶圆的平台进行移动，底座1顶端的中间位置处设置有固定板6，且固定板6的上方设置有可纵向移动的纵向移动板7，纵向移动板7的顶端连接有可横向移动的横向移动板8，固定板6的内部开设有纵向槽601，且纵向槽601的一侧安装有第一电机602，第一电机602的输出端连接有纵向丝杆603，且纵向丝杆603的一侧设置有纵向套杆604，纵向移动板7内部的上方开设有横向槽701，且纵向移动板7的下方连接有纵向移动块702，横向槽701的一侧安装有横向驱动组件703。
在本实施例中，纵向移动板7在固定板6上移动的方向为纵向，也可以理解为Y轴，横向移动板8在纵向移动板7上移动方为横向，也可以理解为X轴，在使用的时候，可以第一电机602和横向驱动组件703一起启动这样可以满足大部分晶圆检测的检测方向，晶圆位于平台9上可以进行X轴和Y轴方向的移动。
具体的，纵向槽601内部的边缘设置有支撑板，纵向丝杆603和纵向套杆604皆位于纵向槽601中，且纵向丝杆603的端部设置有轴承，纵向丝杆603通过轴承和支撑板转动连接，纵向移动块702位于纵向丝杆603和纵向套杆604的外侧，且纵向移动块702在纵向槽601中移动。
在本实施例中，第一电机602可以为正反电机，可以在第一电机602和纵向丝杆603之间安装涡轮蜗杆减速器，也可以将纵向丝杆603设置为自锁丝杆，这样可以起到一定的防止逆转的目的。
具体的，横向移动板8的底端连接有横向移动块，且横向移动块位于横向槽701中移动，横向驱动组件703贯穿横向移动块并延伸至其外侧。
在本实施例中，在横向驱动组件703中包括了驱动电机、自锁丝杆、套杆，启动自锁丝杆位于驱动电机的输出端，且套杆位于自锁丝杆的一侧，横向移动板8中的横向移动块被自锁丝杆和套杆贯穿。
第三实施例
请参阅图1、2、3和5，在第一和二实施例的基础上，为了方便利用负压固定晶圆，横向移动板8的顶端设置有放置检测晶圆的平台9，下检测头10的一侧设置有将晶圆吸附的负压吸附组件11，平台9包括第一检测槽901，且第一检测槽901的一侧设置有第二检测槽902，第一检测槽901远离第二检测槽902的一侧设置有第三检测槽903，且第一检测槽901、第二检测槽902和第三检测槽903中皆设置有负压槽904，负压吸附组件11包括安装块1101，且安装块1101的顶端连接有吸附头1102，安装块1101的底端连接有气管1103。
在本实施例中，在放置晶圆的时候，就可以将对应大小的晶圆放置在不同的直径的检测槽中，由此达到初步限位的目的，负压气泵的负压会通过吸附头1102和负压槽904向上传达，通过负压槽904将放置的晶圆进行吸附，达到固定目的，避免晶圆在检测的过程中发生移动，从而使得检测效果更好。
具体的，第一检测槽901、第二检测槽902和第三检测槽903皆为圆形结构，且第一检测槽901、第二检测槽902、第三检测槽903的直径长短不同，负压槽904的数量为多组，多组负压槽904在第一检测槽901、第二检测槽902和第三检测槽903之间等距分布。
在本实施例中，第一检测槽901、第二检测槽902和第三检测槽903中皆设置有多组负压槽904，负压槽904是多组同心圆的圆弧结构，负压槽904为通孔，可以让负压气体对上方的晶圆进行吸附，而第一检测槽901、第二检测槽902、第三检测槽903其他部位的连接板使得晶圆正常放置。
具体的，负压吸附组件11位于第一检测槽901、第二检测槽902和第三检测槽903的下方，且吸附头1102通过负压槽904对晶圆进行吸附，吸附头1102贯穿横向移动板8并延伸至其外侧。
在本实施例中，吸附头1102的数量为多组，多组吸附头1102等距分布在平台9的下方，满足无论晶圆在第一检测槽901、第二检测槽902、第三检测槽903的哪个位置都可以被吸附固定的目的。
第四实施例
请参阅图1、2和5，在第一、第二、第三实施例的基础上为了使得整体的检测精度高，平台9的内部安装有和上检测头5相匹配的下检测头10。
在本实施例中，上检测头5和下检测头10皆为纳米级分辨率的检测头，配合精度较高的移动装置可以实现较高的测量精度。
晶圆检测定位平台的使用方法，包括以下步骤：
步骤一：首先将待检测的晶圆放置在平台9上，在放置过程中，为了避免操作误触上检测头5，可以启动第二电机1201，使得第二电机1201通过皮带轮组1202带动平移丝杆1203进行转动，转动的平移丝杆1203配合平移套杆1204会带动平移滑块1205进行移动，从而带动立柱2进行移动，立柱2通过安装架3、固定组件4带动上检测头5向后移动，错开位置，为操作过程腾出空间；
步骤二：根据晶圆的大概大小将其放置在合适的第一检测槽901、第二检测槽902或者第三检测槽903上方，然后即可将其利用负压吸附组件11固定，启动与气管1103连接的负压气泵，使得通过吸附头1102将上方放置的晶圆吸附，达到将晶圆固定的目的，然后再控制第二电机1201反转，使得上检测头5前移，使得上检测头5和待检测的晶圆处于一个测量平面；
步骤三：开启上检测头5对晶圆进行检测，在检测过程中，可以启动第一电机602和横向驱动组件703，第一电机602启动之后会带动纵向丝杆603进行转动，纵向丝杆603配合纵向套杆604带动纵向移动块702进行移动，使得纵向移动板7在固定板6上进行纵向移动，而启动的横向驱动组件703会带动横向移动板8进行横向移动，作用到平台9上就是会带动待检测的晶圆进行X轴和Y轴的移动，从而可以配合上检测头5达到移动检测的目的，而平台9下方安装的与上检测头5相匹配的下检测头10可以配合上方的上检测头5对晶圆进行检测，检测结果直接传输至上位机；
步骤四：检测完毕之后，关闭气泵启动第二电机1201使得上检测头5向后移动，再将晶圆取出即可。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.晶圆检测定位平台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶端的两侧皆设置有立柱(2)，且立柱(2)的顶端连接有安装架(3)，所述安装架(3)可在底座(1)的上方平移，所述安装架(3)的一侧安装有固定组件(4)，且固定组件(4)的一侧设置有上检测头(5)，所述底座(1)顶端的中间位置处设置有固定板(6)，且固定板(6)的上方设置有可纵向移动的纵向移动板(7)，所述纵向移动板(7)的顶端连接有可横向移动的横向移动板(8)，且横向移动板(8)的顶端设置有放置检测晶圆的平台(9)，所述平台(9)的内部安装有和上检测头(5)相匹配的下检测头(10)，且下检测头(10)的一侧设置有将晶圆吸附的负压吸附组件(11)，所述底座(1)的内部安装有可带动安装架(3)平移的平移组件(12)；
所述固定板(6)的内部开设有纵向槽(601)，且纵向槽(601)的一侧安装有第一电机(602)，所述第一电机(602)的输出端连接有纵向丝杆(603)，且纵向丝杆(603)的一侧设置有纵向套杆(604)，所述纵向移动板(7)内部的上方开设有横向槽(701)，且纵向移动板(7)的下方连接有纵向移动块(702)，所述横向槽(701)的的一侧安装有横向驱动组件(703)；
所述平台(9)包括第一检测槽(901)，且第一检测槽(901)的一侧设置有第二检测槽(902)，所述第一检测槽(901)远离第二检测槽(902)的一侧设置有第三检测槽(903)，且第一检测槽(901)、第二检测槽(902)和第三检测槽(903)中皆设置有负压槽(904)，所述负压吸附组件(11)包括安装块(1101)，且安装块(1101)的顶端连接有吸附头(1102)，所述安装块(1101)的底端连接有气管(1103)；
所述平移组件(12)包括第二电机(1201)，且第二电机(1201)的输出端连接有皮带轮组(1202)，所述皮带轮组(1202)的两侧皆连接有平移丝杆(1203)，且平移丝杆(1203)的上方设置有平移套杆(1204)，所述平移丝杆(1203)和平移套杆(1204)的外侧皆设置有平移滑块(1205)。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述立柱(2)的数量为两组，两组所述立柱(2)皆与平移滑块(1205)连接，所述底座(1)顶端的两侧皆开设有限位槽，所述平移滑块(1205)位于限位槽中移动。
3.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述上检测头(5)通过固定组件(4)安装在安装架(3)上，且安装架(3)上设置有安装孔，所述安装孔的数量为多组。
4.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述纵向槽(601)内部的边缘设置有支撑板，所述纵向丝杆(603)和纵向套杆(604)皆位于纵向槽(601)中，且纵向丝杆(603)的端部设置有轴承，所述纵向丝杆(603)通过轴承和支撑板转动连接，所述纵向移动块(702)位于纵向丝杆(603)和纵向套杆(604)的外侧，且纵向移动块(702)在纵向槽(601)中移动。
5.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述横向移动板(8)的底端连接有横向移动块，且横向移动块位于横向槽(701)中移动，所述横向驱动组件(703)贯穿横向移动块并延伸至其外侧。
6.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述第一检测槽(901)、第二检测槽(902)和第三检测槽(903)皆为圆形结构，且第一检测槽(901)、第二检测槽(902)、第三检测槽(903)的直径长短不同，所述负压槽(904)的数量为多组，多组所述负压槽(904)在第一检测槽(901)、第二检测槽(902)和第三检测槽(903)之间等距分布。
7.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述负压吸附组件(11)位于第一检测槽(901)、第二检测槽(902)和第三检测槽(903)的下方，且吸附头(1102)通过负压槽(904)对晶圆进行吸附，所述吸附头(1102)贯穿横向移动板(8)并延伸至其外侧。
8.根据权利要求1所述的晶圆检测定位平台，其特征在于：所述皮带轮组(1202)包括多槽皮带轮和皮带，且多槽皮带轮通过皮带转动连接有两组从动皮带轮，两组所述从动皮带轮的内部皆设置有平移丝杆(1203)，且平移丝杆(1203)的底端设置有轴承，所述平移丝杆(1203)通过轴承在底座(1)的内部转动。
9.晶圆检测定位平台的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：首先将待检测的晶圆放置在平台(9)上，在放置过程中，为了避免操作误触上检测头(5)，可以启动第二电机(1201)，使得第二电机(1201)通过皮带轮组(1202)带动平移丝杆(1203)进行转动，转动的平移丝杆(1203)配合平移套杆(1204)会带动平移滑块(1205)进行移动，从而带动立柱(2)进行移动，立柱(2)通过安装架(3)、固定组件(4)带动上检测头(5)向后移动，错开位置，为操作过程腾出空间；
步骤二：根据晶圆的大概大小将其放置在合适的第一检测槽(901)、第二检测槽(902)或者第三检测槽(903)上方，然后即可将其利用负压吸附组件(11)固定，启动与气管(1103)连接的负压气泵，使得通过吸附头(1102)将上方放置的晶圆吸附，达到将晶圆固定的目的，然后再控制第二电机(1201)反转，使得上检测头(5)前移，使得上检测头(5)和待检测的晶圆处于一个测量平面；
步骤三：开启上检测头(5)对晶圆进行检测，在检测过程中，可以启动第一电机(602)和横向驱动组件(703)，第一电机(602)启动之后会带动纵向丝杆(603)进行转动，纵向丝杆(603)配合纵向套杆(604)带动纵向移动块(702)进行移动，使得纵向移动板(7)在固定板(6)上进行纵向移动，而启动的横向驱动组件(703)会带动横向移动板(8)进行横向移动，作用到平台(9)上就是会带动待检测的晶圆进行X轴和Y轴的移动，从而可以配合上检测头(5)达到移动检测的目的，而平台(9)下方安装的与上检测头(5)相匹配的下检测头(10)可以配合上方的上检测头(5)对晶圆进行检测，检测结果直接传输至上位机；
步骤四：检测完毕之后，关闭气泵启动第二电机(1201)使得上检测头(5)向后移动，再将晶圆取出即可。
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