CN217639368U - 一种晶圆检测探针台定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检测探针台定位装置，包括工作台，所述工作台内开设有检测孔，所述工作台的上端设置有用于对工件进行定位的定位机构，所述定位机构包括滑动连接在工作台上端的移动板，所述移动板靠近检测孔一端的侧壁上固定连接有两个对称设置的第一固定块，两个所述第一固定块上均转动连接有定位轮，所述工作台的上端开设有滑槽，所述滑槽内设置有用于对定位机构进行驱动的驱动机构。本实用新型结构合理，通过设置定位机构、驱动机构以及动力电机，实现对工件进行定位，防止检测的过程中工件偏位，影响检测效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测探针台定位装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。
晶圆在加工完成后，为确保其质量往往需要对其进行一系列的检测，现有技术中，传统的检测装置大多利用探针检测，检测时需要将芯片放置到工作台上，通过工作台的移动对晶圆上的不同位部位进行检测，检测时晶圆大多直接放置在工作台上，这就容易造成工作台移动的过程中晶圆偏位，影响检测效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆检测探针台定位装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种晶圆检测探针台定位装置，包括工作台，所述工作台内开设有检测孔，所述工作台的上端设置有用于对工件进行定位的定位机构，所述定位机构包括滑动连接在工作台上端的移动板，所述移动板靠近检测孔一端的侧壁上固定连接有两个对称设置的第一固定块，两个所述第一固定块上均转动连接有定位轮，所述工作台的上端开设有滑槽，所述滑槽内设置有用于对定位机构进行驱动的驱动机构。
优选地，所述驱动机构包括滑动连接在滑槽内的两个对称设置的滑块，两个所述滑块的上端均转动连接有转动杆，两个所述转动杆的端部均转动连接有第二固定块，两个所述第二固定块均固定连接在移动板的侧壁上。
优选地，所述工作台的侧壁上固定连接有动力电机，所述动力电机的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆。
优选地，所述双头螺纹杆远离动力电机的一端转动连接在滑槽的内壁上，所述双头螺纹杆穿过两个滑块并与其螺纹连接。
优选地，所述工作台的上端固定连接有两个定位柱，两个所述定位柱呈对称设置。
优选地，两个所述定位轮上均套设有缓冲套，所述缓冲套的材质为橡胶。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
1、通过设置定位机构、驱动机构以及动力电机，驱动动力电机的输出轴转动转动，带动双头螺纹杆转动，使得与其螺纹连接的两个滑块向中间靠拢，从而推动两个转动杆转动，进而推动移动板以及定位轮向定位柱一侧移动，实现对工件进行定位，防止检测的过程中工件偏位，影响检测效果。
2、通过设置缓冲垫，在定位的过程中，缓冲垫能够对工件进行有效的缓冲，防止定位时对工件造成损伤，影响工件的质量。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆检测探针台定位装置的立体图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆检测探针台定位装置的结构示意图；
图3为图2中的A处结构放大图。
图中：1工作台、2动力电机、3滑块、4滑槽、5双头螺纹杆、6转动杆、7检测孔、8定位柱、9定位轮、10第一固定块、11第二固定块、12移动板。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
参照图1-3，一种晶圆检测探针台定位装置，包括工作台1，工作台1的侧壁上固定连接有动力电机2，动力电机2的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆5，双头螺纹杆5远离动力电机2的一端转动连接在滑槽4的内壁上，双头螺纹杆5穿过两个滑块3并与其螺纹连接，工作台1内开设有检测孔7，工作台1的上端固定连接有两个定位柱8，两个定位柱8呈对称设置，工作台1的上端设置有用于对工件进行定位的定位机构，定位机构包括滑动连接在工作台1上端的移动板12，移动板12靠近检测孔7一端的侧壁上固定连接有两个对称设置的第一固定块10，两个第一固定块10上均转动连接有定位轮9，两个定位轮9上均套设有缓冲套，缓冲套的材质为橡胶，工作台1的上端开设有滑槽4。
需要注意的是，双头螺纹杆5两端的螺纹方向相反，从而在双头螺纹杆5转动的过程中，两个滑块3可反向移动。
滑槽4内设置有用于对定位机构进行驱动的驱动机构，驱动机构包括滑动连接在滑槽4内的两个对称设置的滑块3，两个滑块3的上端均转动连接有转动杆6，两个转动杆6的端部均转动连接有第二固定块11，两个第二固定块11均固定连接在移动板12的侧壁上。
本实用新型使用时，将晶圆放置到工作台1上，驱动动力电机2的输出轴转动转动，带动双头螺纹杆5转动，使得与其螺纹连接的两个滑块3向中间靠拢，从而推动两个转动杆6转动，进而推动移动板12以及定位轮9向定位柱8一侧移动，实现对工件进行定位，防止检测的过程中工件偏位，影响检测效果；
值得一提的是，在缓冲垫的作用下，在定位的过程中，缓冲垫能够对工件进行有效的缓冲，防止定位时对工件造成损伤，影响工件的质量。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆检测探针台定位装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)内开设有检测孔(7)，所述工作台(1)的上端设置有用于对工件进行定位的定位机构，所述定位机构包括滑动连接在工作台(1)上端的移动板(12)，所述移动板(12)靠近检测孔(7)一端的侧壁上固定连接有两个对称设置的第一固定块(10)，两个所述第一固定块(10)上均转动连接有定位轮(9)，所述工作台(1)的上端开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)内设置有用于对定位机构进行驱动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测探针台定位装置，其特征在于，所述驱动机构包括滑动连接在滑槽(4)内的两个对称设置的滑块(3)，两个所述滑块(3)的上端均转动连接有转动杆(6)，两个所述转动杆(6)的端部均转动连接有第二固定块(11)，两个所述第二固定块(11)均固定连接在移动板(12)的侧壁上。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测探针台定位装置，其特征在于，所述工作台(1)的侧壁上固定连接有动力电机(2)，所述动力电机(2)的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆(5)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测探针台定位装置，其特征在于，所述双头螺纹杆(5)远离动力电机(2)的一端转动连接在滑槽(4)的内壁上，所述双头螺纹杆(5)穿过两个滑块(3)并与其螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测探针台定位装置，其特征在于，所述工作台(1)的上端固定连接有两个定位柱(8)，两个所述定位柱(8)呈对称设置。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测探针台定位装置，其特征在于，两个所述定位轮(9)上均套设有缓冲套，所述缓冲套的材质为橡胶。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220515669.4U CN217639368U (zh) | 2022-03-10 | 2022-03-10 | 一种晶圆检测探针台定位装置 |
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Publications (1)
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| CN217639368U true CN217639368U (zh) | 2022-10-21 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN217639368U (zh) |
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2022
- 2022-03-10 CN CN202220515669.4U patent/CN217639368U/zh active Active
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