CN115547902A - 一种晶圆再生用多角度可调的夹盘 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，底座，还包括限位机构、移位机构、翻转调节机构和调节支撑机构，所述限位机构固定安装在底座顶部，所述限位机构包括操作台，本发明通过设置有移位机构、提升机构和调节支撑机构，当晶圆片夹持固定好之后，需要将晶圆片进行提升，打开伺服电机使伺服电机带动螺纹杆通过第一旋转块进行旋转，从而带动滑台沿着螺纹杆向前移动，滑台的移动带动一个第一电动升降套杆向内进行移动，可以更加便捷的对第一电动升降套杆的位置进行调节移动，使装置控制更加的精确，操作更加的快便捷，从而对第一固定环和第二固定环进行挤压，第一固定环和第二固定环之间通过销轴铰接。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用多角度可调的夹盘。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆再生过程中需要对晶圆进行各类的机械处理，需要对晶圆进行夹持固定。
现有技术中，存在问题如下：
（1）现有的夹盘在使用时候通常无法更加便捷的对晶圆片的角度进行调节，在夹持过程中不能根据使用的需求对晶圆片的角度和位置进行调节，使用具有一定的局限性；
（2）现有的夹盘在使用时候通常无法更加便捷的对晶圆片进行上料，在使用时需要工作人员将晶圆片进行上料，无法更加精确的进行定位，容易对晶圆片造成损坏，影响后续的使用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，以解决上述背景技术中提出的问题。
本发明的技术方案是：一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，包括底座，还包括限位机构、移位机构、翻转调节机构和调节支撑机构，所述限位机构固定安装在底座顶部，所述限位机构包括操作台，所述操作台顶部固定安装有上料机构，所述上料机构顶部固定安装有支撑防滑机构，所述移位机构固定安装在操作台顶部一侧，所述翻转调节机构固定安装在底座顶部使，所述翻转调节机构内侧固定安装有提升机构，所述提升机构包括两个分别固定安装在翻转调节机构内侧的合页、固定安装在一个合页一侧的第一固定环、两个分别固定安装在第一固定环两侧的销轴和通过两个销轴铰接与第一固定环一侧的第二固定环，所述第二固定环内侧设置有旋转夹持机构，所述调节支撑机构设置在翻转调节机构内侧。
优选的，所述限位机构包括卡槽、卡块和操作台，所述卡槽开设在底座顶部，所述卡块配合安装在卡槽内侧，所述操作台固定安装在卡块顶部。
优选的，所述上料机构包括安装板、丝杆滑台、第一连接块和第一电动推杆，所述安装板固定安装在操作台顶部，所述丝杆滑台固定安装在安装板顶部，所述第一连接块固定安装在丝杆滑台的滑动块顶部，所述第一电动推杆固定安装在第一连接块顶部。
优选的，所述支撑防滑机构包括伸缩套、伸缩杆、防滑垫、多个分别固定安装在伸缩套内部的固定块、多个分别固定安装在伸缩杆顶部两侧的活动块和多个分别配合安装在多个活动块内侧的活动钩，每个所述固定块与伸缩杆之间均连接有一个伸缩弹簧，所述伸缩套固定安装在第一电动推杆的伸缩端，所述伸缩杆配合安装在伸缩套内侧，所述防滑垫固定安装在多个活动钩一侧。
优选的，所述移位机构包括安装槽、伺服电机、螺纹杆、第一旋转块和滑台，所述安装槽开设在底座顶部一侧，所述伺服电机固定安装在安装槽外侧，所述螺纹杆固定连接在伺服电机的输出端，所述第一旋转块固定安装在螺纹杆一端，所述滑台配合安装在螺纹杆外部。
优选的，所述翻转调节机构包括两个分别固定安装在底座顶部两侧的第一电动升降套杆、两个分别固定安装在两个第一电动升降套杆的伸缩端的支撑板和两个分别固定安装在两个支撑板一侧的电动转盘，所述其中一个第一电动升降套杆固定安装在滑台顶部。
优选的，所述旋转夹持机构包括两个分别固定安装在第二固定环内壁两侧的安装块、两个分别固定安装在两个安装块一侧的第二旋转块、两个分别固定安装在两个第二旋转块一侧的第二连接块、两个分别固定安装在两个第二连接块一侧的第二电动推杆和两个分别固定安装在两个第二电动推杆的伸缩端的夹块。
优选的，所述调节支撑机构包括两个分别固定安装在两个支撑板内侧的安装套、多个分别固定安装在两个安装套内部的液压杆、两个分别配合安装在两个安装套内侧的延长板、两个分别固定安装在两个延长板顶部的第二电动升降套杆和两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆的伸缩端的推板。
本发明通过改进在此提供一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
其一：本发明通过设置有移位机构、提升机构和调节支撑机构，当晶圆片夹持固定好之后，需要将晶圆片进行提升，打开伺服电机使伺服电机带动螺纹杆通过第一旋转块进行旋转，从而带动滑台沿着螺纹杆向前移动，滑台的移动带动一个第一电动升降套杆向内进行移动，可以更加便捷的对第一电动升降套杆的位置进行调节移动，使装置控制更加的精确，操作更加的快便捷，从而对第一固定环和第二固定环进行挤压，第一固定环和第二固定环之间通过销轴铰接，在挤压过程中打开第一电动推杆使第一电动推杆带动防滑垫对晶圆片进行提升，晶圆片提升过程中带动第一固定环和第二固定环的铰接出向上移动，同时第一固定环和第二固定环带动一侧的合页进行旋转，使第一固定环和第二固定环形成一定的角度，可以更加便捷的将晶圆片进行承托，使晶圆片高出第一固定环和第二固定环的水平线，以便于后续更好的对晶圆片的边缘处进行加工，加工接触面更加的广泛，使用更加的便捷，再打开液压杆使液压杆带动延长板向前延伸，使延长板带动推板移动至晶圆片下方，再打开第二电动升降套杆使第二电动升降套杆带动推板向上移动使推板顶部与晶圆片底部相接触，当两个推板高度保持一致时晶圆片与操作台呈平行状态，当两个推板有高度差时，晶圆片带动第二旋转块进行旋转，从而根据使用的需求使晶圆片保持合适斜度，同时两个推板的设置不仅可以调节晶圆片的角度，也可以使晶圆片加工在过程中保持稳定，防止机械设备对晶圆片施加压力，导致晶圆片的损坏，影响后续的使用；
其二：本发明通过设置有上料机构和支撑防滑机构，推动防滑垫使防滑垫带动底部的活动钩向下移动使活动钩两侧与活动块相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动块与活动钩固定连接，从而使防滑垫固定安装在伸缩杆顶部，将晶圆片放置在防滑垫顶部，打开丝杆滑台使丝杆滑台的滑动块带动晶圆片向内移动，直至晶圆片移动至第一固定环和第二固定环的中心位置下方，再打开第一电动推杆使第一电动推杆带动晶圆片向上移动，使晶圆片移动至与第一固定环和第二固定环内侧，再打开第二电动推杆使第二电动推杆带动夹块向内移动，对晶圆片进行夹持，丝杆滑台、第一连接块和第一电动推杆的设置，可以更加便捷的对晶圆片进行上料，无需工作人员手动防止，防止更加的准确，同时减少对晶圆片的接触，防滑垫的设置可以更加便捷的对晶圆片进行防滑，在移动过程中使晶圆片保持稳定，防止晶圆片掉落，影响上料的效果，同时伸缩弹簧的设置可以对晶圆片起到一个缓冲减震的效果，使用更加的稳定。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:
图1是本发明的立体结构示意图；
图2是本发明的上料机构结构示意图；
图3是本发明的移位机构、翻转调节机构和提升机构结构示意图；
图4是本发明的调节支撑机构结构示意图；
图5是本发明的图2中A处放大结构示意图；
图6是本发明的图1中C处放大结构示意图；
图7是本发明的图3中B处放大结构示意图。
附图标记说明：1、底座；2、限位机构；21、卡槽；22、卡块；23、操作台；3、上料机构；31、安装板；32、丝杆滑台；33、第一连接块；34、第一电动推杆；4、支撑防滑机构；41、伸缩套；42、固定块；43、伸缩弹簧；44、伸缩杆；45、活动块；46、活动钩；47、防滑垫；5、移位机构；51、安装槽；52、伺服电机；53、螺纹杆；54、第一旋转块；55、滑台；6、翻转调节机构；61、第一电动升降套杆；62、支撑板；63、电动转盘；7、提升机构；71、合页；72、第一固定环；73、销轴；74、第二固定环；8、旋转夹持机构；81、安装块；82、第二旋转块；83、第二连接块；84、第二电动推杆；85、夹块；9、调节支撑机构；91、安装套；92、液压杆；93、延长板；94、第二电动升降套杆；95、推板。
具体实施方式
下面对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过改进在此提供一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，本发明的技术方案是：
实施例一：
如图1-图4所示，一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，包括底座1，还包括限位机构2、移位机构5、翻转调节机构6和调节支撑机构9，限位机构2固定安装在底座1顶部，限位机构2包括操作台23，操作台23顶部固定安装有上料机构3，上料机构3顶部固定安装有支撑防滑机构4，移位机构5固定安装在操作台23顶部一侧，翻转调节机构6固定安装在底座1顶部使，翻转调节机构6内侧固定安装有提升机构7，提升机构7包括两个分别固定安装在翻转调节机构6内侧的合页71、固定安装在一个合页71一侧的第一固定环72、两个分别固定安装在第一固定环72两侧的销轴73和通过两个销轴73铰接与第一固定环72一侧的第二固定环74，第二固定环74内侧设置有旋转夹持机构8，调节支撑机构9设置在翻转调节机构6内侧。
上述具体实施方案：对第一固定环72和第二固定环74进行挤压，第一固定环72和第二固定环74之间通过销轴73铰接，在挤压过程中打开第一电动推杆34使第一电动推杆34带动防滑垫47对晶圆片进行提升，晶圆片提升过程中带动第一固定环72和第二固定环74的铰接出向上移动，同时第一固定环72和第二固定环74带动一侧的合页71进行旋转，使第一固定环72和第二固定环74形成一定的角度，可以更加便捷的将晶圆片进行承托，使晶圆片高出第一固定环72和第二固定环74的水平线，以便于后续更好的对晶圆片的边缘处进行加工，加工接触面更加的广泛，使用更加的便捷。
具体的，限位机构2包括卡槽21、卡块22和操作台23，卡槽21开设在底座1顶部，卡块22配合安装在卡槽21内侧，操作台23固定安装在卡块22顶部，通过设置有卡槽21、卡块22和操作台23，可以更加便于对装置整体进行安装固定，防止装置与外界其他物体发生碰撞导致装置产生晃动，影响后续的使用。
具体的，上料机构3包括安装板31、丝杆滑台32、第一连接块33和第一电动推杆34，安装板31固定安装在操作台23顶部，丝杆滑台32固定安装在安装板31顶部，第一连接块33固定安装在丝杆滑台32的滑动块顶部，第一电动推杆34固定安装在第一连接块33顶部，通过设置有安装板31、丝杆滑台32、第一连接块33和第一电动推杆34，可以更加便捷的对晶圆片进行上料，无需工作人员手动防止，防止更加的准确，同时减少对晶圆片的接触。
具体的，支撑防滑机构4包括伸缩套41、伸缩杆44、防滑垫47、多个分别固定安装在伸缩套41内部的固定块42、多个分别固定安装在伸缩杆44顶部两侧的活动块45和多个分别配合安装在多个活动块45内侧的活动钩46，每个固定块42与伸缩杆44之间均连接有一个伸缩弹簧43，伸缩套41固定安装在第一电动推杆34的伸缩端，伸缩杆44配合安装在伸缩套41内侧，防滑垫47固定安装在多个活动钩46一侧，通过设置有伸缩套41、固定块42、伸缩弹簧43、伸缩杆44、活动块45、活动钩46和防滑垫47，可以更加便捷的对晶圆片进行防滑，在移动过程中使晶圆片保持稳定，防止晶圆片掉落，影响上料的效果，同时伸缩弹簧43的设置可以对晶圆片起到一个缓冲减震的效果，使用更加的稳定。
具体的，移位机构5包括安装槽51、伺服电机52、螺纹杆53、第一旋转块54和滑台55，安装槽51开设在底座1顶部一侧，伺服电机52固定安装在安装槽51外侧，螺纹杆53固定连接在伺服电机52的输出端，第一旋转块54固定安装在螺纹杆53一端，滑台55配合安装在螺纹杆53外部，通过设置有安装槽51、伺服电机52、螺纹杆53、第一旋转块54和滑台55，可以更加便捷的对第一电动升降套杆61的位置进行调节移动，使装置控制更加的精确，操作更加的快便捷。
具体的，翻转调节机构6包括两个分别固定安装在底座1顶部两侧的第一电动升降套杆61、两个分别固定安装在两个第一电动升降套杆61的伸缩端的支撑板62和两个分别固定安装在两个支撑板62一侧的电动转盘63，其中一个第一电动升降套杆61固定安装在滑台55顶部，通过设置有第一电动升降套杆61、支撑板62和电动转盘63，可以更加便捷的根据使用的需求对晶圆片的正反两面进行翻转，便于对另一面进行加工。
具体的，旋转夹持机构8包括两个分别固定安装在第二固定环74内壁两侧的安装块81、两个分别固定安装在两个安装块81一侧的第二旋转块82、两个分别固定安装在两个第二旋转块82一侧的第二连接块83、两个分别固定安装在两个第二连接块83一侧的第二电动推杆84和两个分别固定安装在两个第二电动推杆84的伸缩端的夹块85。
具体的，调节支撑机构9包括两个分别固定安装在两个支撑板62内侧的安装套91、多个分别固定安装在两个安装套91内部的液压杆92、两个分别配合安装在两个安装套91内侧的延长板93、两个分别固定安装在两个延长板93顶部的第二电动升降套杆94和两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆94的伸缩端的推板95，通过设置有安装套91、液压杆92、延长板93、第二电动升降套杆94和推板95，不仅可以调节晶圆片的角度，也可以使晶圆片加工在过程中保持稳定，防止机械设备对晶圆片施加压力，导致晶圆片的损坏，影响后续的使用。
工作原理：首先接通外部电源，推动防滑垫47使防滑垫47带动底部的活动钩46向下移动使活动钩46两侧与活动块45相接触，持续推动使活动钩46两侧向内折叠，直至通过活动块45，活动钩46再进行回弹，从而使活动块45与活动钩46固定连接，从而使防滑垫47固定安装在伸缩杆44顶部，将晶圆片放置在防滑垫47顶部，再将晶圆片放置在防滑垫47顶部，打开丝杆滑台32使丝杆滑台32的滑动块带动晶圆片向内移动，直至晶圆片移动至第一固定环72和第二固定环74的中心位置下方，再打开第一电动推杆34使第一电动推杆34带动晶圆片向上移动，使晶圆片移动至与第一固定环72和第二固定环74内侧，再打开第二电动推杆84使第二电动推杆84带动夹块85向内移动，对晶圆片进行夹持，然后打开伺服电机52使伺服电机52带动螺纹杆53通过第一旋转块54进行旋转，从而带动滑台55沿着螺纹杆53向前移动，滑台55的移动带动一个第一电动升降套杆61向内进行移动，再挤压过程中打开第一电动推杆34使第一电动推杆34带动防滑垫47对晶圆片进行提升，晶圆片提升过程中带动第一固定环72和第二固定环74的铰接出向上移动，同时第一固定环72和第二固定环74带动一侧的合页71进行旋转，使第一固定环72和第二固定环74形成一定的角度，可以更加便捷的将晶圆片进行承托，其次打开液压杆92使液压杆92带动延长板93向前延伸，使延长板93带动推板95移动至晶圆片下方，再打开第二电动升降套杆94使第二电动升降套杆94带动推板95向上移动使推板95顶部与晶圆片底部相接触，当两个推板95高度保持一致时晶圆片与操作台23呈平行状态，当两个推板95有高度差时，晶圆片带动第二旋转块82进行旋转，从而根据使用的需求使晶圆片保持合适斜度，最后当晶圆片一面加工完毕，将晶圆片恢复至平行状态，打开电动转盘63使电动转盘63带动第一固定环72和第二固定环74进行旋转，从而带动晶圆片进行翻转，岁另一面进行加工，其中丝杆滑台32的型号为：PKH40，第一电动推杆34的型号为：YS-NZ100-12A，伺服电机52的型号为：YE2-132S-4，第一电动升降套杆61的型号为：XYDHA24-800，电动转盘63的型号为：DG60-5，第二电动推杆84的型号为：YS-NZ100-12A，液压杆92的型号为：CDM2B25，第二电动升降套杆94的型号为：XYDHA24-800。
上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，包括底座（1），其特征在于：还包括限位机构（2）、移位机构（5）、翻转调节机构（6）和调节支撑机构（9），所述限位机构（2）固定安装在底座（1）顶部，所述限位机构（2）包括操作台（23），所述操作台（23）顶部固定安装有上料机构（3），所述上料机构（3）顶部固定安装有支撑防滑机构（4），所述移位机构（5）固定安装在操作台（23）顶部一侧，所述翻转调节机构（6）固定安装在底座（1）顶部使，所述翻转调节机构（6）内侧固定安装有提升机构（7），所述提升机构（7）包括两个分别固定安装在翻转调节机构（6）内侧的合页（71）、固定安装在一个合页（71）一侧的第一固定环（72）、两个分别固定安装在第一固定环（72）两侧的销轴（73）和通过两个销轴（73）铰接与第一固定环（72）一侧的第二固定环（74），所述第二固定环（74）内侧设置有旋转夹持机构（8），所述调节支撑机构（9）设置在翻转调节机构（6）内侧。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述限位机构（2）包括卡槽（21）、卡块（22）和操作台（23），所述卡槽（21）开设在底座（1）顶部，所述卡块（22）配合安装在卡槽（21）内侧，所述操作台（23）固定安装在卡块（22）顶部。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述上料机构（3）包括安装板（31）、丝杆滑台（32）、第一连接块（33）和第一电动推杆（34），所述安装板（31）固定安装在操作台（23）顶部，所述丝杆滑台（32）固定安装在安装板（31）顶部，所述第一连接块（33）固定安装在丝杆滑台（32）的滑动块顶部，所述第一电动推杆（34）固定安装在第一连接块（33）顶部。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述支撑防滑机构（4）包括伸缩套（41）、伸缩杆（44）、防滑垫（47）、多个分别固定安装在伸缩套（41）内部的固定块（42）、多个分别固定安装在伸缩杆（44）顶部两侧的活动块（45）和多个分别配合安装在多个活动块（45）内侧的活动钩（46），每个所述固定块（42）与伸缩杆（44）之间均连接有一个伸缩弹簧（43），所述伸缩套（41）固定安装在第一电动推杆（34）的伸缩端，所述伸缩杆（44）配合安装在伸缩套（41）内侧，所述防滑垫（47）固定安装在多个活动钩（46）一侧。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述移位机构（5）包括安装槽（51）、伺服电机（52）、螺纹杆（53）、第一旋转块（54）和滑台（55），所述安装槽（51）开设在底座（1）顶部一侧，所述伺服电机（52）固定安装在安装槽（51）外侧，所述螺纹杆（53）固定连接在伺服电机（52）的输出端，所述第一旋转块（54）固定安装在螺纹杆（53）一端，所述滑台（55）配合安装在螺纹杆（53）外部。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述翻转调节机构（6）包括两个分别固定安装在底座（1）顶部两侧的第一电动升降套杆（61）、两个分别固定安装在两个第一电动升降套杆（61）的伸缩端的支撑板（62）和两个分别固定安装在两个支撑板（62）一侧的电动转盘（63），所述其中一个第一电动升降套杆（61）固定安装在滑台（55）顶部。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述旋转夹持机构（8）包括两个分别固定安装在第二固定环（74）内壁两侧的安装块（81）、两个分别固定安装在两个安装块（81）一侧的第二旋转块（82）、两个分别固定安装在两个第二旋转块（82）一侧的第二连接块（83）、两个分别固定安装在两个第二连接块（83）一侧的第二电动推杆（84）和两个分别固定安装在两个第二电动推杆（84）的伸缩端的夹块（85）。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆再生用多角度可调的夹盘，其特征在于：所述调节支撑机构（9）包括两个分别固定安装在两个支撑板（62）内侧的安装套（91）、多个分别固定安装在两个安装套（91）内部的液压杆（92）、两个分别配合安装在两个安装套（91）内侧的延长板（93）、两个分别固定安装在两个延长板（93）顶部的第二电动升降套杆（94）和两个分别固定安装在两个第二电动升降套杆（94）的伸缩端的推板（95）。
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| CN202210614266.XA Pending CN115547902A (zh) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | 一种晶圆再生用多角度可调的夹盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115547902A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115732394A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-03-03 | 东莞市兆恒机械有限公司 | 半导体加工精密设备微调机构和方法 |
| CN117174640A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-05 | 南通华隆微电子股份有限公司 | 一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒 |
-
2022
- 2022-06-01 CN CN202210614266.XA patent/CN115547902A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115732394A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-03-03 | 东莞市兆恒机械有限公司 | 半导体加工精密设备微调机构和方法 |
| CN117174640A (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-05 | 南通华隆微电子股份有限公司 | 一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒 |
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