CN218139107U - 一种晶圆切割机的可调夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开的属于晶圆夹具技术领域，具体为一种晶圆切割机的可调夹具，包括支撑台和晶圆，所述晶圆设置在支撑台的上端，还包括：用于对晶圆夹持的第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件安装在支撑台的下端，所述第二夹持组件安装在支撑台的侧端，本实用新型有益效果是：通过对支撑台上设置第一夹持组件，由两组可调节的橡胶夹柱同时做相反运动，对晶圆边缘处限位夹持，配合可转动的夹杆对晶圆边缘处夹持，不对晶圆边缘的上下面进行夹持，从而避免晶圆边缘的上下面被夹坏的风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆夹具技术领域，具体为一种晶圆切割机的可调夹具。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在加工的过程中会先对晶圆进行夹持，再通过切割机对晶圆进行切割加工。
晶圆在夹持切割的时候，采用对晶圆边缘处的上下面进行夹持，晶圆的上下表面容易造成夹坏的风险，影响晶圆表面芯片的良率。
因此，发明一种晶圆切割机的可调夹具很有必要。
实用新型内容
鉴于上述和/或现有一种晶圆切割机的可调夹具中存在的问题，提出了本实用新型。
因此，本实用新型的目的是提供一种晶圆切割机的可调夹具，通过对支撑台上设置第一夹持组件，由两组可调节的橡胶夹柱同时做相反运动，对晶圆边缘处限位夹持，配合可转动的夹杆对晶圆边缘处夹持，不对晶圆边缘的上下面进行夹持，从而避免晶圆边缘的上下面被夹坏的风险，能够解决上述提出晶圆在夹持切割的时候，采用对晶圆边缘处的上下面进行夹持，晶圆的上下表面容易造成夹坏的风险，影响晶圆表面芯片的良率的问题。
为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：
一种晶圆切割机的可调夹具，其包括：支撑台和晶圆，所述晶圆设置在支撑台的上端，还包括：
用于对晶圆夹持的第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件安装在支撑台的下端，所述第二夹持组件安装在支撑台的侧端。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述第一夹持组件包括滑槽一和滑槽二，所述滑槽一和滑槽二分别开设在支撑台内壁。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述支撑台的下端分别安装有支撑块一和支撑块二，所述支撑块一的外侧安装有电机一。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述支撑块一的内侧转动安装有螺纹杆一，所述支撑块二内侧转动安装有螺纹杆二，所述螺纹杆一和螺纹杆二之间安装有隔片，所述螺纹杆一和螺纹杆二的螺纹相反。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述螺纹杆一上螺纹安装有移动块一，所述移动块一上端穿过滑槽一，所述螺纹杆二上螺纹安装有移动块二，所述移动块二上端穿过滑槽二。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述移动块一和移动块二的侧端均开设有插槽，所述移动块一和移动块二的上端安装有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端安装橡胶夹柱。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述第二夹持组件包括支撑块三和电机二，所述支撑块三安装在支撑台的侧端，所述支撑块三的下端内部安装有电机二。
作为本实用新型所述的一种晶圆切割机的可调夹具的一种优选方案，其中：所述电机二的输出端安装有连接轴，所述连接轴的侧端安装夹杆。
与现有技术相比：
通过对支撑台上设置第一夹持组件，由两组可调节的橡胶夹柱同时做相反运动，对晶圆边缘处限位夹持，配合可转动的夹杆对晶圆边缘处夹持，不对晶圆边缘的上下面进行夹持，从而避免晶圆边缘的上下面被夹坏的风险。
附图说明
图1为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具的俯视图；
图2为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具的仰视图；
图3为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具中晶圆夹持的俯视图；
图4为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具中螺纹杆一和螺纹杆二安装示意图；
图5为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具的主视图；
图6为本实用新型一种晶圆切割机的可调夹具中移动块一的示意图。
图中：支撑台1、晶圆11、第一夹持组件2、电机一21、支撑块一22、支撑块二221、移动块一23、移动块二231、螺纹杆一24、螺纹杆二241、隔片242、滑槽一25、滑槽二251、伸缩杆26、橡胶夹柱27、插槽28、第二夹持组件3、连接轴31、支撑块三32、夹杆33、电机二34。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的实施方式作进一步地详细描述。
本实用新型提供一种晶圆切割机的可调夹具，请参阅图1-6，包括支撑台1和晶圆11；
晶圆11设置在支撑台1的上端，还包括：用于对晶圆夹持的第一夹持组件2和第二夹持组件3，第一夹持组件2安装在支撑台1的下端，第二夹持组件3安装在支撑台1的侧端，通过第一夹持组件2和第二夹持组件3配合使用对晶圆11进行稳定夹持，便于切割机对晶圆11切割。
第一夹持组件2包括滑槽一25和滑槽二251，滑槽一25和滑槽二251分别开设在支撑台1内壁，滑槽一25用于对移动块一23导向滑动的作用，滑槽二251用于对移动块二231导向滑动的作用，支撑台1的下端分别安装有支撑块一22和支撑块二221，通过支撑块一22和支撑块二221配合使用，用于对螺纹杆一24和螺纹杆二241支撑安装的作用，支撑块一22的外侧安装有电机一21，电机一21输出端连接螺纹杆一24，电机一21用于带动螺纹杆一24和螺纹杆二241转动的作用，支撑块一22的内侧转动安装有螺纹杆一24，支撑块二221内侧转动安装有螺纹杆二241，螺纹杆一24和螺纹杆二241的螺纹转动方向相反，螺纹杆一24转动带动移动块一23移动，螺纹杆二241转动带动移动块二231移动，移动块一23和移动块二231的移动方向相反，螺纹杆一24和螺纹杆二241之间安装有隔片242，隔片242用于对螺纹杆一24和螺纹杆二241进行连接，以及对移动块一23和移动块二231隔开，防止移动块一23和移动块二231偏离对应的螺纹杆，螺纹杆一24和螺纹杆二241的螺纹相反，螺纹杆一24上螺纹安装有移动块一23，移动块一23上端穿过滑槽一25，移动块一23移动，会在滑槽一25内导向滑动，螺纹杆二241上螺纹安装有移动块二231，移动块二231移动，会在滑槽二251内导向滑动，移动块二231上端穿过滑槽二251，通过对移动块一23和移动块二231同时移动，调节移动块一23和移动块二231内侧的空间，可以使不同厚度、不同直径的晶圆11放入，移动块一23和移动块二231的侧端均开设有插槽28，晶圆11边缘处插入插槽28内，移动块一23和移动块二231的上端安装有伸缩杆26，伸缩杆26用于推动橡胶夹柱27，伸缩杆26的输出端安装橡胶夹柱27，通过橡胶夹柱27下降对晶圆11限位，晶圆11侧边缘贴在橡胶夹柱27。
第二夹持组件3包括支撑块三32和电机二34，支撑块三32安装在支撑台1的侧端，支撑块三32、支撑块一22和支撑块二221的最低端一平，通过支撑块三32、支撑块一22和支撑块二221对支撑台1进行支撑，支撑块三32的下端内部安装有电机二34，电机二34用于转动连接轴31的作用，电机二34的输出端安装有连接轴31，连接轴31用于支撑夹杆33转动的作用，连接轴31的侧端安装夹杆33，夹杆33转动后贴在晶圆11的侧端，对晶圆11进行夹持，配合移动块一23和移动块二231对晶圆11进行稳定夹持。
在具体使用时，滑槽一25和滑槽二251分别开设在支撑台1内壁，支撑台1的下端分别安装有支撑块一22和支撑块二221，支撑块一22的外侧安装有电机一21，支撑块一22的内侧转动安装有螺纹杆一24，支撑块二221内侧转动安装有螺纹杆二241，螺纹杆一24和螺纹杆二241之间安装有隔片242，螺纹杆一24和螺纹杆二241的螺纹相反，螺纹杆一24上螺纹安装有移动块一23，移动块一23上端穿过滑槽一25，螺纹杆二241上螺纹安装有移动块二231，移动块二231上端穿过滑槽二251，移动块一23和移动块二231的侧端均开设有插槽28，移动块一23和移动块二231的上端安装有伸缩杆26，伸缩杆26的输出端安装橡胶夹柱27，支撑块三32安装在支撑台1的侧端，支撑块三32的下端内部安装有电机二34，电机二34的输出端安装有连接轴31，连接轴31的侧端安装夹杆33，把晶圆11放在支撑台1上端中间位置，电机一21带动螺纹杆一24和螺纹杆二241同时转动，螺纹杆一24和螺纹杆二241做相反运动，螺纹杆一24和螺纹杆二241转动带动移动块一23和移动块二231同时做相反运动，伸缩杆26向下推动橡胶夹柱27，使晶圆11的侧边缘插入到插槽28内侧和橡胶夹柱27侧壁紧贴接触，然后电机二34转动连接轴31，连接轴31带动夹杆33转动，夹杆33移动到晶圆11的侧边缘，对晶圆11的侧边缘进行夹持，夹杆33配合橡胶夹柱27对晶圆11边缘夹持，通过对支撑台上设置第一夹持组件，由两组可调节的橡胶夹柱同时做相反运动，对晶圆边缘处限位夹持，配合可转动的夹杆对晶圆边缘处夹持，不对晶圆边缘的上下面进行夹持，从而避免晶圆边缘的上下面被夹坏的风险。
虽然在上文中已经参考实施方式对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施方式，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (8)
1.一种晶圆切割机的可调夹具，包括支撑台(1)和晶圆(11)，所述晶圆(11)设置在支撑台(1)的上端，其特征在于，还包括：
用于对晶圆夹持的第一夹持组件(2)和第二夹持组件(3)，所述第一夹持组件(2)安装在支撑台(1)的下端，所述第二夹持组件(3)安装在支撑台(1)的侧端。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述第一夹持组件(2)包括滑槽一(25)和滑槽二(251)，所述滑槽一(25)和滑槽二(251)分别开设在支撑台(1)内壁。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述支撑台(1)的下端分别安装有支撑块一(22)和支撑块二(221)，所述支撑块一(22)的外侧安装有电机一(21)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述支撑块一(22)的内侧转动安装有螺纹杆一(24)，所述支撑块二(221)内侧转动安装有螺纹杆二(241)，所述螺纹杆一(24)和螺纹杆二(241)之间安装有隔片(242)，所述螺纹杆一(24)和螺纹杆二(241)的螺纹相反。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述螺纹杆一(24)上螺纹安装有移动块一(23)，所述移动块一(23)上端穿过滑槽一(25)，所述螺纹杆二(241)上螺纹安装有移动块二(231)，所述移动块二(231)上端穿过滑槽二(251)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述移动块一(23)和移动块二(231)的侧端均开设有插槽(28)，所述移动块一(23)和移动块二(231)的上端安装有伸缩杆(26)，所述伸缩杆(26)的输出端安装橡胶夹柱(27)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述第二夹持组件(3)包括支撑块三(32)和电机二(34)，所述支撑块三(32)安装在支撑台(1)的侧端，所述支撑块三(32)的下端内部安装有电机二(34)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆切割机的可调夹具，其特征在于，所述电机二(34)的输出端安装有连接轴(31)，所述连接轴(31)的侧端安装夹杆(33)。
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