CN216485354U - 一种晶圆测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆测试装置，属于晶圆测试技术领域，包括工作台，所述工作台上固定安装有支撑板，所述支撑板中间设置有夹持机构，所述夹持机构上设有晶圆本体，所述支撑板的一侧设置有旋转机构；所述夹持机构包括安装板，所述安装板转动安装在支撑板相互靠近的一侧表面上，靠近所述旋转机构一侧的安装板上固定安装有导向杆，所述导向杆的内部滑动设有连接杆，所述连接杆靠近工作台的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离连接杆的一端和导向杆的内部侧壁固定连接，所述连接杆远离导向杆的一端固定连接有连接板；使一组橡胶夹具能够将晶圆本体夹持住，提高了晶圆本体的稳定性，使检测数据更加精准，而且能够适用于不同直径的晶圆本体。

Description

一种晶圆测试装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体为一种晶圆测试装置。

背景技术

晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达百分之九十。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，然后在经过一些列的加工形成硅晶圆片，但是现有的晶圆测试装置多为将晶圆放在工作台上进行测试，没有相应的夹持装置，在检测过程中很容易导致晶圆位置发生变动，影响检测结果，晶圆是双面的，检测时不能对晶圆进行翻转，为此我们提出一种晶圆测试装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种晶圆测试装置，包括工作台，所述工作台上固定安装有支撑板，所述支撑板中间设置有夹持机构，所述夹持机构上设有晶圆本体，所述支撑板的一侧设置有旋转机构；

所述夹持机构包括安装板，所述安装板转动安装在支撑板相互靠近的一侧表面上，靠近所述旋转机构一侧的安装板上固定安装有导向杆，所述导向杆的内部滑动设有连接杆，所述连接杆靠近工作台的一端固定连接有弹簧，所述弹簧远离连接杆的一端和导向杆的内部侧壁固定连接，所述连接杆远离导向杆的一端固定连接有连接板，所述连接板远离工作台的一侧表面固定安装有操作杆，所述连接板靠近工作台的一侧表面固定安装有锲块，所述锲块以连接板的中心呈镜像分布，靠近所述操作杆的安装板上滑动安装有滑块，所述锲块活动配合在滑块的内部，所述滑块以连接板的中心呈镜像分布，所述滑块上固定安装有第一连接块，所述第一连接块远离滑块的一端固定连接有夹板，远离所述滑块的安装板上滑动安装有第二连接块，所述第二连接块和夹板固定连接，所述夹板相互靠近的一侧表面固定安装有橡胶夹具，所述晶圆本体位于橡胶夹具的中间。

优选地，所述滑块上开设有锲槽，所述锲块活动配合在锲槽的内部。

优选地，所述导向杆上开设有导向槽，所述连接杆靠近工作台的一端固定安装有卡块，所述卡块滑动配合在导向槽的内部。

优选地，所述工作台位于支撑板的一侧表面上固定安装有支撑柱，所述支撑柱上固定安装有探针，所述探针位于晶圆本体的正上方。

优选地，所述旋转机构包括固定块，所述固定块固定安装在靠近操作杆的支撑板上，所述固定块的中间转动安装有蜗杆，所述蜗杆远离支撑柱的一端固定安装有转盘，靠近所述操作杆的支撑板上转动安装有传动杆，所述传动杆靠近转盘的一端固定套接有蜗轮，所述蜗轮和蜗杆啮合连接，所述传动杆和靠近操作杆的安装板固定连接。

优选地，所述导向杆的内部开设有收纳槽，所述连接杆和收纳槽相互搭配使用，所述操作杆的外表面覆设有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、握住操作杆向上移动，能够带动连接板和连接杆向上移动，此时弹簧被拉伸，直到锲块和滑块分离，然后将一组夹板分开一段距离，再将晶圆本体放在一组橡胶夹具的中间，然后放开操作杆，此时弹簧会拉动连接杆向下移动，从而使一组锲块卡入到锲槽的内部，使一组橡胶夹具能够将晶圆本体夹持住，提高了晶圆本体的稳定性，使检测数据更加精准，而且能够适用于不同直径的晶圆本体；

2、转动转盘带动蜗杆进行转动，蜗杆会带动蜗轮进行转动，然后通过传动杆带动一组安装板进行转动，以此带动晶圆本体进行旋转，从而调整到合适角度，使晶圆本体能够满足任意角度的调节，便于探针对晶圆本体进行检测。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型支撑板结构剖视示意图。

图3为本实用新型安装板结构示意图。

图4为本实用新型导向杆结构剖视示意图。

图5为本实用新型蜗杆结构示意图。

图中：1、工作台；11、支撑柱；12、探针；13、晶圆本体；14、支撑板；2、夹持机构；21、安装板；22、导向杆；221、导向槽；23、连接杆；24、卡块；25、弹簧；26、连接板；27、操作杆；28、锲块；29、滑块；211、第一连接块；212、夹板；213、橡胶夹具；214、第二连接块；3、旋转机构；31、固定块；32、蜗杆；33、转盘；34、传动杆；35、蜗轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：如图1-5所示，本实用新型提供了一种晶圆测试装置，包括工作台1，所述工作台1上固定安装有支撑板14，所述支撑板14中间设置有夹持机构2，所述夹持机构2上设有晶圆本体13，所述支撑板14的一侧设置有旋转机构3；

所述夹持机构2包括安装板21，所述安装板21转动安装在支撑板14相互靠近的一侧表面上，靠近所述旋转机构3一侧的安装板21上固定安装有导向杆22，所述导向杆22的内部滑动设有连接杆23，所述连接杆23靠近工作台1的一端固定连接有弹簧25，所述弹簧25远离连接杆23的一端和导向杆22的内部侧壁固定连接，所述连接杆23远离导向杆22的一端固定连接有连接板26，所述连接板26远离工作台1的一侧表面固定安装有操作杆27，所述连接板26靠近工作台1的一侧表面固定安装有锲块28，所述锲块28以连接板26的中心呈镜像分布，靠近所述操作杆27的安装板21上滑动安装有滑块29，所述滑块29上开设有锲槽，所述锲块28活动配合在锲槽的内部，所述锲块28活动配合在滑块29的内部，所述滑块29以连接板26的中心呈镜像分布，所述滑块29上固定安装有第一连接块211，所述第一连接块211远离滑块29的一端固定连接有夹板212，远离所述滑块29的安装板21上滑动安装有第二连接块214，所述第二连接块214和夹板212固定连接，所述夹板212相互靠近的一侧表面固定安装有橡胶夹具213，所述晶圆本体13位于橡胶夹具213的中间，使用时，握住操作杆27向上移动，以此带动连接板26和连接杆23向上移动，此时弹簧25被拉伸，直到锲块28和滑块29分离，然后将一组夹板212分开一段距离，但是锲块28的下端还是位于锲槽的上方，使一组橡胶夹具213之间的距离能够放入晶圆本体13，再将晶圆本体13放在一组橡胶夹具213的中间，然后放开操作杆27，此时弹簧25会拉动连接杆23向下移动，以此带动连接板26向下移动，从而使一组锲块28卡入到锲槽的内部，然后带动一组滑块29相对移动，通过第一连接块211带动夹板212相对移动，使一组橡胶夹具213能够将晶圆本体13夹持住，提高了晶圆本体13的稳定性，使检测数据更加精准。

进一步的，所述导向杆22上开设有导向槽221，所述连接杆23靠近工作台1的一端固定安装有卡块24，所述卡块24滑动配合在导向槽221的内部，通过卡块24和导向槽221的相互配合，连接杆23能够沿着导向杆22的内部进行上下滑动。

进一步的，所述工作台1位于支撑板14的一侧表面上固定安装有支撑柱11，所述支撑柱11上固定安装有探针12，所述探针12位于晶圆本体13的正上方，通过探针12能够对晶圆本体13进行检测。

进一步的，所述旋转机构3包括固定块31，所述固定块31固定安装在靠近操作杆27的支撑板14上，所述固定块31的中间转动安装有蜗杆32，所述蜗杆32远离支撑柱11的一端固定安装有转盘33，靠近所述操作杆27的支撑板14上转动安装有传动杆34，所述传动杆34靠近转盘33的一端固定套接有蜗轮35，所述蜗轮35和蜗杆32啮合连接，所述传动杆34和靠近操作杆27的安装板21固定连接，当需要对晶圆本体13进行角度调整时，转动转盘33带动蜗杆32进行转动，蜗杆32会带动蜗轮35进行转动，然后通过传动杆34带动一组安装板21进行转动，以此带动晶圆本体13进行旋转，调整到合适角度后，停止转动转盘33即可。

进一步的，所述导向杆22的内部开设有收纳槽，所述连接杆23和收纳槽相互搭配使用，连接杆23能够沿着收纳槽进行滑动，所述操作杆27的外表面覆设有防滑纹，增加摩擦力，方便操作。

工作原理：使用时，握住操作杆27向上移动，以此带动连接板26和连接杆23向上移动，此时弹簧25被拉伸，直到锲块28和滑块29分离，然后将一组夹板212分开一段距离，但是锲块28的下端还是位于锲槽的上方，使一组橡胶夹具213之间的距离能够放入晶圆本体13，再将晶圆本体13放在一组橡胶夹具213的中间，然后放开操作杆27，此时弹簧25会拉动连接杆23向下移动，以此带动连接板26向下移动，从而使一组锲块28卡入到锲槽的内部，然后带动一组滑块29相对移动，通过第一连接块211带动夹板212相对移动，使一组橡胶夹具213能够将晶圆本体13夹持住，提高了晶圆本体13的稳定性，使检测数据更加精准，然后通过探针12对晶圆本体13进行检测即可；

当需要对晶圆本体13进行角度调整时，转动转盘33带动蜗杆32进行转动，蜗杆32会带动蜗轮35进行转动，然后通过传动杆34带动一组安装板21进行转动，以此带动晶圆本体13进行旋转，调整到合适角度后，停止转动转盘33即可。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (6)

1.一种晶圆测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上固定安装有支撑板(14)，所述支撑板(14)中间设置有夹持机构(2)，所述夹持机构(2)上设有晶圆本体(13)，所述支撑板(14)的一侧设置有旋转机构(3)；

所述夹持机构(2)包括安装板(21)，所述安装板(21)转动安装在支撑板(14)相互靠近的一侧表面上，靠近所述旋转机构(3)一侧的安装板(21)上固定安装有导向杆(22)，所述导向杆(22)的内部滑动设有连接杆(23)，所述连接杆(23)靠近工作台(1)的一端固定连接有弹簧(25)，所述弹簧(25)远离连接杆(23)的一端和导向杆(22)的内部侧壁固定连接，所述连接杆(23)远离导向杆(22)的一端固定连接有连接板(26)，所述连接板(26)远离工作台(1)的一侧表面固定安装有操作杆(27)，所述连接板(26)靠近工作台(1)的一侧表面固定安装有锲块(28)，所述锲块(28)以连接板(26)的中心呈镜像分布，靠近所述操作杆(27)的安装板(21)上滑动安装有滑块(29)，所述锲块(28)活动配合在滑块(29)的内部，所述滑块(29)以连接板(26)的中心呈镜像分布，所述滑块(29)上固定安装有第一连接块(211)，所述第一连接块(211)远离滑块(29)的一端固定连接有夹板(212)，远离所述滑块(29)的安装板(21)上滑动安装有第二连接块(214)，所述第二连接块(214)和夹板(212)固定连接，所述夹板(212)相互靠近的一侧表面固定安装有橡胶夹具(213)，所述晶圆本体(13)位于橡胶夹具(213)的中间。

2.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述滑块(29)上开设有锲槽，所述锲块(28)活动配合在锲槽的内部。

3.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述导向杆(22)上开设有导向槽(221)，所述连接杆(23)靠近工作台(1)的一端固定安装有卡块(24)，所述卡块(24)滑动配合在导向槽(221)的内部。

4.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述工作台(1)位于支撑板(14)的一侧表面上固定安装有支撑柱(11)，所述支撑柱(11)上固定安装有探针(12)，所述探针(12)位于晶圆本体(13)的正上方。

5.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述旋转机构(3)包括固定块(31)，所述固定块(31)固定安装在靠近操作杆(27)的支撑板(14)上，所述固定块(31)的中间转动安装有蜗杆(32)，所述蜗杆(32)远离支撑柱(11)的一端固定安装有转盘(33)，靠近所述操作杆(27)的支撑板(14)上转动安装有传动杆(34)，所述传动杆(34)靠近转盘(33)的一端固定套接有蜗轮(35)，所述蜗轮(35)和蜗杆(32)啮合连接，所述传动杆(34)和靠近操作杆(27)的安装板(21)固定连接。

6.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述导向杆(22)的内部开设有收纳槽，所述连接杆(23)和收纳槽相互搭配使用，所述操作杆(27)的外表面覆设有防滑纹。

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