CN219574292U - 一种探针台晶圆测量控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种探针台晶圆测量控制装置，涉及探针台技术领域。该探针台晶圆测量控制装置，括固定台，固定台的顶面固定连接有探针台，探针台的顶面设置有晶圆，所述探针台的顶面开设有限位槽，探针台顶面的左右两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶面均滑动连接有连接件，两个连接件的相对面固定连接有滑杆，滑杆上滑动套接有连接套，连接套的前表面固定连接有探针器本体，限位槽的内部设置固定装置。通过固定装置的设置，利用两个夹板与晶圆进行紧密贴合，从而在对晶圆进行检测时，能够防止晶圆发生位置，对晶圆起到一个固定的作用，从而提升了检测的质量。

Description

一种探针台晶圆测量控制装置

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，特别涉及一种探针台晶圆测量控制装置。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动。

在晶圆加工的过程中，加工完成的晶圆都需要在探针台上进行距离检测，探针台的检测方式是将晶圆这样放置在探针台上使用探针器本体进行检测，由于晶圆的重量较轻，轻微的外力就容易导致探针台上的晶圆发生位置，一旦晶圆发生位置，极易影响检测的结果，所以亟需一种能够对晶圆进行固定的探针台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种探针台晶圆测量控制装置，能够解决晶圆使用探针台进行检测时容易发生位移的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种探针台晶圆测量控制装置，包括固定台，固定台的顶面固定连接有探针台，探针台的顶面设置有晶圆，所述探针台的顶面开设有限位槽，探针台顶面的左右两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶面均开设有调节槽，两个支撑板的顶面均滑动连接有连接件，两个连接件的底面均固定连接有调节块，两个调节块分别与两个调节槽滑动连接，两个连接件的相对面固定连接有滑杆，滑杆上滑动套接有连接套，连接套的前表面固定连接有探针器本体，限位槽的内部设置固定装置，所述限位槽的内部转动连接有螺纹杆，限位槽的内部转动连接有螺纹杆；

固定装置包括两个螺纹套，两个螺纹套呈对称的方式螺纹套接在螺纹杆的左右两端，两个螺纹套的顶面均固定连接有移动块，两个移动块的顶面均固定连接有夹板。

优选的，所述探针台的顶面固定连接有限位块，限位块的顶面转动连接有旋钮，旋钮的底面固定连接有转动杆，转动杆的下端贯穿限位块且与限位块转动连接，转动杆的下端延伸至限位槽的内部。

优选的，所述转动杆的下端固定连接有锥齿轮。

优选的，所述螺纹杆外壁左右两侧螺纹开设的方向相反，螺纹杆上固定套接有锥齿环，锥齿环与锥齿轮啮合连接。

优选的，两个所述夹板均与探针台滑动连接，两个夹板均与晶圆相接触。

优选的，两个所述移动块均与限位槽滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该探针台晶圆测量控制装置，通过固定装置的设置，利用两个夹板与晶圆进行紧密贴合，从而在对晶圆进行检测时，能够防止晶圆发生位置，对晶圆起到一个固定的作用，从而提升了检测的质量。

(2)、该探针台晶圆测量控制装置，通过固定装置的设置，利用两个夹板反方向移动，这样就能够对不同尺寸、不同型号的晶圆本体进行固定，从而提升了该装置的使用范围，使得该装置能够对不同尺寸的晶圆本体进行固定。

(3)、该探针台晶圆测量控制装置，通过两个调节块的设置，能够保证连接件在移动过程中的稳定性，从而提升了该装置的使用稳定性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明：

图1为本实用新型一种探针台晶圆测量控制装置结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大示意图；

图3为本实用新型图1中B处放大示意图；

图4为本实用新型一种探针台晶圆测量控制装置固定装置平面示意图；

图5为本实用新型一种探针台晶圆测量控制装置螺纹杆示意图。

附图标记：1、固定台；2、探针台；3、限位槽；4、晶圆；5、夹板；6、移动块；7、支撑板；8、调节槽；9、连接件；10、滑杆；11、连接套；12、探针器本体；13、握杆；14、限位块；15、旋钮；16、调节块；17、螺纹杆；18、螺纹套；19、锥齿轮；20、锥齿环；21、转动杆。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种探针台晶圆测量控制装置，包括固定台1，固定台1的顶面固定连接有探针台2，探针台2的顶面设置有晶圆4，探针台2的顶面开设有限位槽3，探针台2顶面的左右两侧均固定连接有支撑板7，两个支撑板7的顶面均开设有调节槽8，两个支撑板7的顶面均滑动连接有连接件9，两个连接件9的底面均固定连接有调节块16，两个调节块16分别与两个调节槽8滑动连接，两个连接件9的相对面固定连接有滑杆10，滑杆10上滑动套接有连接套11，连接套11的前表面固定连接有探针器本体12，探针器本体12为现有结构，在此不做过多叙述，右侧的连接件9的右表面固定连接有握杆13。

进一步地，在使用该装置时，首先将需要检测的晶圆4放在探针台2的顶面，然后通过推动握杆13带动靠近握杆13的连接件9进行移动，连接件9通过滑杆10带动另一侧的连接件9移动，滑杆10移动带动连接套11移动，连接套11移动带动探针器本体12移动，从而将探针器本体12移动至晶圆4所在的位置，然后通过移动连接套11对探针器本体12进行微调，当探针器本体12移动到合适位置后通过探针器本体12对晶圆4进行检测。

进一步地，通过该装置时的设置，能够对探针器本体12进行位置的调整，进而便于对晶圆4进行检测，从而提升了该装置的使用便捷性，同时当两个连接件9进行移动时，带动两个调节块16分别在两个调节槽8的内部进行移动，通过两个调节块16的设置，能够保证连接件9在移动过程中的稳定性，从而提升了该装置的使用稳定性。

实施例二；

请参阅图1-4，在实施例一的基础上，探针台2的顶面固定连接有限位块14，限位块14的顶面转动连接有旋钮15，旋钮15的底面固定连接有转动杆21，转动杆21的下端贯穿限位块14且与限位块14转动连接，转动杆21的下端延伸至限位槽3的内部，转动杆21的下端固定连接有锥齿轮19，在使用该装置时，通过旋钮15带动转动杆21进行转动，转动杆21转动带动锥齿轮19进行转动。

进一步地，限位槽3的内部转动连接有螺纹杆17，螺纹杆17外壁左右两侧螺纹开设的方向相反，螺纹杆17上固定套接有锥齿环20，锥齿环20与锥齿轮19啮合连接，在使用该装置时，通过锥齿轮19转动带动锥齿环20转动，锥齿环20转动带动螺纹杆17转动。

进一步地，限位槽3的内部设置固定装置，固定装置包括两个螺纹套18，两个螺纹套18呈对称的方式螺纹套接在螺纹杆17的左右两端，两个螺纹套18的顶面均固定连接有移动块6，两个移动块6的顶面均固定连接有夹板5，两个移动块6均与限位槽3滑动连接，两个夹板5均与探针台2滑动连接，两个夹板5均与晶圆4相接触。

进一步地，在使用该装置时，通过螺纹杆17转动带动两个螺纹套18进行反方向移动，两个螺纹套18移动带动两个移动块6进行移动，两个移动块6移动带动两个夹板5移动，使得两个夹板5与晶圆4紧密贴合即可。

进一步地，通过固定装置的设置，利用两个夹板5与晶圆4进行紧密贴合，从而在对晶圆4进行检测时，能够防止晶圆4发生位置，对晶圆4起到一个固定的作用，从而提升了检测的质量，同时通过固定装置的设置，利用两个夹板5反方向移动，这样就能够对不同尺寸、不同型号的晶圆本体进行固定，从而提升了该装置的使用范围，使得该装置能够对不同尺寸的晶圆本体进行固定。

工作原理：

首先将需要检测的晶圆4放在探针台2的顶面，然后通过推动握杆13带动靠近握杆13的连接件9进行移动，连接件9通过滑杆10带动另一侧的连接件9移动，滑杆10移动带动连接套11移动，连接套11移动带动探针器本体12移动，从而将探针器本体12移动至晶圆4所在的位置，然后通过移动连接套11对探针器本体12进行微调，之后通过旋钮15带动转动杆21进行转动，转动杆21转动带动锥齿轮19进行转动，通过锥齿轮19转动带动锥齿环20转动，锥齿环20转动带动螺纹杆17转动，通过螺纹杆17转动带动两个螺纹套18进行反方向移动，两个螺纹套18移动带动两个移动块6进行移动，两个移动块6移动带动两个夹板5移动，最后使得两个夹板5与晶圆4紧密贴合即可，当探针器本体12移动到合适位置后通过探针器本体12对晶圆4进行检测。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (6)

1.一种探针台晶圆测量控制装置，包括固定台(1)，固定台(1)的顶面固定连接有探针台(2)，探针台(2)的顶面设置有晶圆(4)，其特征在于：所述探针台(2)的顶面开设有限位槽(3)，探针台(2)顶面的左右两侧均固定连接有支撑板(7)，两个支撑板(7)的顶面均开设有调节槽(8)，两个支撑板(7)的顶面均滑动连接有连接件(9)，两个连接件(9)的底面均固定连接有调节块(16)，两个调节块(16)分别与两个调节槽(8)滑动连接，两个连接件(9)的相对面固定连接有滑杆(10)，滑杆(10)上滑动套接有连接套(11)，连接套(11)的前表面固定连接有探针器本体(12)，限位槽(3)的内部设置固定装置，限位槽(3)的内部转动连接有螺纹杆(17)；

固定装置包括两个螺纹套(18)，两个螺纹套(18)呈对称的方式螺纹套接在螺纹杆(17)的左右两端，两个螺纹套(18)的顶面均固定连接有移动块(6)，两个移动块(6)的顶面均固定连接有夹板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种探针台晶圆测量控制装置，其特征在于：所述探针台(2)的顶面固定连接有限位块(14)，限位块(14)的顶面转动连接有旋钮(15)，旋钮(15)的底面固定连接有转动杆(21)，转动杆(21)的下端贯穿限位块(14)且与限位块(14)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种探针台晶圆测量控制装置，其特征在于：所述转动杆(21)的下端延伸至限位槽(3)的内部，转动杆(21)的下端固定连接有锥齿轮(19)。

4.根据权利要求3所述的一种探针台晶圆测量控制装置，其特征在于：所述螺纹杆(17)外壁左右两侧螺纹开设的方向相反，螺纹杆(17)上固定套接有锥齿环(20)，锥齿环(20)与锥齿轮(19)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种探针台晶圆测量控制装置，其特征在于：两个所述夹板(5)均与探针台(2)滑动连接，两个夹板(5)均与晶圆(4)相接触。

6.根据权利要求5所述的一种探针台晶圆测量控制装置，其特征在于：两个所述移动块(6)均与限位槽(3)滑动连接。