CN212514779U - 单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具 - Google Patents
单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具 Download PDFInfo
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Abstract
单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体，在架体中心转动安装主动锥齿轮，在架体上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆，四个径向丝杆内端固定安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，在架体底面位于四个径向丝杆下方分别设有径向滑道，四个径向滑道内分别安装径向滑动的夹板，所述夹板与对应的径向丝杆通过螺纹连接，四个夹板距中心距离相等，在四个夹板内壁分别设有向中心延伸的支撑板，在四个支撑板上分别安装竖直向下的电阻率探针，四个探针距对应夹板内壁相等，所述电阻率探针底端位于架体底面与夹板底面之间。其可使选取检测点定位精准，电阻率检测结果与产品实际电阻率相符，真实反映产品电阻率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅棒生产中检测设备，尤其涉及一种单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具。
背景技术
单晶硅棒是通过拉晶炉加工单晶硅粉料而成，用于制作半导体、芯片等的中间产物，其为圆柱状且一端为圆锥状、另一端为平面的结构。在单晶硅棒生产过程中，需要对其平面端选取四个周向均匀布置且距离单晶硅棒圆周侧壁距离相等的四个检测点，在使用电阻率检测设备对四个检测点同时检测电阻率，以判断单晶硅棒是否合格。传统选取四个检测点的方式为尺规测量，尺规测量选取的检测点误差较大，定位不精准，导致电阻率检测结果与产品实际电阻率偏差大，无法真实反映产品真实电阻率。
发明内容
本实用新型是为了解决上述技术问题，提供一种单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，其可使选取检测点定位精准，电阻率检测结果与产品实际电阻率相符，真实反映产品电阻率。
本实用新型的技术解决方案是：
单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体，其特殊之处在于：在架体中心转动安装主动锥齿轮，在架体上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆，四个径向丝杆内端固定安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，在架体底面位于四个径向丝杆下方分别设有径向滑道，四个径向滑道内分别安装径向滑动的夹板，所述夹板与对应的径向丝杆通过螺纹连接，四个夹板距中心距离相等，在四个夹板内壁分别设有向中心延伸的支撑板，在四个支撑板上分别安装竖直向下的电阻率探针，四个探针距对应夹板内壁相等，所述电阻率探针底端位于架体底面与夹板底面之间。
进一步优选，所述支撑板低于架体底面，防止支撑板与架体相碰，增加电阻率探针调节范围。
进一步优选，在主动锥齿轮上端固定安装旋转把手，便于转动主动锥齿轮。
本实用新型的有益效果是：
由于安装在架体中心的主动锥齿轮，四个周向均匀布置在架体上的径向丝杆内端安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，径向滑动安装于径向丝杆下方的滑道且与径向丝杆通过螺纹连接的夹板，通过支撑板固定安装在夹板内侧的电阻率探针，检测点选取操作时，首先转动主动锥齿轮带动四个从动锥齿轮转动，四个从动锥齿轮带动对应的径向丝杆转动，四个径向丝杆带动对应的夹板向中心移动，将四个夹板夹持在单晶硅棒平面端的圆周侧壁，最后下压架体使四个电阻率探针与单晶硅棒端面紧密接触，完成检测点选取操作。结构简单，操作方便，选取检测点定位精准，电阻率检测结果与产品实际电阻率相符，真实反映了产品电阻率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1中主动锥齿轮与从动锥齿轮的位置关系图；
图中：1-架体，2-主动锥齿轮，3-旋转把手，4-径向丝杆，5-从动锥齿轮，6-径向滑道，7-夹板，8-支撑板，9-电阻率探针。
具体实施方式
如图1、图2所示，单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体1，在架体1中心转动安装主动锥齿轮2，在主动锥齿轮2上端固定安装旋转把手3，在架体1上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆4，四个径向丝杆4内端固定安装与主动锥齿轮2啮合的从动锥齿轮5，在架体1底面位于四个径向丝杆4下方分别设有径向滑道6，四个径向滑道6内分别安装径向滑动的夹板7，所述夹板7与对应的径向丝杆4通过螺纹连接，四个夹板7距中心距离相等，在四个夹板7内壁分别设有向中心延伸的支撑板8，所述支撑板8低于架体1底面，在四个支撑板8上分别安装竖直向下的电阻率探针9，四个探针距对应夹板7内壁8mm，所述电阻率探针9底端位于架体1底面与夹板7底面之间。
检测点选取操作时，首先将四个电阻率探针9通过引线连接到电阻率检测设备，然后转动旋转把手3带动主动锥齿轮2转动，主动锥齿轮2带动四个从动锥齿轮5转动，四个从动锥齿轮5带动对应的径向丝杆4转动，四个径向丝杆4带动对应的夹板7向中心移动，将四个夹板7夹持在单晶硅棒平面端的圆周侧壁，最后下压架体1使四个电阻率探针9与单晶硅棒端面紧密接触，通过电阻率检测设备检测单晶硅棒端面电阻率。
以上仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体，其特征在于：在架体中心转动安装主动锥齿轮，在架体上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆，四个径向丝杆内端固定安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，在架体底面位于四个径向丝杆下方分别设有径向滑道，四个径向滑道内分别安装径向滑动的夹板，所述夹板与对应的径向丝杆通过螺纹连接，四个夹板距中心距离相等，在四个夹板内壁分别设有向中心延伸的支撑板，在四个支撑板上分别安装竖直向下的电阻率探针，四个探针距对应夹板内壁相等，所述电阻率探针底端位于架体底面与夹板底面之间。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，其特征在于：所述支撑板低于架体底面。
3.根据权利要求1所述的单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，其特征在于：在主动锥齿轮上端固定安装旋转把手。
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| CN202020702558.5U CN212514779U (zh) | 2020-04-30 | 2020-04-30 | 单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具 |
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| CN202020702558.5U CN212514779U (zh) | 2020-04-30 | 2020-04-30 | 单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具 |
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| CN212514779U true CN212514779U (zh) | 2021-02-09 |
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| CN202020702558.5U Active CN212514779U (zh) | 2020-04-30 | 2020-04-30 | 单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具 |
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| CN (1) | CN212514779U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114047383A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-02-15 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种单晶硅棒电阻率的自动化测试设备及方法 |
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2020
- 2020-04-30 CN CN202020702558.5U patent/CN212514779U/zh active Active
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