CN117174640A - 一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种晶圆片盒，具体地说，涉及一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒。其包括若干个放置盒，若干个放置盒安装在翻转架上，翻转架带动放置盒在液体中旋转，放置盒的内部夹持有晶圆片，放置盒在夹持晶圆片的过程中对晶圆片的放置位置进行调节，且放置盒控制晶圆片在水平面上设置。本发明通过夹持夹对晶圆片进行夹持，使晶圆片被限制在两个夹持夹之间，并通过拨动机构对夹持夹的位置进行调整，使夹持夹对晶圆片进行小角度的转动，以此来改变晶圆片上刻录的纹路的方向，使清洗液中的杂质不会依附在晶圆片上，确保清洗过后的晶圆片上不会残留杂质，提高晶圆片清洗的效果。

Description

一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒

技术领域

本发明涉及一种晶圆片盒，具体地说，涉及一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒。

背景技术

在晶圆打磨或刻录等操作后，需要将晶圆放入到清洗液中进行清洗，晶圆表面所依附的杂质去除掉，避免杂质影响晶圆的正常生产，而在清洗圆晶的过程中发现，晶圆片盒在某个倾斜角度时进行清洗比平放时的效果要更好，故出现了一种可以对晶圆进行倾斜的晶圆盒，以此来提高对晶圆的清洗效果。

但对不同尺寸的晶圆所清洗的最佳角度不同，在使用的过程中，需要人工对晶圆的倾斜角度进行调整，同时在清洗的过程中晶圆是固定不动的，在清洗的过程中，清洗液下层会积累从圆晶上清洗下来的杂质，当晶圆倾斜的角度的固定时，晶圆上的刻录的间隙中会残留杂质，进而影响晶圆的清洗效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，提供了一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，包括若干个放置盒，若干个所述放置盒安装在翻转架上，所述翻转架带动放置盒在液体中旋转，所述放置盒的内部夹持有晶圆片，所述放置盒在夹持晶圆片的过程中对晶圆片的放置位置进行调节，且所述放置盒控制晶圆片在水平面上设置；

所述放置盒包括承接架，所述承接架的内部左右对称设置有对晶圆片进行夹持的夹持夹，两个所述夹持夹的一侧设置有对夹持夹进行拨动的拨动机构，所述拨动机构在拨动夹持夹的过程中，使夹持夹对夹持的晶圆片的放置位置进行改变，使晶圆片在两个夹持夹之间旋转。

作为本技术方案的进一步改进，所述承接架包括呈U形的承接杆，所述承接杆靠近两端的位置上开设有通槽，所述承接杆靠近通槽的外侧壁上固定有铰接轴，所述翻转架包括呈方形的安装框，所述放置盒设置在安装框的内部，且所述铰接轴的一端转动插接在安装框的侧壁上。

作为本技术方案的进一步改进，所述安装框的一侧靠近中部的位置设置有驱动电机，所述驱动电机用于带动安装框转动，且所述驱动电机上安装有安装架，所述安装框设置在清洗液中，所述驱动电机带动安装框旋转，使安装框带动放置盒在清洗液中旋转。

作为本技术方案的进一步改进，所述夹持夹包括内夹杆和外夹杆，所述内夹杆和外夹杆的一端铰接在承接杆靠近通槽一侧的侧壁上，且内夹杆、外夹杆的一端侧壁彼此接触，所述内夹杆、外夹杆形成八字结构。

作为本技术方案的进一步改进，所述内夹杆和外夹杆之间彼此远离的一端均开设有片放槽，所述晶圆片的侧边设置在片放槽中，且两个所述夹持夹将晶圆片夹持固定，且所述内夹杆、外夹杆彼此靠近的一端均开设有空槽，所述空槽的内部固定有拉力柱，两个所述拉力柱之间连接有拉力弹簧，所述拉力弹簧通过拉动拉力柱来控制内夹杆、外夹杆之间的距离。

作为本技术方案的进一步改进，所述内夹杆和承接杆之间的侧壁上连接有弧形弹簧，所述内夹杆夹持晶圆片时，弧形弹簧处于压缩状态。

作为本技术方案的进一步改进，所述拨动机构包括滑杆，所述滑杆贴近夹持夹一侧靠近两端的位置固定有拨杆，所述拨杆的一端和内夹杆的外侧壁接触，所述滑杆靠近中部的位置左右对称固定有橡胶块，所述橡胶块和晶圆片的侧壁接触，所述滑杆在移动时，拨杆拨动内夹杆、所述橡胶块对晶圆片进行拨动。

作为本技术方案的进一步改进，所述滑杆中部位置的一侧固定有驱动架，所述驱动架上开设有转槽，且在转槽的内部设置有偏心轮，所述偏心轮的一侧设置有对偏心轮进行驱动旋转的动力电机，所述偏心轮旋转时对转槽的侧壁进行推动，使滑杆进行横向移动。

作为本技术方案的进一步改进，所述承接杆靠近中部的位置开设有滑槽，所述滑杆和驱动架滑动设置在滑槽的内部，且所述承接杆远离滑槽的一侧固定有盛放盒，所述动力电机设置在盛放盒的内部。

作为本技术方案的进一步改进，安装在所述安装框上相邻的两个放置盒的放置方向相反，且在所述铰接轴下侧的承接杆上安装有配重块，所述配重块用于调控放置盒的平衡位置。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1、该夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒中，通过夹持夹对晶圆片进行夹持，使晶圆片被限制在两个夹持夹之间，并通过拨动机构对夹持夹的位置进行调整，使夹持夹对晶圆片进行小角度的转动，以此来改变晶圆片上刻录的纹路的方向，使清洗液中的杂质不会依附在晶圆片上，确保清洗过后的晶圆片上不会残留杂质，提高晶圆片清洗的效果。

2、该夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒中，当放置盒进入到清洗液中，随着放置盒伸入到清洗液的深度以及放置盒移动时对清洗液的阻力，使放置盒在清洗液中出现不同倾斜的角度，使晶圆片在清洗液中被清洗，且不同尺寸的晶圆片在清洗液中所受到的阻力不同，使晶圆片倾斜的角度也不同，使装置便于对不同尺寸的晶圆片进行清洗，同时避免了在清洗不同尺寸的晶圆片时，需要人工对晶圆片进行角度的调整，提高装置使用的自动化程度。

3、该夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒中，晶圆片在清洗液中清洗的角度改变的同时，拨动机构将晶圆片带动进行小角度的旋转，使晶圆片刻录的纹路发生改变，使清洗液中的杂质不会依附在晶圆片上，以做到晶圆片的快速清洗以及提高晶圆片清洗的效果。

附图说明

图1为本发明的整体装置水平设置时结构示意图；

图2为本发明的整体装置竖直设置时结构示意图；

图3为本发明的翻转架结构示意图；

图4为本发明的放置盒夹持晶圆片结构示意图；

图5为本发明的放置盒夹持晶圆片的剖视结构示意图之一；

图6为本发明的放置盒夹持晶圆片的剖视结构示意图之二；

图7为本发明的部分放置盒夹持晶圆片结构示意图；

图8为本发明的承接架剖视结构示意图；

图9为本发明的夹持夹结构示意图；

图10为本发明的拨动机构结构示意图；

图11为本发明的放置盒对晶圆片角度进行调整的运动示意图。

图中各个标号意义为：

1、翻转架；11、安装框；12、驱动电机；13、安装架；

2、放置盒；

21、承接架；211、承接杆；212、铰接轴；213、滑槽；214、通槽；215、盛放盒；

22、夹持夹；221、内夹杆；222、外夹杆；223、片放槽；224、拉力弹簧；225、内凹槽；226、气囊；227、弧形弹簧；228、空槽；229、拉力柱；

23、拨动机构；231、滑杆；232、拨杆；233、橡胶块；234、驱动架；235、偏心轮；236、动力电机；237、拨水板；24、配重块；

3、晶圆片。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例1

不同尺寸的晶圆所清洗的最佳角度不同，在使用的过程中，需要人工对晶圆的倾斜角度进行调整，而在清洗的过程中晶圆是固定不动的，在清洗的过程中，清洗液下层会积累从圆晶上清洗下来的杂质，当晶圆倾斜的角度的固定时，晶圆上的刻录的间隙中会残留杂质，进而影响晶圆的清洗效果。

为了解决上述问题，请参阅图1-图2所示，本实施例目的在于，提供了一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，包括若干个放置盒2，放置盒2的内部夹持有晶圆片3，若干个放置盒2安装在翻转架1上，翻转架1带动放置盒2在液体中旋转，放置盒2在清洗液中旋转时，清洗液对晶圆片3表面进行冲洗，将晶圆片3表面的杂质冲洗掉，同时在放置盒2在夹持晶圆片3的过程中，放置盒2对晶圆片3的放置位置进行调节，使晶圆片3在放置盒2上进行角度的微调，对晶圆片3上刻录的纹路进行角度的改变，避免杂质在刻录的纹路中聚集，提高清洗液对晶圆片3的清洗效果，同时在放置盒2静止的状态下，放置盒2处于水平状态，水平状态的放置盒2控制晶圆片3在水平面上设置，使在放置盒2离开清洗液后，携带晶圆片3处于水平状态，方便工作人员对晶圆片3清洗情况进行判断。

同时在放置盒2携带晶圆片3在清洗液中移动，清洗液对晶圆片3进行冲洗，使放置盒2和晶圆片3在清洗液中倾斜设置，放置盒2和晶圆片3在清洗液的不同深度处所受到的阻力不同，进而使放置盒2、晶圆片3倾斜的角度不同，使晶圆片3在清洗液中进行不同角度的翻转，提高清洗液对晶圆片3表面清洗的效果，同时不同尺寸大小的晶圆片3在清洗液中所受到的阻力也不同，使晶圆片3在清洗液中倾斜的角度也不同，以此来使晶圆片3在清洗液中的角度也不同，使晶圆片3在清洗液中处于最佳的倾斜角度，方便清洗液对晶圆片3进行清洗。

为了使翻转架1、放置盒2对晶圆片3达到上述的清洗效果，参考图3-图9，放置盒2包括承接架21，承接架21的内部左右对称设置有对晶圆片3进行夹持的夹持夹22，通过两个夹持夹22将晶圆片3固定在承接架21的内部，同时承接架21包括呈U形的承接杆211，承接杆211靠近两端的位置上开设有通槽214，承接杆211靠近通槽214的外侧壁上固定有铰接轴212，铰接轴212安装在放置盒2夹持晶圆片3后的平衡处，使放置盒2在夹持晶圆片3后，放置盒2、晶圆片3可以处在水平位置上，同时翻转架1包括呈方形的安装框11，安装框11设置在清洗液中，且在安装框11处于竖直状态时，安装框11的上半部分离开清洗液，同时放置盒2设置在安装框11的内部，且铰接轴212的一端转动插接在安装框11的侧壁上，在放置盒2相对于水平倾角改变时，铰接轴212在安装框11的内部转动，同时在安装框11的一侧靠近中部的位置设置有驱动电机12，驱动电机12用于带动安装框11转动，且驱动电机12上安装有安装架13，安装架13安装在盛放清洗液容器的外侧，在驱动电机12带动安装框11旋转，使安装框11带动放置盒2在清洗液中旋转，使晶圆片3在清洗液中移动，使清洗液对晶圆片3表面的杂质进行去除。

同时为了加强放置盒2带动晶圆片3处于水平位置的稳定性，在铰接轴212下侧的承接杆211上安装有配重块24，配重块24用于调控放置盒2的平衡位置，使放置盒2、晶圆片3在离开清洗液后可以快速的移动到水平的位置，以此来方便操作人员观测晶圆片3的清洗效果，使操作人员便于控制晶圆片3的清洗时长。

同时为了方便安装框11在带动放置盒2旋转的过程中，安装框11不会出现因为偏心力而使安装框11出现旋转不稳定的情况，将安装在安装框11上相邻的两个放置盒2的放置方向相反，使放置盒2在受到偏心力后，两个放置盒2进行同向旋转，避免安装框11出现重心偏移的情况，保证安装框11旋转的稳定性。

同时夹持夹22在夹持晶圆片3的时候，需要使晶圆片3便于放置和取走，同时晶圆片3较为脆薄，不可进行大力的夹持，故对夹持夹22的结构进行细化，使夹持夹22在固定晶圆片3的时候，不会对晶圆片3进行大力的夹持，参考图4-图9，夹持夹22包括内夹杆221和外夹杆222，内夹杆221和外夹杆222的一端铰接在承接杆211靠近通槽214一侧的侧壁上，且内夹杆221、外夹杆222的一端侧壁彼此接触，内夹杆221、外夹杆222形成八字结构，而内夹杆221和外夹杆222之间彼此远离的一端均开设有片放槽223，晶圆片3的侧边设置在片放槽223中，使两个夹持夹22将晶圆片3夹持固定，同时在且内夹杆221、外夹杆222彼此靠近的一端均开设有空槽228，空槽228的内部固定有拉力柱229，两个拉力柱229之间连接有拉力弹簧224，拉力弹簧224通过拉动拉力柱229来控制内夹杆221、外夹杆222之间的距离，使拉力弹簧224拉拽外夹杆222的一端靠近内夹杆221，使外夹杆222配合内夹杆221将晶圆片3稳定的夹持，确保晶圆片3清洗的稳定性。

同时在内夹杆221上的片放槽223上开设内凹槽225，并在内凹槽225的内部设置成U形的气囊226，气囊226的内部填充空气，当晶圆片3的一侧插入到片放槽223中和气囊226接触时，气囊226对晶圆片3的侧壁进行接触，使晶圆片3对气囊226的侧壁进行挤压，被挤压的气囊226使部分其他向两侧移动，使气囊226对晶圆片3的上、下两侧进行夹持，将晶圆片3夹持固定住，提高夹持夹22对晶圆片3夹持的稳定性。

同时为了使夹持夹22不会在承接架21的内部进行晃动，而降低夹持夹22对晶圆片3夹持的稳定性，在内夹杆221和承接杆211之间的侧壁上连接有弧形弹簧227，弧形弹簧227对内夹杆221的位置进行限制，使内夹杆221不会在承接架21内部进行晃动，同时在内夹杆221夹持晶圆片3时，弧形弹簧227处于压缩状态，弧形弹簧227推动内夹杆221，使内夹杆221将晶圆片3向外推，但拉力弹簧224对外夹杆222进行拉拽，使外夹杆222对晶圆片3进行向内的按压，限制晶圆片3的外移，使晶圆片3达到稳定的在承接架21内部放置的效果，提高晶圆片3放置的稳定性。

而为了加强拉力弹簧224对外夹杆222拉拽的效果，将拉力柱229固定在空槽228偏离内夹杆221、外夹杆222和承接杆211铰接的轴心，且两个拉力柱229彼此远离，使当拉力弹簧224拉拽拉力柱229时，拉力弹簧224处于内夹杆221、外夹杆222和承接杆211铰接的轴线一侧，提高外夹杆222、内夹杆221对晶圆片3夹持的稳定性，同时当需要将晶圆片3取出时，将外夹杆222向外推动，此时弧形弹簧227推动内夹杆221向外移，同时随着外夹杆222的翻转，位于外夹杆222上的拉力柱229远离内夹杆221，使两个拉力柱229之间的距离变大，当外夹杆222翻转到河承接杆211的侧壁贴合后，拉力弹簧224移动到内夹杆221、外夹杆222和承接杆211铰接的轴线的另一侧，使拉力弹簧224拉动外夹杆222贴紧承接杆211，使外夹杆222不会阻挡晶圆片3的取出，同时弧形弹簧227将晶圆片3向外推，使晶圆片3便于被操作人员取出。

通过外夹杆222、内夹杆221对晶圆片3的夹持力度由拉力弹簧224、弧形弹簧227的弹力控制，为了确保内夹杆221、外夹杆222不会将晶圆片3夹持损坏，在内夹杆221、外夹杆222侧壁贴合的位置设置阻挡块来限制内夹杆221、外夹杆222在夹持晶圆片3时旋转的角度，避免内夹杆221、外夹杆222加持力度过大而对晶圆片3造成损坏。

同时清洗液清洗过晶圆片3后，晶圆片3上残留的杂质会落在清洗液的底部，当安装框11带动放置盒2、晶圆片3在清洗液中旋转时，在清洗液底部的杂质会落在晶圆片3上，而晶圆片3上刻录的纹路会承接部分杂质，如此会出现在清洗后晶圆片3中纹路存在杂质的情况，降低晶圆片3清洗的效果，为了解决此类问题，参考图4-图10，两个夹持夹22的一侧设置有对夹持夹22进行拨动的拨动机构23，拨动机构23在拨动夹持夹22的过程中，使夹持夹22对夹持的晶圆片3的放置位置进行改变，使晶圆片3在两个夹持夹22之间旋转，以此来改变晶圆片3上纹路的方向，使清洗液在冲洗晶圆片3时，可以有效的将晶圆片3上纹路中的杂质冲洗掉，提高装置清洗晶圆片3的效果。

为了使拨动机构23存在上述所表述的效果，拨动机构23包括滑杆231，滑杆231贴近夹持夹22一侧靠近两端的位置固定有拨杆232，拨杆232的一端和内夹杆221的外侧壁接触，滑杆231靠近中部的位置左右对称固定有橡胶块233，橡胶块233和晶圆片3的侧壁接触，滑杆231在移动时，拨杆232拨动内夹杆221，使内夹杆221对晶圆片3进行拨动，且橡胶块233的一侧摩擦晶圆片3边缘，将晶圆片3带动进行小角度的旋转；

在滑杆231移动的时候，参考图11，在滑杆231进行横移时，其中一个拨杆232对内夹杆221的一端进行推动，另一个拨杆232远离另一个内夹杆221，被推动的内夹杆221向上翻转，使内夹杆221对加持在两个夹持夹22之间的晶圆片3进行推动，被推动的晶圆片3远离滑杆231的斜方移动，在晶圆片3移动的过程中，晶圆片3对另一个内夹杆221挤压，使内夹杆221向下翻转，同时橡胶块233对晶圆片3的侧壁进行推动，使晶圆片3进行横移，在晶圆片3挤压内夹杆221的同时，晶圆片3对两个外夹杆222进行推动，使外夹杆222向外翻转，此时，两个夹持夹22之间存在晶圆片3移动的空间，再通过橡胶块233对晶圆片3的横推，使晶圆片3在两个夹持夹22之间进行小角度的旋转，而旋转的晶圆片3会改变晶圆片3上刻录的纹路方向，使落在纹路中的杂质被清洗液冲洗掉，同时当滑杆231反向移动时，晶圆片3被带动进行反向移动，使晶圆片3进行反向旋转，如此往复，使晶圆片3在被安装框11带动的过程中，在清洗液中进行往复的旋转，依次来改变晶圆片3上纹路放置的方向，使清洗液更好的对晶圆片3表面的杂质进行冲洗，将晶圆片3表面的杂质去除掉。

为了加强水流对晶圆片3上冲洗的效果，在拨杆232上固定拨水板237对清洗液进行拨动，使清洗液可以被带动冲洗晶圆片3，提高晶圆片3被冲洗的效果。

同时晶圆片3在清洗液中移动的过程中，部分清洗液通过通槽214离开放置盒2，使液体存在横流的存在，方便清洗液冲洗晶圆片3纹路中的杂质，当放置盒2、晶圆片3离开清洗液时，配重块24对放置盒2的位置进行调整，使放置盒2、晶圆片3快速水平放置，而在放置盒2、晶圆片3调整为水平状态时，夹持夹22阻挡的部分清洗液从通槽214处流走，以方便晶圆片3上表面的液体快速排走，同时当安装框11翻转时，对晶圆片3的另一侧进行清洗，以实现晶圆片3完全清洗的效果。

滑杆231需要在承接杆211上进行往复移动才能完成上述所描述的效果，而为了使滑杆231带动晶圆片3进行往复的小角度旋转，参考图6、图8以及图10，滑杆231中部位置的一侧固定有驱动架234，驱动架234上开设有转槽，且在转槽的内部设置有偏心轮235，偏心轮235的一侧设置有对偏心轮235进行驱动旋转的动力电机236，偏心轮235旋转时对转槽的侧壁进行推动，且转槽的上下两端和偏心轮235不接触，在偏心轮235旋转时，推动滑杆231进行横向移动，而为了限制滑杆231移动的轨迹，在承接杆211靠近中部的位置开设有滑槽213，滑杆231和驱动架234滑动设置在滑槽213的内部，通过滑槽213限制滑杆231滑动的轨迹，同时为了延长动力电机236使用的期限，在承接杆211远离滑槽213的一侧固定有盛放盒215，并将动力电机236设置在盛放盒215的内部，使盛放盒215对动力电机236进行防护，避免清洗液流入到动力电机236内部，而使动力电机236无法使用。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，包括若干个放置盒（2），若干个所述放置盒（2）安装在翻转架（1）上，所述翻转架（1）带动放置盒（2）在液体中旋转，所述放置盒（2）的内部夹持有晶圆片（3），其特征在于：所述放置盒（2）在夹持晶圆片（3）的过程中对晶圆片（3）的放置位置进行调节，且所述放置盒（2）控制晶圆片（3）在水平面上设置；

所述放置盒（2）包括承接架（21），所述承接架（21）的内部左右对称设置有对晶圆片（3）进行夹持的夹持夹（22），两个所述夹持夹（22）的一侧设置有对夹持夹（22）进行拨动的拨动机构（23），所述拨动机构（23）在拨动夹持夹（22）的过程中，使夹持夹（22）对夹持的晶圆片（3）的放置位置进行改变，使晶圆片（3）在两个夹持夹（22）之间旋转。

2.根据权利要求1所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述承接架（21）包括呈U形的承接杆（211），所述承接杆（211）靠近两端的位置上开设有通槽（214），所述承接杆（211）靠近通槽（214）的外侧壁上固定有铰接轴（212），所述翻转架（1）包括呈方形的安装框（11），所述放置盒（2）设置在安装框（11）的内部，且所述铰接轴（212）的一端转动插接在安装框（11）的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述安装框（11）的一侧靠近中部的位置设置有驱动电机（12），所述驱动电机（12）用于带动安装框（11）转动，且所述驱动电机（12）上安装有安装架（13），所述安装框（11）设置在清洗液中，所述驱动电机（12）带动安装框（11）旋转，使安装框（11）带动放置盒（2）在清洗液中旋转。

4.根据权利要求2所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述夹持夹（22）包括内夹杆（221）和外夹杆（222），所述内夹杆（221）和外夹杆（222）的一端铰接在承接杆（211）靠近通槽（214）一侧的侧壁上，且内夹杆（221）、外夹杆（222）的一端侧壁彼此接触，所述内夹杆（221）、外夹杆（222）形成八字结构。

5.根据权利要求4所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述内夹杆（221）和外夹杆（222）之间彼此远离的一端均开设有片放槽（223），所述晶圆片（3）的侧边设置在片放槽（223）中，且两个所述夹持夹（22）将晶圆片（3）夹持固定，且所述内夹杆（221）、外夹杆（222）彼此靠近的一端均开设有空槽（228），所述空槽（228）的内部固定有拉力柱（229），两个所述拉力柱（229）之间连接有拉力弹簧（224），所述拉力弹簧（224）通过拉动拉力柱（229）来控制内夹杆（221）、外夹杆（222）之间的距离。

6.根据权利要求4所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述内夹杆（221）和承接杆（211）之间的侧壁上连接有弧形弹簧（227），所述内夹杆（221）夹持晶圆片（3）时，弧形弹簧（227）处于压缩状态。

7.根据权利要求6所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述拨动机构（23）包括滑杆（231），所述滑杆（231）贴近夹持夹（22）一侧靠近两端的位置固定有拨杆（232），所述拨杆（232）的一端和内夹杆（221）的外侧壁接触，所述滑杆（231）靠近中部的位置左右对称固定有橡胶块（233），所述橡胶块（233）和晶圆片（3）的侧壁接触，所述滑杆（231）在移动时，拨杆（232）拨动内夹杆（221）、所述橡胶块（233）对晶圆片（3）进行拨动。

8.根据权利要求7所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述滑杆（231）中部位置的一侧固定有驱动架（234），所述驱动架（234）上开设有转槽，且在转槽的内部设置有偏心轮（235），所述偏心轮（235）的一侧设置有对偏心轮（235）进行驱动旋转的动力电机（236），所述偏心轮（235）旋转时对转槽的侧壁进行推动，使滑杆（231）进行横向移动。

9.根据权利要求8所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：所述承接杆（211）靠近中部的位置开设有滑槽（213），所述滑杆（231）和驱动架（234）滑动设置在滑槽（213）的内部，且所述承接杆（211）远离滑槽（213）的一侧固定有盛放盒（215），所述动力电机（236）设置在盛放盒（215）的内部。

10.根据权利要求3所述的夹持式对晶圆片进行小角度调整的晶圆片盒，其特征在于：安装在所述安装框（11）上相邻的两个放置盒（2）的放置方向相反，且在所述铰接轴（212）下侧的承接杆（211）上安装有配重块（24），所述配重块（24）用于调控放置盒（2）的平衡位置。