CN109860087A - 晶圆片盒悬挂机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆片盒悬挂机构，涉及半导体晶圆加工技术领域。晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，片盒挂板用于安放晶圆片盒，固定板固定设置；倾斜调节部件能够带动片盒挂板相对于固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的倾斜角度。解决了现有技术中，晶圆在清洗槽内倾斜角度无法改变，在不同工况条件下，无法达到最佳的晶圆清洗效果的技术问题。本发明通过设置倾斜调节部件实现对片盒挂板与固定板之间角度的调节，实现对不同工况的晶圆清洗的更好的效果。

Description

晶圆片盒悬挂机构

技术领域

本发明涉及半导体晶圆加工过程领域，尤其是涉及一种晶圆片盒悬挂机构。

背景技术

随着半导体及相关产业的不断扩大和发展，对晶圆清洗的工艺要求也越来越高。

晶圆的清洗一般会用到超声清洗槽和晶圆片盒悬挂机构，晶圆片盒悬挂机构放置在超声清洗槽内。需要对晶圆进行清洗时，直接将晶圆放置在晶圆片盒悬挂机构上夹持的晶圆片盒内，且使得清洗槽内的清洗液的液面超出晶圆片盒，通过清洗槽内的超声波装置实现对清洗液的振动，进而实现对晶圆的清洗。一般当晶圆相对于超声波装置的超声振板有一定角度时清洗效果会比垂直时好些。而且不同规格的晶圆，以及不同清洗工况的条件下的最佳倾斜角度也有所不同。

但是现有的晶圆片盒悬挂机构的倾斜角度不可调，无法满足不同晶圆清洗时对晶圆倾斜角度的要求，从而无法达到最佳的清洗效果；为了适应不同工况，并满足清洗要求，只能更换晶圆片盒悬挂机构，费时费力且成本高。而且，晶圆片盒悬挂机构只能放置一种规格的晶圆片盒，需要对不同规格的晶圆片盒进行清洗时，还需要对晶圆片盒悬挂机构进行替换，这就需要有多个不同的晶圆片盒悬挂机构，生产成本高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片盒悬挂机构，以解决现有技术中存在的，晶圆片盒在晶圆片盒悬挂机构上的倾斜角度不可调，无法达到最佳清洗效果的技术问题。

本发明提供的一种晶圆片盒悬挂机构，所述晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；

所述片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，所述片盒挂板用于安放晶圆片盒，所述固定板固定设置；

所述倾斜调节部件能够带动所述片盒挂板相对于所述固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的位置。

进一步的，所述倾斜调节部件包括连接柱和调节固定部；

所述连接柱的一端与片盒挂板铰接连接，所述连接柱的另一端穿过所述固定板，且所述连接柱的另一端能够相对所述固定板移动，以调整片盒挂板相对与固定板的偏转角度；所述调节固定部能够将连接柱与固定板相对固定。

进一步的，所述倾斜调节部件还包括连接轴；

所述固定板上设有安装孔，所述连接轴转动连接在固定板的安装孔内，所述连接轴长度方向的中部设置有通孔，所述连接柱的另一端穿过所述通孔。

进一步的，所述调节固定部包括第一锁母，所述连接柱的外侧设有螺纹；

所述第一锁母套接在连接柱上，且与连接柱上的螺纹连接，所述第一锁母设置在连接轴的靠近片盒挂板的一侧。

进一步的，所述调节固定部还包括第二锁母；

所述第二锁母套接在连接柱上，且与连接柱上的螺纹连接，所述第二锁母设置在连接轴的远离片盒挂板的一侧。

进一步的，所述连接轴通过轴座固定在所述固定板的安装孔内；

所述轴座的数量为两个，两个轴座分别连接在安装孔的两侧，所述连接轴连接在两个轴座之间。

进一步的，所述倾斜调节部件还包括连接块和转轴；

所述连接块固定连接在片盒挂板上，所述转轴穿过所述连接块及连接柱的一端，以使连接柱的一端与片盒挂板转动连接。

进一步的，所述连接块的数量为两个，两个所述连接块设置在连接柱的两侧。

进一步的，所述倾斜调节部件还包括限位件；

所述限位件套接在所述转轴的两端。

进一步的，所述片盒挂板的远离固定板的一面上设有用于安放晶圆片盒的卡紧槽，所述卡紧槽的数量为多个，多个卡紧槽沿远离片盒挂板一面的方向依次设置。

本发明提供的晶圆片盒悬挂机构，所述片盒挂板与固定板通过铰接轴铰接连接，片盒挂板用于安放晶圆片盒，固定板固定设置，倾斜调节部件能够带动片盒挂板相对于固定板转动，调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的倾斜角度，使得晶圆片盒在清洗槽内达到最佳的倾斜角度，使得晶圆的清洗的更加彻底，达到最佳的清洗效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的晶圆片盒悬挂机构的正视图；

图2为本发明实施例提供的晶圆片盒悬挂机构的立体图；

图3为本发明实施例提供的晶圆片盒悬挂机构的右视图；

图4为图3中A-A向的剖视图；

图5为图4中B部分的局部放大图。

图标：100-片盒转动部件；200-倾斜调节部件；300-铰接轴；101-片盒挂板；102-固定板；103-安装孔；104-连接板；105-轴套；106-卡紧槽；201-连接柱；202-调节固定部；203-连接轴；204-通孔；205-第一锁母；206-第二锁母；207-轴座；208-连接块；209-转轴；210-限位件。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明提供了一种晶圆片盒悬挂机构，所述晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件100和倾斜调节部件200；所述片盒转动部件100包括通过铰接轴300铰接连接的片盒挂板101和固定板102，所述片盒挂板101用于安放晶圆片盒，所述固定板102固定设置；所述倾斜调节部件200能够带动所述片盒挂板101相对于所述固定板102转动，以调整安放在片盒挂板101上的晶圆片盒的位置。

如图1-2所示，本发明提供了一种晶圆片盒悬挂机构，所述片盒转动部件100的片盒挂板101的底端与片盒转动部件100的固定板102的底端通过铰接轴300转动连接，所述固定板102固定设置，所述倾斜调节部件200的前端与片盒挂板101连接，所述倾斜调节部件200的后端与固定板102连接，所述倾斜调节部件200能够带动所述片盒挂板101相对于固定板102转动，实现对晶圆片盒悬挂机构的倾斜角度的调整，使得片盒挂板101上的晶圆片盒在清洗槽内的位置得到调整，进而使得不同工况下的晶圆片盒均能够被清洗槽内的清洗液完全覆盖，使得晶圆片盒的各个部分在受到超声波装置引起的清洗液的振动的作用下清洗的更加彻底，实现对晶圆片盒清洗的更好的效果。

进一步地，所述倾斜调节部件200包括连接柱201和调节固定部202；所述连接柱201的一端与片盒挂板101铰接连接，所述连接柱201的另一端穿过所述固定板102，且所述连接柱201的另一端能够相对所述固定板102移动，以调整片盒挂板101相对与固定板102的偏转角度；所述调节固定部202能够将连接柱201与固定板102相对固定。

如图2所示，所述连接柱201的前端与片盒挂板101转动连接，所述连接柱201的后端穿过所述固定板102，且调节固定部202能够将连接柱201与固定板102相对固定；需要增大片盒挂板101与固定板102之间的偏转角度时，调整调节固定部202，使得连接柱201沿固定板102移动，使得片盒挂板101沿远离固定板102的方向偏转，实现对片盒挂板101与固定板102之间偏转角度的增大，之后固定调节固定部202，使得片盒挂板101与固定板102之间的偏转角度固定；当需要缩小片盒挂板101与固定板102之间的偏转角度时，调整调节固定部202，使得连接柱201沿固定板102移动，使得片盒挂板101沿靠近固定板102的方向偏转，实现对片盒挂板101与固定板102之间偏转角度的缩小，之后固定调节固定部202，使得片盒挂板101与固定板102之间的偏转角度的固定，实现对片盒挂板101与固定板102之间偏转角度的调整。

进一步地，所述倾斜调节部件200还包括连接轴203；所述固定板102上设有安装孔103，所述连接轴203转动连接在固定板102的安装孔103内，所述连接轴203长度方向的中部设置有通孔204，所述连接柱201的另一端穿过所述通孔204。

如图1-2所示，所述固定板102中部设有安装孔103，所述连接轴203的左端连接在固定板102的安装孔103的左端，所述连接轴203的右端连接在固定板102的安装孔103的右端，所述连接轴203中间设有通孔204，所述连接柱201的上端穿出所述连接轴203，通过调节固定部202将连接柱201与连接轴203相对固定；通过设置连接轴203，实现对固定板102与连接柱201之间的连接，避免直接将连接柱201连接在固定板102上，若固定板102损坏，需要替换全部的固定板102，替换成本高的问题。

进一步地，所述调节固定部202包括第一锁母205，所述连接柱201的外侧设有螺纹；所述第一锁母205套接在连接柱201上，且与连接柱201上的螺纹连接，所述第一锁母205设置在连接轴203的靠近片盒挂板101的一侧。

如图1-3所示，所述连接柱201的外侧上设有螺纹，所述第一锁母205套接在连接柱201的前端，既能够对固定板102起到一定的支撑作用，同时，通过旋松或旋紧第一锁母205也可以实现对片盒挂板101与固定板102之间的角度的调整，调节结构简单。

进一步地，所述调节固定部202还包括第二锁母206；所述第二锁母206套接在连接柱201上，且与连接柱201上的螺纹连接，所述第二锁母206设置在连接轴203的远离片盒挂板101的一侧。

所述第二锁母206套接在连接柱201的后端，第一锁母205及第二锁母206的共同作用，实现对片盒挂板101与固定板102之间角度的调整。

进一步地，所述连接轴203通过轴座207固定在所述固定板102的安装孔103内；所述轴座207的数量为两个，两个轴座207分别连接在安装孔103的两侧，所述连接轴203连接在两个轴座207之间。

所述轴座207的数量为两个，一个轴座207连接在安装孔103的左侧，另一个轴座207连接在安装孔103的右侧，所述连接轴203连接在左右两个轴座207之间，所述连接柱201的上端穿出所述连接轴203，第一锁母205及第二锁母206均套接在连接柱201上，且分别连接在连接轴203的前后两侧；通过轴座207及连接轴203的连接，使得连接轴203与固定板102之间转动连接，连接方式灵活，避免在调节调节固定部202过程中对固定板102及连接轴203的损坏。

进一步地，所述倾斜调节部件200还包括连接块208和转轴209；所述连接块208固定连接在片盒挂板101上，所述转轴209穿过所述连接块208及连接柱201的一端，以使连接柱201的一端与片盒挂板101转动连接。

如图2所示，所述连接块208固定连接在片盒挂板101的上方，所述转轴209穿过所述连接块208及连接柱201的底端，使得连接柱201的底端与片盒挂板101通过转轴209转动连接，连接结构简单，成本较低。

进一步地，所述连接块208的数量为两个，两个所述连接块208设置在连接柱201的两侧。

所述连接块208的数量为两个，两个连接块208设置在连接柱201的左右两侧，使得连接柱201两侧的连接结构对称设置，连接结构稳定；两个连接块208的设置，也能够使得连接柱201与片盒挂板101之间的连接更加稳定。

进一步地，所述倾斜调节部件200还包括限位件210；所述限位件210套接在所述转轴209的两端。

所述限位件210为螺母，所述螺母套接在转轴209上，实现对连接块208与连接柱201的紧固连接，紧固方式简单。

如图4和图5所示，所述固定板102的左右两侧设有连接板104，左连接板104连接在固定板102的左侧，右连接板104连接在固定板102的右侧，所述左连接板104及右连接板104上设有贯穿的连接孔，左侧的铰接轴300穿过左连接板104与片盒挂板101的左侧，右侧的铰接轴300穿过所述片盒挂板101的右侧及右连接板104，实现片盒挂板101与连接板104的转动连接，通过铰接轴300连接，结构简单，成本低。

所述左连接板104及右连接板104内还均设有轴套105，所述铰接轴300连接在轴套105内部，避免铰接轴300直接与连接板104连接，避免对铰接轴300及连接板104的磨损。

进一步地，所述片盒挂板101的远离固定板102的一面上设有用于安放晶圆片盒的卡紧槽106，所述卡紧槽106的数量为多个，多个卡紧槽106沿远离片盒挂板101一面的方向依次设置。

如图2所示，所述片盒挂板101的远离固定板102的前面上设有用于安放晶圆片盒的卡紧槽106，所述卡紧槽106的数量为两个，第一个卡紧槽106用于卡紧尺寸较小的晶圆片盒，第二个卡紧槽106设在第一个卡紧槽106的前侧，且第二个卡紧槽106的宽度大于第一个卡紧槽106的宽度，第二个卡紧槽106用于卡紧尺寸较大的晶圆片盒，通过设置两个卡紧槽106能够实现对不同规格的晶圆片盒的卡紧，避免在更换晶圆片盒后仍需更换晶圆片盒悬挂机构的问题，节约成本。

需要说明的是，所述卡紧槽106的数量还可以设置成三个或者更多个，剩余的卡紧槽106沿片盒挂板101的前侧依次向前设置，实现对不同规格的晶圆片盒的卡紧。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；

所述片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，所述片盒挂板用于安放晶圆片盒，所述固定板固定设置；

所述倾斜调节部件能够带动所述片盒挂板相对于所述固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件包括连接柱和调节固定部；

所述连接柱的一端与片盒挂板铰接连接，所述连接柱的另一端穿过所述固定板，且所述连接柱的另一端能够相对所述固定板移动，以调整片盒挂板相对与固定板的偏转角度；所述调节固定部能够将连接柱与固定板相对固定。

3.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件还包括连接轴；

所述固定板上设有安装孔，所述连接轴转动连接在固定板的安装孔内，所述连接轴长度方向的中部设置有通孔，所述连接柱的另一端穿过所述通孔。

4.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述调节固定部包括第一锁母，所述连接柱的外侧设有螺纹；

所述第一锁母套接在连接柱上，且与连接柱上的螺纹连接，所述第一锁母设置在连接轴的靠近片盒挂板的一侧。

5.根据权利要求4所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述调节固定部还包括第二锁母；

所述第二锁母套接在连接柱上，且与连接柱上的螺纹连接，所述第二锁母设置在连接轴的远离片盒挂板的一侧。

6.根据权利要求3所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述连接轴通过轴座固定在所述固定板的安装孔内；

所述轴座的数量为两个，两个轴座分别连接在安装孔的两侧，所述连接轴连接在两个轴座之间。

7.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件还包括连接块和转轴；

所述连接块固定连接在片盒挂板上，所述转轴穿过所述连接块及连接柱的一端，以使连接柱的一端与片盒挂板转动连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述连接块的数量为两个，两个所述连接块设置在连接柱的两侧。

9.根据权利要求8所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件还包括限位件；

所述限位件套接在所述转轴的两端。

10.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述片盒挂板的远离固定板的一面上设有用于安放晶圆片盒的卡紧槽，所述卡紧槽的数量为多个，多个卡紧槽沿远离片盒挂板一面的方向依次设置。