CN117672937A - 一种晶圆输送储存装置及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆输送技术领域，具体涉及一种晶圆输送储存装置及其工作方法；本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：盒本体、载具、限位件和联动件，每两个所述限位件对称固定在所述盒本体内壁，且两限位件相对设置；一个联动件对应一个限位件，所述联动件滑动设置在所述盒本体内壁；所述载具适于承载晶圆片，所述载具与所述限位件联动；其中，载具插入盒本体内后，载具适于推动限位件的活动端自内向外滑动，至限位件的活动端与联动件抵接；限位件的活动端适于推动载具的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具内部；通过载具和限位件的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具内，避免了运输和夹取过程中晶圆片被损伤。

Description

一种晶圆输送储存装置及其工作方法

技术领域

本发明涉及晶圆输送技术领域，具体涉及一种晶圆输送储存装置及其工作方法。

背景技术

晶圆盒，在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。

但是，晶圆在输送过程中，容易出现损伤，因此，多将晶圆放置在晶圆载具上。传统的晶圆盒，在将载具与晶圆一同放置在晶圆盒内时，由于是多层互相堆叠放置，在放入和取出的过程中，夹取设备存在损伤晶圆的表面的情况。因此，研发一种晶圆输送储存装置及其工作方法是很有必要的。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶圆输送储存装置。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：

盒本体、载具、限位件和联动件，每两个所述限位件对称固定在所述盒本体内壁，且两限位件相对设置；

一个联动件对应一个限位件，所述联动件滑动设置在所述盒本体内壁；

所述载具适于承载晶圆片，所述载具与所述限位件联动；

其中，载具插入盒本体内后，载具适于推动限位件的活动端自内向外滑动，至限位件的活动端与联动件抵接；

限位件的活动端适于推动载具的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具内部。

作为优选，所述限位件包括：限位板、支撑架和限位块，所述限位板垂直固定在所述盒本体内壁，且每两所述限位板相对设置；

所述限位块滑动设置在所述限位板侧壁，且所述限位块与所述载具滑动适配；

所述支撑架固定在所述限位板下端，所述支撑架适于从下端承载载具。

作为优选，所述限位板靠近载具的一侧成圆弧状。

作为优选，所述限位板靠近载具的一侧设置有一限位柱，所述限位块套设在所述限位柱上；

所述限位柱外壁套设有一拉簧，所述拉簧的两端分别固定在限位块和限位板内端壁。

作为优选，相对设置的两支撑架之间的间距小于载具的直径。

作为优选，所述限位块靠近所述联动件的一侧设置有一凸块，所述凸块适于与联动件插接。

作为优选，所述联动件内端部开设有一与所述凸块相适配的卡槽，限位块沿限位柱滑动至与联动件抵接时，所述凸块适于卡入所述卡槽内。

作为优选，所述载具包括：承载盘和两升降板，所述承载盘内部设置有一放置仓；

所述升降板滑动设置在所述放置仓内，且所述升降板的一端适于凸出所述承载盘外壁。

作为优选，所述承载盘内固定有与所述升降板相适配的引导块，所述引导块侧壁与升降板抵接；

其中，升降板向外滑动时，引导块适于推动升降板水平高度升高；

升降板向内滑动时，引导块适于引导升降板水平高度降低。

作为优选，所述升降板下端固定有一与所述引导块相适配的滑块，所述滑块的斜面与所述引导块的斜面抵接。

作为优选，所述盒本体上铰接有两拉手，两所述拉手对称设置。

另一方面，本发明还提供了一种晶圆输送储存装置的工作方法，包括如下步骤：

晶圆片水平放置在载具上，升降板适于支撑晶圆片，此时，两升降板的外端凸出承载盘外壁；

将载具插入盒本体内，承载盘在插入两限位板之间的过程中，适于与限位块抵接，承载盘适于推动两限位块，使其向联动件方向滑动；

至限位块与联动件抵接；

限位块在向联动件的方向滑动的过程中，适于推动升降板向内滑动，引导块适于引导升降板，使其水平高度降低，此时，晶圆片适于收缩在承载盘内；

需要取出承载盘时，向外拉动联动件，以使联动件与限位块分离，拉簧适于拉动限位块向远离联动件的方向移动，限位块适于推动承载盘，使其向盒本体外部方向移动。

本发明的有益效果是，本发明的一种晶圆输送储存装置，通过载具和限位件的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具内，避免了运输和夹取时损伤上下层载具内的晶圆片。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一种晶圆输送储存装置的优选实施例的立体图；

图2是本发明的载具和限位件的立体图；

图3是本发明的限位件的立体图；

图4是本发明的载具的内部剖视图；

图5是本发明的实施例二中的限位板和限位柱的立体图。

图中：

1、盒本体；10、拉手；

2、载具；21、承载盘；22、升降板；23、引导块；24、滑块；

3、限位件；31、限位板；32、支撑架；33、限位块；330、凸块；34、限位柱；

4、联动件；40、卡槽。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一，如图1至图5所示，本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：盒本体1、载具2、限位件3和联动件4，每两个所述限位件3对称固定在所述盒本体1内壁，且两所述限位件3相对设置；所述盒本体1内壁等间距设置有若干限位件3，所述限位件3适于支撑载具2。一个联动件4对应一个限位件3，所述限位件3与所述限位块33联动；所述联动件4滑动设置在所述盒本体1内壁；所述载具2适于承载晶圆片，所述载具2与所述限位件3联动；其中，载具2插入盒本体1内后，载具2适于推动限位件3的活动端自内向外滑动，至限位件3的活动端与联动件4抵接；限位件3的活动端适于推动载具2的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具2内部。通过载具2和限位件3的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具2内，避免了拿取时损伤上下层载具2内的晶圆片。

参考附图2和图3，所述限位件3包括：限位板31、支撑架32和限位块33，所述限位板31垂直固定在所述盒本体1内壁，且每两所述限位板31相对设置；所述限位板31靠近载具2的一侧成圆弧状。承载盘21适于插入两限位板31之间；所述限位块33滑动设置在所述限位板31侧壁，且所述限位块33与所述载具2滑动适配；承载盘21插入两限位板31之间时，承载盘21适于挤压并推动限位块33向联动件4的方向滑动。所述支撑架32固定在所述限位板31下端，所述支撑架32适于从下端承载载具2。参考附图3，所述限位板31靠近载具2的一侧设置有一限位柱34，所述限位块33套设在所述限位柱34上；所述限位块33适于沿所述限位柱34水平滑动；所述限位柱34外壁套设有一拉簧，所述拉簧的两端分别固定在限位块33和限位板31内端壁。限位块33未受到外力挤压时，限位块33位于限位柱34远离联动件4的一端。

为了支撑载具2，相对设置的两支撑架32之间的间距小于载具2的直径。载具2插入两限位板31之间时，所述支撑架32适于从下端支撑载具2。所述载具2为多个，所述载具2适于承载晶圆，一个载具2对应两个限位件3.

参考附图3，为了实现限位块33与联动件4的插接固定，所述限位块33靠近所述联动件4的一侧设置有一凸块330，所述凸块330适于与联动件4插接。所述联动件4内端部开设有一与所述凸块330相适配的卡槽40，限位块33沿限位柱34滑动至与联动件4抵接时，所述凸块330适于卡入所述卡槽40内。而向外拉动所述联动件4时，所述凸块330适于自卡插内脱离，此时，拉簧适于驱动所述限位块33向远离所述联动件4的方向移动。联动块在向远离限位件3的方向移动的过程中，适于推动承载盘21向盒本体1外部方向滑动。

参考附图2和图4，所述载具2包括：承载盘21和两升降板22，所述承载盘21内部设置有一放置仓；所述升降板22滑动设置在所述放置仓内，且所述升降板22的一端适于凸出所述承载盘21外壁。所述升降板22外壁设置有圆弧倒角，当限位块33与升降板22外壁抵接时，以便于限位块33能够推动升降板22向内滑动。所述升降盘适于支撑晶圆片，所述晶圆片的直径小于所述放置仓的直径。所述承载盘21内固定有与所述升降板22相适配的引导块23，所述引导块23侧壁与升降板22抵接；其中，升降板22向外滑动时，引导块23适于推动升降板22水平高度升高；升降板22向内滑动时，引导块23适于引导升降板22水平高度降低。所述升降板22下端固定有一与所述引导块23相适配的滑块24，所述滑块24的斜面与所述引导块23的斜面抵接。晶圆片放置在两升降板22上时，此时，两升降板22的外端凸出承载盘21外壁。放置仓内底壁设置有一弹性件，所述弹性件一端固定在所述升降板22下端，所述弹性件适于推动升降板22沿承载盘21的径向方向向外滑动。当承载盘21放置在两限位板31之间时，限位块33与联动件4卡插限位，此时，限位块33始终与升降板22的外端部抵接，以防止升降板22向外滑动，此时，升降板22在引导块23和滑块24的配合下，使得晶圆片能够保持收缩在承载盘21内。

为了便于搬运盒本体1，所述盒本体1上铰接有两拉手10，两所述拉手10对称设置。人工或机械手适于夹取拉手10，以搬运盒本体1。

实施例二，本实施例在实施例一的基础上，还提供了另一种限位件和联动件的固定方式，具体方式如下：

所述盒本体1侧壁滑动设置有若干定位板，一个定位板对应一个联动件4和一个限位件3；所述定位板适于沿盒本体1高度方向竖直滑动。所述限位件3包括：限位板31、支撑架32、限位块33和限位柱34，所述限位板31垂直固定在所述定位板侧壁，且每两所述限位板31相对设置；所述限位板31靠近载具2的一侧成圆弧状。承载盘21适于插入两限位板31之间；所述支撑架32固定在所述限位板31下端，支撑架32适于从下端承载载具2。

所述限位柱34沿所述限位板31内侧壁延伸，且所述限位柱34远离所述联动件4的一端凸出所述限位板31。所述限位块33套设在所述限位柱34上；所述限位块33适于沿所述限位柱34水平滑动；所述限位柱34外壁套设有一拉簧，所述拉簧的两端分别固定在限位块33和限位柱34的内端部。限位块33未受到外力挤压时，拉簧适于拉动所述限位块33，使其位于限位柱34远离联动件4的一端。所述限位块33上设置有一凸块，所述凸块上包覆有柔性材质，所述凸块适于与位于上方的一个限位板31抵接；且所述限位块33与所述载具2滑动适配；其中，承载盘21插入两限位板31之间时，承载盘21适于挤压并推动限位块33向联动件4的方向滑动；限位块33移动至与本层的限位板31抵接时，限位块33适于推动位于上层的一个限位板31，使其向上滑动，扩大了本层限位板31与上一层限位板31之间的间距。

所述限位块33靠近所述联动件4的一侧设置有一凸块330，所述凸块330适于与联动件4插接。所述联动件4内端部开设有一与所述凸块330相适配的卡槽40，限位块33沿限位柱34滑动至与联动件4抵接时，所述凸块330适于卡入所述卡槽内。而向外拉动所述联动件4时，所述凸块330适于自卡插内脱离，此时，拉簧适于驱动所述限位块33向远离所述联动件4的方向移动。联动块在向远离限位件3的方向移动的过程中，适于推动承载盘21向盒本体1外部方向滑动。

实施例三，本实施例在实施例一的基础上，还提供了一种晶圆输送储存装置的工作方法，包括如实施例一所述的一种晶圆输送储存装置，具体结构与实施例一相同，此处不再赘述，具体的一种晶圆输送储存装置的工作方法如下：

晶圆片水平放置在载具2上，升降板22适于支撑晶圆片，此时，两升降板22的外端凸出承载盘21外壁；

将载具2插入盒本体1内，承载盘21在插入两限位板31之间的过程中，适于与限位块33抵接，承载盘21适于推动两限位块33，使其向联动件4方向滑动；

至限位块33与联动件4抵接；

限位块33在向联动件4的方向滑动的过程中，适于推动升降板22向内滑动，引导块23适于引导升降板22，使其水平高度降低，此时，晶圆片适于收缩在承载盘21内；

需要取出承载盘21时，向外拉动联动件4，以使联动件4与限位块33分离，拉簧适于拉动限位块33向远离联动件4的方向移动，限位块33适于推动承载盘21，使其向盒本体1外部方向移动。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (12)

1.一种晶圆输送储存装置，其特征在于，包括：

盒本体（1）、载具（2）、限位件（3）和联动件（4），每两个所述限位件（3）对称固定在所述盒本体（1）内壁，且两限位件（3）相对设置；

一个联动件（4）对应一个限位件（3），所述联动件（4）滑动设置在所述盒本体（1）内壁；

所述载具（2）适于承载晶圆片，所述载具（2）与所述限位件（3）联动；

其中，载具（2）插入盒本体（1）内后，载具（2）适于推动限位件（3）的活动端自内向外滑动，至限位件（3）的活动端与联动件（4）抵接；

限位件（3）的活动端适于推动载具（2）的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具（2）内部。

2.如权利要求1所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述限位件（3）包括：限位板（31）、支撑架（32）和限位块（33），所述限位板（31）垂直固定在所述盒本体（1）内壁，且每两所述限位板（31）相对设置；

所述限位块（33）滑动设置在所述限位板（31）侧壁，且所述限位块（33）与所述载具（2）滑动适配；

所述支撑架（32）固定在所述限位板（31）下端，所述支撑架（32）适于从下端承载载具（2）。

3.如权利要求2所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述限位板（31）靠近载具（2）的一侧成圆弧状。

4.如权利要求3所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述限位板（31）靠近载具（2）的一侧设置有一限位柱（34），所述限位块（33）套设在所述限位柱（34）上；

所述限位柱（34）外壁套设有一拉簧，所述拉簧的两端分别固定在限位块（33）和限位板（31）内端壁。

5.如权利要求4所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

相对设置的两支撑架（32）之间的间距小于载具（2）的直径。

6.如权利要求5所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述限位块（33）靠近所述联动件（4）的一侧设置有一凸块，所述凸块适于与联动件（4）插接。

7.如权利要求6所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述联动件（4）内端部开设有一与所述凸块相适配的卡槽（40），限位块（33）沿限位柱（34）滑动至与联动件（4）抵接时，所述凸块适于卡入所述卡槽（40）内。

8.如权利要求7所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述载具（2）包括：承载盘（21）和两升降板（22），所述承载盘（21）内部设置有一放置仓；

所述升降板（22）滑动设置在所述放置仓内，且所述升降板（22）的一端适于凸出所述承载盘（21）外壁。

9.如权利要求8所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述承载盘（21）内固定有与所述升降板（22）相适配的引导块（23），所述引导块（23）侧壁与升降板（22）抵接；

其中，升降板（22）向外滑动时，引导块（23）适于推动升降板（22）水平高度升高；

升降板（22）向内滑动时，引导块（23）适于引导升降板（22）水平高度降低。

10.如权利要求9所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述升降板（22）下端固定有一与所述引导块（23）相适配的滑块（24），所述滑块（24）的斜面与所述引导块（23）的斜面抵接。

11.如权利要求10所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

所述盒本体（1）上铰接有两拉手（10），两所述拉手（10）对称设置。

12.一种晶圆输送储存装置的工作方法，其特征在于，如权利要求11所述的一种晶圆输送储存装置，包括如下步骤：

晶圆片水平放置在载具（2）上，升降板（22）适于支撑晶圆片，此时，两升降板（22）的外端凸出承载盘（21）外壁；

将载具（2）插入盒本体（1）内，承载盘（21）在插入两限位板（31）之间的过程中，适于与限位块（33）抵接，承载盘（21）适于推动两限位块（33），使其向联动件（4）方向滑动；

至限位块（33）与联动件（4）抵接；

限位块（33）在向联动件（4）的方向滑动的过程中，适于推动升降板（22）向内滑动，引导块（23）适于引导升降板（22），使其水平高度降低，此时，晶圆片适于收缩在承载盘（21）内；

需要取出承载盘（21）时，向外拉动联动件（4），以使联动件（4）与限位块（33）分离，拉簧适于拉动限位块（33）向远离联动件（4）的方向移动，限位块（33）适于推动承载盘（21），使其向盒本体（1）外部方向移动。