JP4367959B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の液晶表示体基板用プラズマ処理装置(以下、単に「プラズマ処理装置」と称する。)は、基本的には従来と同様に、LCD用基板Sにプラズマ処理を施す上部電極及び下部電極を有する処理室と、この処理室に連結された搬送機構を有する搬送室とを備えている。本実施形態の処理室1の側壁には図1の(a)に示すようにゲートバルブGが取り付けられ、このゲートバルブGを介して処理室1と搬送室(図示せず)は連通可能になっている。この処理室1内には下部電極2Aを有する載置台2が配設され、この載置台2の上方には隙間を介してプロセスガスの供給部を兼ねる上部電極3が対向配置されている。上部電極3はマッチング回路3Aを介して高周波電源3Bに接続され、高周波電源3Bから上部電極3に13.56MHzの高周波電力を印加する。また、処理室1の外側にはプロセスガス供給源4が配設され、このプロセスガス供給源4からプロセスガスを処理室1内に供給する。従って、プロセスガス供給源4から処理室1内へプロセスガスを供給すると共に上部電極3に高周波電力を印加することにより、下部電極2Aと上部電極3間でプロセスガスのプラズマを発生させ、LCD用基板Sに対してエッチングあるいはアッシング等のプラズマ処理を行うことができる。
2 載置台
2A 下部電極
3 上部電極
9A、27 シールドリング
9A’、27B 分割シールドリング(分割部材)
9C、27A 繋ぎ目
9D 重合面
9E 重合面
Claims (6)
- 液晶表示用基板の形状に即して形成された電極を有する載置台と、この載置台を構成する電極の周縁部を被覆するシールドリングと、を備えたプラズマ処理装置において、
上記シールドリングは周方向に繋いで用いられる複数の分割部材からなり、
上記分割部材の一方の第1の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第1の端面部が連設されており、且つ、上記各第1の端面部にはそれぞれの端面部の下部を上記軸芯に沿う方向に切り欠いた切欠部が形成されて上記各第1の端面部から上記軸方向に後退する後退面部が形成されており、また、
上記分割部材の他方の第2の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第2の端面部が他の分割部材の上記各第1の端面部と当接するように連設されており、且つ、上記各第2の端面部にはそれぞれの下部が突出して上記他の分割部材の切欠部を補完する突出部が形成されてそれぞれの先端に上記各後退面部と当接する突出面部が形成されており、
隣接する上記分割部材の繋ぎ目は、一方の分割部材の第1の分割端面と他方の分割部材の第2の分割端面とが係合して形成されてなる
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 上記複数の後退面部はそれぞれの間に上記軸芯に沿う方向の段差を有すると共に、上記複数の突出面部はそれぞれの間に上記軸芯に沿う方向の段差を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 上記複数の第1、第2の端面部、上記複数の後退面部及び上記複数の突出面部は、いずれも上記軸芯に沿う方向と直交する方向の面からなり、上記各面間の段差部分はそれぞれ上記軸芯に沿う方向の面によって形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 液晶表示用基板の形状に即して形成された電極を有する載置台と、この載置台に対向して配置された上部電極と、この上部電極を構成する電極の周縁部を被覆するシールドリングと、を備えたプラズマ処理装置において、
上記シールドリングは周方向に繋いで用いられる複数の分割部材からなり、
上記分割部材の一方の第1の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第1の端面部が連設されており、且つ、上記各第1の端面部にはそれぞれの端面部の下部を上記軸芯に沿う方向に切り欠いた切欠部が形成されて上記各第1の端面部から上記軸方向に後退する後退面部が形成されており、また、
上記分割部材の他方の第2の分割端面には上記分割部材の上記シールドリングの軸芯に沿う方向で互いに段差を有し且つ上記軸芯に沿う方向と直交する方向へ複数の第2の端面部が他の分割部材の上記各第1の端面部と当接するように連設されており、且つ、上記各第2の端面部にはそれぞれの下部が突出して上記他の分割部材の切欠部を補完する突出部が形成されてそれぞれの先端に上記各後退面部と当接する突出面部が形成されており、
隣接する上記分割部材の繋ぎ目は、一方の分割部材の第1の分割端面と他方の分割部材の第2の分割端面とが係合して形成されてなる
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 上記複数の後退面部は互いに上記軸芯に沿う方向の段差を有すると共に、上記複数の突出面部は互いに上記軸芯に沿う方向の段差を有することを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 上記複数の第1、第2の端面部、上記複数の後退面部及び上記複数の突出面部は、いずれも上記軸芯に沿う方向と直交する方向の面からなり、上記各面間の段差部分はそれぞれ上記軸芯に沿う方向の面によって形成されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のプラズマ処理装置。
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Applications Claiming Priority (2)
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JP2007010876A JP4367959B2 (ja) | 1999-12-22 | 2007-01-19 | プラズマ処理装置 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007134737A JP2007134737A (ja) | 2007-05-31 |
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Family
ID=38156068
Family Applications (1)
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JP2007010876A Expired - Lifetime JP4367959B2 (ja) | 1999-12-22 | 2007-01-19 | プラズマ処理装置 |
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2007
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