JP5010620B2 - プロセス装置 - Google Patents
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(1)図9及び図9の10−10断面図である図10に示すように、多角形の搬送室101の各辺(側部)にプロセス室102a,102b,102cをそれぞれゲートバルブ104a,104b,104cを介して接続した構造を有するプロセス装置である。
(2)図11に示すように、バッフル板と呼ばれる複数の穴の空いた板206でプロセス室201を上下に仕切り、バッフル板206で仕切られて形成されたプロセス室201の下側の空間202の側面に真空ポンプ207を設けておく構造を有するプロセス装置である。
を介して設けられたプロセス室と、外部からシールされ、被処理体を載置する載置部を有
するステージと、搬送室と外部とをシールしつつ、該ステージの載置部をゲートを介して
搬送室とプロセス室との間を出入するように移動させるための手段と、該載置部がプロセ
ス室内にあるときに搬送室とプロセス室とをシールするための手段とを有することを特徴
とする。
また、本発明のプロセス装置は、複数のプロセス室と、前記複数のプロセス室の下方に設けられた搬送室と、前記複数のプロセス室と搬送室とを区切るゲートバルブとで構成されるプロセス装置において、前記プロセス室の底面には、被処理体の中心に関して軸対称をなして形成された複数の排気孔が設けられ、さらに、該それぞれの排気孔に連通する鉛直方向に配置された複数の排気通路と、該複数の排気通路同士を、側面にて、連通する複数の横穴とが前記プロセス装置の下方に配置され、前記複数の排気通路の少なくとも1つには、真空ポンプが接続されていることを特徴とするプロセス装置である。
(1)ガスの流れやプラズマ形状を均一にすることが可能であり、かつ、装置の占有面積が小さなプロセス装置を提供することができる。
(2)、高周波プラズマプロセスで投入した高周波電力の損失を減らし、効率的にプラズマを発生、維持させることが可能なプロセス装置を提供することができる。
(3)排気ラインのコンダクタンスを大きく絞らずにウェーハ周辺から大量のプロセスガスを均一に排気することが可能なプロセス装置を提供することができる。
(4)排気ラインをコンパクトにしてプロセス室の下方においけるメンテナンスのための空間を広く取ることが可能なプロセス装置を提供することができる。
図1及び図2に本実施例に係るプロセス装置を示す。
図2に示す200mmウェーハプラズマプロセスクラスターツールは1台の搬送室402とその上に設置された1台のローダー/アンローダー室401と3台のラジアルラインスロットアンテナを用いたマイクロ波励起プラズマプロセス室403からなる。
図7及び図8に基づいて実施例2に係るプロセス装置を説明する。本例のプロセス装置は、プロセス室201と、プロセス室201の底面に、被処理体209の中心に関して略軸対称をなして形成された複数の排気孔408と、それぞれの排気孔408に連通する複数の排気通路421と、複数の排気通路421同士を連通する横穴407と、をプロセス室201の下方に有し、横穴407の少なくとも1つに真空ポンプ207を接続してある。
本例のプロセス装置を図13に示す。本例では、プロセス室の上壁10aに開口を有し、プロセス室の内部から隔離された状態でプロセス室を上下に移動し、上方の位置において開口を封止する構造を有する導入本体11が設けられ、導入本体11の上部に弾性支持体5を介して載置部4が設けられ、載置部4は、被処理物キャリア9を吸着・脱着可能に構成されている。
2 蓋、
2a フランジ、
3 収納ボックス、
3a フランジ、
4 載置部(マグネット)、
5 弾性支持体(バネ)、
6 ベローズ、
7 排気ポート、
9 ウエハキャリア、
10a プロセス室上壁、
10b プロセス室下壁、
10c プロセス室側壁、
11 導入本体、
11a 外部フランジ、
11b 内部フランジ、
12 空間、
101 搬送室、
102a,102b,102c プロセス室、
104a,104b,104c ゲートバルブ、
105 アーム、
107 被処理体、
206 バッフル板、
201 プロセス室、
203 搬送室、
207 真空ポンプ、
208 ガス導入管、
209 被処理体、
204 ゲートバルブ、
301 プロセス室、
302 排気管、
305 ステージ、
306 排気孔、
307 真空ポンプ、
308 プロセスガス導入管、
401 ローダー/アンローダー室、
402 搬送室、
403 プロセス室、
404 カセット、
405 搬送ロボット、
406 ステージ、
407 横穴、
408 排気孔、
409 真空ポンプ口、
410 移動させるための手段・昇降機構(ベローズ)、
412 載置部、
413 フランジ、
414 Oリング、
415 被処理体(ウエハ)、
416 ゲート、
417 Oリング、
418 カセット載置台、
419 ラジアルラインスロットアンテナ、
415 ウエハ、
421 排気通路。
Claims (1)
- 複数のプロセス室と、
前記複数のプロセス室の下方に設けられた搬送室と、
前記複数のプロセス室と搬送室とを区切るゲートバルブとで構成されるプロセス装置において、
前記プロセス室の底面には、被処理体の中心に関して軸対称をなして形成された複数の排気孔が設けられ、
さらに、該それぞれの排気孔に連通する鉛直方向に配置された複数の排気通路と、
該複数の排気通路同士を、側面にて、連通する複数の横穴とが前記プロセス装置の下方に配置され、
前記複数の排気通路の少なくとも1つには、真空ポンプが接続されていることを特徴とするプロセス装置。
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JP9797998 | 1998-04-09 | ||
JP2009008675A JP5010620B2 (ja) | 1998-04-09 | 2009-01-19 | プロセス装置 |
Related Parent Applications (1)
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JP16921398A Division JP4270413B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-06-02 | プロセス装置 |
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Family Applications (1)
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JPH08260158A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-10-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2009
- 2009-01-19 JP JP2009008675A patent/JP5010620B2/ja not_active Expired - Fee Related
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