TW470775B

TW470775B - Cleaning composition for mold for molding semiconductor device and method of cleaning mold using the same

Info

Publication number: TW470775B
Application number: TW086114436A
Authority: TW
Inventors: Kouichi Takashima
Original assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1996-12-10
Filing date: 1997-10-03
Publication date: 2002-01-01
Also published as: CN1121487C; HK1009775A1; KR100458657B1; US6077360A; SG70596A1; JPH10226799A; CN1184848A; JP3764239B2; EP0847843B1; MY118993A; DE69708442D1; ID19078A; US5925605A; DE69708442T2; EP0847843A1; KR19980063508A

Description

470775 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（l ) [發_之領域] 本發明係關於半導ffi成形用橫具之去污（淨化）組成物> 其用於因使用Φ導體裝置成形用之熱固性樹脂反覆施行成形工作而沾污之半導體裝置成形用模具之去污及再生者。本發明亦Μ於使用該去污組成物Μ使半導體裝置成形用橫具去污之方法 [發丨_之背景] 在使用一熱固性樹脂成形衬料成形用之摸具所行之成形過程中*該熱固性樹脂成肜材料所含之銳模麵滲出於橫具内面上，Μ顯示脫模作用。然而*在反覆此種成形步驟時發生成形物之脫模性降低及成形售之外觀劣化之困難。此等困難被認為餘由於反覆成形步驟使_具材料所含之脫儀劃滲出於橫具ft面上而在繼續蓄積於橫面上之期間逐漸降低資》Bgfc肜成失去脫模劑效用沾Η材料Μ。為了解決上述_題 > 在沾污材料層（即降低品質之脫橫劑層）之形成階段施行模具之去污工作。例如，迄今所行的是s將固性三聚Μ胺樹騰成形Μ料放入模具，成形，固化Μ使橫具内面上之沾污材料與成形物整合成一《 *然本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!0Χ297公釐） _ λ - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 B7 五、發明説明（2 取具t--、從料 « 使而因料衬形成之體成合帶物附成 ,生況縮情凝之之法料方树污形去成 II脂此樹在胺但氰。聚污三夫性面固内熱之為具林 β六.· tj-'·-- r.t· / 福此中成it料因其脂硫材 ο 。 5 樹成污時低化胺生沾費降用ΛΜ之很，之實聚化上而能被三硫面易性分性被内容作部固内具不工一熱具模並污且 '逑橫該離去議上在中脫成倡替物程之造被代合過物 * 法 Μ 化成形化方物膠生成惡種合橡之且地一化化膠並大有膠硫!« 大近橡未ib 味境slb該硫氣環 > 硫，在之作此米料 * 快工因用材 K 不 * 使形像響像 ib 硫該化硫 ll 具模從而體一成合具橫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 污去 ^.fv 淨 Ky 貝面而然艮有熱種料材形成樹性所依成不而性特在存之 ^.—^1 4" 形成脂傷性固 u;l Ή 形 £. La 覆反分 ΡΑ i.a 之 hi1··· !cirr 材污沾及態狀污受之具 '另之起 4M- 泛材沾在是戊隆環齢形或線之脂用樹習經濟部中央標準局員工消費合作社印製昜 1 上 ^ JIJ 内具 ΙΉ 括脂覆材ib 包樹反污If 用氧下沾橡使環之生化於烯脂發硫脂成過於樹之之固氧分形燒環成成重笨主行嚴程物去 HM -Λ 多尤環上可面不去之發 1·*·^— Μ 發

niJ 環述 j丄在去之提組證 S ο 導明半 ¾¾ 之用 χ,..ό 成置用一祖用優本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 470775 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（3 ) 異之去污效果*該_具被反覆用以施行使用熱固性樹脂組成物之成形。本發明之另一目的為提供一種適於半導體裝置成形用模具之有效去污之使用該去污組成®之去污方法。經過各種實琨上述目的之研究結果，如今已發琨上逑目的可由本發明如下文所述達成之。依照本發明之第一具S倒*提供一種適於半導體裝置成形用橫具之去污組成物 > 該項成形係使用熱固性樹脂組成物之反覆成形，該去污組成物包括： (a )未硫化橡膠> Μ及 (b )去污劑其中》該去污組成物之含水率K該去污組成物之.重量計為 1M 30wtl - 依照本發明之第二具體例，提供一種半導體裝置成形用模具之去污方法，其包括下述各步驟：製備一由半導體裝置成形用模具之去污組成物所構成之去污片紂，該片材具有多條直線狀切α按一定間隔沿一定方向平行形成於其表面上* 沿切口在切口形成面為表側之情況下祈肇該片材，Μ使其背面互梠接觸而堆積成多段* 將堆積狀態之片材安置於--·開放之橫具之内面上 > 以及閉合橫具Κ便在橫間保持堆積狀態之片材，而在加熱下對片材施壓，藉此使模具内面淨化。依照本發明之第三具體例*提供一種半導體裝置成形用 (請先閲讀背面乏注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 6 470775 90. 9. 2 5 修正頁五、發明說明（4 ) 模具之去污方法，其包括下述各步驟：製備一由半導體裝置成形用模具之去污組成物所構成之去污片材，該片材具有多條直線狀切口（ A )按一定間隔沿一定方向平行形成於其表面上，且亦具有形成於其表面上之至少一條直線狀切割用切口（ B )，係以該切割用切口（ B )可垂直橫斷該等多條直線狀切口（ A )之方式所形成，沿切割用切口（ B )切斷該片材，沿切口（ A )在切口（ A )形成面爲表側之情況下折彎所切成之各片材，以使背面互相接觸而堆積成多段，將堆積狀態之各片材安置於一開放之模具之內面中，以及閉合模具以便在模間保持堆積狀態之各片材，而在加熱下對各片材施壓，藉此使模具內面淨化。本案發明人等關於去污材料，適於因使用一種包含最近廣泛用作環氧樹脂之聯苯環氧樹脂、多官能環氧樹脂、或二環戊二烯環氧樹脂爲主成分之成形材料來反覆成形而形成於模具內面上之沾污材料之有效除去者，做過一系列之硏究。即，本案發明人等先前倡議一種含有去污成分及未硫化橡膠之模具去污組成物而提出一專利申請案。但即使在利用此一去污組成物時，其對於爲半導體裝置使用成形材料之成形（步驟）反覆用過之模具之去污效果亦不足。本案發明人等針對構成去污組成物之成分等做過各種硏究。即，到目前爲止，一般認爲：在使用含有去污成分之未硫化橡膠之模具去污組成物中含有水之場合，在未硫化橡膠被加熱硫化時該水則會蒸發，而蒸發之蒸汽對半導體裝置本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^--- -----訂- --------線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7 470775 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 A7 B7五、發明説明（5 ) 成形用橫具有不良影響。然而*經過上述研究結果*本察發明人等發現，在故意按特定之含水量比率使水存在於樓具去污组成物内而使用模具去污組成物使用成形模具去污時，蓄積於模具内面上之因使用包含上逑環氧榻脂為主成分之環氧樹脂組成犓來反覆成形成產生之沾污材料*迄今由習知去污組成物難於充分去污者，則與包含該橫具去污組成物之成形物整合成一體 > 該沾污衬料從模具有效脫離 >而模具内面有效淨化。基於此項發琨（研究成果）*完成本發明。再者* 一 II由適於半導體裝置成形用模具之該去污組成锪所構成之片衬具有多條直線狀切口按一定方向平行形成於其表面上•在該Η材之情況，使用片材時沿切口摺疊Η 材即可容易维積片Ιϊ。在此場合*由於被平行切口分隔之片材之塊Η互相在切口底部連接*可藉摺疊搡作在不潰岀之下有規則堆積片Ιί *而該等塊片亦不會堆積成交叉狀態。因此-所得之堆積物品不會成為歪曲之形體。使用如此有規則堆積之片材式去污組成物Μ使摸具內面去污時*不會發生例如由未硫化緣Β與膜具內面之不充分壓緊接觸所引起之低劣淨化。再者，明確測定片材之大小Μ將片材切成梠同之大小Μ及由適當配置來堆積所切片材之複雜工作均變為不偷要之工作，因此；去污工作被簡化。在切U按一定間隔形成於橫具去污組成物所構成之Η材之表面上之情況*此等切口 Μ —種量器起作用=因而在具有不同之大小及型式之各摸具之去污過程中發生作用-容本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 B7五、發明説明（6 )易切出及堆積適當大小之Η材·W旛行去汚。此外 > 在適於半導體裝置成形用模具之該去污姐成物所構成之片紂具有多條直線狀切口（Λ)沿一定方向平行形成 _ 於其一表面上且亦具有至少一條直線狀切割用切口（B)M.該切割用切口（ B )可垂直橫斷該項直線狀切口（ A )之方式形成於其上之情祝 > 在其使用時沿切割用切口（B)適當切斷經濟部中央樣準局員工消費合作社印製適有具 " 材片之積堆 (Α使口至切積沿堆而易 , 容 Μ可片則該« 摺小大之具漠之污去待於適時材片各之0 切所用使Μ 大及形之 D 切被於由合場此可接連部底之 %—-/ A /(V P 切在 Η .¾ 塊之隔分滑不在作操疊摺狀如 * 叉用時交使污成 ϋ 去積體面堆形內會之具不曲橫亦歪使片為Μ 塊成物等會成該不組而品污 !¾去材積式片堆材積之片墙得之則所積規，堆有此'ly 下因規之。有出態此與膠橡化硫未由如生發會不分充不之面内具觸接緊 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (E較口合切配用M 割切切截成易形容於下由之 » 狀者形再則 HJU ο 妨化不淨成劣形低不之在起材 r— Jf 弓尸所將大簡之式說

W 模圖 < 一 \ 亓展於導裝之具模用 T»/ > ύ - 明片之 day, 0 式污成之圖之態 Η 圖之物成 fl ,κ11' 污去式衬 Η 該<-、一71 展示展為本示展放之分部 Ρ 另明上狀之 P 切成 _ 去式材之 Μ 之物成本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -9 5 7 7 ο 7 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 - A7 B7發明説明（7 ) 視Η，圓5為展示本發明另一不同具體例之Η材式去污姐成物之斜裩_， _6為展示片材式去污組成物之一作用之斜視圖， _?為展示片材式去污組成物之一作用之斜視圖5 Η8為展示ϋ材式去污組成物之一作用之斜視圖*以及圆9為展示片材式去污組成物之。作用之斜視圓。 [發明之细節說明] 在下文1於本發明之具體例詳述本發明。在此所用之”切口” --詞，意指垂直向下製成之切口 *但如_ 1所示*片材並未做完全切到底部。本發明之適於半導體成形用橫具之去污組成物（Μ下稱為”構具去污組成物”）餘使用-種成為基底之未硫化橡膠（成分Α)及去污麵（成分Β)所得到者。通常與此等成分一起使用硫化_。對於成為米硫化橡膠（成分Α)之橡膠紂料並無特別限制。但在工作環境之觀點上* Μ乙烯-丙烯像膠（ Μ下稱為”EPiT)單獨或EPR與丁二烯橡膠（Μ下稱為"Μ") 之混合物為適於使用。在E P R與B R之混合物中，E P R ( X )與B R (y )之温合比率（X / y )最好能在1 0 0 / 0至2 0 / 8 0之範圍内。在E P R與B R ·—起使用之情況，該混合比率（X / y ) Μ 7 0 / 3 0至3 0 / 7 ()之範圖特別合適。即9在其混合比率中 > 若E P R少於2 0 ( B R超過8 0 )，則在成形工作下所行之橡膠成形物之脫離時，由於成形物之強度降低而發生如成形物之破裂等之不便 > 而有使成形物從 --^11111.^1^11^ --I - n n '·*-. i.. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 470775 A7 B7 五、發明説明（8 ) 橫具脫離之工作發生困難之傾向。此界5上逑E P R包括乙烯-丙烯-二烯橡膠（EPDM)。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 成為基底之未硫化橡膠中所含之去污劑包括例細W唑類及瞵唑咻類等。此等劑物可單獨或混合使用之。為咪唑類，使用下式（2 )

R-n-rN

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 470775 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7五、發明説明（9 ) 良好之結果。該_唑咻類之例子包括2-甲基脒唑咻、2-甲基-4-乙基噃唑咻、2 -笨基_唑喺、1 -苄基-2 -甲基眯唑咻、2 -苯基-4 -甲基-5 -羥基甲基噃唑咻、2 , 4 -·二胺基-6 [ 2夂甲基_唑基-（1)'] -乙基-s -三哺、2 , 4 -二胺基-6 [ 2 ' -甲基-4 '-乙基咪唑基-（1)’]-乙基-s - Η畊、1 - Μ乙基-2 -甲基睥唑_、 Μ及1-氮乙基-2 -屮基-4 -乙基蹄唑咻。此等脒唑咻類可單獨或混合使用之。咪唑類或眯唑咻類得Μ原狀（直接）或得Μ其與如醇類（例如申醇、乙SI、Μ及正丙醇等）·甲苯、二甲苯等之有機溶劑之混合物之形式使用之。在脒唑類或蹄唑喺類與有 _溶劑一起被使用之場合 > 按蹄唑類及/或_唑咻類每1 0 0 份所計之有機溶翻1量之份重量（Μ下稱為”份”）最好能為5 0 份或更少*而致2 0份或更少者較佳。去污刪（成分Β)如上述噃唑類及/或眯唑咻類等之摻配量按未硫化橡勝（成分A )每1 0 0份計最好能為5至20份*而Μ8 至1 6份較佳。即*若去污劑（成分B )之含量少於5份* _難於將充分去污之能力給予模具*另一方面若該含量多於2 0 份> _在使用所得之橫具去污組成物之下使撗具去污之情況 > 有使該去污組成物附蕃於撥具而減低從_具脫離之可行性之傾向。本發ffii之_具去污組成物通常輿成為基底之未硫化橡勝 (成分A)及去污劑（成分B ) —起摻配硫化麵。對硫化劑並無特別限制*而可使用習知Μ料。硫化麵之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 470775

A B7 10 /_\ 明説明發五括物 ib 酸 # 正氧過丁甲過等此〇等烷己環物化成 /. 膠除可每及 Λ 分 -J 3 . nm Hu .. 至 -硫；J 配} 。在接^. 之能可式用好亦下使最，為合計外類混份ΓΒ醚配摻硫未 _ 内 10· Rl (2 Η 2C Η

2 R IT: 醚醇、為)ί3.乙甲甘醚SI 別則基括二::::丙二各方烷包 _ 、二乙 R2一之子甘醚醇、及另同例四乙 $π 醚 R1時不之、單二乙而子或類 Β 蟓、單 , 原同謎甲甘醚醇數氫相醇二二乙二整為相甘醇、二乙正方互之甘 _醇、 1 一為示三中甘醚為之可所、單二甲。 h 中時式醚醇、單醚 UR,基上 & 甘 _ 醇丁 (X及烷二二丁二單烷或子原氫雙在而基烷 LL· /ΛΊ 醇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 多、軍乙醚醇、甲Ήκ 二二了醇二乙及Μ 醚丙單之示所 \—/ /.IV 式中為 R 在經濟部中央標準局員工消費合作社印製烷原碳個之為時子原為 UU HK 方之子原碳個 4 至

基烷為均 2 R. 及 R 式在外 ύ 性氧容對相劑之模膠脫 0 ?

H b 之方 UU ΠΒ 有 3 為 Π 之中時大更貝鄴M f 碳性之透基滲烷之在等而J1 , 化低劣降及之為低數減或大向醇通哲形 , 成外之最 hp 黑沸之貝 *.六勺為

P 行迆下度溫之 P 5 8 1L- 用在即此 ο 因本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 470775 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（ll) 甘醇醚類之沸點低於13 ο υ之場合*甘醇醚類則在其使用於去污時蒸發得相當多，因此有可能使去污工作環境惡化 >另一方面在該、沸點高於2 5 Ο υ時，甘醇醚類則難於蒸發而留存於硫化橡膠材料内。於是5在去污後從模具取出時之硫化橡膠之強度變弱而得到不正常之形狀（走樣因此難於使脫模劑之氧化及劣化層等從模具内面充分脫離，而有減低去污工作性能之傾向。甘醇醚類得Μ原狀（直接）或得Μ其與如醇類（例細甲醇、乙醇、Μ及正丙醇等）、甲苯、二甲苯等之有機溶劑之混合物之形式使用之。在其與有機溶_之混合物被使用之場合，按甘酵醚類每1 0 0份所計之有機溶劑量通常為5 0份或更少 >而以20份或更少者較佳。 . 甘__類等之摻配1按未硫化橡膠（成分A)每1 0 0份計通常為10M60份* Μ約15至25汾較佳。必要時，本發明之模具去污組成物除了含有上述成分（Α) 及（Β )、硫化劑Μ及上逑成分外，可適當含有脫模麵、增強爾等。對脫橫劑並無特別限制，而可使用習知之脫離爾。脫摸劑之例子包括：畏鍵脂肪酸如硬脂酸、蘿酸等；長鍵脂肪酸之金屬鹽如硬脂酸ΙΦ、硬脂酸鈣等；酯蠟類如棕 1蠟‘、褐謀蠟、部分硫化之廿八酸酯等；長_脂肪酸醯胺如硬脂醯伸乙二胺等；Μ及石蠟如聚乙烯蠟等。在脫模劑中*較佳的是使用其具有熔點2 0 0 t或3!高或具有沸點2 0 0 'C或更高之脫模劑《更佳的是，使用其具有熔點5 0至1 5 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0'乂297公釐）一 “」 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 7 ο 7 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（12 ) t；之脫模劑。即；用橫具之成形通常儀在1 5 0至2 0 0 t之溫度下進行，如上所述。因此*在脫模劑之熔點高於2 Ο Ο υ 時 > 脫橫劑則不會滲出於模具之内面上，另—一方面在其沸點低於2 0 0 t：時*滲出於模具内面上之脫模劑Μ會蒸發，而有得不到其功能之傾向。脫之含量按未硫化橡膠（成分Λ)每1 0 0份計最好能在 5至2 0份之範園内，Μ 8至i 6份之範画內較佳。即 > 若脫模劑之含量少於5份，則難於得到充分之脫模效果，另一方面若脫模_之含量多於2 0份*去污力則會降低》而亦有可能在使用經過再生之橫具來製造成形之情況發生其成形物外観之劣化。增強麵之例子包括無機填料如二氧化砂、氧化.鋁、碳酸鈣、氫氧化鋁、二氧化鈦等。增強劑之摻配量按未硫化橡 Ρ(成分A )每1 0 0份計最好能為1 0至5 0份。本發明之橫具去污組成物可如下逑製得之將成為基底之未疏化橡膠（成分A ) 1去污齊《(成分B )，硫化Μ * _’定含水率給予用之水，Μ及其他添加_予Μ摻配後 > 藉涅合1 捏合所摻配之混合物。在利用根據工作能力、搡作容易性等之観點所诏之例如軋輥等之類之下_行橫具去污組成物之成形Κ使該組成物變成-‘丨彳Μ之形式（肜體）*藉此使用如前述得到之模具去污組成物。在Μ片衬之形式使用之情況 > 片材之厚度通常為3至1 0 nun。有必要使所得到之橫具去污組成物Μ該組成物總重基準之含水率可成為1至3 w t %範_內之方式含水。在此情況* 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）飞Γ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（13 ) 在獲得較良好之橫具去污效果之觀點上 > 含水率最好能為 3 至 2!)wU 〇本發明之模具去污組成物之最重要之特徵為 > 使用未硫化橡膠（成分A)成為基底者及去污劑（成分B)且將特定量之水加入該去污組成物，因此* 一橫具被用於半導體裝置之使用環氣樹脂組成物（包含例如聯苯環氧樹脂、多官能環氧樹脂、或二環戊二烯環氧樹脂等）之成形者可予K完全去污$儘管習知去污組成物無法達成該橫具之完全去污》若含水率太低至低於橫具内面上之沾污物質之脫離性則大幅降低，而變得難於完全除去_具之沾污鞠質。另一方面，若含水率高於30%>去污效果則達飽和而水舆未硫化橡膠摻合之麻煩則增加*而此等摻合屬無效.。再者* 水被分離時 > 變得難於Μ去污片树之形式得到該形儀。在本發明之模具去污組成®被用於使用環氣樹脂組成物 (包含.苯·氧樹脂、多官能環氧樹脂、或二環戊二烯環氧樹脂）編行半導體裝置之成肜所用之模具之去污之場合 *含水率最好能為5至2 0 w 11。在使用本發明之模具去污組成物之情祝 > 通常較佳的是 s藉模具去污組成物之成形5 Μ片材之形式使用之。在該橫具去污組成物Μ片材之形式被使用之場合，在使用片树時之模具去污工作之容易性等之觀點上；最好能使用一種由該去污組成物本身所構成之片材i如Β 1所示5具有多條直線跃切口 11按一定間隔平行形成於其一面上 > 如此可沿著項切口摺疊該Η⑽。該片材擁有條紋_形形成於其上一 .16 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（2!ΟΧ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（U ) 者較佳《利用切口 11來摺疊片材1 0時可有規則堆積片材。 Η材1 ()具有上述切丨:.:丨11形成於其上者係由下逑方法所形成。將所得之壓延薄片予Μ切成一定之形狀及大小以施行片材1 0之成形後5使切口 11形成於該Η材之表面上Q此種切D 1 1之成形乃如下文施行之。例如*使用一種如画2所示按一定間隔裝有盤形切刃1 3之由轉_ 1 2所構成之切條機 *而使切條機移動於Η衬表面上 > 同時使切刃1 3切入片材 1 0 Μ達各從片衬1 0頂面起一定之深度而沿著Η紂1 0之寬度方向形成平行切Ci U。由反覆該操作 > 使-、定間_之平行切口丨1形成於片樹1 0之全表面上。Η Μ 1 0被各切口 11分1¾ 成各具有梠_大小之塊片1 0 a。由於切口 11儀按-^定之間隔所形成，切U 11具有一種在Η树1 0之摺疊過程.等之量器之功能 > 而片材1 0可容易截切或摺疊Μ配合待去污之模具及橫腔（空腔）之大小。如圏3所示 > 切U 11之下端部與面對該下端部之片材1 0 之背面之距離D最好能為約0 . 1至0, 8 m m，而Μ約0 . 2至0 . 5 ia m 較佳。若該距離小於0 . 1 ill ra >諸塊Η 1 0 a則有互相分開之傾向，S —方面若該距離超過0 . 8 m ra，該Η材則難於順利摺 <ir：r Μ 〇較佳的是》片材10圼白色或淡色如灰色等。具有此種顔色之片材1 0被使用時有下述效果：在去污後f可容易用肉眼確證沾污物質從模具内面脫離而附著於片树1 0上且可容易確證去污狀態。 .玆說明本發明之_具去污組成物之S —具體例。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 7 7 ο 7 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7五、發明説明（15 ) 如画4所示，有多條使橫具去污組成物所溝成之Μ材2 0 可S疊之1線狀切口 1.1 (切口 U))平行形成於Η Μ 2 0之表面上，且亦有一條直線狀切割用切口 2 1(切口（ B )) Μ該切割用切U可垂直横斷該等直線狀切口 U Μ便將片材2 0之寬度Α分割成二部分之方式形成於其上。本發明之上述具體例之Η材2 0中 > 有-一條直線狀切口割用切口（切口（ B )) Μ該切割用切口（ Β )可垂直橫斷該等直線狀切口 U之方式所形成。但切割用切口（ Β )不限於該具體例*而可依照待去污之樓具之大小來形成所希望之數目之 1線狀切割用切1:] (Β)。例如霞5所示，有多條使Η材 3 0可摺疊之直線狀切口 1 1 (切口（ A))按+ '定間隔平行形成於由樓具去污組成物搆成之片材3 0之表面上s旦亦有二條按Η材之寬度方向之一定之間隔平行形成之直線狀切·羯切口 3 1 (切割用切口（ Β ))…ft Μ該等切割用切口（ Β )可垂直橫斷該等直線狀切口 11之方式所形成ΰ 形成於片紂上之直線狀切割用切口（ Β )>其垂直橫斷多條按一定間_平行形成於片材2 0之表面上之使片材可摺疊之直條狀切口（ A)者，其數0可適當予Μ決定。但，若切削用切丨J ( β )之數目太多*則在藉® 口（ A )摺疊或截切之過程中猨生困難。因此，較佳的是 > 切_用® 口（ β )之數Θ 為切口（ A )之數目之2 () %或更低。片Μ在其上肜成有切口（ A)及垂直橫斷切P ( A)之切割用切口（ β )者可依照f述方法製傷之。將屬延薄片切成一定之形狀及大小Μ形成一 Η材後*使本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ , 一 (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 470775 經濟部中央標準局—工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（W ) 該等切丨」形成於該）彳Μ上。使用例如切條機（參照_ 2)等之類«與上述梠_之方法沿Η Μ之寛度方向形成平行切口。由反覆該操作*使多條平行切口（ A)按一定之間隔形成於Η材之全表面上。利用該切條機等之類Μ切割用切口（ B )可垂直橫斷切口（ A)之方式形成切割用切口（ Β)。或者· 可Μ在肜成切口（ B )後形成切口 U)。將所得到之模具去污姐成物片材安置於一使用不透水性薄膜如塑_薄膜、金屬製薄膜等所製成之密封袋内 > 而在維持該模具去污組成物之合水率為上述--定範園（即Μ _ 具去污組成物之重量基準之1至3 w 11)內之下Μ密閉狀態予 Μ儲存使用本發明之形成Η Μ形式之模具去污組成物之模具去污係藉片紂放入半導體裝置成形用饌具內之方法來施行。例如*使片材圼當然之未硫化狀 5而將片材放人成形用模具後藉加熱使Η μ硫化時，橫具内面之沾污物質則附蕃於片树上而與Η材螫合成一體。將硫化之片材從模具取出 s以兒戚橫Μ之去朽。關於使用片材式樓具去污組成物之摸具去污方法*茲按次序加Μ更詳綑說明。製儒本S明之Η紂式模具去污組威物。該片材式橫具去污組成物具有使片材].0可按_-定間隔潛《之多條直線狀切 I」1 1形成於具去面.上ΰ 依切U 11部分截切*藉此從Η材1 0切出所ff數Θ之塊Η i 0 a。該項截切可藉用手抓注片W 1 0 Μ反覆沿切口 i 1之折本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） —1 c)— (請先閱讀背面之注意事項再好寫本頁) 470775 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（VT ) 曲及使塊片斷開之方法或藏用小刀等予K切斷之方法來施行《如圖6所示（在圏6中有4個塊H l〇a可切出），沿著切口 11在頂面（切口 11形成面）為表側之情折該片材1 而摺疊該片材10直至Η材之背面互梠接觸而堆積塊片1 〇 a 如圖7所示。在摺盤時，由於塊Η 1 0 a在底部11 a連接成一直線*該等塊片_ 1 0 a不會分開。如上所述》僅由摺疊之簡單動作使各燦Η 1 0 a有規則谁積成沿著長度方向及寬度方向精確排列之狀態旦使鹿Η 1 0 a 未堆積成互相交叉之狀態。從而*測定Η材1 0之大小及將 Η Μ 1 0截成梠同大小之麻煩暨整理不規則分開之巍Η 1 0 a 之麻煩均屬不必要。在_ 7中》有4個·片可切出，而塊片沿中心線.（切口 11) 被摺疊Μ形成2個塊片1 0 a堆積在2個塊片1 0 a上之狀態。但本發明之具體化並未跟於此一具體例。例如，藉3個塊片 H)a堆積在3個塊H 10a上（未_示）等之方法來使用6個趨Η 1 0 a，而可切出所希望之數@之塊Η後》配合待去污之橫具或橫腔之大小 > 予以摺疊Μ堆積成適當大小。如_ 8所示，將堆積狀態之片讨1 0配置於底橫2之橫面上，而在此狀態下 > 如_ 9所示，閉合頂模1與底橫2 Μ保持 Η紂10在兩模之間*然後予Μ施壓成形。因成形時之壓力 *片材1 0'被填充於摸腔3内而與模具内面壓緊接觸。在此狀態下*未硫化橡膠因成形熱而被加熱硫化Μ生成硫化橡膠。在此情況，脫橫劑在機腔中形成之氣化及劣化層等之類則與硫化橡謬整合成一體。在此情況*視情而定的是> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 20 470775 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（18 ) 腔周圍之毛口亦與硫化橡膠整合成一體。在一定時間後，打開_具》而從模具釋放由硫化橡膠1 0搆成之Η材1 0 * 藉此使與片材1 0整合之氧化及劣化層等之類從模具内而分 _。在此情況，由於各塊Η猶規則堆檢*不曾鐘生因片材 1 0對橫腔之不充分填充所引起之低劣淨化。茲Μ於使用本發明之Η材式模具去污組成物之模具去污方法 > 說明一種去污方法，其使用該片材*具有多條使片材可摺疊之直線狀切口（ A)按一定間隔平行形成於其上* 且亦具有至少一條垂直橫斷該等直線跃切口（A)之直線狀切割用切口（ B )形成於其上者。製備該片材式撗具去污組成物 > 具有多條直線狀切口（ A )按一定間隔平行形成於其上及至少一絛垂直橫斷該等直線狀切口（ A )之直線狀切割用切口（ B )肜成於其上者。將片材依切割用切口（ B)部分切開。該項截切可藉用手掼住Η Μ Μ反覆沿切割用刀口（ Β)之祈曲及使塊片斷開之方法或藉用小刀等之類截切之方法來施行。Μ與上述相同之方法 «沿著切口在頂面（切口（ /0形成面）為表側之情況下祈醫該片材，而將所切成之片«'予Μ折醫及摺疊至Η材之背面互相接觸而堆積塊片。以與上逑相同之方法》利用所墙積之供成形橫具用之塊片，施行橫具內而之去污。被重視的是*使用本發明之撗具去污組成物之模具去污作用係根據下逑懘構所產生。由於在加熱硫化時*構具内面處於高溫且密閉狀態，使米硫化像藤所含之水蒸發*其水藉蒸汽壓滲透於沾污Μ料本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） _ 〇 ,... (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 B7五、發明説明（I9) 層内而使附著於模具内而之沾污材料潤脹*因此沾污材料可容易從模具内面脫離而移去。從模具內面脫離之沾污材料附著於硫化Η Μ而與該片材整合成一體*然後由於該片材從橫具取出^ _具内面上之沾汚材料被除去而該模具被去污（淨化）。

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（20 ) 污產物被除去後，該模具之内面重琨模具之原始狀態之內面。因此，在使用熱固性權脂組成物為成形材料Μ施行半導體封裝（體）之成形之情況 > 通常必需有脫樓劑預先塗布於 .橫具之内面上。例如* Μ含有聚乙烯蠟為脫模劑之成形Μ 料施行成形之情況 > 較佳的是 > 用相_之聚乙烯鱲塗布模具之内面。為模具内面上塗布聚乙f®蠟之方法 > 較佳的是 >製備一含有聚乙烯蠟之米硫化橡膠組成物而使用由該未硫化橡膠姐成物所形成之片树《例如有-種由米硫化橡謹所形成之片衬 < 該橡腸為摻配有脫模蘭之成分U)。Η材在其上形成有切U如上所述者更適於甩作此種片材。如使用本發明之Μ村式模具去污組成物所行之去污步驟 > 將由含育聚乙婦鑓之未硫化_勝組成物所構成之Η衬放入模具內》猶之予Μ加熱時 > 片Μ所含之聚乙烯蠟則被塗布於膜具内面上。此被認為，該未硫化橡顧組成物中之聚乙烯蟣在加熱硫化峙熔化而滲出於橫具内面上Μ致形成該脫模劑 ζ均g _ 在滅具内面上。聚乙® II之含量按未硫化橡膠組成物中之橡膠材料每1 0 0份計最好能為1 5至3 5份 > 而Μ 2 0至3 0份較佳。若聚乙烯 II之含量少於1 5份》Mil得不到充分之脫_效果，另一方面若該含量¥於3 5份*聚乙烯蠟則過度塗布於模具内面上> 而在成形物餘使用經過去污及再生後之橫具所成形時*有使成形物之外觀惡化之傾向。 _茲裉據下述實施例及比較例說明本發明 > 但本發明並未本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -23 - 470775 A7 B7 五、發明説明（21) hu. .之 bt, 及 ,,—i *i 至 τ—! ΪΤΤί 施至 IX Hu 表摻合之將混面，揉下後捏於配使示摻輥別MIL 各予一將例用比使等機該輥5]n 按合度分捏厚成藉有之物具合一混成之形 hr r>-- 2 表示揉所捏中 Μ 片之 Μ 表八:'、、ϊ 模一不式亦材率片水 I谷含到之物成 Μη 'ή'" 1¾ Jytw ,u\ -'-Η 具成中及中用 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) χίν M« 聚

為 JJH 污去經濟部中央標準局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 470775 A7 B7 五、發明説明（22) 實施例成分 (份重量） 1 1 3 4 5 6 η 8 BR 7 0 5 0 50 5 0 5 0 5 0 50 5 0 )Kl EPR 30 50 50 50 50 50 50 50 硬脂酸 1 1 1 1 1 1 1 1 輝氣化 ©粉 30 3 0 3 0 3 0 30 3 0 8 0 3 0 氧化物 5 5 5 5 5 5 5 5 20 20 20 20 20 20 20 20 10 10 一 5 10 10 20 10 曝唑$ 01)0料水 30 3 0 3 0 3 0 20 10 30 水萬 1 % ) 15 15 1 5 15 10.5 5 . 5 1.4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 :乙_(P)與丙烯（q)之共聚合比率（P ) / ( q )按橫耳比I 5 5 / 45 〇 :2，4 -二胺基-6 - [ 2 '-甲基®|ί唑基-（1 ')]乙基-S -三叻 :2-苯基_哇啉 :戊酸彳，4 -雙（第Η 丁過氧基）正丁酯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） 25 470775 ^ ： ; '； ί Λ7 __卜下神丨少！ I们五、發明説明（23) … 表2 經濟部中央標準局負工消費合作社印製實施例比較例習用例成分 9 10 11 1 2 (份重量） BR 50 50 50 50 50 50 - E P R * 1 50 50 50 50 50 50 - 硬脂酸 1 1 1 1 1 1 — 二氧化矽粉 30 30 30 30 30 30 - T i氧化物 5 5 5 5 5 5 — 棕櫊蠟 20 20 20 20 20 20 - 眯唑：!：2 10 10 10 10 10 10 - 眯唑啭 3 — 一 — — — — 0P0：：：4 3 3 3 3 3 3 — 水 72 6 56 — 1 90 - 三聚氰胺樹脂一 — — — - 100 含水率（％) 29.8 3.4 24.9 0 0.6 34.7 - :!； 1 至；：：4 :與表1所示者相同。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公t ) 26 修正頁 470775 A7 B7五、發明説明（24) 將實施例、比較例、Μ及習用例所得之各片材式模具去污組成物放人成形用模具（在1 , 0 0 0次之成形循繼後），此模具之內面已由於包括下述摻配組成之成形用環氧樹脂組成物之反覆成形而被污損。經過按175υ溫度5小時之加熱 .硫化後，從模具取出Η材，而用肉眼確證及評價沾污衬料之脫離性。再者，使熱固性Ξ聚氰胺彻脂組成物（習用例之樹脂）經過按175Ό溫度3分鐘之加熱固化後*從模具予 Μ取出，而用肉眼確證及評價沾污材料之脫離性。在評漬中，在沾污材料完全脫離時予Μ評定為”良好” > 而在該脫離不充分時予Μ評定為”不良”。所得到之結果示於下面之表3中。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [成形用環氧樹脂組成物] 量（份）聯苯環氧樹脂（環氧當量192) 10 0 酸芳烷基樹脂（羥基當量163) 90 二氧化矽粉 1 , δ 0 0 溴化環氧樹脂 15 三氧化錄 15 經濟部中央標準局員工消費合作社印製硼酸四苯麟四笨酸I ( 4 Ρ 4 Β ) 離子捕獲齊!I rrM m 砂烷偶合'劑 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 7 7 ο 7 4 今' f\ u ^ Λ7 ϋ 7> 五、發明説明（25 ) 表3 實施例 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 1

結果G G G G G G G G G G G * :其為模具之去污性之評價結果。 G :良好。表4 比較例習用例 1 2 3

評價結果*1 P P - '::'2 P :其為模具之去污性之評價結果。 :無法得到片材形體。 p :不良。經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由示於上述表3及表4中之结果得知，比較例1及2暨習用例所得之各產物均示其模具去污性不良，而未能從模具充分除去沾污材料。另一方面，在本發明之實施例所得之各產物之情況，已確證的是，形成於模具内面上之沾污材料被轉移而附著於從模具取出之片材式模具去污組成物之表面上，因此亦確證模具内面充分淨化（去污）。此外，關~於使用一環氧樹脂組成物含有多官能環氧樹脂以代替成形用環氧樹脂組成物中之聯苯環氧樹脂之下反覆成形之成形用模具，K與上述相同之方法使用實施例、比較例K及習用例所得之各產物來確證及評價其形成於模具本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公錄) ' -28 - 修正買 470775 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（26 ) 上之沾污树料之脫離性。其結果為如下所逑。比較例及習用例所得之各產物均示其橫具去污性不良5 而未能從漢具充分除去沾污材料。另一方面》在本發明之實_例所得之各產物之情況*已羅證的是《形成於模具內面上之沾污材料被轉移而附蕃於從模具取出之片材式模具去污組成物之表面上*因此亦確證模具内面充分淨化。 B I!於使用一環氧樹脂組成物含有二環戊二烯環氧樹脂Μ 代替成形用環氧樹腊組成ftl中之[i苯環氧樹_之下反覆成形之成形闱具*以與丄逑相同之方法確證及評債其形成於橫具上之沾污材料之脫離性。其結果為如下所述。比較例及習用例所得之各產物均示其模具去污性不良> 而未能從模具充分除去沾污树’料。另一·方面，在本發明之實施例所得之各產物之情況*已確證的是 > 形成於橫具内面上之沾污材料被轉移而附著於從模具取出之片材式模具去污組成物之表面上 > 因此亦確證權具内面充分淨化。茲_於使用片材式模具去污組成物具有形成於其上之切口者加Μ說明》實福例1 2 如_ 1所示 > 將上述實施Μ 1至11所得之各fi材式模具去污組成物[厚度（圖1中之T ) 5 μ m ]予Μ切成2 3 0 in m之寬度（画1 中之A )及' 3 0 0 m in之長度（圏；[中之B )。諸切口 1 1具有切口 1 1 與切口 11之間隔（Η 1中之C ) 1 5 m 1«及深度4 . 5 μ its者沿寬度方向平行形成於片材之全表面上。於是*切口 1 1之低端部與面對切口 U低端部之片材1 0之背面之距離（Η 3中之D )成為本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（2?) 0 , 5 IB 。在此具體例·中*形成2 0個塊Η ]. 0 a。將各片材式橫具去污姐成物具有形成於其上之切P 11者截切Μ S3合數種各具有大小不梠_之漢具（各成形用模具均經過如上述使用上逑成形用環氧樹脂組_物反覆成肜之 .成形循環1 0 0 0次）之各轉移成形機*依切口 11部分摺疊後予Μ堆積。將所谁積之各Η Μ保持於模具內之後 > 旛行去污。其結果顚示*模具之去污性非常良好而在使用各實施例所得之產物之各憧況均未發生低劣之淨化。茲1於使用Η Μ式摸具去污組成物之實施例*該組成物儀具有多條直線狀切口（ A)按一定間隔沿一定方向平行形成於其上且亦具有形成於其上之垂直橫斷該等直線狀切口 U)之至少一條直線狀切割用切口（ B)者，加Μ說明。實旛例1 3 如_ 4.所示，將上逑實施例1至1 1所得之各片讨式模具去污組成ti [厚度（II 4中之Τ ) 5 ra m ]予Μ切成2 3 0 m ^之寬度（丨_ 4 中之A )及3 0 0 ra ift之長度（謹4中之B )。諸切l:J 1 1具有切口 1 1 與切口 1 1之間隔（圖4中之C ) 1 5 ra [η及深度4 , 5 mm者沿寬度方向平行形成於片衬之全表面上。切丨J 1 1之低端部與面對切口 1 1低端部之片M20之背面之距離（圖3中之D)為0.5min。在此具體例中 > 形成2 0個塊片1 0 a。沿著片k 2 0之長度方向形成有--·條直線狀切割用切口 2 1 (深度4 . 5 mm )…係Μ切割用切丨:J 2 1可將Η村2 0之寬度（画4 中之A)分削成二部分.且亦垂直橫斷該等切口 1 1之方式所形成 0本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 0 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 B7 五、發明説明（28

材片各 HI 具模成有之上 □ 及 M 小大當適成 ® 崔 ii· c.£· 切用德切依具各種數 r6 大有之同相具橫用形成各上用使述上如過經反物成組 !;:a 樹氧環 'β Κ· 形成述成環循形成之之疊習分部 ii Γ7 切依機 1/ 成移轉各 Μ !" 積響積堆各之模示顯果結其 ο 污去行施後之内具模汚去之具 HU t/ 使在而好良情各之物產之得所 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 淨之劣低生發未均況實 14 示實述上 Η 各之得所 ,—! ^—_ 至 '—i 去具模成組中 5 Η /{V 度厚成切 Μ 予 I-_ 画 /f\ 度寬之中 5 圆 /IV 度長之 m ω ο ΰ 3 及 A 之 i—x t—I 切有具 ri Ίχρ 切 '·'-百、i-n

中 5 圖 /IV 鬲 Β» 間之 1—! ^—! P 度度寬沿者經濟部中央標準局員工消費合作社印製向成材片端低之 !—! P 切 o 上面表切對面 1Χ ΊΧο 材 Η 之中例體具此在成之中 3 11 /IV 離距面 Β ο 成形向方度長之 ο 3 材 H b/ 著 Π 切 '-'j 月 3?2 切狀線直絛度深圏 /(V 度寬之 ο 3 材片可 ix 3 □ 切用 HJ ΦΕ 切以之 tpl 成 H. 分橫直之 1 5—|ο 切等形本紙張觸1適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 31 470775 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（29 ) 將各片材式模具去污組成物具有形成於其上之二種切口 11及3 1者依切割用切口 3 1截切成適當大小Μ配合數種各具有大小不ffl同之模具（各成形用模具均經過如上述使用上述成形用環氧樹脂姐成物反覆成形之成形循環1 0 0 0次）之 .各轉移成形磯 > 依切口 11部分·疊後予W堆積。將所堆積之谷.片材保Μ於Μ具内ϋ俊* I®行去朽。具fe果顯示* fM 具之去污性非常良好而在使用各實旛例所得之產物之各情況均未發生低劣之淨化。 _上所述，本發明之a於半導體裝置成形用模具之去污之組成物含有成為基底之未硫化橡謬（成分A) * Μ及去污劑（成分Β )和特定量之水。如此《在使用本發_之去污組成物來施行半導體裝置成形用機具之内面之去污·時，形成於摸具内面上之沾污材料則附蕃於模具去污組成物上5且與具去污組成物整合成一體*而沾污材料從橫具有效地被除去。尤其是 > 由於使用包含聯苯環氧樹脂、多官能環氧樹脂、或二環戊二烯環氧樹脂之氧樹脂組成物之反覆成形而形成於模具内面上之沾污材料*迄今使習知去污組成物難於充分達成橫具之去污者*與本發明之橫具去污組成物之成肜物整合*因此從模具有效除去沾污材料而有效完成模具之去污。從而 > 本發明之_具去污組成勸有優異之表琨。再者》在本發明之樓具去污組成物形成一片Μ之形式而在該片材之表面上沿一定方向形成有多條直線狀切口之場合，在使用該片材時，沿切口摺疊片即可容易堆積該片本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 3 2 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?τ 470775 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（30 ) 材。·&此情況，由於被平行切u分塊片互相在切口底部連接> Η Μ可縫摺疊操作在未滑出之下有規則堆積起來，而塊）=]亦不會堆積成交叉狀態。因此，得到之雄積物品不會成為歪_之肜體。使用如此有規則堆積之片材式；去污 .組成物Μ使震具内面去污時 > 不會發生由未硫化橡膠與模具内面之不充分壓緊接_所引起之低劣淨化。再者，明確測定片衬之大小及Η紂切成ffi同大小之複雜工作均變為不需要之工作*而去污工作被簡化。 •R3· # * ίϊ本liS明之橫具去朽組成物中*尤其在該撗具去污組成物所構成之爿彳材具有沿一定方向形式於其上之多條直線狀切α (A)且亦具有垂直橫斷該等直線狀切口（A)而形成之至少一條直線狀切割用切口（ Β )之情況•在沿著切割用切口（Β)適當切麵後沿蕃切口（Α)摺疊所切割之片材，然後使用片材時9該片材則可容易堆積至使墙積之片材成為對於待去污之成形用模具之大小適合之形狀及大小《在此切況*由於被平_行切丨」分陶ϋ塊片亦互相’在切口底部連j安，片材可《摺疊操作在未潰出之下有規則堆積起來 > 而塊 Η亦不會堆積成交叉狀態。因此/得到之堆積物品不會成為歪曲之形_。使用如此有規則堆積之片材式去污組成物 Κ使模具內面去污時*不會發生由未硫化橡_與模具内面之不充分 '壓緊接觸所引起之低劣淨化。再# >由於形成切割用切口，Η材可在不發生紊亂之下容易被切割Μ配合橫具之較小之尺寸。此外*在本發明之片材式模具去污組成物之情況，在切本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470775 A7 B7 五、發明説明（Μ) 口按一定之間隔形成於片衬上之場合，該等切口則展示作為—^種量器之功能5而甚至為具有不間型式及大小之樓具 1亦谷ki切出適當量之片错丨衍使之堆積以施行撗具之去. 污。例如，轉移成肜機適於如待去污之成形用模具使用此種橫具去污組成物。苒者^本發明之{||具去污組成物被放入由不透水性薄膜製成之密封袋内而在密開狀態下被儲存，藉此可維持特定之含水率（1 Μ 3 0 :¾)。 !tt ..φ. ΗΪΙ _已篸fc符定具_例g彳：述如上5但痛悉本技藝者在不離開本發明之精神及範園}λ].當可傲各種變更及修 i：V :·· I- ^^^1 nn I ^^^1 HI· In H n --aJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2Κ)Χ：297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作社印製 5 7 7 ο 7 4

五、發明説明（32 )

為更詳细說明本發明起見，茲提供更多實施例如下。實施例1 5〜2 3 將顯示於下列表A中之各種成分，按照著表A所示之比例而予K摻配後，接著，藉由捏合用軋輥機，而將前述之所摻配之混合物*再加Μ捏揉。然後，使用一壓延用軋輥1 而將前述之捏揉混合物，成形為厚度5mm之片材，Κ便於得到目的所要求之Η狀之模具去污組成物。此外，該所選擇出之模具去污組成物中之水分含有量，係一併顯示於表 Α中。表A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 實施例成分 15 16 17 18 19 20 21 22 23 橡膠成分種類 CR BR NBR EPT EPH SBR IR IIR Q 摻配量 100 100 100 100 100 100 100 100 100 硬脂酸 1 1 1 1 1 1 1 1 1 二氧化矽粉 30 30 30 30 30 30 30 30 30 Ti 氧化物 5 5 5 5 5 5 5 5 5 掠櫚蠟 20 20 20 20 20 20 20 20 20 二亞乙二醇 8 二丁基醚 * 二亞乙二醇 8 10 —. 乙基醚 2- -胺基 -2 10 10 10 8 10 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作社印製 5 7 7 ο 7 4 Μ B7 五、發明説明（33 ) -甲基-1-丙醇 V m. 10. 27,^, 年 i；] ； ! m 1- 0 - 鄰甲苯基 10 5 二胍有機過氧化物 3 3 3 3 3 5 5 水 30 30 30 30 30 10 30 含水率 ⑴ 15 15 15 15 10.5 5.5 14. 註：ClMChloropr'ene rubber):氯丁二烯橡膠 BR(Butylene rubber): 丁鋪橡膠 NBR(Nitrile rubber):腈橡膠 E P T (E t h y 1 e n e p r 〇 p y 1 e n e t e r ρ ο 1 y in e r r u b b e r ):乙烯丙烯三元共聚物橡膠 EP M (Ethylene propylene rubber):乙 '烯丙鋪橡膠 SBMStyrene butadienene rubber) : $乙® 丁二鋪橡膠 IR(Po丨yisobutylene rubber):聚異丁燒緣膠 IIR(Butyl rubber): 丁基橡膠 Q(Silicone rubber):矽氧橡膠將按照前逑之處理而選擇出之實施例15〜23，K與前述之實施例1之相同要領，而進行模具之去污性之評價作業；其評價結果^就正如以下所述。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29*7公f ) 36 修正買 470775 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製

年少I 五、發明説明（34 ) 實施例 -23良 22良 2 良 20良 19良 18良 17良 16良 15良性果污結去價具評模之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0>< 297公釐） 37 修正頁

Claims

470775 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A8 § ^0. g _______ D8__ 六、申請專利範圍 1 . 一種適於半導體裝置成形用模具之去污組成物，該模具被反覆用以施行使用熱固性樹脂組成物之成形，該去污組成物包含下述成分（A)及（B): (A )未硫化橡膠 (B)去污劑其中，該去污組成物被放入由不透水性薄膜製成之密封袋而以密閉狀態被保持於其內，以便該去污組成物之含水率以該去污組成物之總重計成爲1至3 Ow t %者。 2 ·如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污組成物爲取一片材之形式者。 3 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污組成物又包含硫化劑者。 4 ·如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污劑（B )爲咪唑類及/或咪唑啉類者。 5 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污組成物又包含甘醇醚者。 6 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污組成物又包含脫模劑者。 7 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該熱固性樹脂組成物爲包含環氧樹脂之環氧樹脂組成物及固化劑者。 δ ·如申請專利範圍第7項之去污組成物，其中，該環氧樹脂爲選自聯苯環氧樹脂、多官能環氧樹脂、以及二環戊二烯環氧樹脂所組成一群之至少一種環氧樹脂者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 2凊先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁> 訂---------綉 470775 A8 B8 C8 ___ D8 六、申請專利範圍 9 .如申請專利範圍第7項之去污組成物，其中，該固化劑爲酚樹脂者。 1 0 ·如申請專利範圍第7項之去污組成物，其中，該固化劑爲一種擁有下式（1 )

所示之重複單元之酚芳烷基樹脂者。 11 ·如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該去污組成物爲取一片材之形式且有多條直線狀切口按一定之間隔沿一定之方向平行形成於該片材本身之表面上者。 1 2 ·如申請專利範圍第11項之去污組成物，其中，該項切口按一定之間隔形成於該片材之表面上者。 1 3 ·如申請專利範圍第1 1項之去污組成物，其中，該項切口之低端部與面對該項切口低端部之片材背面之距離爲 0.1 至 0.8mm 者。 1 4 .如申請專利範圍第1 1項之去污組成物，其中，以該項切口係以該項切口可實現片材之摺疊之方式所形成者。 1 5 .如申請專利範圍第1 1項之去污組成物，其中，該項切口係以片材可依切口部分被截切之方式所形成者。 1 6 .如申請專利範圍第1 1項之去污組成物，其中，該去污組成物爲取一片材之形式，有多條直線狀切口（ A )按一定之間隔沿一定之方向平行形成於該片材本身之表面上且亦有至少一條直線狀切割用切口（B)以該切口（B)可垂直橫斷該等切口以）之方式形成於該片材之表面上者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------ V--------訂---------絲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 470775 A8 B8 C8 ____ D8 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之去污組成物，其中’該去污組成物所構成之片材形成約略方形，以與片材之寬度方向平行之方式形成有一定方向之多條直線狀切口（ A )，而以與片材之長度方向平行之方式形成有對一定方向之該等切口（ A )垂直橫斷之一種切割用切口（ B )者。 18. —種半導體裝置成形用模具之去污方法，其包括：製備一包含如申請專利範圍第1 1項之去污組成物而構成之去污片材，該片材具有按一定之間隔沿一定之方向平行形成於該片材本身之表面上之多條直線狀切口；沿切口在切口形成面爲表側之情況下折彎該片材，以使背面互相接觸而以多段堆積該片材；將片材以堆積狀配置於開放之模具之模面上；夾緊該模具以保持堆積狀態之片材：以及在加熱下對片材施壓，藉此使模具內面淨化者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19. 一種半導體裝置成形用模具之去污方法，其包括：製備一包含如申請專利範圍第1 6項之去污組成物而構成之去污片材，該片材具有按一定之間隔沿一定之方向平行形成於該片材本身之表面上之多條直線狀切口（ A )且亦具有形成於該片材表面上之至少一條直線狀切割用切口 (B )，係以該切割用切口（ B )可垂直橫斷該等直線狀切口（ A ) 之方式所形成；沿切割用切口（ B )切割該片材；沿切口（ A ) 在切口（ A )形成面爲表側之情況下折彎所切成之片材，以使片材之背面互相接觸而以數段堆積該片材；將片材以堆積狀配置於開放之模具之模面上；夾緊該模具以保持堆積狀態之片材在模具內：以及在加熱下對片材施壓，藉此使模本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 3 470775 A8 B8 C8 D8 t、申請專利範圍具內面淨化者。 20 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該含水率爲3至25wt%者。 21 .如申請專利範圍第1項之去污組成物，其中，該含水率爲5至20wt%者。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）