JP4529280B2 - 半導体封止用金型クリーニング材 - Google Patents
半導体封止用金型クリーニング材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4529280B2 JP4529280B2 JP2000360477A JP2000360477A JP4529280B2 JP 4529280 B2 JP4529280 B2 JP 4529280B2 JP 2000360477 A JP2000360477 A JP 2000360477A JP 2000360477 A JP2000360477 A JP 2000360477A JP 4529280 B2 JP4529280 B2 JP 4529280B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- cleaning material
- resin
- filler
- semiconductor encapsulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体封止用金型クリーニング材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体素子の高集積化が年々進み、又半導体装置の表面実装化が促進されるなかで、半導体封止用エポキシ樹脂組成物への要求は、益々厳しいものとなってきている。この要求に対応すべく様々な樹脂や添加剤が用いられている半導体封止用エポキシ樹脂組成物は、連続成形時に金型汚れが発生し、金型取られ、未充填等の成形不具合が起こりやすくなってきている。そのため定期的に金型表面をクリーニングすることが通常となっている。
【0003】
このために用いられる半導体封止用金型クリーニング材は、アミノ系樹脂のような成形収縮率の大きい樹脂に、結晶破砕シリカ、ガラス繊維等の硬度の高い充填材を配合し、金型表面の汚れを削り落とすことが主流であった。従来のクリーニング材では、充填材の硬度が高いと、金型表面の汚れのクリーニング効果は高いものの、多量に用いると金型表面が摩耗するという問題がある。又充填材の硬度を低くすると十分なクリーニング効果が得られず多量にクリーニング材を使用する必要があり、生産効率が低下するという問題があった。充填材としての硬度は、高いが金型表面を摩耗させにくい球状シリカを用いて防止する方法も考えられたが、球状のため金型表面の汚れのクリーニング効果が少なく十分に満足出来るものではなかった。
従って金型表面を摩耗させることなく、十分なクリーニング効果が得られる半導体封止用金型クリーニング材の開発が望まれていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、金型表面を摩耗させることなく、クリーニング効果に優れた半導体封止用金型クリーニング材を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、(A)常温で固形のレゾール型フェノール樹脂、(B)含水非晶質二酸化珪素を主成分とする充填材、及び(C)球状シリカからなることを特徴とし、特に含水非晶質二酸化珪素が、珪藻土である半導体封止用金型クリーニング材である。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明で用いられる常温で固形のレゾール型フェノール樹脂としては、ジメチレンエーテル型レゾール樹脂、メチロール型レゾール樹脂等があり、これらは単独でも混合して用いてもよい。レゾール型フェノール樹脂の軟化点としては、50〜100℃が好ましい。100℃を越えるとクリーニング材の流れが極端に低下し、50℃未満だと樹脂の固結が激しく取り扱い性が極端に劣るという問題がある。
又成形品の剛性を調整するためにレゾール型フェノール樹脂の特性を損なわない範囲で、ノボラック型フェノール樹脂を併用することもできる。ノボラック型フェノール樹脂の配合量は特に限定しないが、レゾール型フェノール樹脂100重量部に対して100重量部以下が望ましい。ノボラック型フェノール樹脂の配合量が、100重量部を越えると、成形品の剛性が十分に高くならず、金型表面のクリーニング時に成形品が金型に取られる等の不具合を生じるおそれがある。
【0007】
本発明で用いられるレゾール型フェノール樹脂の硬化を促進する硬化触媒としては、酸触媒、アルカリ触媒のいずれでもよいが、酸触媒だと金型が腐食するという問題があるため、アルカリ触媒を用いることが望ましい。アルカリ触媒としては、消石灰、酸化マグネシウム等のアルカリ土類金属の水酸化物、金属酸化物が好ましいが、これらに限定されるものではない。又これらの硬化触媒は単独でも混合して用いてもよい。
【0008】
本発明で用いられる含水非晶質二酸化珪素を主成分とする充填材としては、アエロジル等の合成シリカや放散虫岩、珪藻土岩等の珪質生物岩類が挙げられる。これら珪質生物岩類は生物遺骸が分解されて出来たものであり、不定型で無数の棘状の突起を有している。特に珪藻土は、結晶シリカに比べ硬度が低く金型表面を摩耗させることがなく、かつ棘状の突起を有していることから結晶シリカと同等のクリーニング効果を示すという特徴がある。充填材としては、これら珪質生物岩類そのもの若しくは粉砕したものを用いることができる。これらの充填材の粒度は、特に限定されるものではないが細部への充填性を維持するためには最大粒径100μm以下、更に好ましくは75μm以下のものが望ましい。
これらの含水非晶質二酸化珪素を主成分とする充填材の配合量は、特に限定されないが、全クリーニング材中に0.3重量%以上、更に好ましくは1〜10重量%が望ましい。0.3重量%未満では十分なクリーニング効果を発現できず、10重量%を越えてもそれ以上の効果は発現されない。
【0009】
本発明で用いられる球状シリカは、充填材として一般的に用いられるものであり特に限定されるものではないが、細部への充填性を維持するために最大粒径100μm以下、更に好ましくは75μm以下のものが望ましい。これを満足するものとしては、溶融球状シリカ等が挙げられる。球状シリカは、クリーニング材の成形性を調整するものであり、特にクリーニング材の流れ性と充填性を向上させるためには、粒度分布がより広くなるように調整することが望ましい。これらの球状シリカは単独でも様々な粒度のものを混合して用いてもよい。特に最大粒径75μm以下のシリカ100重量部に対して、平均粒径5μm以下の球状シリカを20〜50重量部併用することで流れ性と充填性が向上するため好ましい。
【0010】
本発明の半導体封止用金型クリーニング材は、これ以外にも必要に応じて離型剤、成形品強度を向上するためのカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤等を用いてもよい。
本発明の半導体封止用金型クリーニング材は、各成分をミキサー等を用いて混合後、加熱ニーダ、熱ロール、押し出し機等を用いて加熱混練し、続いて冷却、粉砕することで得られる。
【0011】
【実施例】
以下、本発明を実施例で具体的に説明する。配合割合は重量部とする。
をミキサーを用いて混合した後、表面温度が90℃と15℃の2軸ロールを用いて20回混練し、得られた混練物シートを冷却後粉砕して、クリーニング材とした。得られたクリーニング材の特性を以下の方法で評価した。評価結果を表1に示す。
【0012】
評価方法
スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力70kg/cm2、硬化時間2分で測定した。単位はcm。
離型性:クリーニング材をトランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力75kg/cm2、硬化時間2分で144pQFP(20×20×1.7mm厚さ)を10回連続で成形した。この10回の成形で、離型時に金型に付着したり、成形品に割れ・欠けが発生した回数が5回以上のものを×、1〜4回のものを△、発生なしのものを○と判定した。
金型クリーニング性:評価用成形材料として、住友ベークライト(株)・製、半導体封止用エポキシ樹脂成形材料EME−7351を用いトランスファー成形機で、金型温度175℃、注入圧力75kg/cm2、硬化時間45秒で80pQFP(14×20×2.0mm厚さ)を300回連続で成形し金型表面を汚した。その後、クリーニング材を成形し金型が綺麗になるまでのショット数を目視で確認した。
金型摩耗量:S45C製の1.0mmΦのオリフィスを用い、高化式フローテスターで、クリーニング材の粘度を10回測定し、測定前後のオリフィスの重量差を計り摩耗量とした。単位はmg。
充填性:クリーニング材をトランスファー成形機を用い、金型温度175℃、注入圧力75kg/cm2、硬化時間2分で144pQFP(20×20×1.7mm厚さ)を10個成形し成形品を得た。得られた10個全てのパッケージを観察し外部に3ヶ以上ボイドがあるものを×、1〜2ヶのものを△、ないものを○とした。
【0013】
実施例2〜4、比較例1〜4
表1、表2の配合に従い、実施例1と同様にしてクリーニング材を作成し、同様に評価した。なお、実施例2,3のアエロジルは(日本アエロジル(株)・製、AEROSIL200)を用いた。
【表1】
【0014】
【表2】
【0015】
【発明の効果】
本発明のクリーニング材は、金型摩耗が少なく、充填性、クリーニング効果に優れている。
Claims (2)
- (A)常温で固形のレゾール型フェノール樹脂、(B)含水非晶質二酸化珪素を主成分とする充填材、及び(C)溶融球状シリカからなることを特徴とする半導体封止用金型クリーニング材。
- (A)常温で固形のレゾール型フェノール樹脂、(B)珪藻土を主成分とする充填材、及び(C)溶融球状シリカからなる半導体封止用金型クリーニング材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000360477A JP4529280B2 (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | 半導体封止用金型クリーニング材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000360477A JP4529280B2 (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | 半導体封止用金型クリーニング材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002160225A JP2002160225A (ja) | 2002-06-04 |
JP4529280B2 true JP4529280B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=18832069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000360477A Expired - Fee Related JP4529280B2 (ja) | 2000-11-28 | 2000-11-28 | 半導体封止用金型クリーニング材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4529280B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101934065B1 (ko) | 2011-07-15 | 2019-01-02 | 닛뽕 카바이도 고교 가부시키가이샤 | 금형 청소용 수지 조성물 |
SG11201404265PA (en) * | 2012-01-23 | 2014-10-30 | Nippon Carbide Kogyo Kk | Resin composition for cleaning die |
WO2014119485A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 日本カーバイド工業株式会社 | 金型清掃用樹脂組成物及び金型清掃方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63246210A (ja) * | 1988-02-19 | 1988-10-13 | Nippon Carbide Ind Co Ltd | 金型清掃用樹脂組成物 |
JPH05278042A (ja) * | 1992-04-02 | 1993-10-26 | Bridgestone Corp | 金型洗浄ゴム組成物及び洗浄方法 |
JPH06330091A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-11-29 | Chisso Corp | プラスチック加工機用洗浄組成物 |
JPH0952999A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用樹脂組成物 |
JPH09212272A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-15 | Nissha Printing Co Ltd | キーパッドとその製造方法 |
JPH10226799A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-08-25 | Nitto Denko Corp | 半導体装置成形用金型洗浄剤組成物およびそれを用いた金型クリーニング方法 |
JPH11100506A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Polyplastics Co | ポリアリーレンサルファイド樹脂組成物の製造方法 |
JPH11228829A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-24 | Polyplastics Co | ブロー成形用ポリアリーレンサルファイド樹脂組成物及びその中空成形品 |
JP2000239490A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 離型処理用樹脂組成物とこれを用いた封止半導体装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-11-28 JP JP2000360477A patent/JP4529280B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63246210A (ja) * | 1988-02-19 | 1988-10-13 | Nippon Carbide Ind Co Ltd | 金型清掃用樹脂組成物 |
JPH05278042A (ja) * | 1992-04-02 | 1993-10-26 | Bridgestone Corp | 金型洗浄ゴム組成物及び洗浄方法 |
JPH06330091A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-11-29 | Chisso Corp | プラスチック加工機用洗浄組成物 |
JPH0952999A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止用樹脂組成物 |
JPH09212272A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-15 | Nissha Printing Co Ltd | キーパッドとその製造方法 |
JPH10226799A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-08-25 | Nitto Denko Corp | 半導体装置成形用金型洗浄剤組成物およびそれを用いた金型クリーニング方法 |
JPH11100506A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Polyplastics Co | ポリアリーレンサルファイド樹脂組成物の製造方法 |
JPH11228829A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-24 | Polyplastics Co | ブロー成形用ポリアリーレンサルファイド樹脂組成物及びその中空成形品 |
JP2000239490A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-05 | Matsushita Electric Works Ltd | 離型処理用樹脂組成物とこれを用いた封止半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002160225A (ja) | 2002-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4529280B2 (ja) | 半導体封止用金型クリーニング材 | |
CN103702813B (zh) | 模具清扫用树脂组合物 | |
JPS6320340A (ja) | 高熱伝導性ゴム・プラスチック組成物 | |
JP4788033B2 (ja) | 金型離型回復樹脂組成物の製造方法 | |
JP5298310B2 (ja) | 電子部品封止用樹脂組成物およびそれを用いた電子部品装置 | |
TWI551417B (zh) | 模具清理用樹脂組成物 | |
JP4581232B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4948541B2 (ja) | 金型清掃用及び離型回復用樹脂組成物並びに金型清掃及び金型離型回復方法 | |
JP2978308B2 (ja) | 金型清掃用樹脂組成物 | |
JP5272195B2 (ja) | 半導体素子封止用樹脂組成物の製造方法 | |
JP5395330B2 (ja) | フェノール樹脂成形材料及び成形品 | |
JPH0381111A (ja) | 金型清掃用成形材料および金型清掃方法 | |
JP2003082193A (ja) | 金型離型回復樹脂組成物の製造方法 | |
JP3712302B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物の製造方法 | |
JP4505888B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4622123B2 (ja) | 金型離型回復樹脂組成物の製造方法 | |
JPH0386741A (ja) | ゴムマットの製造方法 | |
JP3176761B2 (ja) | フェノール樹脂成形材料 | |
JPH05311038A (ja) | フェノール樹脂成形材料 | |
JP3121675B2 (ja) | 低圧成形用フェノール樹脂成形材料 | |
JP4362885B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び樹脂封止型半導体装置 | |
JP2003155328A (ja) | タブレット及び半導体装置 | |
JPH0782462A (ja) | 封止材用エポキシ樹脂マスターバッチとその製造方法 | |
JPH09227762A (ja) | フェノール樹脂成形材料 | |
JPH11293126A (ja) | 封止用樹脂組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100420 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140618 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |