408422 at __ B7 五、發明説明ί ) 發明之背景 發明領域： 本發明係有關於一種基體轉移裝置，用以轉移例如爲 一 L C D基體之大尺寸基體，及有關於一種使用該基體轉 移裝置的基體處理裝置》 習知技術 於生產液晶顯示器（LCD)中，由玻璃製成之 L C D基體以光刻膠液體塗層而形成一光刻膠薄膜，且該 光刻膠薄膜係相對應於電路屬型而曝光。此係被認爲相關 於顯影處理，即爲，該電路圖型係由所謂的光刻法技術所 形成。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 {請先閱讀背面之注f項再填寫本頁) 傳統的，該一系列之塗層/顯影處理係由一系統所執 行，其中，配合了用以執行這些處理的個別之處理裝置。 於該一系統中，設有一轉移裝置以在個別處理單元之間轉 移/承接一基體，以執行例如爲淨化處理，塗層處理，顯 影處理，及加熱處理的個別之處理。 該種轉移裝置係可移動於轉移路徑上。而且，該轉移 裝置包含了一底座構件，該底座構件可被轉動及上下移動 ，以轉移/承接該基體至/自該處理單元，及一底座支撐 臂，其可來回的移動至該底座構件以輸送該基體β 傳統的，所使用之該基體轉移機械的結構，其中，一 對支撐區段支撐該基體之外部周邊部份，設於該周邊部份 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 408422 A7 _B7__ 五、發明説明) 的每一尖梢的導件，及固持該基體的底座部份。 另一方面，於此種形式之轉移機械中，一般均使用一 帶驅動系統爲驅動機構，以前後的移動該支撐臂。但是， 在使用該帶驅動系統時，會容易產生邋粒。如果該微粒粘 附至該處理的基體，會產生例如爲該裝置功能表現的劣 化及導致生產量降低等的困難。爲使解決該種困難，於曰 本專利號碼8 - 2 9 3 5 3 5中，.提供用以覆蓋該支撐臂 的驅動機構的一外蓋，及用以在該外蓋內吸氣的機構。 順便的，近來對增大尺寸之L C D基體的需求，已越 來越多。特別的，該需求的基體尺寸，已由6 5 Ox 5 5 0mm的傳統尺寸，大爲增加至8 3 0 X 6 5 Omm 的尺寸。如果該基體的尺寸大爲增加，與傳統情況相較* 由支撐臂支撐該基體中，該基體之中央部份之撓曲敏銳的 增加。然後，於轉移及承接該基體時，其上下動作之衝程 亦必須增加，且其中央部份的變形亦敏銳的增加。其結果 ，減少了產量，且輕易的導致轉移錯誤。 此外，如果該基體如前述的增大，該轉移裝置亦需要 —大尺寸之驅動機構，且因而增加了產生之微粒的數量》 但是，於前述日本專利8 - 2 9 3 5 3 5中所揭示之技術 中，於該底座構件的一未端部份側邊處，設有一吸收路徑 ，即爲，一排氣路徑。其結果，自該驅動機構產生的微粒 ，當該基體放大時•有可能不被經常有效的吸收。 發明之槪要說明 -I i----.--tr'------, k (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） -5- 408422 五、發明説明& ) 本發明之一目的係提供一種基體轉移裝置’其中，可 克服在支撐構件上的基體被引致之撓曲的缺點。 本發明之另一目的係提供一種基體轉移裝置’其可有 效的移除自該驅動機構所產生的微粒。 本發明之進一步的另一目的，係提供使用該種基體裝 置之一處理裝置。 依據本發明之第一相態*提供一種基體轉移裝置，包 含了用以支撐一基體的支撐構件，及用以移動該支撐構件 以轉移該基體之驅動機構，其中•每一支撐構件具有一對 用以支撐該基體之外部周邊的外部支撐區段，及至少一對 設於該外部支撐區段之間的內部支撐區段。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 依據本發明之第二相態，提供一種基體轉移裝置，於 移動在一轉移路徑上時轉移該基體，包含了用以支撐該基 體的支撐構件，用以移動的支撐該支撐構件之底座構件> 用以移動該支撐構件且設於該底座構件內的一驅動機構* 一主體支撐該底座構件且移動在該轉移路徑上* 一排氣路 徑自接近於該驅動機構的一部份向下延伸通過該主體*及 經由該排氣路徑來排氣該底座構件之內部的一排氣單元。 依據本發明之第三相態，提供一種基體處理裝置，用 以於基體上進行一預定之處理，包含了於該基體提供該預 定處理之一處理區段，包含了用以支撐該基體之支撐構件 之一轉移機械，及供移動該支撐構件以轉移該基體的一驅 動單元，該支撐構件具有一對用以支撐該基體之外部周邊 的外部支撐區段，及至少一對設於該外部支撐區段之間的 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 6 _ Α7 408422 Β7 五、發明説明4 ) 內部支撐區段。 依據本發明之第四相態，提供一種基體處理裝置，用 以於基體上進行一預定之處理，包含了於該基體提供該預 定處理之一處理區段，及於移動在該處理區段的一轉移路 徑上時，用以轉移該基體的一基體轉移機械，該基體轉移 機械包含了用以支撐該基體的支撐構件，用以可移動的支 撐該支撐構件之底座構件，用以移動該支撐構件且設於該 底座構件中的一驅動機構，一主體支撐該底座構件且移動 於該轉移路徑上，一排氣路徑自接近於該驅動機構的一部 份向下延伸通過該主體而排氣，及經由該排氣路徑來排氣 該底座構件之內部的一排氣單元。 依據本發明之第一與第三相態，該支撐構件具有一對 用以支撐該基體之外部周邊的外部支撐區段，及至少一對 設於該外部支撐區段之間的內部支撐區段β其結果，即使 如果該基體的尺寸係大的，仍可減少其撓曲。因而，不會 導致例如爲增加轉移該基體之上下動作的衝程I及由於該 基體之撓曲導致轉移錯誤等的缺點。 依據本發明之第二與第四相態>設有一排氣路徑自接 近於該底座構件之驅動機構，向下延伸通過該主體而排氣 ，及經由該排氣路徑而由該排氣機構而實施排氣。其結果 1可獲致高排氣效率，且由該驅動機構導致之微粒可有效 的移除。 本發明之額優點及目的由隨後之詳細說明，或本發明 之實際應用中，當可更加明白。經由於後特別指出之該機 本紙乐尺度这用中S國家標-守（（'NS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填本頁) .裝· 訂 4Q8422 b7_ 五、發明説明g ) 構的協助及組合，可執行及獲致本發明之優點。 圖形之簡要說明 所附之圖形顯示本發明之目前的較佳實施例，其配合 了該特定規格且組成該特定規格，且前述之一般說明與於 後詳述之較佳實施例，一起用以解釋本發明之原理。 圖1係一透視圖，顯示應用本發明之一基體轉移裝置 的光刻膠塗層/顯影系統； 圖2係一透視圖，顯示圖1之該光刻膠塗層/顯影系 統中之主要轉移機械： 圖3係一槪略側視圖，顯示圖1之該光刻膠塗層/顯 影系統中之主要轉移機械； 圖4係一平面圖，顯示該主要轉移機械之一基體支撐 構件； 圖5係一圖式，說明經由使用一導引構件以固持該基 體至該基體支撐構件的方法： 經，术部中次標琅局M.T消赀合作it印54 n I ft (請先閱讀背&之注意事項再填寫本頁) 圖6係一圖式，顯示供該支撐構件之外部與內部區段 用之強化肋； 圖7係一部份剖面側視圖，顯示該主要轉移機械的該 基體支撐構件之一驅動機構，及一排氣機構； 圖8係沿著圖7之線VI I I—VI I I所取得之一 剖面圖； 圖9係沿著圖7之線I X — I X所取得之一剖面圖： 及 本紙張尺度中闺國家標埤{ CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -8- 408422 B7五、發明説明έ ) 圖1 〇係一平面圖，顯示依據另一實施例之該主要轉 移機械的一基體支撐構件。 主要元件對照表 1 卡匣站 2 處理站 2 a 即台區段 2 b 中間台區段 2 c 後台區段 3 介面站 10 轉移機構 10a 轉移路徑 11 轉移臂 12 轉移路徑 13 轉移路徑 14 轉移路徑 15 中繼區段 16 中繼區段 17 主要轉移機械 18 主要轉移機械 19 主要轉移機械 2 1 a 淨化單元（SCR) 2 1 b 淨化單元（SCR) 22 光刻膠塗層處理單元（CT) - - I -^( j 『--- - -I . .f 士^. -in I- (錡先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度这用中國®家標碑（（'NS ) Λ4規格（210X297公釐） -9- 衽淖部中次標ί?-局只工消资合忭ίι印裝 408422 A7 B7 五、發明説明f ) 2 2 a 光刻膠處理單元 23 周邊光刻膠移除單元（ER) 24a 顯影處理單元 24b 顯影處理單元 24c 顯影處理單元 2 5 紫外線照射/冷卻單元（UL/COL) 2 6 加熱處理單元（HP) 27 冷卻單元（COL) 28 加熱處理單元（HP) 29 加熱/冷卻處理單元（HP/COL) 30 粘附/冷卻處理單元（AD/COL) 31 加熱處理單元（HP) 32 加熱/冷卻處理單元 33 加熱/冷卻處理單元 34 化學液體烘應單元 3 5 空間 3 6 延伸件 3 7 緩衝台 38 轉移機構 3 8 a 轉移路徑 3 9 轉移臂 4 1 主體 42 底座構件 4 3 a 頂部基體支撐構件 本紙張尺度適州中家標净（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） -------：裝-- (请^閱请皆^之注意事項再填寫束頁) ΪΤ- -10- 408422 五、發明説明6 ) 43b 底座基體支撐構件 44 聯結部份 5 1 向前部份 52 底座部份 5 2a 部份 5 2b 部份 5 2c 部份 53 外部支撐區段 54 內部支撐區段 {請先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) 導引元件 5 5 a 支撐件 5 6 強化肋 5 7 孔 6 1 底板 6 2 a 滑輪 6 2 b 滑輪 6 3 a 滑輪 6 3 b 滑輪 6 4 a 帶 6 4 b 帶 6 5 a 馬達 6 5 b 馬達 6 6 a 滑輪 6 6 b 滑輪 -11 - 本紙張尺度適Λ中國K家樣4* ( rNS ) Λ4規格（210X297公釐） 408422 A7 B7 五'發明説明6 ) 經，"部中央樣準局爲丁-消於合作社印*'1^ 6 7 a 滑輪 6 7 b 滑輪 6 8 a 帶 6 8 b 帶 7 1 導引 構 件 7 2 軌條 7 3 導引 構 件 7 4 軌條 7 5 遮蔽 板 7 6 a 孔 7 6 b 孔 7 7 a 排氣 扇 7 7 b 排氣 扇 7 8 排氣路 徑 7 9 排氣 路 徑 8 0 排氣 扇 G 基體 C 卡匣 本 發 明之詳細 說 明 參照所附圖形，於下將特定的說明本發明之實施例。 此一塗層/顯影系統包含了一卡匣站1，其中，裝載 了配合多數之基體G的卡匣C於卡匣站1內，一處理站2 ，包含了多數之處理單元，在該基體G上施加一系列的包 --------]ά-----„——訂------/ / {請九閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度遠扣中國國家標彳（「NS ) Λ4規格（2】0X297公釐） -12- 408422 A7 ____B7 五、發明说明（〇 ) 含了光刻膠之塗層/顯影之處理，及一介面站3，以供轉 移該基體G於該塗層/顯影處理系統與一曝光單元（未示 於圖）之間。該卡匣站1與該介面站3，係個別的設於該 處理站2之二末端處。 該卡匣站1包含了用以轉移一 L CD基體於該卡匣C 與該處理站2之間的一轉移機構1 〇。然後，執行裝載/ 卸載該卡匣C進入/來自該卡匣站1。此外，該轉移機構 1 0包含了轉移臂1 1，該轉移臂1 1可沿著該卡匣之對 準方向所提供之轉移路徑1 0 a上移動，且該基體G可經 由該轉移臂1 1之力量，而被承載於該卡匣C及該處理站 2之間。 該處理站2被分隔爲一前台區段2 a ，一中間台區段 2b，及一後台區段2c，其中，該轉移路徑12，13 及1 4係涸別的設於其中央區域內，且處理單元被安排在 這些個別的轉移路徑之二側邊上。一中繼區段1 5被設於 前台區段2 a與該中間台區段2 b之間，及一中繼區段 1 6被設於中間台區段2 b與該後台區段2 c之間。 經肩部中央#.翠局员工消资合作杜印鉍 I In -*^^1 . 士^, - — . -I ^^1 ^^(1 ^^1 .τ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 該前台區段2 a包含了可沿著該轉移路徑12移動之 一主要轉移機械1 7。二淨化單元（SCR) 2 1 a與 2 1 b被設於該轉移路徑1 2之一末端側邊，而一紫外線 照射/冷卻單元（UV/COL) 25，及個別的以二頂 部與底部級堆疊之一加熱處理單元（HP ) 2 6與一冷卻 單元（COL) 27，均被設於該轉移路徑12之另一末 端側邊。 本紙張尺度適州中國围家標岑（C’NS > Λ4規格（210X297公t ) • 13 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 408422 A7 B7 五、發明説明(11 ) 然後，該中間台區段2 b包含了可沿著該轉移路徑 1 3移動之一主要轉移機械1 8。一光刻膠處理單元（ CT)22及可自該基體G的周邊部份上移除該光刻膠的 一周邊光刻膠移除單元（ER) 2 3，均整體的提供在該 轉移路徑1 3之一末端側邊，而垂直的堆叠爲二級之加熱 處理單元（HP) 28，垂直的堆叠該加熱處理單元及該 冷卻處理單元之一加熱/冷卻處理澤元（Η P / C 0 L ) 2 9，垂直的堆疊該粘附處理單元與冷卻單元之一粘附/ 冷卻處理單元（AD/COL) 30，均被設於該轉移路 徑1 3之另一末端側邊。 此外，該後台區段2 C包含了可沿著該轉移路徑1 4 移動之主要轉移機械1 9。三個顯影處理單元2 4 a， 2 4 b及2 4 c，均設於該轉移路徑1 4之一末端側邊， 而垂直的堆疊爲二極之加熱處理單元2 6，及垂直的堆疊 一加熱處理單元與一冷卻處理單元的二加熱/冷卻處理單 元（HP/COL) 32與33，均被設於該轉移路徑 1 4之另一末端側邊。 •該處理站2之構造，例如爲淨化處理單元2 2 a，光 刻膠處理單元2 2 a，顯影處理單元2 4 a等的轉動系統 單元，係被安排在該轉移路徑之一側邊上，而僅有例如爲 加熱處理單元，冷卻處理單元等的熱系處理單元，係被安 排在該轉移路徑之另一側邊上。 化學液體供應單元3 4及用以負載及卸載該主要轉移 機械之空間3 5，均被安排在該中繼區段1 5與1 6之轉 ---------裝------訂-------^ (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2I0X297公釐） -14- 經W部中劣代準局負工消资合作社印*,J木 A7 408422 B7__ 五、發明説明{2 ) 動系統單元側邊處。 該介面站3包含了一延伸件36·當該基體係轉移/ 承接至/來自該處理站2時’用以暫時的固持該基體’二 緩衝台3 7被設於該延伸件3 6之二側邊上’且其中安排 了緩衝卡匣，及一轉移機械3 8，用以轉移該基體G於該 延伸件3 6/二緩衝台3 7與一曝光單元（未示於圖）之 間。該轉移機構3 8具有轉移臂3 9，沿著該延伸件3 6 與該緩衝台3 7之對準方向而移動於該轉移路徑3 8 a上 »該基體G可由該轉移臂39，承載於該處理站2與該曝 光單元之間》 類似於前述，經由配合個別的處理單元在一起，可以 達成處理效率的改良及空間的節省。 在如前所建構之該塗層/顯影系統中，在卡匣C中的 基體G，被承載進入該處理站2。然後，在處理站2中， 該基體G首先在紫外線照射/冷卻單元（UV/COL) 2 5內遭受表面改良/淨化處理，且然後，在該基體冷卻 之後，於淨化單元（SCR) 21a與21b中遭受劃線 具淨化處理，然後在加熱處理單元（HP ) 2 6中經由加 熱作業而乾燥，再於冷卻單元（COL) 27中冷卻。 而後，該基體G被承載至中間台區段2 b，在該單元 3 0的頂部台粘附處理單元（AD)中遭受粘附處理（ HMDS處理），以使強化該光刻膠之固定性質。然後， 該基體G在冷卻單元（COL)中冷卻，且在該光刻膠塗 層單元（CT) 22中，塗層該光刻膠。然後，在該基體 本紙張尺度诮用中國囤家標_华（（、泌）44規格（2]0';<297公釐） -----,--- 裝-----^--,1τ· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -15- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 __408422 b7_____ 五、發明説明（13 ) G之周邊部份上的多出之光刻膠，在周邊光刻膠移除單元 (ER)23中移除。然後’該基體G於中間台區段26 的加熱處理單元（HP)中遭受預烤處理，且然後，在該 單元29或30內的底部台冷卻單元（C〇l)中冷卻。 而後，該基體G經由該介面區段1 6，由該主要轉移 機械1 9自中繼區段1 6承載至該曝光單元，且然後，該 預定之圖型曝光在該基體G上。然.後’該基體g再次的經 由該介面區段3所承載，且然後在任一顯影處理單元（ DEV) 24a，24b，及24c中顯影，以形成預定 之圖型於其上。該顯影之基體G在任一加熱處理單元（ HP)中遭受後烤處理，然後在冷卻單元（COL)中冷 卻，再經由該主要轉移機械1 9，1 8及1 7與該轉移機 構1 0之本質，而將該基體G置於卡匣站1上的該預定卡 匣內。 於下將解釋用以轉移該基體以進行一系列之處理的該 主要轉移機械。圖2係一透視圖，顯示在光刻膠塗層/顯 影系統中的該主要轉移機械之槪略結構，且圖3係圖2之 槪略側視圖。 如示於這些圖中，該主要轉移機械1 7包含了可沿著 轉移路徑1 2移動之一主體4 1，可上下移動至該主體 4 1且於該主體4 1處轉動之一底座構件（底板）4 2， 可獨立的沿著一水平方向而在底座構件4 2上移動的頂部 及底部基體支撐構件4 3 a與4 3 b。然後，該底座構件 4 2與該主體4 1之中央部份，經由一聯結部份4 4而互 ----------ά------tr------4 (婧先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 經"'^中^杼卑^异二消资合作社印來 408422 a? B7五、發明説明彳4 ) 相聯結。該聯結部份4 4可由內裝於該主體4 1內之一馬 達（未示於圖）上下的移動或轉動，因而，該底座構件 4 2係上下的移動或爲轉動的•該主要轉移區段1 8及 1 9係與該主要轉移區段1 7相同的，具有相同方式之結 構。 在該底座構件4 2及該基體支撐構件4 3 a與4 3 b 的垂直動作與轉動的驅動控制中，使用一 S形驅動系統， 以高產量及高轉移穩定性來轉移一大尺寸的基體。該5形 驅動系統係供驅動一馬達的馬達驅動系統，因此，加速及 減速可以平順的執行。 由改良產量的觀點言之，使用一種跳越（pass )作業 ，其中，在一作業完成之前，即開始下一作業。此外，由 轉移穩定性的觀點言之，使用一多軸同步方法及一自動加 速方法。當多數的軸移動時，該多軸同步方法以同步於該 速率決定軸之接頭，控制該軸以移動其他的軸，且該自動 加速方法，在當該動作範圍爲小的時，控制加速及減速値 〇 '如示於圖4，該基體支撐構件4 3 a與4 3 b具有實 質上相同的結構，每一該基體支撐構件4 3 a與4 3 b具 有一基體實際裝載於其上的一向前部份5 1，及整體的連 接於其上之底座部份5 2。該向前部份5 1具有一對外部 支撐區段5 3及一對內部支撐區段5 4，均自該底座部份 5 2延伸且爲細長的，用以支撐一基體G之外部周邊。該 內部支撐區段5 4比外部支撐區段5 3長，斜面的且比該 ^^^1 n K^i t ί, 士^·, I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度適中® B3家摞冷（（’NS ) Λ4規格（210X297公釐） -17- 408422 b7 五、發明説明彳5 ) (誚先閱讀背面之注項再填苟本頁) 支撐區段5 3置於更內部之位置β較佳的，每一該內部支 撐區段5 4之長度係相等於該基體G之寬度，而每一該外 部支撐區段5 3之長度則爲該基體G之寬度的一半。每一 該外部支撐區段5 3的尖梢末端，具有用以支撐該基體G 之外部周邊的一支撐件5 5 a。 於該向前與底座部份5 1與5 2中設有六個導引元件 5 5。換言之，一導引元件5 5係設於每一該外部支撐區 段5 3之尖梢的頂部表面上*類似的，一導引元件5 5係 設於每一該內部支撐區段之尖梢的頂部表面上。在鄰近於 該向前部份5 1之該底座部份5 2之頂部表面上設有二導 引元件5 5。然後，該外部支撐區段5 3的導引元件5 5 ，互相相對的於例如在中央處，夾住該基體G之一對短側 邊。而且，該內部支撐區段54之二導引元件55，被置 於相對於該底座部份5 2之二導引元件5 5，一起的夾住 該基體G之一對長側邊。換言之，該六個導引元件5 5， 係被安排以固持該基體G之外部周邊。如示於圖5，該基 體G之邊緣由該導引元件5 5之傾斜頂部部份5 5 a所導 引，以使該基體G滑下且由該導引元件5 5所定位。而且 ，如示於圖6，每一該外部及內部支撐區段5 3與5 4之 底部表面的全體長度上，形成一強化肋5 6。 該基體支撐構件4 3 a與4 3 b所具有之結構，其中 *部份5 2 a及5 2 b係由部份5 2 c所連接，且在底座 部份5 2之這些部份上，形成供減輕重量用的孔5 7。 接下來，參照圖7至圖9，於下將說明在該底座構件 本紙張尺度適用中國囚家標碑（（’阳）八4規格（210/ 297公釐） -18- 408422 at B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、 發明説明（16 ) 1 I 4 2 內 之 該基 體支 撐 構件 4 3 a與4 3 b 的驅動機 構與排 1 1 氣 機 構 〇 圖7 係一 局部剖面 圖 ，顯示 該 主 要轉移機 械的基 1 1 體 支 撐 構 件驅 動機 構 * 及 該 排 氣機構 ， 圖 8係沿著 圖7之 1 線 V I I I - V I I I 取 得 之 剖面圖 〇 而 且，圖9 係沿著 先 閱 1 1 圖 7 之線 IX -I X 取得之 一 剖面圖 〇 背 1 於 該 底座構件 4 2 中 —* 底板6 1 水平的延伸 ，且二 之 注 意 1 1 I 馬 達 6 5 a及 6 5 b 在 該 基 體支撐.構 件 4 3 a與4 3 b的 事 項 再 1 向 前 部 份 之尖梢側邊 上 t 接 附 至該底板 6 1的底部 表面（ 填 % 本 i 圖 8 ) 〇 滑輪 6 6 a 與 6 6 b 個別的接附 至該馬達 6 5a 頁 **w^ 1 1 與 6 5 b 之轉 動軸 且 帶 6 8 a與6 8 b 個別的捲 繞於這 1 I 些 滑輪 〇 滑輪 6 3 a Ct3 與 6 3 b 係個別的以 其內側爲 平行的 I 方 式 固 定 至該 滑輪 6 7 a 與 6 7 b 〇 另 一 方面。滑 輪 1 訂 6 2 a 與 6 2 b在 相 對 應 之滑輪6 3 a 與 6 3 b之 相對側 ! I 邊 上 被 個別 的提 供 在 該 底 板 6 1之 末 端 部份處。 -帶 1 1 6 4 a 捲 繞在 該滑 輪 6 3 a 與 6 2a — 帶6 4 b 捲繞在 1 1 滑 輪 6 3 iTtri a與 6 2 b 0 該 馬 達 6 5a 與 6 5 b的轉 動|經 1 由 滑 輪 6 6 a 與6 6 b 該 帶 6 8a 與 6 8 b及該 滑輪 1 1 I 6 7 a 與 6 7 b ， 而 傳 送 至 該 滑輪6 3 a 與6 3 b ，因此 1 驅 動 該 帶6 4 a 與 6 4 b 0 在底板 6 1 上，於二 外部部 i 份 設 有 — 對軌除7 2 1 及 沿 著 該基體 支 撐 構件4 3 a與 1 I 4 3 b 移 動的 方向 設 於 內 側 之 一對軌條 7 4。導引 構件 1 1 I 7 1 運 行在該 軌條 7 2 上 i 且 導引元 件 7 3運行在軌條 1 7 4 上 〇 該導 引構 件 7 1 愁 於 該底部 基 體 支撐構件 4 3b 1 > 因 此 1 該導 引構 件 7 1 均 連 接至該 頂部 基體支撐 構件 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210X297公釐） · 19 _ 408422 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（17 ) 4 3 a，且經由一連接構件（未示於圖）進一步的連接至 該帶6 4 a。該導引構件7 3均連接至該底部基體支撐構 件4 3 b，且經由一連接構件（未示於圓）進一步的連接 至該帶64b。因而，當馬達65a驅動時，移動該頂部 基體支撐構件4 3 a，且當馬達6 5 b驅動時，移動該底 部基體支撐構件4 3 b。 另一方面，如示於圖9，在鄰近該底板6 1的馬達配 置部份中，一遮蔽板7 5被提供在接近該中央部份的一部 份上。該遮蔽板7 5係被置於垂直該基體支撐構件4 3 a 與4 3 b所移動的方向之一方向中，因此，一馬達配置部 份與該中央部份，由該底板之底部空間中的遮蔽板7 5互 相的隔開》在遮蔽板75上形成孔76a與76b，該孔 相對應於該馬達6 5 a與6 5 b之個別的轉移軸所突出的 部份。排氣扇77 a與77b被設於該遮蔽板7 5上，以 排氣該底座構件4 2之馬達配置部份。該排氣扇7 7 a與 7 7 b係連接至水平延伸至中央的一平坦排氣路徑7 8。 該排氣路徑7 8係連續至一排氣路徑7 9，該路徑7 9係 垂直的延伸通過該聯結構件4 4之中央，該構件4 4係聯 結至該底座構件42之中央部份與該主體41的中央。一 排氣扇8 0被設於該主體4 1之底部上，以將底座構件 4 2之內部經由該排氣路徑7 9而向下排氣。 在該主體41移動的轉移路徑12與13之底部上， 提供一具有由格柵所形成的開口部份之構件，以取代具有 由衝孔所形成的開口部份之傳統構件。於此情況，與傳統 „----裝------訂------.¼. (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） -20- 408422 A7B7 五、發明説明（18 ) 情況之4 5%比較，其開口數量增加至7 0% « 該前述結構之主要轉移機械17被調整至一預定位置 ，依此方式，該底座構件4 2上下的移動且轉動，而該主 體4 1則移動在該轉移路徑1 2上。經由底座支撐構件 43a與43b，該基體G在該轉移機構10之一臂1 1 與該主要轉移機械1 7之間交換》該基體G在一前台區段 2 a之個別的單元之間交換。此外，該基體G在一中繼單 元1 5與該主要轉換機械1 7之間交換。類似的，該主要 轉移機械18被調整至一預定位置，依此方式，該底座構 件4 2上下的移動且轉動，而該主體4 1移動於該轉移路 徑12上》經由該底座支撐構件43a與43b，該基體 G在該中繼單元15與主要轉移機械18之間交換"而且 ，該基體G在一中間台區段2 b的個別單元之間交換》此 外，該基體G在一中繼單元1 6與該主要轉移機械1 8之 間交換。類似的，該主要轉移機械1 9被調整至一預定位 置，依此方式，該底座構件4 2上下的移動且轉動，而該 主體4 1移動於該轉移路徑1 3上。經由該底座支撐構件 4 3 a與4 3 b，該基體G在中繼單元1 6與該主要轉移 機械1 9之間交換。而且，該基體G—後台區段2 c的個 別單元之間交換。此外，該基體G在介面區段3與該主要 轉移機械19之間交換。 於此情況，該基體支撐構件4 3 a與4 3 b具有一對 用以支撐該基體G之外部周邊的外部支撐區段5 3，及一 對用以支撐該基體G之內側的內部支撐區段5 4。由於此 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Φ 本紙張尺度通川中國囚家標岑（（’NS ) Λ4規格（210Χ297公釐） -21 - 經;#.部中次標津扃負工消贽合作社印纪 ____408422 ；；_ 五、發明説明h ) 種支撐，即使如果該基體G的尺寸爲大的，可以減少其撓 曲，因而，不會導致例如爲於轉移該基體G時增加上下_ 作的衝程，及因爲該基體之撓曲產生轉移錯誤等的缺點。 傳統之方法傳支撐該基體的外部周邊，於例如爲 8 3 0 X 6 5 Omm的L CD玻璃基體的該基體之中央部 份，產生2 0mm及更多的撓曲（當該基體係由傳統支撐 構件所支撐時）。相反的，於本發明中，因爲該對內部支 撐區段5 4係形成在該外部支撐區段5 3之內側的1 2 0 m m處，該撓曲可減少至大約5mm。 該外部支撐區段5 3之結構係比內部支撐區段5 4短 ，且設於該外部支撐區段5 3的尖梢處形成之導引元件 5 5，係夾持該基體G之一對短側邊。 該內部支撐區段5 4的二導引元件5 5，係與相對應 之該底座部份5 2之二導引元件5 5，一起夾持該基體G 之一對長側邊。形成六個導引元件5 5來固持該基體G之 外部周邊。其結果，即使該基體G之尺寸爲大的，仍可穩 定的固持住該基體G。 _因爲該基體支撐構件4 3 a與4 3 b之外部與內部支 撐區段5 4，均於其底部表面上具有強化肋，因此，可強 化該基體支撐構件4 3 a與4 3 b，而不會妨礙該基體之 轉移。當該基體G係加大尺寸時，該強化肋係很有用的。 而且，因爲經由在這些構件4 3 a與4 3 b的底座部份 5 2上形成多數的孔5 7，該基體支撐構件4 3 a與 4 3 b被減輕，其作業控制能力係高的，且當轉移一大尺 本紙乐尺度適用中阂园家標埤（rNS ) Λ4规格（210X297公釐） --------1'*裝------—訂* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -22- 408422 a? B7 五、發明説明feo ) 寸基體時，此係特別有用的。 (請先閲讀背面之注意事項再填舄本頁) 此外，該底座構件4 2之內部，經由該排氣路徑7 9 而排氣至該主體4 1的底部側邊，該路徑7 9設於該聯結 部份‘4 4中，該聯結部份4 4自接近於該底座構件4 2之 馬達6 5 a與6 5 b之部份，聯結至該底座構件4 2之中 央部份。其結果，可獲致高於傳統情況中的排氣效率，於 傳統情況中，該排氣係自該底座構件的驅動區段分離之側 邊部份進行。而且，自馬達產生之微粒可有效的移除，且 該微粒可防止散射至該外蓋之外側。該排氣係由設於接近 該馬達65a與65b的排氣扇77a與77b，及設於 該主體4 1之排氣路徑7 9上的排氣扇8 0所進行。其結 果，可大爲改良該排氣效率|及有效的防止該微粒之散射 ，因此，由例如爲馬達之驅動機構產生之微粒可被有效的 移除。 在轉移路徑1 2與1 3之底部上，提供一具^由格柵 所形成的開口部份之構件，以取代具有由衝孔形成的開口 部份之傳統構件。其結果，與傳統情況之4 5%比較，其 開口數增加至7 0%，且氣流之控制能力亦增加，因此， 可有效的防止該微粒的潑濺。 本發明不侷限於前述實施例，且可製成多種之改良。 例如，前述實施例說明本發明應用至該主要轉移機械中的 情況。但是，本發明不侷限在該種狀況中。而且，該基體 支撐構件的內部支撐區段的數量，並非如前述實施例的經 常爲二個。可如圖1 〇所示的，僅提供一內部支撐區段。 本紙張尺度適;彳]中國阀家標彳（「他）穴4規桔（2丨〇¥297公釐） -23- 經濟部中次標準局；3:.1消f合竹社印f 408422 a? B7 五、發明説明^ ) 換言之I 一內部支撐區段5 4自該底座部份5 2的中央延 伸。該基體G由二外部支撐區段5 3與一內部支撐區段 5 4所支撐。但是，於前述實施例中所提供的二內部支撐 區段5 4之間，製造出充分之距離。因而，類似於傳統之 情況，即使該構件係置於二內部支撐區段之間，仍具有可 將該基體轉移之優點。 前述實施例說明本發明應用在光刻膠塗層/顯影單元 中的範例。但是，本發明不侷限於該種狀況*而可應用至 其他的處理中。而且，所說明之前述實施例中，係使用該 L C D基體。但是，無須說明的•本發明不侷限於此|而 可應用至其他基體之處理中。 習於本技藝者可輕易的產生額外之優點與改良。因而 ，本發明之寬度相態並不侷限於所示及所說明的特定細部 與代表性之實施例中。依此，在不離由申請專利範圍及其 相等物所界定之本發明一般槪念的精神與範圍中，可製成 多種之改良。 ----------'裝-----^--II (請先閎讀背面之注項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國K家標緣（) Λ4規格（210X297公釐> -24-