JP3930244B2 - 処理装置 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示装置(LCD)ガラス基板等の被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像処理、ならびにそれらの前後に行う熱的処理のような複数の処理を施す処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LCDの製造においては、被処理基板であるLCDガラス基板に、所定の膜を成膜した後、フォトレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、回路パターンに対応してレジスト膜を露光し、これを現像処理するという、いわゆるフォトリソグラフィー技術により回路パターンを形成する。
【0003】
このフォトリソグラフィー技術では、被処理体であるLCD基板は、主な工程として、洗浄処理→脱水ベーク→アドヒージョン(疎水化)処理→レジスト塗布→プリベーク→露光→現像→ポストベークという一連の処理を経てレジスト層に所定の回路パターンを形成する。
【0004】
従来、このような処理は、各処理を行う処理ユニットを搬送路の両側にプロセスフローを意識した形態で配置し、搬送路を走行可能な搬送装置により各処理ユニットへの被処理体の搬入出を行うプロセスブロックを一または複数配置してなる処理システムにより行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近時、LCD基板は大型化の要求が強く、一辺が1mにも及ぶような巨大なものまで出現するに至り、上述のような平面的な配置を有する処理システムではフットプリントが極めて大きなものとなってしまい、省スペースの観点からフットプリントの縮小が強く求められている。
【0006】
フットプリントを小さくするためには、処理ユニットを上下方向に重ねることが考えられるが、現行の処理システムにおいては、スループット向上の観点から搬送装置は大型の基板を水平方向に高速かつ高精度に移動させており、これに加えて高さ方向にも高速かつ高精度に移動させることには自ずから限界がある。また、基板の大型化にともない処理ユニットも大型化しており、レジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等のスピナー系のユニットは重ねて設けることは極めて困難である。
【0007】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、スループットを低下させることなく、かつ装置構成上の問題を伴うことなくフットプリントを小さくすることができる、複数の処理ユニットを備えた処理装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決する手段】
上記課題を解決するために、本発明は、第1に、被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットを含む複数の処理ユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを具備することを特徴とする処理装置を提供する。
【0009】
本発明は、第2に、被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部とを具備し、前記処理部は、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットを含む複数の処理ユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを有することを特徴とする処理装置を提供する。
【0010】
本発明は、第3に、被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットおよび前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを具備することを特徴とする処理装置を提供する。
【0011】
本発明は、第4に、被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部とを具備し、前記処理部は、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットおよび前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを有することを特徴とする処理装置を提供する。
【0012】
本発明は、第5に、被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを具備し、前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液洗浄、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置を提供する。
【0013】
本発明は、第6に、被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と、処理部と露光装置との間の被処理体の受け渡しを行うインターフェイス部とを具備し、前記処理部は、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを有し、前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液洗浄、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置を提供する。
【0014】
本発明は、第7に、被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体を洗浄液により洗浄する洗浄処理ユニットおよび被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記洗浄処理ユニットおよび/または前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記洗浄処理ユニット、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを具備し、前記洗浄処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行い、前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液除去、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置を提供する。
【0015】
本発明は、第8に、被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と、処理部と露光装置との間の被処理体の受け渡しを行うインターフェイス部とを具備し、前記処理部は、水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体を洗浄液により洗浄する洗浄処理ユニットおよび被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記洗浄処理ユニットおよび/または前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、前記水平搬送路を移動し、前記洗浄処理ユニット、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置とを有し、前記洗浄処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行い、前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液除去、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置を提供する。
【0016】
本発明によれば、液処理ユニットをその中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われるように構成するので、従来のように矩形のLCD基板を回転する液処理に比べてユニットの省スペース化を図ることができ、また、上下に重ねることに支障がない熱的処理ユニットを複数積層するので、このことによっても省スペース化を図ることができ、装置全体のフットプリントを小さくすることができる。また、液処理ユニットに対しては水平に移動する第1の搬送装置を用い、垂直方向に積層された熱的処理ユニットに対しては垂直方向に移動する第2の搬送装置を用いるので、搬送装置の機能分離が達成され、スループットを高く維持することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明の第1の実施形態に係るLCDガラス基板のレジスト塗布現像処理装置を示す平面図、図2はその内部を示すA−A矢視の側面図、図3はその内部を示すB−B矢視の側面図である。
【0018】
このレジスト塗布現像処理装置100は、複数のLCDガラス基板Gを収容するカセットCを載置するカセットステーション(搬入出部)1と、基板Gにレジスト塗布および現像を含む一連の処理を施すための複数の処理ユニットを備えた処理ステーション(処理部)2と、露光装置4との間で基板Gの受け渡しを行うためのインターフェイスステーション(インターフェイス部)3とを備えており、処理ステーション2の両端にそれぞれカセットステーション1およびインターフェイスステーション3が配置されている。なお、図1において、レジスト塗布現像処理装置100がX方向、平面上においてX方向と直交する方向をY方向とする。
【0019】
カセットステーション1は、カセットCと処理ステーション2との間でLCD基板Gの搬入出を行うための搬送装置11を備えており、このカセットステーション1において外部に対するカセットCの搬入出が行われる。また、搬送装置11は搬送アーム11aを有し、カセットCの配列方向であるY方向に沿って設けられた搬送路10上を移動可能であり、搬送アーム11aによりカセットCと処理ステーション2との間で基板Gの搬入出が行われる。
【0020】
処理ステーション2には、中央にX方向に沿って水平方向に直線的に延びる水平搬送路12、13がカセットステーション1から順に直線状に設けられ、これら水平搬送路12,13の両側および端部に後述するようにして各処理ユニットが配設されている。水平搬送路12および13には、それぞれ長手方向に沿って移動可能に水平方向搬送装置14および15が設けられている。
【0021】
図3にも示すように、水平搬送路12の一方側にはスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21が設けられており、このスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21の一部の上にスクラバ洗浄に先立って基板Gの有機物を除去するためのエキシマUV照射ユニット(e−UV)22が設けられている。これらスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21およびエキシマUV照射ユニット(e−UV)22への基板Gの搬入は、カセットステーション1の搬送装置11によって行われる。また、図2にも示すように、水平搬送路12の他方側には、水平搬送路13にかけて現像処理ユニット(DEV)23が設けられており、この現像処理ユニット(DEV)23の水平搬送路12側の一部の上には現像の脱色処理を行うためのi線UV照射ユニット(i−UV)24が設けられている。
【0022】
上記スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21はその中で基板Gが従来のように回転されることなく略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行うようになっており、上記現像処理ユニット(DEV)23もその中で基板Gが回転されることなく略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液洗浄、および乾燥処理を行うようになっている。
【0023】
水平搬送路13の一方側には、レジスト塗布処理ユニット(CT)25a、減圧乾燥ユニット(DP)25b、周縁レジスト除去ユニット(ER)25cが一体化したレジスト処理ブロック25が配置されており、他方側には現像処理ユニット(DEV)23に隣接してタイトラー(Titler)26が配置されている。
【0024】
レジスト処理ブロック25では、水平方向搬送装置15により基板Gがレジスト塗布処理ユニット(CT)25aに搬入され、そこでレジスト液塗布が実施され、その後レジスト処理ブロック25内のサブアーム(図示せず)により減圧乾燥ユニット(DP)25bに搬送されて減圧乾燥され、さらにサブアームにより周縁レジスト除去ユニット(ER)25cに搬送されて基板G周縁の余分なレジストが除去され、その後水平方向搬送装置15により基板Gがレジスト処理ブロック25から搬出されるようになっている。
【0025】
水平搬送路12のカセットステーション1側の端部には熱的処理ユニットブロック(TB1)27が配置され、水平搬送路12および13の間には熱的処理ユニットブロック(TB2)28が配置され、水平搬送路13のインターフェイスステーション3側の端部には熱的処理ユニットブロック(TB3)29が配置されている。
【0026】
熱的処理ユニットブロック(TB1)27は、図4の(a)に示すように、下から順に基板Gの受け渡しを行うエクステンションユニット(EXT)31、基板Gを冷却するクーリングユニット(COL)32、および基板Gに対し現像後のポストベーク処理を行う6つのポストベークユニット(POBAKE)33,34,35,36,37,38が合計8段積層されて構成されている。また、熱的処理ユニットブロック(TB2)28は、図4の(b)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)41、2つのクーリングユニット(COL)42,43、基板Gに対して疎水化処理を施す2つのアドーヒージョン処理ユニット(AD)44,45、脱水ベークを行う3つの脱水ベークユニット(DHP)46,47,48が合計8段積層されて構成されている。さらに熱的処理ユニットブロック(TB3)29は、下から順にエクステンションユニット(EXT)51、2つのクーリングユニット(COL)52,53、現像前のプリベーク処理を行う5つのプリベークユニット(PREBAKE)54,55,56,57,58が合計8段積層されて構成されている。なお、エクステンションユニット(EXT)31,41,51に冷却機能を持たせてクーリングユニットとして利用してもよい。
【0027】
これら熱的処理ユニットブロック(TB1、TB2、TB3)27,28,29にそれぞれ隣接して各熱的処理ユニットブロックに専用の垂直方向搬送装置61,62,63が設けられており、これらにより各熱的処理ユニットブロックの各処理ユニットに対する基板Gの搬入および搬出が行われる。
【0028】
なお、各処理ユニットには、各処理ブロックの搬送装置によって基板を搬入および/または搬出するための開口30が設けられており、この開口30は図示しないシャッターにより開閉可能となっている。また、現像処理ユニット(DEV)23は、水平搬送路13に面した開口30から基板Gが搬入され、水平搬送路12に面した開口30から基板Gが搬出されるようになっている。
【0029】
水平方向搬送装置14および15は、同じ構造を有しており、図5に示すように、水平搬送路12,13に沿って移動可能な装置本体81と、装置本体81に対して上下動および旋回動が可能なベース部材82と、ベース部材82上を水平方向に沿ってそれぞれ独立して移動可能な上下2枚の基板支持部材83a,83bとを備えている。そして、ベース部材82の中央部と装置本体81とが連結部84により連結されている。装置本体81に内蔵された図示しないモーターによって連結部84を介してベース部材82が旋回動される。このような機構により基板Gの水平方向の移動および旋回動を高速で行うことができる。また、ベース部材82は、装置本体81内に内蔵されたモーターにより垂直方向にも移動可能となっており、搬送位置の上下方向の微調整が可能となっている。
【0030】
垂直方向搬送装置61,62および63は、同じ構造を有しており、図6に示すように、垂直方向に延在するガイド部材91と、ボールネジ機構やベルト機構等の適宜の駆動機構によりガイド部材91に沿って昇降するベース部材92と、ベース部材92上を水平方向に沿って移動可能な基板支持部材93とを備えている。そして、ベース部材92は昇降機構によりガイド部材91にガイドされた状態で高速で昇降させることができ、迅速に8段のうち所望のユニットの高さとされ、その位置で基板支持部材93により基板Gの搬入出が行われる。
【0031】
インターフェイスステーション3は、処理ステーション2と露光装置4との間での間で基板Gの搬入出を行う搬送装置71と、バッファーカセットを配置するバッファーステージ72とを備えている。搬送装置71はY方向に沿って設けられた搬送路73上を移動可能な搬送アーム71aを備え、この搬送アーム71aにより処理ステーション2と露光装置4との間で基板Gの搬入出が行われる。
【0032】
このように構成されたレジスト塗布現像処理装置100においては、カセットステーション1に配置されたカセットC内の基板Gが、搬送装置11により処理ステーション2のエキシマUV照射ユニット(e−UV)22に直接搬入され、スクラブ前処理が行われる。次いで、搬送装置11により、基板GがエキシマUV照射ユニット(e−UV)22の下に配置されたスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21に搬入され、スクラブ洗浄される。このスクラブ洗浄では、基板Gが従来のように回転されることなく略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行うようになっており、これにより、従来、回転タイプのスクラバ洗浄処理ユニットを2台使用していたのと同じ処理能力をより少ないスペースで実現することができる。その後基板Gは、水平方向搬送装置14により、熱的処理ユニットブロック(TB2)28のエクステンションユニット(EXT)41に搬送される。
【0033】
エクステンションユニット(EXT)41に配置された基板Gは、熱的処理ユニットブロック(TB2)28の各熱的処理ユニットにより以下の一連の処理が行われる。すなわち、最初に脱水ベークユニット(DHP)46,47,48のいずれかに搬送されて加熱処理され、次いでクーリングユニット(COL)42,43のいずれかに搬送されて冷却された後、レジストの定着性を高めるためにアドヒージョン処理ユニット(AD)44,45のいずれかに搬送され、そこで疎水化処理(HMDS処理)され、その後、クーリングユニット(COL)42,43のいずれかに搬送されて冷却され、さらにエクステンションユニット(EXT)41に搬送される。この際に搬送処理は全て垂直方向搬送装置62によって行われる。
【0034】
その後、水平方向搬送装置15により、エクステンションユニット(EXT)41に配置された基板Gがレジスト処理ブロック25のレジスト塗布処理ユニット(CT)25aに搬送される。このレジスト塗布処理ユニット(CT)25aでは基板Gに対するレジスト液塗布が実施され、その後レジスト処理ブロック25内のサブアーム(図示せず)により減圧乾燥ユニット(DP)25bに搬送されて減圧乾燥され、さらにサブアームにより周縁レジスト除去ユニット(ER)25cに搬送されて基板G周縁の余分なレジストが除去される。そして、周縁レジスト除去終了後、基板Gは水平方向搬送装置15によりレジスト処理ブロック25から搬出される。このように、レジスト塗布処理ユニット(CT)25aの後に減圧乾燥ユニット(DP)25bを設けるのは、レジストを塗布した基板Gをプリベーク処理した後や現像処理後のポストベーク処理した後に、リフトピン、固定ピン等の形状が基板Gに転写されることがあるが、このように減圧乾燥ユニット(DP)により加熱せずに減圧乾燥を行うことにより、レジスト中の溶剤が徐々に放出され、加熱して乾燥する場合のような急激な乾燥が生じず、レジストに悪影響を与えることなくレジストの乾燥を促進させることができ、基板上に転写が生じることを有効に防止することができるからである。
【0035】
このようにして塗布処理が終了した後、基板Gは水平方向搬送装置15により、熱的処理ユニットブロック(TB3)29のエクステンションユニット(EXT)51に搬送される。
【0036】
エクステンションユニット(EXT)51に配置された基板Gは、垂直方向搬送装置63により熱的処理ユニットブロック(TB3)29のプリベークユニット(PREBAKE)54,55,56,57,58のいずれかに搬送されてプリベーク処理され、その後クーリングユニット(COL)52,53のいずれかに搬送されて所定温度に冷却され、さらにエクステンションユニット(EXT)51に搬送される。
【0037】
その後、基板Gは搬送装置71によりエクステンションユニット(EXT)51から露光装置4に搬送されてそこで基板G上のレジスト膜が露光されて所定のパターンが形成される。
【0038】
露光終了後、基板Gは再びインターフェイスステーション3を介して処理ステーション2に搬入される。すなわち、基板Gは搬送装置71により熱的処理ユニットブロック(TB3)29のエクステンションユニット(EXT)51に搬送される。そして、水平方向搬送装置15により基板Gがタイトラー(Titler)26に搬入されて基板Gに所定の情報が記された後、現像処理ユニット(DEV)23に搬入され、現像処理される。この現像処理では、基板Gが従来のように回転されることなく略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液除去、および乾燥処理を行うようになっており、これにより、従来、回転タイプの現像処理ユニットを3台使用していたのと同じ処理能力をより少ないスペースで実現することができる。現像処理終了後、水平搬送路12側の開口30から基板Gが搬出され、水平方向搬送装置14によりその上のi線UV照射ユニット(i−UV)24に搬入され、基板Gに対して脱色処理が施される。その後、水平方向搬送装置14により熱的処理ユニットブロック(TB1)27のエクステンションユニット(EXT)31に搬送される。
【0039】
エクステンションユニット(EXT)31に配置された基板Gは、垂直方向搬送装置61により熱的処理ユニットブロック(TB1)27のポストベークユニット(POBAKE)33,34,35,36,37,38のいずれかに搬送されてポストベーク処理され、その後クーリングユニット(COL)32に搬送されて所定温度に冷却され、さらにエクステンションユニット(EXT)31に搬送される。エクステンションユニット(EXT)31に配置された基板Gは、カセットステーション1の搬送装置11によって搬送され、カセットステーション1に配置されている所定のカセットCに収容される。
【0040】
以上のように本実施形態によれば、液処理ユニットのうち、スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21および現像処理ユニット(DEV)23をその中で基板Gが略水平に搬送されつつ所定の処理が行われるように構成するので、従来のように矩形のLCD基板を回転する洗浄処理ユニットおよび現像処理ユニットをそれぞれ複数設けた場合に比べてユニットの省スペース化を図ることができ、また、上下に重ねることに支障がない熱的処理ユニットを8段というように複数積層するので、このことによっても省スペース化を図ることができる。したがって、装置全体のフットプリントを小さくすることができる。また、スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)21、レジスト処理ブロック25,現像処理ユニット(DEV)23に対しては主に水平に移動する水平方向搬送装置14,15を用い、垂直方向に積層された熱的処理ユニットに対しては垂直方向に移動する垂直方向搬送装置61,62,63を専用で用いるので、搬送装置の機能分離が達成され、スループットを高く維持することができる。
【0041】
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図7は本発明の第2の実施形態に係るLCDガラス基板のレジスト塗布現像処理装置を示す平面図である。上記第1の実施形態では、8段のユニットが積層されて構成された熱的処理ユニットブロックが水平搬送路12,13の端部およびそれらの間に設けられていたので、水平方向搬送装置14,15のメンテナンス性が必ずしも十分ではない。本実施形態ではそのような点を改善している。
【0042】
すなわち、本実施形態のレジスト塗布現像処理装置100′は、第1の実施形態における熱的処理ユニットブロック(TB1)27に代えて、2つの熱的処理ユニットブロック(TB1A、TB1B)27aおよび27bを設け、熱的処理ユニットブロック(TB2)28に代えて、2つの熱的処理ユニットブロック(TB2A、TB2B)28aおよび28bを設け、熱的処理ユニットブロック(TB3)29に代えて、2つの熱的処理ユニットブロック(TB3A、TB3B)29aおよび29bを設けた。これらのうち、熱的処理ユニットブロック(TB1A、TB2A、TB3A)27a,28a,29aは、第1の実施形態の熱的処理ユニットブロック(TB1、TB2、TB3)27,28,29と同じ位置に設けられており、いずれもエクステンションユニットを含めて3段であるから、これらの上方から水平搬送路12,13内の水平方向搬送装置14,15等を容易にメンテナンスすることができる。また、熱的処理ユニットブロック(TB1B、TB2B、TB3B)27b,28b,29bは、水平搬送路12または13の側部に設けられており、エクステンションユニットを含めて6段で構成されている。
【0043】
具体的には、熱的処理ユニットブロック(TB1A)27aは、図8の(a)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)101、クーリングユニット(COL)102、およびポストベークユニット(POBAKE)103が積層されて構成されており、熱的処理ユニットブロック(TB1B)27bは、図8の(b)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)111、および5つのポストベークユニット(POBAKE)112,113,114,115,116が積層されて構成されている。また熱的処理ユニットブロック(TB2A)28aは、図8の(c)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)121、2つのクーリングユニット(COL)122,123が積層されて構成されており、熱的処理ユニットブロック(TB2B)28bは、図8の(d)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)131、および2つのアドヒージョン処理ユニット(AD)132,133、および3つの脱水ベークユニット(DHP)134,135,136が積層されて構成されている。さらに熱的処理ユニットブロック(TB3A)29aは、図8の(e)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)141、2つのクーリングユニット(COL)142,143が積層されて構成されており、熱的処理ユニットブロック(TB3B)29bは、図8の(f)に示すように、下から順にエクステンションユニット(EXT)151、および5つのプリベークユニット(PREBAKE)152,153,154,155,156が積層されて構成されている。本実施形態においても、エクステンションユニット(EXT)101,111,121,131,141,151に冷却機能を持たせてクーリングユニットとして利用してもよい。
【0044】
そして、熱的処理ユニットブロック(TB1A、TB1B)27a,27bに隣接してこれらに専用の垂直方向搬送装置61′が設けられており、熱的処理ユニットブロック(TB2A、TB2B)28a,28bに隣接してこれらに専用の垂直方向搬送装置62′が設けられており、熱的処理ユニットブロック(TB3A、TB3B)29a,29bに隣接してこれらに専用の垂直方向搬送装置63′が設けられている。これらにより各熱的処理ユニットブロックの各処理ユニットに対する基板Gの搬入および搬出が行われる。
【0045】
垂直方向搬送装置61′,62′,63′は、それぞれ2つの熱的処理ユニットブロックにアクセスする必要があることから、図9に示すように、垂直方向に延在するガイド部材161と、ボールネジ機構やベルト機構等の適宜の駆動機構によりガイド部材161に沿って昇降する昇降部材162と、昇降部材162に対して水平方向に回転可能に設けられたベース部材163と、ベース部材163上を水平方向に沿って移動可能な基板支持部材164とを備えている。そして、昇降部材162は昇降機構によりガイド部材161にガイドされた状態で高速で昇降させることができ、迅速に所望のユニットの高さとされ、その位置でベース部材163を所定の熱的処理ユニットブロックに向くように回転させ、その状態で基板支持部材164により基板Gの搬入出が行われる。
【0046】
第2の実施形態では、このように熱的処理ユニットブロックの数が増加したことに伴って、装置レイアウトの都合上、搬送路73にバッファカセット72′を設け、第1の実施形態においてバッファカセット72が配置されていた位置にタイトラー(Titler)26′を配置している。
【0047】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず本発明の思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、装置レイアウトはあくまでも例示であり、これに限るものではない。また、処理に関しても上記のようにレジスト塗布現像処理装置による処理に限られるものではなく、液処理と熱的処理を行う他の装置に適用することも可能である。さらに被処理体としてLCD基板を用いた場合について示したが、これに限らずカラーフィルター等の他の被処理体の処理の場合にも適用可能であることはいうまでもない。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液処理ユニットをその中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われるように構成するので、従来のように被処理体を回転する液処理に比べてユニットの省スペース化を図ることができ、また、上下に重ねることに支障がない熱的処理ユニットを複数積層するので、このことによっても省スペース化を図ることができ、装置全体のフットプリントを小さくすることができる。また、液処理ユニットに対しては水平に移動する第1の搬送装置を用い、垂直方向に積層された熱的処理ユニットに対しては垂直方向に移動する第2の搬送装置を用いるので、搬送装置の機能分離が達成され、スループットを高く維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るLCDガラス基板のレジスト塗布現像処理装置を示す平面図。
【図2】本発明の第1の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の内部を示すA−A矢視の側面図。
【図3】本発明の第1の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の内部を示すB−B矢視の側面図。
【図4】本発明の第1の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の熱的処理ブロックのユニット配置を示す模式図。
【図5】本発明の第1の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の水平方向搬送装置の概略構成を示す側面図。
【図6】本発明の第1の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の垂直方向搬送装置の概略構成を示す断面図。
【図7】本発明の第2の実施形態に係るLCDガラス基板のレジスト塗布現像処理装置を示す平面図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の熱的処理ブロックのユニット配置を示す模式図。
【図9】本発明の第2の実施形態に係るLCD基板のレジスト塗布現像処理装置の垂直方向搬送装置の概略構成を示す断面図。
【符号の説明】
1……カセットステーション
2……処理ステーション
3……インターフェイスステーション
12,13……水平搬送路
14,15……水平方向搬送装置(第1の搬送装置)
21……スクラバ洗浄処理ユニット(液処理ユニット)
23……現像処理ユニット(液処理ユニット)
25……レジスト処理ブロック
25a……レジスト塗布処理ユニット
27,27a,27b,28,28a,28b,29,29a,29b……熱的処理ユニットブロック
61,61′,62,62′,63,63′……垂直方向搬送装置(第2の搬送装置)
100,100′……レジスト塗布現像処理装置
G……LCDガラス基板
Claims (8)
- 被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、
前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットを含む複数の処理ユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を具備することを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、
前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、
処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と
を具備し、
前記処理部は、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、
前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットを含む複数の処理ユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を有することを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットおよび前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を具備することを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対して液処理を含む一連の処理を行う処理装置であって、
前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、
処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と
を具備し、
前記処理部は、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の両側に設けられ、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ所定の液処理が行われる液処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して液処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記液処理ユニットおよび前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を有することを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を具備し、
前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液洗浄、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、
前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、
処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と、
処理部と露光装置との間の被処理体の受け渡しを行うインターフェイス部と
を具備し、
前記処理部は、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を有し、
前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液洗浄、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体を洗浄液により洗浄する洗浄処理ユニットおよび被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記洗浄処理ユニットおよび/または前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記洗浄処理ユニット、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を具備し、
前記洗浄処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行い、
前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液除去、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置。 - 被処理体に対してレジスト塗布および露光後の現像を含む一連の処理を行う処理装置であって、
前記一連の処理に対応して各々被処理体に対して所定の処理を施す複数の処理ユニットを備えた処理部と、
処理前の被処理体および/または処理後の被処理体を収納可能な収納容器を載置し、前記処理部に対して被処理体を搬入出する搬入出部と、
処理部と露光装置との間の被処理体の受け渡しを行うインターフェイス部と
を具備し、
前記処理部は、
水平方向に直線的に延在する水平搬送路と、
前記水平搬送路の一方側に設けられた、被処理体を洗浄液により洗浄する洗浄処理ユニットおよび被処理体に対してレジスト塗布処理を行うレジスト塗布処理ユニットと、前記水平搬送路の他方側に設けられた、レジストを塗布して形成されたレジスト膜に対する露光後の現像を行う現像処理ユニットと、
前記水平搬送路の端部に設けられ、被処理体に対して前記洗浄処理ユニットおよび/または前記レジスト塗布処理および/または現像処理に付随する熱的処理を行う複数の熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットが垂直方向に積層されて構成された熱的処理ユニットブロックと、
前記水平搬送路を移動し、前記洗浄処理ユニット、前記レジスト塗布処理ユニット、前記現像処理ユニット、および前記受け渡しユニットに対して被処理体の搬入出を行う第1の搬送装置と、
垂直方向に移動可能に設けられ、前記熱的処理ユニットブロックを構成する各熱的処理ユニットおよび受け渡しユニットに対してのみ被処理体の搬入出を行う第2の搬送装置と
を有し、
前記洗浄処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、洗浄処理および乾燥処理を行い、
前記現像処理ユニットは、その中で被処理体が略水平に搬送されつつ、現像液塗布、現像後の現像液除去、および乾燥処理を行うことを特徴とする処理装置。
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