JP2004146625A - ベーキング方法及びベーキング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】タクトタイムの周期で搬送されてきた4面取りパターンの基板Gは、最初に4面取りパターンに対応する支持ピン配置パターンを有するホットプレートを備えるベーキングユニット(PREBAKE)90に搬入され、そこでタクトタイムよりも短い第1の処理時間をかけて第1(初期)ベーキングを受けて、基板上のレジスト液膜をピン転写を起こさなくなる状態まで乾かしてから、空き状態の別のベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102へ移送され、そこでレジスト膜中の余剰溶媒をほぼ完全に蒸発させるまで第2の処理時間をかけて第2(残りの)ベーキングを受ける。
【選択図】 図12
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホットプレート加熱方式でフォトレジストをベーキングする技術に係り、特に多面取り型の被処理基板上のレジスト膜をベーキングするベーキング方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、LCDや半導体デバイス等の製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程では、レジスト塗布後の露光前にプリベークが行なわれ、露光・現像後にポストベークが行なわれる。プリベークは、被処理基板(ガラス基板、半導体ウエハ等)上に塗布されたレジスト膜中に残留する溶媒を蒸発させ、レジスト膜と基板の密着性を強化するためのもので、レジスト材料が反応しない比較的低い温度で行なわれる。ポストベークは、現像液やリンス液を蒸発させ、レジスト膜パターンの硬化や基板との密着性をより強化するためのもので、レジスト耐熱性以下の温度で行なわれる。
【0003】
従来より、ベーキングの一方式として、基板裏面とホットプレート表面との間に1mm以下のギャップ(プロキシミティギャップ)を設けて、ホットプレート表面からの放射熱により基板を加熱するプロキシミティ方式が知られている。プロキシミティ方式は、プロキシミティギャップを形成するために、ホットプレート表面にたとえばピン状のスペーサまたは固定ピンを設ける。
【0004】
ところで、フラットパネルディスプレイの分野では、1枚の基板から複数枚のパネルを取る多面取りがよく行なわれている。多面取りでは、あるサイズの基板から取れるパネルの枚数は多面取りのパターン次第で任意に選択できる。たとえば、550mm×650mmのLCD用のマザーガラス基板から6面取りで12.1型の液晶パネルを6枚取ったり、4面取りで14.1型の液晶パネルを4枚取ったりすることができる。
【0005】
しかしながら、多面取り型の基板にあっては、フォトリソグラフィー工程において上記のようなプロキシミティ方式のベーキングを行う場合に問題が生じる。すなわち、ホットプレートにおいて、プロキシミティギャップを形成するための固定ピンの配置パターンをたとえば6面取りパターンに合わせた場合、つまり6面取りパターンの基板に対してパネル領域(製品領域)以外の部分に固定ピンが接触するようなピン配置パターンとした場合、異なる面取りパターンたとえば4面取りパターンの基板に対しては一部の固定ピンがパネル領域に接触することになる。このように固定ピンがパネル領域に接触した状態でベーキングを行うと、該固定ピンの形状がレジストに転写することがある。具体的には、プリベークの処理後にレジストの膜厚がピン形状に応じて変化したり、ポストベークの処理後にレジストパターンの線幅がピン形状に応じて変化するといった形でピンの転写が生じる。このようなピンの転写は、プロキシミティギャップ形成用の固定ピンだけでなく、基板の搬入出時に基板をホットプレート上で昇降させるためのリフトピンでも起こり得る。
【0006】
この問題に対して、本出願人は、複数種類の多面取りパターンにそれぞれ対応した支持ピン配置パターンを有する複数種類の交換型ホットプレートをベーキング装置に用意しておいて、処理対象の基板に対してその面取りパターンに対応する支持ピン配置パターンのホットプレートを選択して使用する技法を特許文献1で開示している。かかる技法によれば、所与の多面取りパターンを有する基板に対して、ホットプレート側の支持ピン(固定ピン、リフトピン等)が基板の製品領域に接触するのを回避し、上記のようなピン転写の問題を解消することができる。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−124127号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際の製造ラインでは、フォトリソグラフィー工程の全体で一定のタクトタイムが決められ、ベーキング装置がタクトタイムをキープするには複数台のホットプレートを一定の時間差を置いて並列稼動させるのが通例となっている。たとえば、ベーキング工程の所要時間が180秒であるのにタクトタイムが60秒に設定されている場合は、60秒の時間差を置いて3台のホットプレートを並列運転させることになる。したがって、上記のように多種類の多面取りパターンに対応するには、設定または使用される多面取りパターンの種類の数をNとすると、3×N台のホットプレートを用意しなければならず、装置コストやスペースが倍増するだけでなく、ホットプレートの管理や運用が煩雑化するという問題があった。
【0009】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、必要最小限の台数のホットプレートで多種類の多面取りパターンに対応できるようにしたベーキング方法およびベーキング装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のベーキング方法は、多面取り型の被処理基板上のレジスト膜をベーキングするベーキング方法であって、予め設定された複数の多面取りパターンにそれぞれ対応させて、基板の製品領域以外の部分に接触して前記基板を支持するための支持部材を有するホットプレートを複数種類用意し、所望の多面取りパターンを有する前記基板に対して、最初に当該多面取りパターンに対応する第1のホットプレートによる第1のベーキングを第1の処理時間をかけて行い、引き続き別の多面取りパターンに対応する第2のホットプレートによる第2のベーキングを第2の処理時間をかけて行う方法とした。
【0011】
また、本発明のベーキング装置は、多面取り型の被処理基板上のレジスト膜をベーキングするベーキング装置であって、予め設定された複数の多面取りパターンにそれぞれ対応して設けられた、基板の製品領域以外の部分に接触して前記基板を支持するための支持部材を有する複数種類のホットプレートと、所望の多面取りパターンを有する前記基板について、最初に前記基板を当該多面取りパターンに対応する第1のホットプレートに搬入し、第1の処理時間をかけて前記第1のホットプレートによる第1のベーキングが行われた後に前記基板を前記第1のホットプレートから搬出し、次いで前記基板を別の多面取りパターンに対応する第2のホットプレートに搬入し、第2の処理時間をかけて前記第2のホットプレートによる第2のベーキングが行われた後に前記基板を前記第2のホットプレートから搬出する搬送手段とを有する構成とした。
【0012】
本発明では、所望の多面取りパターンを有する基板に対して、第1のホットプレートでは、支持部材が基板の製品領域以外の部分に接触して基板を支持した状態で第1(初期)のベーキングが行われるので、基板上のレジスト膜に転写等の悪影響を与えることなく一定の段階まで熱処理を施すことができる。そして、第2のホットプレートでは、第2(残り)のベーキングに際して支持部材が基板の製品領域の部分に接触しても、基板上のレジスト膜は先の第1のベーキングによって転写等の悪影響を受けない状態になっているため、何等支障はなく、最終段階までの熱処理を安全に遂行することができる。したがって、種々の多面取りパターンに対してホットプレートを必要最小限の台数用意するだけで、所与のタクトタイムに対応することができる。
【0013】
本発明において、所与のタクトタイムに対応するために、好ましくは、第1のホットプレートによる第1のベーキングを所定のタクトタイムの周期で繰り返し行うようにしてよい。装置的には、搬送手段が、所定のタクトタイムの周期で、第1のホットプレートに対する基板の搬入と基板の搬出とを繰り返し行うようにしてよい。この場合、第1の処理時間はタクトタイムよりも短い時間に設定されてよい、
【0014】
また、所与のタクトタイムに対応するために、好ましくは、第2のホットプレートを複数台用意し、タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第2のホットプレートに第2のベーキングを並列的に行わせるようにしてよい。装置的には、搬送手段がタクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第2のホットプレートに対する基板の搬入を順次行って、それら複数台の第2のホットプレートが時間差で並列的に第2の処理時間をかけて第2のベーキングを行うようにしてよい。この場合、搬送手段は、タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第2のホットプレートから基板の搬出を順次行ってよい。
【0015】
また、第2のホットプレートを複数台用意し、それら複数台の第2のホットプレートに第2のベーキングを時間分割して順次行わせることも可能である。
【0016】
また、ホットプレートの設置台数に余裕がある場合は、第1のホットプレートを複数台用意し、タクトタイムに相当する時間差でそれら複数台の第1のホットプレートに第1のベーキングを並列的に行わせることも可能である。装置的には、搬送手段が、タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第1のホットプレートに対する基板の搬入を順次行って、それら複数台の第1のホットプレートが時間差で並列的に第1の処理時間をかけて第1のベーキングを行うようにしてよい。この場合、搬送手段が、タクトタイムに対応する時間差で複数台の第1のホットプレートから基板の搬出を順次行うようにしてよい。
【0017】
本発明のベーキング装置において、好ましくは、支持部材が、ホットプレートの上面に固定されている複数の固定ピンと、ホットプレートに形成された貫通孔を貫通して昇降移動可能に設けられた複数のリフトピンとを含むものであってよい。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、添付図を参照して本発明の好適な実施形態を説明する。
【0019】
図1に、本発明のレジスト塗布方法および装置を適用できる一構成例としての塗布現像処理システムを示す。この塗布現像処理システム10は、クリーンルーム内に設置され、たとえばLCD用のガラス基板を被処理基板とし、LCD製造プロセスにおいてフォトリソグラフィー工程の中の洗浄、レジスト塗布、プリベーク、現像およびポストベーク等の各処理を行うものである。露光処理は、このシステムに隣接して設置される外部の露光装置12で行われる。
【0020】
この塗布現像処理システム10は、中心部に横長のプロセスステーション(P/S)16を配置し、その長手方向(X方向)両端部にカセットステーション(C/S)14とインタフェースステーション(I/F)18とを配置している。
【0021】
カセットステーション(C/S)14は、システム10のカセット搬入出ポートであり、基板Gを多段に積み重ねるようにして複数枚収容可能なカセットCを水平方向たとえばY方向に4個まで並べて載置可能なカセットステージ20と、このステージ20上のカセットCに対して基板Gの出し入れを行う搬送機構22とを備えている。搬送機構22は、基板Gを保持できる手段たとえば搬送アーム22aを有し、X,Y,Z,θの4軸で動作可能であり、隣接するプロセスステーション(P/S)16側と基板Gの受け渡しを行えるようになっている。
【0022】
プロセスステーション(P/S)16は、システム長手方向(X方向)に延在する平行かつ逆向きの一対のラインA,Bに各処理部をプロセスフローまたは工程の順に配置している。より詳細には、カセットステーション(C/S)14側からインタフェースステーション(I/F)18側へ向う上流部のプロセスラインAには、洗浄プロセス部24と、第1の熱的処理部26と、塗布プロセス部28と、第2の熱的処理部30とを横一列に配置している。一方、インタフェースステーション(I/F)18側からカセットステーション(C/S)14側へ向う下流部のプロセスラインBには、第2の熱的処理部30と、現像プロセス部32と、脱色プロセス部34と、第3の熱的処理部36とを横一列に配置している。このライン形態では、第2の熱的処理部30が、上流側のプロセスラインAの最後尾に位置するとともに下流側のプロセスラインBの先頭に位置しており、両ラインA,B間に跨っている。
【0023】
両プロセスラインA,Bの間には補助搬送空間38が設けられており、基板Gを1枚単位で水平に載置可能なシャトル40が図示しない駆動機構によってライン方向(X方向)で双方向に移動できるようになっている。
【0024】
上流部のプロセスラインAにおいて、洗浄プロセス部24は、スクラバ洗浄ユニット(SCR)42を含んでおり、このスクラバ洗浄ユニット(SCR)42内のカセットステーション(C/S)10と隣接する場所にエキシマUV照射ユニット(e−UV)41を配置している。スクラバ洗浄ユニット(SCR)42内の洗浄部は、LCD基板Gをコロ搬送またはベルト搬送により水平姿勢でラインA方向に搬送しながら基板Gの上面(被処理面)にブラッシング洗浄やブロー洗浄を施すようになっている。
【0025】
洗浄プロセス部24の下流側に隣接する第1の熱的処理部26は、プロセスラインAに沿って中心部に縦型の搬送機構46を設け、その前後両側に複数のユニットを多段に積層配置している。たとえば、図2に示すように、上流側の多段ユニット部(TB)44には、基板受け渡し用のパスユニット(PASS)50、脱水ベーク用の加熱ユニット(DHP)52,54およびアドヒージョンユニット(AD)56が下から順に積み重ねられる。ここで、パスユニット(PASS)50は、スクラバ洗浄ユニット(SCR)42側から基板Gを受け取るためのユニットである。また、下流側の多段ユニット部(TB)48には、基板受け渡し用のパスユニット(PASS)60、冷却ユニット(CL)62,64およびアドヒージョンユニット(AD)66が下から順に積み重ねられる。ここで、パスユニット(PASS)60は、塗布プロセス部28側へ基板Gを渡すためのユニットである。
【0026】
図2に示すように、搬送機構46は、鉛直方向に延在するガイドレール68に沿って昇降移動可能な昇降搬送体70と、この昇降搬送体70上でθ方向に回転または旋回可能な旋回搬送体72と、この旋回搬送体72上で基板Gを支持しながら前後方向に進退または伸縮可能な搬送アームまたはピンセット74とを有している。昇降搬送体70を昇降駆動するための駆動部76が垂直ガイドレール68の基端側に設けられ、旋回搬送体72を旋回駆動するための駆動部78が昇降搬送体70に取り付けられ、搬送アーム74を進退駆動するための駆動部80が回転搬送体72に取り付けられている。各駆動部76,78,80はたとえば電気モータ等で構成され、コントローラ(図示せず)によって制御される。
【0027】
上記のように構成された搬送機構46は、高速に昇降ないし旋回運動して両隣の多段ユニット部(TB)44,48の中の任意のユニットにアクセス可能であり、補助搬送空間38側のシャトル40とも基板Gを受け渡しできるようになっている。
【0028】
第1の熱的処理部26の下流側に隣接する塗布プロセス部28は、図1に示すように、レジスト塗布ユニット(CT)81とエッジリムーバ・ユニット(ER)82とをプロセスラインAに沿って一列に配置している。図示省略するが、塗布プロセス部28内には、これらのユニット(CT)81、(ER)82に基板Gを工程順に1枚ずつ搬入・搬出するための搬送装置が設けられており、各ユニット(CT)81、(ER)82内では基板1枚単位で各処理が行われるようになっている。
【0029】
塗布プロセス部28の下流側に隣接する第2の熱的処理部30は、上記第1の熱的処理部26と同様の構成を有しており、両プロセスラインA,Bの間に縦型の搬送機構84を設け、プロセスラインA側(最後尾)に一方の多段ユニット部(TB)85を設け、プロセスラインB側(先頭)に他方の多段ユニット部(TB)86を設けている。
【0030】
たとえば、図3に示すように、プロセスラインA側の多段ユニット部(TB)85には、隣の減圧乾燥ユニット(ER)82から基板Gを受け取るためのパスユニット(PASS)88が最下段に置かれ、その上にプリベーク用のベーキングユニット(PREBAKE)90,92,94がたとえば3段積みに重ねられている。また、プロセスラインB側の多段ユニット部(TB)86には、隣の後述する現像プロセス部32の現像ユニット(DEV)に基板を渡すためのパスユニット(PASS)96が最下段に置かれ、その上に冷却ユニット(COL)98がたとえば1段重ねられ、その上にプリベーク用のベーキングユニット(PREBAKE)100,102がたとえば2段積みに重ねられている。
【0031】
第2の熱的処理部30における搬送機構84は、第1の熱的処理部26における搬送機構46と同様の構成を有しており、両多段ユニット部(TB)85,86のそれぞれのパスユニット(PASS)88,96を介して塗布プロセス部28および現像プロセス部32と基板Gを1枚単位で受け渡しできるだけでなく、補助搬送空間38内のシャトル40や後述するインタフェースステーション(I/F)18とも基板Gを1枚単位で受け渡しできるようになっている。
【0032】
下流部のプロセスラインBにおいて、現像プロセス部32は、基板Gを水平姿勢で搬送しながら一連の現像処理工程を行う、いわゆる平流し方式の現像ユニット(DEV)104を含んでいる。現像プロセス部32の下流側には脱色プロセス部34を挟んで第3の熱的処理部36が配置される。脱色プロセス部34は、基板Gの被処理面にi線(波長365nm)を照射して脱色処理を行うためのi線UV照射ユニット(i−UV)106を備えている。
【0033】
第3の熱的処理部36は、上記第1の熱的処理部26や第2の熱的処理部30と同様の構成を有しており、プロセスラインBに沿って縦型の搬送機構108とその前後両側に一対の多段ユニット部(TB)110,112を設けている。
【0034】
たとえば、図4に示すように、上流側の多段ユニット部(TB)110には、最下段にパスユニット(PASS)114が置かれ、その上にたとえば3段積みにポストベーク用のベーキングユニット(POBAKE)116,118,120が重ねられている。また、下流側の多段ユニット部(TB)112には、最下段にポストベーク用のベーキングユニット(POBAKE)122が置かれ、その上に基板受け渡しおよび冷却用のパス・クーリングユニット(PASS・COL)124が1段重ねられ、その上にポストベーク用のベーキングユニット(POBAKE)126,128が2段積みに重ねられている。
【0035】
第3の熱的処理部36における搬送機構104は、第1の熱的処理部26における搬送機構46と同様の構成を有しており、両多段ユニット部(TB)110,112のパスユニット(PASS)114およびパス・クーリングユニット(PASS・COL)122を介してそれぞれi線UV照射ユニット(i−UV)106およびカセットステーション(C/S)14と基板Gを1枚単位で受け渡しできるだけでなく、補助搬送空間38内のシャトル40とも基板Gを1枚単位で受け渡しできるようになっている。
【0036】
インタフェースステーション(I/F)18は、隣接する露光装置12と基板Gのやりとりを行うための搬送装置130を有し、その周囲にバッファ・ステージ(BUF)132、エクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134および周辺装置136を配置している。バッファ・ステージ(BUF)132には定置型のバッファカセット(図示せず)が置かれる。エクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134は、冷却機能を備えた基板受け渡し用のステージであり、プロセスステーション(P/S)16側と基板Gをやりとりする際に用いられる。周辺装置136は、たとえばタイトラー(TITLER)と周辺露光装置(EE)とを上下に積み重ねた構成であってよい。搬送装置130は、基板Gを保持できる手段としてたとえば搬送アーム130aを有し、隣接する露光装置12や各ユニット(BUF)132、(EXT・COL)134、(TITLER/EE)136と基板Gの受け渡しを行えるようになっている。
【0037】
図5に、この塗布現像処理システムにおける処理の手順を示す。先ず、カセットステーション(C/S)14において、搬送機構22が、ステージ20上の所定のカセットCの中から1つの基板Gを取り出し、プロセスステーション(P/S)16の洗浄プロセス部24のエキシマUV照射ユニット(e−UV)41に搬入する(ステップS1)。
【0038】
エキシマUV照射ユニット(e−UV)41内で基板Gは紫外線照射による乾式洗浄を施される(ステップS2)。この紫外線洗浄では主として基板表面の有機物が除去される。紫外線洗浄の終了後に、基板Gは、カセットステーション(C/S)14の搬送機構22によって洗浄プロセス部24のスクラバ洗浄ユニット(SCR)42へ移される。
【0039】
スクラバ洗浄ユニット(SCR)42では、上記したように基板Gをコロ搬送またはベルト搬送により水平姿勢でプロセスラインA方向に平流しで搬送しながら基板Gの上面(被処理面)にブラッシング洗浄やブロー洗浄を施すことにより、基板表面から粒子状の汚れを除去する(ステップS3)。そして、洗浄後も基板Gを平流しで搬送しながらリンス処理を施し、最後にエアーナイフ等を用いて基板Gを乾燥させる。
【0040】
スクラバ洗浄ユニット(SCR)42内で洗浄処理の済んだ基板Gは、第1の熱的処理部26の上流側多段ユニット部(TB)44内のパスユニット(PASS)50に搬入される。
【0041】
第1の熱的処理部26において、基板Gは搬送機構46により所定のシーケンスで各ユニットを回される。たとえば、基板Gは、最初にパスユニット(PASS)50から加熱ユニット(DHP)52,54の1つに移され、そこで脱水処理を受ける(ステップS4)。次に、基板Gは、冷却ユニット(COL)62,64の1つに移され、そこで一定の基板温度まで冷却される(ステップS5)。しかる後、基板Gはアドヒージョンユニット(AD)56に移され、そこで疎水化処理を受ける(ステップS6)。この疎水化処理の終了後に、基板Gは冷却ユニット(COL)62,64の1つで一定の基板温度まで冷却される(ステップS7)。最後に、基板Gは下流側多段ユニット部(TB)48に属するパスユニット(PASS)60に移される。
【0042】
このように、第1の熱的処理部26内では、基板Gが、搬送機構46を介して上流側の多段ユニット部(TB)44と下流側の多段ユニット部(TB)48との間で任意に行き来できるようになっている。なお、第2および第3の熱的処理部30,36でも同様の基板搬送動作を行えるようになっている。
第1の熱的処理部26で上記のような一連の熱的または熱系の処理を受けた基板Gは、下流側多段ユニット部(TB)48内のパスユニット(PASS)60から下流側隣の塗布プロセス部28のレジスト塗布ユニット(CT)81へ移される。
【0043】
基板Gはレジスト塗布ユニット(CT)81でたとえばスピンコート法により基板上面(被処理面)にレジスト液を塗布され、直後に下流側隣のエッジリムーバ・ユニット(ER)82で基板周縁部の余分(不要)なレジストを取り除かれる(ステップS8)。
【0044】
上記のようなレジスト塗布処理を受けた基板Gは、エッジリムーバ・ユニット(ER)72から隣の第2の熱的処理部30の上流側多段ユニット部(TB)85に属するパスユニット(PASS)88に受け渡される。
【0045】
第2の熱的処理部30内で、基板Gは、後述するように所定のシーケンスで搬送機構84によりベーキングユニット(PREBAKE)90〜94、100,102を回されてレジスト塗布後のプリベーキングを受け(ステップS9)、最後に冷却ユニット(COL)98で一定の基板温度まで冷却される(ステップS10)。しかる後、基板Gは下流側多段ユニット部(TB)86側のパスユニット(PASS)96を経由して、あるいは経由せずにインタフェースステーション(I/F)18側のエクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134へ受け渡される。
【0046】
インタフェースステーション(I/F)18において、基板Gは、エクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134から周辺装置136の周辺露光装置(EE)に搬入され、そこで基板Gの周辺部に付着するレジストを現像時に除去するための露光を受けた後に、隣の露光装置12へ送られる(ステップS11)。
【0047】
露光装置12では基板G上のレジストに所定の回路パターンが露光される。そして、パターン露光を終えた基板Gは、露光装置12からインタフェースステーション(I/F)18に戻されると(ステップS11)、先ず周辺装置136のタイトラー(TITLER)に搬入され、そこで基板上の所定の部位に所定の情報が記される(ステップS12)。しかる後、基板Gはエクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134に戻される。インタフェースステーション(I/F)18における基板Gの搬送および露光装置12との基板Gのやりとりは搬送装置130によって行われる。
【0048】
プロセスステーション(P/S)16では、第2の熱的処理部30において搬送機構84がエクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134より露光済の基板Gを受け取り、プロセスラインB側の多段ユニット部(TB)86内のパスユニット(PASS)96を介して現像プロセス部32へ基板Gを受け渡す。
【0049】
現像プロセス部32では、第2の熱的処理部30のパスユニット(PASS)96から受け取った基板Gを現像ユニット(DEV)104に搬入する。現像ユニット(DEV)104において基板GはプロセスラインBの下流に向って平流し方式で搬送され、その搬送中に現像、リンス、乾燥の一連の現像処理工程が行われる(ステップS13)。
【0050】
現像プロセス部32で現像処理を受けた基板Gは下流側隣の脱色プロセス部34へ搬入され、そこでi線照射による脱色処理を受ける(ステップS14)。脱色処理の済んだ基板Gは、第3の熱的処理部36の上流側多段ユニット部(TB)98内のパスユニット(PASS)114に受け渡される。
【0051】
第3の熱的処理部36において、基板Gは、最初にパスユニット(PASS)114からベーキングユニット(POBAKE)118〜122,126,128に送られてポストベーキングを受ける(ステップS15)。次に、基板Gは、パスクーリング・ユニット(PASS・COL)124に移され、そこで所定の基板温度に冷却される(ステップS16)。第3の熱的処理部36における基板Gの搬送は搬送機構108によって行われる。
【0052】
カセットステーション(C/S)14側では、搬送機構22が、第3の熱的処理部36のパスクーリング・ユニット(PASS・COL)124から塗布現像処理の全工程を終えた基板Gを受け取り、受け取った基板Gをいずれか1つのカセットCに収容する(ステップS1)。
【0053】
この塗布現像処理システム10においては、たとえば第2の熱的処理部30に本発明を適用することができる。以下、図6〜図13を参照して本発明を第2の熱的処理部30に適用した一実施形態を説明する。以下の実施形態では、基板Gが多面取り型のマザーガラス基板であり、たとえばロット単位で基板G上に任意の多面取りが設定されるものとする。
【0054】
図6に、第2の熱的処理部30に設けられるプリベーク用のベーキングユニット(PREBAKE)の基本構成を示す。この実施形態によるベーキングユニット(PREBAKE)は、プロキシミティ方式のベーキングユニットであり、ユニット筐体138の中にホットプレート140を一定の高さ位置でほぼ水平に固定配置し、このホットプレート140の上面を覆うための昇降可能なカバー142を設けている。ホットプレート140は熱伝導率の高い金属たとえばアルミニウムからなり、プレートの中にはたとえば発熱抵抗体からなるヒータ(図示せず)が内蔵されている。
【0055】
ホットプレート140の上面には、プロキシミティギャップを形成するためのスペーサまたは支持部材として複数の固定ピン144が離散的に配置されている。これらの固定ピン144は、基板Gの裏面に接触して基板Gをほぼ水平に支持するようになっている。ベーキング工程において、固定ピン144上の基板Gは、ホットプレート140の上面からの放射熱によってプリベーク用の所定温度たとえば100〜120゜Cに加熱される。このようなプロキシミティ方式のベーキングは、基板裏面へのパーティクルの付着や基板の帯電を防止することができる。固定ピン144の高さつまりプロキシミティギャップは、たとえば0.2〜1mmの範囲内に設定されてよい。
【0056】
ホットプレート140には上下に貫通する貫通孔140aが離散的な配置パターンで複数箇所に形成されており、各貫通孔140aには基板Gの搬入出時に基板Gを昇降可能に支持するための支持部材としてリフトピン146が上下方向に移動可能に設けられている。これらのリフトピン146は、水平ベース部材148を介して昇降機構150に結合されている。昇降機構150の昇降駆動により、リフトピン146を退避用の最下位位置(図6に示す位置)と基板受け渡し用の最上位位置との間で昇降移動させるようになっている。
【0057】
この実施形態では、第2の熱的処理部30に設けられる5台のベーキングユニット(PREBAKE)90,92,94,100,102のいずれも図6に示すような基本構造を有するが、ホットプレート140における支持ピン(固定ピン144、リフトピン146)の配置パターンが各ユニット毎に異なる。すなわち、これら5台のベーキングユニット(PREBAKE)90,92,94,100,102のホットプレート140は5種類の多面取りパターンにそれぞれ対応する支持ピン配置パターンを有している。
【0058】
たとえば、ベーキングユニット(PREBAKE)90では、図7に示すように、ホットプレート140の支持ピン配置パターンが4面取りパターンに対応している。より詳細には、4面取りパターンの基板Gは、4個の液晶パネル(セル)領域Sをスクライブライン用の帯状の空き領域Eを介してマトリクス状に配置している。また、基板Gの各辺周縁部にもマージン用の帯状の空き領域Fを設けている。このような4面取りパターンの基板Gに対して、ベーキングユニット(PREBAKE)90では、ホットプレート140に設けられる全ての固定ピン144およびリフトピン146が液晶パネル領域S以外の部分(E,F)に接触して基板Gを水平に支持するように、固定ピン144およびリフトピン146のそれぞれのピン配置パターンが設定されている。
【0059】
一方、ベーキングユニット(PREBAKE)92では、図8に示すように、ホットプレート140の支持ピン配置パターンが6面取りパターンに対応している。つまり、6個の液晶パネル領域Sをマトリクス状に配置している6面取りパターンの基板Gに対して、ベーキングユニット(PREBAKE)92では、ホットプレート140に設けられる全ての固定ピン144およびリフトピン146が液晶パネル領域S以外の部分(E,F)に接触して基板Gを水平に支持するように、固定ピン144およびリフトピン146のそれぞれのピン配置パターンが設定されている。
【0060】
また、ベーキングユニット(PREBAKE)94では、図9に示すように、ホットプレート140の支持ピン配置パターンが9面取りパターンに対応している。つまり、9個の液晶パネル領域Sをマトリクス状に配置している9面取りパターンの基板Gに対して、ベーキングユニット(PREBAKE)94では、ホットプレート140の全ての固定ピン144およびリフトピン146が液晶パネル領域S以外の部分(E,F)に接触して基板Gを水平に支持するように、固定ピン144およびリフトピン146のそれぞれのピン配置パターンが設定されている。
【0061】
図示省略するが、同様に、ベーキングユニット(PREBAKE)100ではホットプレート140の支持ピン配置パターンがたとえば12面取りパターンに対応して、ベーキングユニット(PREBAKE)102ではホットプレート140の支持ピン配置パターンがたとえば15面取りパターンに対応している。
【0062】
図10に、第2の熱的処理部30を統括制御するための制御部の構成例を示す。この実施形態では、シーケンスコントローラ152が、塗布現像処理システム10の全体を統括制御するホストコンピュータ154からの各種設定値やコマンド等を基に、さらには第2の熱的処理部30内の各部から送られてくる各種のセンサ信号や状態通報信号等を基に、搬送機構46および各ユニット88〜102の動作を所定のシーケンスで統括制御する。設定入力部156からは、ホストコンピュータ154に対して、この塗布現像処理システム10に搬入される各被処理基板について面取りパターンの種類がたとえばロット単位で設定入力される。シーケンスコントローラ152は、ホストコンピュータ154からの設定値やコマンド等を通じて、塗布プロセス部28よりパスユニット(PASS)88に搬入される基板Gの面取りパターンの種類を把握または識別することができる。
【0063】
次に、図11のフローチャートを参照して、第2の熱的処理部30における全体の処理または動作の手順を説明する。
【0064】
上記のように、塗布プロセス部28で被処理面(上面)にレジスト液を塗布されたばかりの基板Gが、上流側多段ユニット部(TB)85内のパスユニット(PASS)88に搬入される(ステップA1)。一例として、当該ロットでパスユニット(PASS)88に搬入されてくる基板Gが4面取りパターンのマザーガラス基板であるとする。この場合、搬送機構84は、パスユニット(PASS)88にアクセスしてその基板Gを受け取ると、その受け取った基板Gを4多面取りパターンに対応するベーキングユニット(PREBAKE)90へ移送する(ステップA2)。
【0065】
ベーキングユニット(PREBAKE)90では、リフトピン146が基板受け渡し位置で搬送機構84の搬送アーム74より基板Gを受け取り、次いで退避位置まで降下して、基板Gをホットプレート140の固定ピン144の上に移載する。この際、いずれのリフトピン146および固定ピン144も基板Gの液晶パネル領域S以外の部分(E,F)に接して基板Gを支持する。ベーキングユニット(PREBAKE)90は、ホットプレート140の上面の温度をプリベーク用の設定温度に維持しており、基板Gが固定ピン144の上に載置された時から、第1(初期)のプリベークを開始する(ステップB1)。この第1(初期)プリベークの処理時間は、基板G上に塗布されたレジスト液がピン転写を起こさなくなる程度に乾くのに必要な時間(たとえば20秒)よりは長く、かつシステムのタクトタイム(たとえば60秒)よりは短い時間に設定されてよく、たとえば30秒に設定される。この処理時間の計時は、システムコンローラ152のタイマ機能か、あるいはベーキングユニット(PREBAKE)90側のコントローラ(図示せず)のタイマ機能によって行なわれる。
【0066】
こうして、設定時間(30秒)が経過して第1(初期)ベーキングが終了すると(ステップA3)、搬送機構84がベーキングユニット(PREBAKE)90から基板Gを搬出し(ステップA4)、次いで基板Gを空き状態の別のベーキングユニットたとえば(PREBAKE)92に搬入する(ステップA5)。
【0067】
このベーキングユニット(PREBAKE)92でも、リフトピン146が基板受け渡し用の高さ位置で搬送機構84の搬送アーム74より基板Gを受け取り、次いで退避位置まで降下して、基板Gをホットプレート140の固定ピン144の上に載置する。ここで、リフトピン146および固定ピン144は6面取りパターンに対応する支持ピン配置パターンで各位置に配置されているため、中には基板Gの液晶パネル領域Sに接するものもある。しかし、基板G上のレジスト液膜は上記のような第1(初期)プリベークを施されており、この時点ではピン転写を起こさない状態に乾いているので、基板Gの液晶パネル領域Sに一部の支持ピン(144,146)が接触しても何等問題はない。
【0068】
こうして、6面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)92において4面取りパターンの基板Gに対する第2(残りの)プリベークが実施される(ステップB2)。この第2(残りの)プリベークの処理時間は、たとえば完全プリベークに必要な所要加熱時間(180秒)から第1(初期)プリベークの処理時間(30秒)を差し引いた残存時間(150秒)に設定されてよい。
【0069】
この例では、ベーキングユニット(PREBAKE)92で第2(残りの)プリベークを開始してから数十秒経過後に、塗布プロセス部28よりタクトタイム(60秒)の周期でレジスト液を塗布されたばかりの4面取りパターンの基板Gがパスユニット(PASS)88に搬入されてくる(ステップA1)。搬送機構84は、パスユニット(PASS)88よりこの新規の基板Gを受け取り、この時点で空き状態になっている4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90へ搬入する(ステップA2)。ベーキングユニット(PREBAKE)90は、この搬入された基板Gに対して、上記と同じ条件で第1(初期)プリベークを実施する(ステップB1)。
【0070】
そして、この第1(初期)プリベークが終了すると、搬送機構84は、ベーキングユニット(PREBAKE)90より基板Gを搬出して(ステップA4)、空き状態になっている別のベーキングユニットたとえば(PREBAKE)94に搬入する(ステップA5)。ベーキングユニット(PREBAKE)94内では、ホットプレート140が9面取りパターンに対応した支持ピン配置パターンを有しており、リフトピン146および固定ピン144の中には基板Gの液晶パネル領域Sに接するものもある。しかし、この場合でも、基板G上のレジスト液膜は第1(初期)プリベークを施されており、ピン転写を起こさなくなる程度まで乾いているので、基板Gの液晶パネル領域Sに一部の支持ピン(144,146)が接触しても何等問題はない。
【0071】
上記のように、塗布プロセス部28よりタクトタイム(60秒)の周期で第2の熱的処理部30に搬入されてきた4面取りパターンの基板Gは、最初に4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90に搬入され、そこでタクトタイムよりも短い処理時間の第1(初期)ベーキングを受けて、基板上のレジスト液膜をピン転写を起こさなくなる状態まで乾かしてから、空き状態の別のベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102へ移送され、そこでレジスト膜中の余剰溶媒をほぼ完全に蒸発させるまで第2(残りの)ベーキングを受ける。
【0072】
これにより、第1ベーキングの処理時間と第2ベーキングの処理時間とを足し合わせた全ベーキング処理時間(180秒)がタクトタイム(60秒)より長く、しかも4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90が1台しか設けられていなくても、このベーキングユニット(PREBAKE)90と他のベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102とを上記のような所定のシーケンスで並列稼動させることで、ピン転写を回避しつつ各基板G上のレジスト膜に十全なプリベークの熱処理を施すことができるとともに、ベーキング工程に要求されるタクトタイム(60秒)をキープすることができる。
【0073】
こうして、タクトタイムの周期(60秒)で、4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90以外のベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102のいずれかで第2(残りの)ベーキングが終了する(ステップA6)。そうすると、搬送機構84が当該ベーキングユニット(PREBAKE)から基板Gを搬出し(ステップA7)、その基板Gを冷却ユニット(COL)60に搬入する(ステップA8)。冷却ユニット(COL)60では、タクトタイム(60秒)よりも短い処理時間をかけて基板を一定の温度まで冷却する(ステップC1)。この冷却処理が終了すると(ステップA9)、搬送機構84は冷却ユニット(COL)60から処理済みの基板Gを搬出し、その処理済みの基板Gを下流側多段ユニット(TB)86のパスユニット(PASS)96あるいはインタフェースステーション(I/F)18側のエクステンション・クーリングステージ(EXT・COL)134へ搬送する(ステップA10)。
【0074】
図12に、上記のような4面取りパターンの基板Gに対する第2の熱的処理部30におけるプリベーク処理の手順をブロック形式で示す。第2(残りの)ベーキング▲5▼(ステップB2)は、4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90以外のベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102のいずれかを1台用いて行うことができるが、複数台用いて時間分割方式で行なうことも可能である。たとえば、4面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)90で第1ベーキングを終えた基板Gを、最初に6面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)92により所定時間たとえば50秒の第2ベーキングを行い、次いで9面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)94に移して残り時間たとえば100秒の第2ベーキングを行うことも可能である。また、第2(残りの)ベーキング▲5▼(ステップB2)のために、ベーキングユニット(PREBAKE)92,94,100,102の全部を稼動させることは必ずしも必要ではなく、たとえばその中の1台を休ませておくこともできる。
【0075】
この実施形態における第2の熱的処理部30では、4面取りパターン以外の他の多面取りパターンの基板Gについても上記と同様の手順(図11)で処理または動作が行なわれる。
【0076】
図13に、6面取りパターンの基板Gに対する第2の熱的処理部30におけるプリベーク処理の手順をブロック形式で示す。この場合は、塗布プロセス部28よりタクトタイム(60秒)の周期で第2の熱的処理部30に搬送されてきた6面取りパターンの基板Gは、最初に6面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)92に搬入され、そこでタクトタイムよりも短い処理時間の第1(初期)ベーキングを受けて、基板上のレジスト液膜をピン転写を起こさなくなる状態まで乾かしてから、空き状態の別のベーキングユニット(PREBAKE)90,94,100,102へ移送され、そこでレジスト膜中の余剰溶媒をほぼ完全に蒸発させるまで第2(残りの)ベーキングを受ける。したがって、4面取りパターンの基板の場合と同様に、ピン転写を回避しつつ各基板G上のレジスト膜に十全なプリベークの熱処理を施すことができるとともに、ベーキング工程に要求されるタクトタイム(60秒)を保証することができる。
【0077】
同様の要領で、12面取りパターンの基板Gについては、最初に12面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)100で第1(初期)ベーキングが行なわれ、引き続き別のベーキングユニット(PREBAKE)90,92,94,102で第2のベーキングが行なわれる。また、15面取りパターンの基板Gについては、最初に15面取りパターン対応のベーキングユニット(PREBAKE)102で第1(初期)ベーキングが行なわれ、引き続き別のベーキングユニット(PREBAKE)90,92,94,100で第2のベーキングが行なわれる。
【0078】
上記した実施形態における多面取りパターンの種類(4面取り、6面取り、9面取り、12面取り、15面取り)は一例であり、任意の種類の多面取りバターンを設定し、各種の多面取りバターンに対応するベーキングユニットを設けることが可能である。
【0079】
また、上記した実施形態では、各種類の多面取りパターンに対してそれと対応するベーキングユニットを1台だけ充てる構成により、必要最小限の台数のホットプレートで多種類の多面取りパターンに対応できるようにしている。すなわち、設定または使用される多面取りパターンの種類の数をNとすると、N台のホットプレート140で済ますようにしている。しかし、ホットプレートの台数を増やすことになるが、同種のホットプレート140ないしベーキングユニットを複数台設ける構成も可能である。その場合、タクトタイムに対応する時間差で並列的に複数台の同種のホットプレート140ないしベーキングユニットに第1(初期)ベーキングを行わせることも可能であり、あるいは同種のホットプレート140ないしベーキングユニットに第1(初期)ベーキングと第2(残りの)ベーキングを別々に行わせることも可能である。
【0080】
この実施形態の塗布現像処理システム10においては、上記した第2の熱的処理部30と同様に、第3の熱的処理部32にも本発明を適用することができる。
【0081】
第3の熱的処理部32において、ポストベーク用のベーキングユニット(POBAKE)116〜122,126,128は第2の熱的処理部30におけるプリベーク用の各ベーキングユニット(PREBAKE)と同様の基本構成(図6)を有し、かつそれぞれのホットプレート140が個別の多面取りパターンに対応する支持ピン配置パターンを有するものであってよい。もっとも、ポストベーク用の加熱温度および加熱時間は独自の値に設定されてよい。
【0082】
たとえば、ベーキングユニット(POBAKE)116のホットプレート140は4面取りパターンに対応し、ベーキングユニット(POBAKE)118のホットプレート140は6面取りパターンに対応し、ベーキングユニット(POBAKE)120のホットプレート140は9面取りパターンに対応し、ベーキングユニット(POBAKE)122のホットプレート140は12面取りパターンに対応し、ベーキングユニット(POBAKE)126のホットプレート140は15面取りパターンに対応するものであってよい。ベーキングユニット(POBAKE)128はスペア用とし、そのホットプレート140は任意の面取りパターンに対応するものであってよい。
【0083】
これらのベーキングユニット(POBAKE)116〜120,122,126,128と搬送機構108が、第2の熱的処理部30の場合と同様の制御部(図10)の下で同様の手順(図11)にしたがって各々の処理または動作を行うことができる。これにより、第3の熱的処理部32においても、ピン転写の問題を回避しつつ各基板G上のレジスト膜に十全なポストベークの熱処理を施すことができるとともに、ポストベーキング工程にも要求されるタクトタイム(60秒)をキープすることができる。
【0084】
本発明のベーキング方法および装置は、上記のようなプリベークやポストベークに限定されるものではなく、フォトリソグラフィー工程において基板上のレジスト膜を加熱処理する任意のアプリケーション(たとえば現像前ベーク等)に適用可能である。本発明における被処理基板はLCD用のガラス基板に限らず、フラットパネルディスプレイ用の各種基板や、半導体ウエハ、CD基板、ガラス基板、フォトマスク、プリント基板等も可能である。
【0085】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のベーキング方法またはベーキング装置によれば、必要最小限の台数のホットプレートで多種類の多面取りパターンに対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布方法および塗布装置が適用可能な塗布現像処理システムの構成を示す平面図である。
【図2】図1の塗布現像処理システムにおける第1の熱的処理部の構成を示す側面図である。
【図3】図1の塗布現像処理システムにおける第2の熱的処理部の構成を示す側面図である。
【図4】図1の塗布現像処理システムにおける第3の熱的処理部の構成を示す側面図である。
【図5】図1の塗布現像処理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。
【図6】一実施形態のベーキングユニットの基本構成を示す縦断面図である。
【図7】実施形態のベーキングユニットにおいて4面取りパターンの基板とこれに対応するホットプレート上の支持ピン配置パターンを模式的に示す斜視図である。
【図8】実施形態のベーキングユニットにおいて6面取りパターンの基板とこれに対応するホットプレート上の支持ピン配置パターンを模式的に示す斜視図である。
【図9】実施形態のベーキングユニットにおいて9面取りパターンの基板とこれに対応するホットプレート上の支持ピン配置パターンを模式的に示す斜視図である。
【図10】実施形態において第2の熱的処理部を制御するための制御部の構成を示すブロック図である。
【図11】実施形態において第2の熱的処理部における処理または動作の手順を示すフローチャートである。
【図12】実施形態において4面取りパターンの基板に対する第2の熱的処理部におけるプリベーク処理の手順をブロック形式で示す図である。
【図13】実施形態において6面取りパターンの基板に対する第2の熱的処理部におけるプリベーク処理の手順をブロック形式で示す図である。
【符号の説明】
30 第2の熱的処理部
36 第3の熱的処理部
84 搬送機構
90,92,94,100,102 プリベーク用ベーキングユニット
108 搬送機構
116〜122,126,128 ポストベーク用ベーキングユニット
140 ホットプレート
144 固定ピン
146 リフトピン
150 昇降機構
152 シーケンスコントローラ
154 ホストコンピュータ
156 設定入力部
Claims (15)
- 多面取り型の被処理基板上のレジスト膜をベーキングするベーキング方法であって、
予め設定された複数の多面取りパターンにそれぞれ対応させて、基板の製品領域以外の部分に接触して前記基板を支持するための支持部材を有するホットプレートを複数種類用意し、
所望の多面取りパターンを有する前記基板に対して、最初に当該多面取りパターンに対応する第1のホットプレートによる第1のベーキングを第1の処理時間をかけて行い、引き続き別の多面取りパターンに対応する第2のホットプレートによる第2のベーキングを第2の処理時間をかけて行うベーキング方法。 - 前記第1のホットプレートによる第1のベーキングを所定のタクトタイムの周期で繰り返し行う請求項1に記載のベーキング方法。
- 前記第1の処理時間を前記タクトタイムよりも短い時間に設定する請求項2に記載のベーキング方法。
- 前記第1のホットプレートを複数台用意し、前記タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第1のホットプレートに前記第1のベーキングを並列的に行わせる請求項2または3に記載のベーキング方法。
- 前記第2のホットプレートを複数台用意し、前記タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第2のホットプレートに前記第2のベーキングを並列的に行わせる請求項2〜4のいずれか一項に記載のベーキング方法。
- 前記第2のホットプレートを複数台用意し、前記第2の処理時間を複数の時間期間に分割し、それら複数台の第2のホットプレートに前記第2のベーキングを時間分割して順次行わせる請求項2〜5のいずれか一項に記載のベーキング方法。
- 多面取り型の被処理基板上のレジスト膜をベーキングするベーキング装置であって、
予め設定された複数の多面取りパターンにそれぞれ対応して設けられた、基板の製品領域以外の部分に接触して前記基板を支持するための支持部材を有する複数種類のホットプレートと、
所望の多面取りパターンを有する前記基板について、最初に前記基板を当該多面取りパターンに対応する第1のホットプレートに搬入し、第1の処理時間をかけて前記第1のホットプレートによる第1のベーキングが行われた後に前記基板を前記第1のホットプレートから搬出し、次いで前記基板を別の多面取りパターンに対応する第2のホットプレートに搬入し、第2の処理時間をかけて前記第2のホットプレートによる第2のベーキングが行われた後に前記基板を前記第2のホットプレートから搬出する搬送手段と
を有するベーキング装置。 - 前記搬送手段が、所定のタクトタイムの周期で、前記第1のホットプレートに対する基板の搬入と基板の搬出とを繰り返し行う請求項7に記載のベーキング装置。
- 前記第1のホットプレートにおいて前記第1の処理時間を前記タクトタイムよりも短い時間に設定する請求項8に記載のベーキング装置。
- 前記第1のホットプレートが複数台備えられ、前記搬送手段が前記タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第1のホットプレートに対する基板の搬入を順次行って、それら複数台の第1のホットプレートが前記時間差で並列的に前記第1の処理時間をかけて前記第1のベーキングを行う請求項8または9に記載のベーキング装置。
- 前記搬送手段が、前記タクトタイムに対応する時間差で前記複数台の第1のホットプレートから基板の搬出を順次行う請求項10に記載のベーキング装置。
- 前記第2のホットプレートが複数台備えられ、前記搬送手段が前記タクトタイムに対応する時間差でそれら複数台の第2のホットプレートに対する基板の搬入を順次行って、それら複数台の第2のホットプレートが前記時間差で並列的に前記第2の処理時間をかけて前記第2のベーキングを行う請求項8〜10のいずれか一項に記載のベーキング装置。
- 前記搬送手段が、前記タクトタイムに対応する時間差で前記複数台の第2のホットプレートから基板の搬出を順次行う請求項12に記載のベーキング装置。
- 前記第2のホットプレートが複数台備えられ、それら複数台の第2のホットプレートが前記第2のベーキングを時間分割して順次行う請求項7〜13のいずれか一項に記載のベーキング装置。
- 前記支持部材が、前記ホットプレートの上面に固定されている複数の固定ピンと、前記ホットプレートに形成された貫通孔を貫通して昇降移動可能に設けられた複数のリフトピンとを含む請求項7〜14のいずれか一項に記載のベーキング装置。
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Cited By (4)
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JP2013161946A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2020088067A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | キヤノン株式会社 | 成形装置及び物品の製造方法 |
-
2002
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006293343A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Hitachi Displays Ltd | 液晶表示装置及び表示装置 |
JP2007148184A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置 |
JP2013161946A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2020088067A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | キヤノン株式会社 | 成形装置及び物品の製造方法 |
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