JPH07263520A - 基板搬送・収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱処理時に蓄積された熱によって基板に悪影
響を与えることがない基板搬送・収納装置を提供する。 【構成】 基板搬送アームのアーム本体２は、基板Ｗよ
りも若干径大で、基板Ｗの外周に沿うフレーム５ａを備
え、各フレーム５ａの上面に支持部材５ｂがある。基板
収納カセット８の隔壁部材５１の上面に複数個の支持ピ
ン６０がある。各支持ピン６０は、基板収納部５０内の
上方定位置と下方定位置とにわたって平面視でフレーム
５ａと干渉しない位置にあるので、アーム本体２と基板
収納部５０との間で基板Ｗを受け渡すことができる。さ
らに各支持ピン６０は、上方定位置および下方定位置に
あたる水平搬送経路上で、フレーム５ａと干渉しない位
置にあるので、アーム本体２は、基板収納部５０に対し
て進出／退出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェハや光磁気
ディスクなどの平面視略円形の基板を搬送する基板搬送
アーム及びその基板搬送アームによって搬送される基板
を一定間隔で積層収納する基板収納カセットからなる基
板搬送・収納装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の基板搬送・収納装置とし
て、例えば、図１２の一部切欠斜視図および図１３の平
面図に示す基板搬送アームと基板収納カセットからなる
基板搬送・収納装置がある。

【０００３】図中、符号２は、昇降および水平移動可能
な基板搬送アームのアーム本体であり、基板Ｗの下面に
位置するフレーム５ａを後述する基板収納カセットと干
渉しないようにベース部材５から分岐して設けている。
各フレーム５ａの上面には、基板Ｗの下面周縁を支持す
るための内側先下がり傾斜面に形成された支持部材５ｂ
が固着されている。また、ベース部材５の各フレームの
分岐部分にも同様の支持部材５ｂが固着されている。

【０００４】符号８は、基板収納カセットであり、対向
配置された一対の側壁部材９には、その内面に基板Ｗを
搭載するための張り出し部位９ａが上下方向に等間隔に
複数段形成されている。その基板載置面は、基板Ｗの裏
面との接触面積を少なくして基板Ｗの裏面汚損を回避す
るために先下がり傾斜面に形成されている。

【０００５】上記のような構成の基板搬送アームおよび
基板収納カセットからなる基板搬送・収納装置は、種々
の基板処理装置で用いられている。例えば、基板を回転
させつつ、感光性材料であるフォトレジスト液を基板表
面に塗布して所望の厚さの薄膜を形成し、その後、所定
温度で所定時間だけ熱処理することによって、基板表面
の感光性薄膜を硬化させるという一連の処理を行なう基
板処理装置がある。

【０００６】この基板処理装置においては、表面にフォ
トレジスト液の薄膜が形成された基板Ｗの周縁を基板搬
送アームのアーム本体２が支持して、硬化のために熱処
理チャンバ内に搬入する。アーム本体２は、基板Ｗを熱
処理チャンバ内の基板載置プレートに載置した後に熱処
理チャンバ外へ退避する。所定時間の熱処理後、アーム
本体２は再び熱処理チャンバ内に進入し、基板Ｗを支持
して熱処理チャンバ外に搬出し、基板収納カセット８に
これを格納する。そして、このアーム本体２は、次なる
基板Ｗを熱処理チャンバに搬入するためにこれを支持す
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成を有する従来例の場合には、基板Ｗの下面に
位置するアーム本体２のフレーム５ａが基板Ｗを熱処理
チャンバ内に搬入・搬出した際に熱を蓄積しているの
で、次なる基板Ｗに対して悪影響を及ぼす。すなわち、
次なる基板Ｗは、熱処理チャンバで行なわれる正規の熱
処理前に、フレーム５ａに蓄積された熱によって部分的
に余計に熱処理が行なわれることになる。このような正
規の熱処理前の不要の熱履歴がフォトレジスト液の硬化
にムラを生じさせるという問題点がある。これによって
次工程である露光・現像工程においては、解像度にバラ
ツキが生じるという問題点につながっている。

【０００８】このような問題点を回避するためには、基
板の下部に位置する構成部材ができるだけ少ない基板搬
送アームのアーム本体を用いることが必要である。この
条件を満たすものとしては、基板の外周に沿った円弧状
のフレームを有し、そのフレームの内側に支持ピンを設
けた基板搬送アームのアーム本体（例えば、実開平４−
６３６４３号公報）がある。

【０００９】ところが、この基板搬送アームを用いる
と、アーム本体の円弧状のフレームは基板の外形を越え
る大きさに形成されているので、図１２，図１３に示し
たような先下がり傾斜面を形成された基板収納カセット
８の張り出し部位９ａと干渉する。したがって、この基
板搬送アームでは基板を基板収納カセットへ格納するこ
とができないという問題点がある。

【００１０】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、熱処理時に蓄積された熱によって基板
に悪影響を与えることがなく、かつ、基板を基板収納カ
セットへ格納することができる基板搬送・収納装置を提
供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明に係る基板搬送・収納装置は、基板を水平に
支持する昇降および進退移動可能なアーム本体を備えた
基板搬送アームと、前記基板を水平姿勢で収納する基板
収納部を複数段有する基板収納カセットとからなり、前
記基板収納部内の上方に定められた上方定位置と、下方
に定められた下方定位置との間を前記アーム本体が昇降
することにより、アーム本体と前記基板収納部との間で
基板の受け渡しを行なう基板搬送・収納装置において、
前記基板搬送アームのアーム本体には、基板よりも大径
で、基板の外周に沿ったフレームが設けられるととも
に、前記フレームの内側に、基板の周縁を支持する第１
支持部材が配設され、前記基板収納カセットの各基板収
納部には、基板の周縁を支持する第２支持部材が、前記
上方定位置ないし前記下方定位置にわたって平面視で前
記フレームおよび前記第１支持部材と干渉しない位置で
あって、かつ、前記上方定位置および前記下方定位置へ
の前記アーム本体の水平進出経路上と前記上方定位置お
よび下方定位置からの前記アーム本体の退出経路上で前
記フレームおよび前記第１支持部材と干渉しない位置に
配設されたことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
基板は、その基板よりも大径で、基板外周に沿ったフレ
ームの内側の第１支持部材によってその周縁を支持され
るので、基板の下面に位置するアーム本体の部材が少な
い。したがって、アーム本体に蓄積された熱が基板に与
える影響は少ない。また、基板収納カセットの基板収納
部には、上方定位置ないし下方定位置にわたって、フレ
ームおよび第１支持部材と平面視で干渉しない位置に第
２支持部材が配設されているので、基板搬送アームは第
２支持部材と接触することなく、基板収納カセットとの
間で基板を受け渡すことができる。さらに上方定位置お
よび下方定位置へのアーム本体の水平進出経路上と前記
上方定位置および下方定位置からの前記アーム本体の退
出経路上でフレームおよび第１支持部材と干渉しない位
置に第２支持部材が配設されているので、基板搬送アー
ムのアーム本体は第２支持部材と接触することなく、基
板収納カセット内へ水平進入移動できるとともに、基板
収納カセット外へ水平退出移動することができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。

【００１４】＜第１実施例＞図１は、本発明に係る基板
搬送・収納装置の第１実施例を示す一部切欠斜視図であ
り、図２は、その横断平面図である。また、図３は、基
板搬送アームの駆動機構を示す分解斜視図であり、図４
は、本実施例装置による基板の受け渡し動作を示す一部
破断側面図である。

【００１５】図中、符号２は、後述する昇降および進退
移動機構によって駆動される基板搬送アームのアーム本
体であり、基板Ｗよりも若干大径で、基板Ｗの外周に沿
うようにフレーム５ａをそのベース部材５から分岐して
設けられている。分岐している各フレーム５ａの上面に
は、基板Ｗを支持するための支持部材５ｂが固着されて
いる。図４に示すように、この支持部材５ｂは、縦断面
が台形状であって、その内側が基板Ｗの周縁を当接支持
するために下向き傾斜状になった基台部５ｂ₁と、この
基台部５ｂ₁ の上部に形成され、基板Ｗの水平方向の移
動を規制するための突起５ｂ₂ とがフッ化樹脂などで一
体に形成されている。なお、支持部材５ｂは、本発明に
おける第１支持部材に相当する。このように構成された
基板搬送アームのアーム本体２によれば、基板に対して
熱的に密に結合される部材は、基板Ｗの外周からその下
面に僅かに入り込んでいる支持部材５ｂの内側部分だけ
であるので、熱処理時にこの部分を介して基板Ｗへ伝達
される熱はわずかであり、基板Ｗへの熱的悪影響はほと
んどない。

【００１６】また、符号８は、複数枚の基板Ｗを等間隔
で積層収納する基板収納カセットである。この基板収納
カセット８は、左右一対の側壁部材９と、これの上端間
をつなぐ連結板９₁ と、基板Ｗを格納する基板収納部５
０を構成する複数枚の板状の隔壁部材５１とから構成さ
れている。

【００１７】各基板収納部５０は、アーム本体２の進入
を許容する空間を有する。側壁部材９と直交する一方の
側部に開口部Ａがあり、これと反対側の側部に開口部Ｂ
があり、いずれの開口部からでも基板Ｗを出し入れでき
るようになっている。ただし、本実施例では開口部Ａか
ら基板Ｗを出し入れする例を示してある。各隔壁部材５
１の上面には、基板Ｗの周縁に当接して基板Ｗを水平に
位置決め支持する複数個の支持ピン６０が基板Ｗの外周
に沿うように、かつ、平面視した図２の状態で左右対称
になるようにねじ込み固定されている。図４に示すよう
に、支持ピン６０は、円柱状であって、その上部が基板
Ｗの周縁を当接支持するために下向き傾斜状になった胴
部６０ａと、この胴部６０ａの上部に形成され、基板Ｗ
の水平方向の移動を規制するための小突起６０ｂとがフ
ッ化樹脂などで一体に形成されている。なお、支持ピン
６０は、本発明における第２支持部材に相当する。

【００１８】上記のように支持ピン６０には、基板Ｗの
水平方向の移動を規制するための小突起６０ｂが支持ピ
ン６０の上部に設けられているので、基板収納カセット
８に振動などが加わっても基板Ｗが水平変位することが
なく、基板収納カセット８からの滑落を防止できる。

【００１９】また、図２に示すように各支持ピン６０
は、アーム本体２と基板収納部５０との間で基板Ｗを受
け渡すために基板収納部５０の上方に定められた上方定
位置Ｐ_U と（図４（ａ）を参照）、アーム本体２と基板
収納部５０との間で基板Ｗを受け渡す移載位置よりも下
方に定められた下方定位置Ｐ_L （図４（ｂ）を参照）と
にわたって平面視で前記フレーム５ａおよび支持部材５
ｂと干渉しない位置に配設されているので、アーム本体
２は支持ピン６０と接触することなく、基板収納部５０
との間で基板Ｗを受け渡すことができる。さらに各支持
ピン６０は、アーム本体２の上方定位置Ｐ_U への進入経
路および下方定位置Ｐ_L からの退出経路で、フレーム５
ａおよび支持部材５ｂと干渉しない位置に配設されてい
るので、アーム本体２は、支持ピン６０に接触すること
なく、基板収納部５０に対して進入／退出することがで
きる。

【００２０】次に、アーム本体２の駆動機構について、
図３を参照して説明する。

【００２１】この駆動機構は、移動機構１４０と、昇降
駆動機構１５０と、進退駆動機構１６０とから構成され
ている。

【００２２】移動機構１４０は、例えば、基板処理装置
内に配設された一対のガイドレール１４２に摺動自在に
嵌め付けられた可動ベース部材１４１を備え、この可動
ベース部材１４１がガイドレール１４２に並設された螺
軸１４３に螺合されている。この螺軸１４３の一端に
は、図示しないモータが連結されており、これが螺軸１
４３を正逆方向に回転駆動することにより、可動ベース
部材１４１が基板処理装置に配備された基板収納カセッ
ト８と、フォトレジスト液を基板表面に塗布して所望の
厚さの薄膜を形成する図示しない基板回転ユニットと、
図示しない熱処理チャンバとに沿って水平移動するよう
になっている。

【００２３】上記の移動機構１４０には、次のような構
成の昇降駆動機構１５０が搭載されている。すなわち、
可動ベース部材１４１には門形フレーム１５１が立設さ
れており、この門形フレーム１５１には、上下方向にわ
たって一対のガイド軸１５２が架設されている。このガ
イド軸１５２には、昇降部材１５３が摺動自在に嵌入さ
れている。この昇降部材１５３は、ガイド軸１５２に並
設された螺軸１５４に螺合されている。昇降部材１５３
は、梁部材１５１ａに取り付けられたモータ１５５が螺
軸１５４を正逆方向にベルト駆動することにより、昇降
するようになっている。昇降部材１５３には、一対のブ
ラケット１５６が設けられており、このブラケット１５
６の上に進退駆動機構１６０が配設されている。

【００２４】進退駆動機構１６０のベース板１６１に
は、可動ベース部材１４１の移動方向と直交する方向に
ガイドレール１６２が設けられており、このガイドレー
ル１６２にアーム基台１６３が摺動自在に嵌め付けられ
ている。このアーム基台１６３には、支持棒１６４が立
設されており、この内部には、図示しないモータなどの
駆動部が配設されている。支持棒１６４は、その上部に
アーム本体２のベース部材５の一端側が連結されてアー
ム本体２を水平状態に片持ち支持している。このアーム
本体２は、支持棒１６４内の駆動部が正逆方向に駆動す
ることにより旋回するようになっている。

【００２５】ベース板１６１には、ガイドレール１６２
に平行して、無端状のベルト１６５が一対の従動プーリ
１６６ａ，１６６ｂ間に張設されており、このベルト１
６５の一部がアーム基台１６３と連結されている。ま
た、従動プーリ１６６ｂと主動プーリ１６７との間に無
端状のベルト１６８が張設され、前記主動プーリ１６７
をステッピングモータ１６９で正逆方向に駆動すること
により、アーム基台１６３がガイドレール１６２に沿っ
て往復動するようになっている。ベース板１６１には、
アーム基台１６３の原点位置を検出するために光センサ
１７０が取り付けられており、この光センサ１７０がア
ーム基台１６３から水平に延び出たＬ型の遮光板１７１
を検出することにより、アーム本体２の原点検出を行な
う。

【００２６】次に、図４を参照して、上記のように構成
された基板搬送・収納装置による基板の受け渡し動作に
ついて説明する。

【００２７】基板Ｗを支持した基板搬送アーム１のアー
ム本体２は、支持棒１６４の内部に配設された図示しな
い駆動部によって旋回駆動され、基板収納カセット８の
開口部Ａに対向するように向けられた後、移動機構１４
０によって基板収納カセット８の近辺に移動される。そ
して、アーム本体２が基板収納カセット８に対向する位
置で停止され、次に昇降駆動機構１５０によって上昇駆
動されることにより、アーム本体２が複数段の基板収納
部５０の内の所要の基板収納部５０の上方定位置Ｐ_U に
一致する高さにまで移動される。次に進退駆動機構１６
０によって進出駆動されることにより、アーム本体２
は、基板収納カセット８の開口部Ａから基板収納部５０
内の上方定位置Ｐ_U に進入する。このときのアーム本体
２と基板収納カセット８との位置関係は、図４（ａ）に
示すようになる。

【００２８】次に、アーム本体２が昇降駆動機構１５０
によって上方定位置Ｐ_U から下方定位置Ｐ_L へ下降駆動
される。その下降途中で基板Ｗが隔壁部材５１の上面に
配設された複数個の支持ピン６０に当接して、受け止め
支持される。下方定位置Ｐ_Lにあるアーム本体２と基板
収納カセット８との位置関係は、図４（ｂ）に示すよう
になる。続いてアーム本体２が下方定位置Ｐ_L から水平
後退移動されることにより、基板収納カセット８の外へ
退出する。

【００２９】なお、基板収納部５０内に収納されている
基板Ｗをアーム本体２が受け取る場合は、上述の動作と
は逆に、アーム本体２が基板収納部５０内の下方定位置
Ｐ_Lへ水平進出移動し、続いて上方定位置Ｐ_U へ上昇移
動することによって基板収納部５０の支持ピン６０上に
支持されていた基板Ｗを受け取り、その後、上方定位置
Ｐ_U から水平退出移動する。

【００３０】上記のような駆動機構の一連の動作によ
り、基板搬送アーム１から基板収納カセット８への基板
Ｗの収納あるいは取り出しが完了する。上記の動作説明
では、開口部Ａからアーム本体２が進入する場合を説明
したが、基板収納部５１の支持ピン６０は、図２の平面
視状態で左右対称に設けられているので、同様の基板搬
送アームを使って開口部Ｂからも基板Ｗを出し入れする
ことができる。これにより、例えば、基板収納カセット
８の開口部Ａ側および開口部Ｂ側に基板搬送アーム１を
それぞれ配備すると、異なる処理装置の間で基板を受け
渡す、いわゆるインターフェイス・ユニットを実現する
ことが可能となる。

【００３１】次に、図５および図６を参照して、上記の
基板搬送アームと基板収納カセットからなる基板搬送・
収納装置の変形例について説明する。

【００３２】基板搬送アームのアーム本体２は、フレー
ム５ａの内側に第１支持部材に相当する先下がり傾斜状
の支持ピン５ｂ’を設けて構成される。基板収納カセッ
ト８の基板収納部５０は、その隔壁部材５１の上面に円
弧状の基板支持部材６０’が配設されている。この第２
支持部材に相当する基板支持部材６０’が配設されてい
る位置は、基板収納部５０内の上方定位置ないし下方定
位置にわたって平面視でフレーム５ａおよび支持ピン５
ｂ’と干渉しない位置であって、かつ、上方定位置およ
び下方定位置へのアーム本体２の水平進出経路上と前記
上方定位置および下方定位置からの前記アーム本体の退
出経路上でフレーム５ａおよび支持ピン５ｂ’と干渉し
ない位置である。他の構成については、上記第１実施例
と同じであるので、同符号を付すことで説明は省略す
る。

【００３３】上記のように構成された基板搬送・収納装
置によると、基板搬送アームの支持ピン５ｂ’は、第１
実施例の支持部材５ｂよりも基板Ｗの下面に位置する部
分が少ない。したがって、基板Ｗに対する熱処理時の悪
影響をさらに少なくすることができる。

【００３４】＜第２実施例＞図７は、本発明に係る基板
搬送・収納装置の第２実施例を示す一部切欠斜視図であ
り、図８は、その横断平面図である。図９は、本実施例
装置による基板の受け渡し動作を示す一部破断側面図で
ある。

【００３５】図７および図８を参照する。アーム本体２
には、基板Ｗよりも若干大径で基板Ｗの外周に沿うよう
にフレーム５ａをベース部材５から分岐して設けてい
る。さらに各フレーム５ａの内側には、後述する基板収
納カセットに配設された基板支持部材と干渉しないよう
に凹部５０ａを形成している。各フレーム５ａに形成さ
れた凹部によって基板Ｗの中心に向かって凸部５０ｂと
なった部分の各上面には、基板Ｗを線接触で支持するた
めに下向き傾斜状になったフッ化樹脂製の支持部材５ｂ
が固着されている。なお、支持部材５ｂは、本発明にお
ける第１支持部材に相当する。 このように構成された
基板搬送アームによれば、基板Ｗの下面に位置するフレ
ーム５ａの内側部分は、基板Ｗの外周からその下面に僅
かに入り込んでいるだけなので、この部分による基板Ｗ
に対する熱処理時の悪影響は少ない。

【００３６】基板Ｗを等間隔に積層収納する基板収納カ
セット８は、複数枚の板状の隔壁部材５１と、各隔壁部
材５１の間に配設されて、各隔壁部材５１を所定間隔に
保持する複数個の連結支柱９ｂと、最上部に設けられる
連結板９₁ とから構成されている。

【００３７】各隔壁部材５１の上面には、基板Ｗを水平
に位置決め支持する基板支持部材６００が配設されてい
る。この基板支持部材６００は、平面視でアーム本体２
のフレーム５ａの凸部５０ｂと干渉しない程度の外径を
有する略円形状であって、その外周縁には平面視でフレ
ーム５ａの凹部５０ａに入り込むような複数個の突起を
有する支持板６０１と、それらの突起部分にねじ込み固
定されている複数個の支持ピン６０と、前記支持板６０
１の下面と隔壁部材５１の上面との間に介在して、これ
らを連結している基台６０２とから構成されている。基
台６０２は、アーム本体２のフレーム５ａと支持部材５
ｂとを合わせた厚み分よりも若干高くなるように形成さ
れている。なお、基板支持部材６００は、本発明におけ
る第２支持部材に相当する。

【００３８】図８を参照する。各隔壁部材５１とこれの
四隅に配設された連結支柱９ｂとによって形成されてア
ーム本体２の進入を許容する各基板収納部５０は、周囲
４方向に開口部Ｃ，開口部Ｄ，開口部Ｅ，開口部Ｆを有
する。そして、前記支持板６０１の外周縁の各突起は、
図８の平面視状態で上下左右が対称になるように形成さ
れている。

【００３９】基板支持部材６００は、基板収納部５０内
の上方定位置Ｐ_U と（図９（ａ）を参照）、下方定位置
Ｐ_L （図９（ｂ）を参照）とにわたって、平面視で前記
フレーム５ａと干渉しないように配設されているので、
アーム本体２は基板支持部６００に接触することなく、
基板収納部５０との間で基板Ｗを受け渡すことができ
る。さらに基板支持部材６００は、上方定位置Ｐ_U およ
び下方定位置Ｐ_L へのアーム本体２の水平進出経路上と
前記上方定位置Ｐ_U および下方定位置Ｐ_L からの前記ア
ーム本体の退出経路上でフレーム５ａと干渉しない位置
に配設されているので、アーム本体２は、基板支持部６
００に接触することなく、基板収納部５０に対して進出
／退出することができる。特に、支持板６０１は基台６
０２によって持ち上げられた状態で配設されており、ま
た、基台６０２の径は「Ｃ」の字状のフレーム５ａの開
放端の間隔よりも小さいので、アーム本体２は支持板６
０１の下方を通って基板収納部５０から進出／退出する
ことができる。

【００４０】上記のアーム本体２と基板支持部材６００
との位置関係は、アーム本体２の進入が開口部Ｃ〜Ｆの
いずれの開口部から行なわれる場合においても成り立つ
ように構成されている。

【００４１】上記のように構成された基板搬送・収納装
置による基板の受け渡し動作は、前述の第１実施例と同
様の駆動機構によって基板搬送アームのアーム本体２が
駆動されることにより、基板収納カセット８の各基板収
納部５０との間で基板Ｗの受け渡しを行なうことができ
る。

【００４２】なお、本実施例では、支持ピン６０を８か
所に設けているが、これは半導体ウェハのオリエンテー
ション・フラットなどの切欠部を有する基板を安定して
水平に位置決め支持するためである。したがって、光磁
気ディスク等の切欠部を有しない円形基板に対しては、
支持ピンを４か所に設けるようにしてもよい。

【００４３】次に、図１０および図１１を参照して、第
２実施例に係る基板搬送・収納装置の変形例について説
明する。

【００４４】基板搬送アームのアーム本体２は、第１実
施例の変形例と同様にフレーム５ａの内側に第１支持部
材に相当する先下がり傾斜状の支持ピン５ｂ’を４か所
に設けて構成される。基板収納カセット８の各基板収納
部５０内には、基台６０２によって持ち上げ支持された
支持板６０１’の上面外周部に円弧状の基板支持部材６
０’を固着してなる基板支持部材６００’が配備されて
いる。この第２支持部材に相当する基板支持部材６０
０’は、上方定位置ないし下方定位置にわたって平面視
でフレーム５ａおよび支持ピン５ｂ’と干渉しない位置
であって、かつ、上方定位置および下方定位置への４方
向からのアーム本体２の水平進出経路上と前記上方定位
置および下方定位置からの４方向への前記アーム本体２
の退出経路上でフレーム５ａおよび支持ピン５ｂ’と干
渉しない位置に配設されている。他の構成については、
上記第２実施例と同じであるので、同符号を付すことで
説明は省略する。

【００４５】上記のように構成された基板搬送・収納装
置によると、基板搬送アーム１の支持ピン５ｂ’は、第
２実施例の支持部材５ｂよりも基板Ｗの下面に位置する
部分が少ない。したがって、基板Ｗに対する熱処理時の
悪影響をさらに少なくすることができる。

【００４６】第２実施例及びその変形例に示した基板収
納カセット８は、４方向に開口部Ｃ〜Ｆを有し、それぞ
れの開口部からアーム本体２の進入を許容してアーム本
体２と基板Ｗの受け渡しを行なうことができる。これに
より、例えば、２台の基板処理装置をそれらの基板搬送
ラインの延長部が直交するように配置し、その交差部に
上記の基板収納カセット８を配置する。そして、各基板
処理装置の基板搬送ラインには、上記の基板搬送アーム
１をそれぞれ備えることにより、各基板処理装置間で基
板を受け渡すことができる。結果、各基板処理装置のレ
イアウトの自由度を増すことができる。

【００４７】なお、各実施例において、基板収納カセッ
トは、隔壁部材として板状の部材を用いているが、基板
支持部材を支持することができる部材であればどのよう
な形状の部材を用いてもよい。例えば、梁のような部材
を用いてもよい。

【００４８】また、本発明は、上記の実施例に示した基
板搬送アームのアーム本体の形状および基板搬送カセッ
トの基板支持部材の形状に限定されるものではなく、種
々の変形実施が可能である。例えば、基板搬送アームの
フレームは、そのベース部材から非対称に分岐するよう
に設けてもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、基板よりも大径で、その外周に沿うフレーム
の内側に付設された第１支持部材によって基板周縁を支
持しているので、基板の下面に位置するアーム本体の部
材が少ない。したがって、アーム本体に蓄積された熱が
基板へ伝達されにくくなり、基板に対する熱的悪影響を
最小限に抑えることができる。また、このアーム本体の
進入を許容する基板収納カセットは、基板収納部内の上
方定位置ないし下方定位置にわたって、アーム本体のフ
レームおよび支持部材と平面視で干渉しない位置に配設
した第２支持部材を備えているので、基板搬送アームは
第２支持部材に接触することなく基板を受け渡しするこ
とができ、かつ、上方定位置および下方定位置へのアー
ム本体の進出経路上と上方定位置および下方定位置から
のアーム本体の退出経路上でアーム本体のフレームおよ
びその第１支持部材と干渉しない位置に第２支持部材が
配設されているので、基板搬送アームは第２支持部材に
接触することなく基板収納カセットに対して進出／退出
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る基板搬送・収納装置の一部切
欠斜視図である。

【図２】第１実施例に係る基板搬送・収納装置の横断面
図である。

【図３】基板搬送アームの駆動機構を示す分解斜視図で
ある。

【図４】第１実施例に係る基板搬送・収納装置による基
板の受け渡し動作の説明に供する図である。

【図５】第１実施例に係る基板搬送・収納装置の変形例
を示す一部切欠斜視図である。

【図６】第１実施例に係る基板搬送・収納装置の変形例
を示す横断面図である。

【図７】第２実施例に係る基板搬送・収納装置の一部切
欠斜視図である。

【図８】第２実施例に係る基板搬送・収納装置の横断面
図である。

【図９】第２実施例に係る基板搬送・収納装置による基
板の受け渡し動作の説明に供する図である。

【図１０】第２実施例に係る基板搬送・収納装置の変形
例を示す一部切欠斜視図である。

【図１１】第２実施例に係る基板搬送・収納装置の変形
例を示す横断面図である。

【図１２】従来の基板搬送・収納装置の一部切欠斜視図
である。

【図１３】従来の基板搬送・収納装置の横断面図であ
る。

【符号の説明】

１ … 基板搬送アーム ２ … アーム本体 ５ … ベース部材 ５ａ … フレーム ５ｂ，５ｂ’ … 支持部材（第１支持部材） ８ … 基板収納カセット ５０ … 基板収納部 ６０ … 支持ピン（第２支持部材） ６０’，６００，６００’ … 基板支持部材（第２支
持部材） １４０ … 移動機構 １５０ … 昇降駆動機構 １６０ … 進退駆動機構 Ｗ … 基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 1/00 ５４３ Ａ 8819−3Ｆ Ｇ１１Ｂ 7/26 7215−5Ｄ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を水平に支持する昇降および進退移
   動可能なアーム本体を備えた基板搬送アームと、前記基
   板を水平姿勢で収納する基板収納部を複数段有する基板
   収納カセットとからなり、 前記基板収納部内の上方に定められた上方定位置と、下
   方に定められた下方定位置との間を前記アーム本体が昇
   降することにより、アーム本体と前記基板収納部との間
   で基板の受け渡しを行なう基板搬送・収納装置におい
   て、 前記基板搬送アームのアーム本体には、基板よりも大径
   で、基板の外周に沿ったフレームが設けられるととも
   に、前記フレームの内側に、基板の周縁を支持する第１
   支持部材が配設され、 前記基板収納カセットの各基板収納部には、基板の周縁
   を支持する第２支持部材が、前記上方定位置ないし前記
   下方定位置にわたって平面視で前記フレームおよび前記
   第１支持部材と干渉しない位置であって、かつ、前記上
   方定位置および前記下方定位置への前記アーム本体の水
   平進出経路上と前記上方定位置および下方定位置からの
   前記アーム本体の退出経路上で前記フレームおよび前記
   第１支持部材と干渉しない位置に配設されたことを特徴
   とする基板搬送・収納装置。