TW396386B - Load-lock mechanism and processing unit - Google Patents

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五 經漪部中央標準局貝工消费合作社印聚 多 空 閘 並 列 Λ7 R7 、發明説明（ 本發明所屬之技術領域 本發明係有關於一種在半導體處理工程上處理晶圓等 之被處理體的負載緊固機構及處理裝置。 習知技藝 在半導體製造工程上之晶圓處理，有從現在之6英吋 或8英吋之半導體晶圓（以下，僅稱之為「晶圓」）急速轉 變為12英吋晶圓之傾向。因此，半導體製造裝置就隨其而 開發對應於12英吋之裝置。在12英吋晶圓，由於晶圓之大 口從化，大重量化，而使各半導體製造關連裝置亦更大 化° 例如，第6圖係表示將多數之處理作連續性進行之 餘室處理裝置（以下僅稱之為「處理裝置」）例的平面圖。 該處理裝置，如第6圖所示，保持為所定之真空度。又， 該裝置具有例如，各別進行蝕刻處理及成膜處理等之多數 之處理室1、介著閘閥2八，而對各處理室連結為連通或遮 斷均為可行，並且，於符合於各處理室丨之真空度的真 環境下，將晶圓W以各1片作搬送之第丨搬送室3、介著 閥2B，而對第丨搬送室3連結為連通或遮斷均為可行， 且，依成符合於第丨搬送室3之真空度的真空環境之2系， 的負載緊固室4 '介著閘閥2 c而對各負載緊 連通或遮斷均為可行，並且，對各負載緊固室4於大^ 環境下可將晶圓W以各i片作搬送之第2搬送室5、以及介 著閉閥2D’而對第2搬送室5連結為連通或遮斷均為可行 ，並且，以托架單位可將晶圓w收納之托架收納室6。而 冰張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4ΐ¥77^^-

-4 Λ7 〜〜________H7 五、發明説明（2 ) ~ 在第1、第2搬送室3、5分別配設具有操縱臂（處理臂）之晶 圓搬送裝置3A、5A。各晶圓搬送裝置3a、5A之操縱臂（ 處理臂）’乃將晶圓W以各1片搬送。又，在第6圖上，4A 為載置晶圓W而能作溫度調整之載置台。該載置台4八與 負載緊固室4共同構成負載緊固機構，並將晶圓調整為所 定溫度》 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印" -------------.— 丁 , -§ 例如’對左侧之托架收納室6内之晶圓w進行所定之 處理的場合，閘閥2D就開啟，並且第2搬送室5内之晶圓 搬送裝置5A驅動，而從托架收納室6之托架c取出丨片晶圓 W，而後，閘閥2D就關閉而遮斷托架收納室6及第2搬送 室5。接著，左側之負載緊固室4之閘閥乂就開啟，晶圆 搬送裝置5A乃將晶圓W從第2搬送室5移載至負載緊固室4 内之載置台4A上，而後，閘閥2C就關閉。然後，負載緊 固室4之真空排氣裝置（未圖示）驅動，而使室内成為所定 之真空環境。當負載緊固室4成為所定之真空環境，並且 ，晶圓w為所定之溫度之時，閘閥2B就開啟，使第1搬送 室3之晶圓搬送裝置3八驅動，而將負載緊固室4内之晶圓 W，於真空環境下搬入至第1搬送室3内，而閘閥四就關 閉。接著’例如’左側之處理室1之閘閥2a開啟，晶圓搬 送裝置3A將晶圓從第1搬送室3移載至處理室，閘閥2A 就關閉，而晶圓W在處理室1内作所定之處理，例如為， 成膜處理。這期間，在其他處理室1内，其他之晶圓W， 即與其並行作蝕刻處理等之處理。 然後’例如，在右侧之處理室1内完成晶圓W的所定 本紙張尺度iA财轉（CNS ) Λ4^( 210x1^1 五、發明说明（3 ) A7 B7 處理之後，閘閥2A就開啟，而將處理完成之晶圓w搬入 第1，送室3内。接著，右側之已抽成真空的負載緊固室4 之閘閥2B就開啟，晶圓搬送裝置3人乃將處理完成之晶圓 W移載至負載緊固室4内，而閘閥2B就關閉。隨後，負載 緊固室4内乃回復為大氣壓’閘閥2C開啟，於負載緊固室 4内之處理完成的晶圓w，乃經由第2搬送室5回復至左側 之托架收納室6内之托架C。於該期間，於左側之處理室ι 的處理完成之晶圓W，乃介著第丨搬送室3之晶圓搬送裝置 3A而移載至右側之處理室丨。與該動作並行而從左侧之托 架收納室6内取出其次應處理之晶圓w，並經由左側之負 載緊固室4内搬入至左側之處理室ι而作成膜處理。 即，於習知之處理裝置的場合，乃配置2系列之負載 緊固室4作為真空壓侧與大氣壓側之連絡通路。該處理裝 置乃以有效利用各負載緊固室4,提高晶圓之搬送效率以 圖提升其生產量。 · 但是，為要極力抑制微粒之產生等之故，有必要將第 1搬送室3内之晶圓搬送裝置3 A的驅動部多少作削減。因 此，於習知之處理裝置的場合’乃並列配置2系列之負載 緊固室4,使晶圓搬送裝置3八之操縱臂不在上下方向動作 ，而於同一搬送高度僅在水平方向驅動。由於此，有負載 緊固室4的範圍較為廣大之課題存在。又，今後，晶圓為^ 英吋時，配線構造將更多層化，而於處理裝置上之處理數 ’即，處理室1之數量將增加，但，習知之處理裝置，以 並列所配置之2系列的負載緊固室4，有大幅度限制處理室 (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) ，νβ • I - I —i— tn 氺紙張纽刺巾肖附:料(rNS )八4祕（210X297公楚 I I ml li - -6 經濟部中央標挲局員工消費合作社印裝 Λ7 __ ΙΠ五、發明説明（4 ) —~1$佈置的課題存在» 解決課題之本發明裝置 本發明係欲解決上述課題所進行，乃以提供能削減動 作範圍，並能提高處理室之佈置的彈性之負載緊固機構及 處理裝置為目的。 即，本發明係配置在真空壓領域與大氣壓領域之間， 其具備具有向真空壓領域側開口之第【開口部、最少有i對 向大氣壓領域側開口之第2開口部、及開閉各第2開口部用 之開閉機構的真空室 '在真空室内最少收容丨對移動可行 之負載緊固室、以及對各負載緊固室給排空氣用之給排氣 機構。各負載緊固室具有與第1開口部可連通之第丨出入口 、與其所對應之第2開口部可連通之第2出入口、以及於第 2開口部與第2出入口連通之時，要遮斷真空室内與負載緊 固室内用之遮斷機構，為其特徵。 第1出入口與第2出入口，以形成在同一水平面内為宜 °又’負載緊固定’於真空室内可在上下方向移動可行為 宜。特別是負載緊固室在上下設置2個，而真空室在上部 及下部具有2個第2開口部'，並在各第2開口部，各負載緊 固室之第2出入口分別可連通為宜。 又，給排氣機構，於形成在真空室之負載緊固室的第 2開口部與第2出入口相連通之時，應具有與第斶口部相 連通之給排氣路為宜。或著，負載緊固室具有給排氣而 給排氣機構，於形成在真空室之負載緊固室的第2開口部 ’與第2出人π相連通之時’應具有與給排氣口相連通之 本紙張尺度剌tun丨縣（CNS ) (誚先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) "· • i· ί—

1 -I I I -7 A7 IV7 五、發明説明（5 ) 給排氣路為宜。 而負載緊固室在室内下面，慮設有可冷卻收容在室内 之被處理體的冷卻機構為宜。 本發明之實施態樣 以下，依據在第1圖〜第5圖所示之實施態樣說明本發 明〇 首先，本實施例之多艙室處理裝置（以下，簡稱為「 處理裝置」）’例如在第1圖所示，具備對晶圓W以連續性 進行成膜處理或蝕刻處理等之處理的多數（於第1圊為4室） 之處理室10 ’介著閘閥（未圖示，以下同樣）而對該等之處 理室10分別連結成為可連通或遮斷的多角形狀之第1搬送 室20(真空搬送室）’對第1搬送室20所連結之負載緊固機 構30、介著將後述之閘閥而對該負載緊固機構3〇之左右兩 避面，連結成為可連通或遮斷之第2搬送室40(大氣壓搬送 室）、以及介著閘閥51而對該等之第2搬送室40連結成為連 通或遮斷可行之多數（於第1圖為4室）的以並列配置之托架 收納室50。在第1，第2搬送室20，40内，個別配設各以！ 片晶圓搬送之晶圓搬送裝置21，41。 經濟部中央標卒局月工消费合作社印褽 ---------装-- - - {誚先閲讀背而之注項再填寫本玎) 由第1圖可知，本實施例之處理裝置僅具有1系列之負 載緊固機構30，是故，處理裝置之動作範圍與習知比較， 即予削減，並且，使處理室1 〇之佈置的彈性提高。第2圊 係以該負載緊固機構30為主題之圖面。第2圖為第1圖上之 Π-Π線方向之載面圖。 現參照第2圖針對本實施例之負載緊固機構3〇作說明 本紙張尺度適用中國國家榡率（CNS ) Λ4规梠（21〇Χ 297公筇）. 經濟部中央標準局負工消費合作社印聚 A7 ________ Η·7 五、發明説明（6 ) 。本實施例之負載緊固機構30如在第2圖所示，具備矩形 狀之真空室31，並且，介著真空室31而連結在真空情況下 搬送晶圓之第1搬送室20及在大氣壓情況下搬送晶圓之第2 搬送室40，即’在真空室31之3個側壁分別連結第1、第2 搬送室20，40。第1 ’第2負載緊固室32，33以上下二段設 在真空室31内.。區隔真空室η與第！搬送室2〇之側壁上， 於其上下方向中央形成第1開口部31A，而區隔真空室31 與左右之第2搬送室40的左右兩側壁上，於其上部及下部 分別形成第2開口部3 1B，3 1B。 第1，第2負載緊固室32, 33均在真空室31内保持氣密 而能作上下方向移動。第！，第2負載緊固室32，33之内部 乃形成為載置晶圓W之空間。該等之内部空間個別在第j 搬送室20側之側壁有第！出入口 32A +，33A之開口，而在第 2搬送室40側之左右兩側壁有第2出入口 32B，33B之開口 。當下側之第1負載緊固室32位於下降端之位置時，第 入口 32A由真空至31之側壁所閉塞，同時，第2出入口 32b 就連通於真空室3 1之第2開口部3丨B。又，上倒之第2負載 緊固室38位於上昇端之位置時，第i出入口da由真空室3][ 之側壁所閉塞，同時，第2出入口 33B即連通於真空室31 之第2開口部31B。 又，在真空室31之上下的第2開口部31B，31B之外壁 面，分別裝置第1、第2閘閥34A，34B。第1、第2負載緊 固至32, 33分別處於下降端及上昇端之位置時，第i、第2 負載緊固室32, 33與第2搬送室40各介著閘閥34A，灿而 本紙張尺度適用中國國家_ (CNS) 11-------士民--------丁 , ^ '1' ("·先閱讀背而之注意事項4填寫本頁) -9- 經漪部中央標苹局員工消費合作社印製 Μ -— ----- m '·»—— — II , — ——. - 五、發明説明（7 ) ‘ 連通或遮斷。 又，第1搬送室20内之晶圓搬送裝置21，由於避免微 粒之發生，乃將操縱臂（處理臂）於水平面内作旋轉及屈伸 ，並介著真空室31之第1開口部31A而對第i、第2負載緊 固室32, 33，以同一搬送高度搬出入晶圓另方面，第 2搬送至40内之晶圓搬送裝置41具有昇降驅動機構及水平 移動機構。晶園搬送裝置41乃在上下之第2開口部31B，31B 間作昇降，並在其各自之高度的水平面内使操縱臂作旋轉 及屈伸，而如在第1圖所示，將操縱臂整體在與第2搬送室 40相對向之各托架收納室5〇間作水平移動，並在各托架收 納室50與第1、第2負載緊固室32, 33之間搬送晶圓w。 如在第2围所示，位於真空室31内之下方的第丨負載緊 固室32，在其下面之外周具有作為遮斷機構之段部32c及 密封部材35A〇在真空室31之内壁&，有形成對應於段部 32C之段部31C。當第！負載砮固室32位於下降端之位置時 ，兩段部31C , 32C乃介著密封部材35A作氣密性耦合，而 第1負載緊固室32内就從真空室31内之下方空間被遮斷。 另方面，第1負載緊固室32在上端之外週有凸緣部32D 及密封部材35B，作為遮斷機構。在真空室3丨之内壁面， 有形成對應於凸緣部32D之段部31D。當第1負載緊固室32 處於下降端之位置之時，段部31D及凸緣部32D就介著密 封邛材35B作氣密之耦合，而使第1負載緊固室32内亦從 真空室31内之上方空間所遮斷。 密封部材35A，35B乃與第1負載緊固室32形成為一體 (CNS ) Λ4規枯（210χ —----I—----d------訂 (对先閱讀背而之注意事項再填邦本頁) -10- A7 s.____B7 五、發明説明（8 ) (婧先閱讀背而之注項再填寫本I) ，而第1負載緊固至32於真空室31内昇降之時，作成與第1 負載緊固室32以一體性移動，但，以別體之形成亦可以。 在第1負載緊固至32之側壁，有形成雖與其内部不連通， 而與上方空間及下方空間相連通之通氣路32H。 又，在第1負載緊固室32之下面中央有連結昇降桿32E 。該昇降桿32E乃從第1負載緊固室32下垂，並貫通真空 室31之底面中央的貫通孔，而連接於配設在下方而未圖示 之昇降驅動機構。在昇降桿32E與貫通孔間有介在密封部 材35C，使昇降桿32E在貫通孔保持氣密性而作昇降。昇 降驅動機構乃介著該昇降桿32E而昇降操作第i負載緊固 室32。當第1閘閥34A開放之時，第！負載緊固室32乃成為 大耽壓與真空空間之境界，並以該時之壓差押上第1負載 緊固室32。由於此，在該昇降驅動機構上，有必要經常附 與（給予）擴充押上力之力量。

第2負載緊固室33在下面之外週具有作為遮斷機構之 凸緣部33C及密封部材36A。在真空室31之内壁面有形成 對應於凸緣部33C之段部31E。第2負載緊固室33處於上昇 端之位置之時，段部31E及凸緣部33C就介著密封記材36A 作氣密之耦合’而使第2負載緊固室33内從真空室31内之 下方空間被遮斷。 又，第2負載緊固室33在上端之外週具有.作為遮斷機 構用之段部33D及密封部材36B。在真空室31之内壁面有 形成對應於段部33D之段部3 1F。第2負載緊固室33位於上 昇端位置之時’段部31F與段部33D介著密封躬材36B作氣 (CNS ) Λ4規格（210X 297公漤） ~ -11 - Λ7 H'7 五、發明説明（9 ) 密之耦合，而第2負載緊固室33内亦從真空室31内之上方 空間遮斷。 密封部材36A，36B，乃與第2負載緊固室33形成為一 體’而使其於第2負載緊固室33在真空室31内昇降之時， 與第2負載緊固室33作一趙性之移動，但形成為別體亦 可以。在第2負載緊固室33之側壁’雖形成為與其内部不 連通，但使上方部份及下方部份相連通之通氣路33h。 又’在第2負載緊固室33之上面中央有連結昇降桿现 。該昇降桿33E乃從第2負載緊固室33以垂直向上方延設 ’並貫通真空室31之上面中央的賁通孔，而連接至配設在 上方之未圖示的昇降驅動機構。在昇降桿33E與貫通孔間 介著密封部材36C ’而使昇降桿33£在貫通孔中保持氣密 作昇降。昇降驅動機構介著該昇降桿33E而將第2負載緊 固室33作昇降操作。當第2閘閥34B開放之時第2負載緊 固室33乃成為大氣壓與真空空間之境界，而以該時之壓差 押下第2負載緊固室33。由於此’在該昇降驅動機構上有 必要經常附予（給予）與押下力相抗衡之力量。 經濟部中决標準扃員工消费合作社印裂 又，在真空室31之上下，有形成第卜第2給排氣路3ΐϋ 、31H作為給排氣機構，而第！、第2給排氣路3丨〇、3m 為抽第1、第2負載緊固室32、33内為真空，乃連結於真空 排氣裝置（未圖示）。第丨給排氣路31G，例如，於段部3ic 與段部31D之大約中間處，而第丨負載緊固室32於下降端 之時，（第2開口部與第2出入口連通之時）乃在與第丨出入 口 32A相對向之位置開口。又，第2給排氣路3^，， 本紙張尺度適财鮮（CNS ) Λ4Jm~( 2i〇X2^'f 12 五、發明説明（10 ) A7 1V7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 在段部31E與段部31F之大約中間處；而第2負載緊固室33 在上昇端之時（第2開口部與第2出入口相連通之時），乃在 與第1出入口 33A相對向之位置開口。 於各負載緊固室32，33之側壁設置給排氣口之場合， 將各給排氣路31G，31H形成為各負載緊固室之第2開口部 與所對應之第2出入口相連通之時/與給排氣口相連通亦 可以。 第3圖、第4圖係分別將第1、第2負載緊固室32, ”擴 大表示之構成圖。第1、第2負載緊固室32, 33,如在各圊 所示，在室内下面均具有可載置晶圓在上下方向昇降之昇 降機構。又，第1、第2負載緊固室32, 33具備調節晶圓w 之溫度用的溫度調節機構。 即，第1負載緊固室32,如在第3圖所示，於上部與下 部之間具有收納晶圓W之内部空間，而其下部形成為晶圓 w之載置部。在該載置部内有配該作為昇降機構之3栓昇 降機32F，而該3栓昇降機似介著貫通昇降機饥之棒部 材連結於昇降機構（未圖示）。因此，如第3圖所示，3栓昇 降機32F介著昇降機構，從實線位置昇降至十點虛線位置 。在上昇時（十點虛線位置）3栓昇降機321?之上端乃由載置 部突出而將晶圓W以水平抬高，而於下降時（實線位置）， 其上端就退隱在載置部内而將晶圓W載置在載置部上。 如在第3圖上以虛線所示，於載置部内有溫度調節機 構32G配設得不與3栓昇降機创產生干擾。該溫度調節機 構32G係將載置部之上面整體調節為所定溫度，而該溫 (諳先閱讀背面之>1意事項再填寫本頁) Λ .I I i— - - ·

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木紙張尺度ϋ财關纟:料~( CNS ) Λ 4 2iOx2^X 13 - kl kl 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 '、發明説明（11 ) 調節機構32G乃由冷卻機構及加熱機構所構成。冷卻機構 例如，具備以蛇行裝置於載置部之上面近傍的冷媒通路 以及將冷媒循環於該冷媒通路之冷媒供給機構，並冷媒介 著冷媒供給機構而循環於冷媒通路之間，使晶圓w全面能 均等冷卻。又，加熱機構，例如，具備配設在載置部之上 面近傍的面熱絲或著以蛇行裝置在載置部之上面近傍的線 圈熱絲等，而由面熱絲或線圈熱絲，使晶圓w全面能作均 等加熱。 第2負載緊固室33，如在第4圖所示，於下部與上部之 間具有收納晶圓W之内部空間，而其下部形成為晶圓冒之 載置部。在該載置部内配設作為昇降機構之3栓昇降機33ρ ，而該3栓昇降機33F乃經由第2負載緊固室33之上部，並 介著貫通昇降桿33E之棒部材而連結於昇降機構（未圖示） 。因此，如在第4圖所示，3栓昇降機331?乃介著昇降機構 從實線位置昇降至-點虛線之位置。於上昇時（十點虛線 位置）’ 3栓昇降機33F之上端乃從載置部突出而將晶圓* 以水平掻上，於下降時（實線位置），其上端就退隱於載置 部内而將晶圓W載置在載置台上。 #在第4圖以虛線所示，在載置部内有溫度調節機構 33G配設得不與3栓昇降機33F不產生干擾，而該溫度調節 機構33G乃將載置部之上面整體調節為所定溫度。溫度調 節機構33G與上述之溫度調節機構32G同樣，係由冷卻機 構以及加熱機構所構成。 其次，參照第1圖〜第4圖說明處理裝置之動作。首先 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS χ Υ]—--------------------------- -14 - -----------A-------訂 (誚先閲讀11Γ而之注意事項再填碎本页) 經漪部中央標牟局負工消f合作社印絮 Λ7 ____ Η-7 五、發明説明（12 ) ，收容在處理裝置所應處理之所定片數的晶圓W之托架， 乃被收納在排列於處理裝置正面之4處的托架收納室50。 然後’處理裝置於控制器的控制下驅動，使第1圖上之左 端的閘閥5 1開啟，而第2搬送室40内之晶圓搬送裝置41就 t 移動至該閘閥51之前面。其次，晶圓搬送裝置41就驅動， 並介著操縱臂（處理臂）取出托架内之1片晶圓W。其後， 閘閥5 1就關閉’而晶圓搬送裝置41就接近至負載緊固機構 30之側面。與其並行，使真空排氣裝置對第1負載緊固室32 ，以不作用（不運作）之狀態下，使負載緊固狀態3〇之下側 的第1閘閥34Α開啟，並介著真空室3丨之第2開口部3 1 β， 而將第1負載緊固室32之第2出入口32Β連通於大氣壓之第 2搬送室40。 接著’晶圓搬送裝置41驅動並介著操縱臂而將晶圓w 搬送至第1負載緊固室32内之載置面中央。其;又，如在第3 圖所不’ 3栓昇降機32F乃從貪線位置上昇至1點虛線位置 ，而從晶圓搬送裝置41括上晶圓w。而後，晶圓搬送裝置 41之操縱臂就從第丨負載緊固室32後退，使第:丨閘閥34A關 閉，而第1負載緊固室32與大氣壓側之第2搬送室4〇就被遮 斷。與其並行，在第1負載緊固室32内，3栓昇降機32F下 降而使晶圓W載置在載置部上。載置部之上面介著溫度調 節機構32G而經調節為所定之溫度，乃使載置部上之晶圓 W的贩度調gp為所定溫度。另方面第！搬送室2〇及真空 室3 1乃經抽為真空而達到所定之真空度。 以第1閘閥34A關閉並第！負載緊固室32内從第2搬送 本纸‘張尺度ϋ财關家轉（CNS) (請先閱讀背而之注意事項得填寫本頁} 訂 -15- Λ7 Β·7 五、 發明説明（13 室40之大氣壓側所遮斷之狀態下，真空排氣裝置就對第2 負載緊固室32開始運作，而第1負載緊固室32内就介著給 排氣路31G被抽成真空。當第！負載緊固室32内達到所定 之真空度之後，第1負載緊固室32乃依昇降桿32在真空室31 内以保持氣密狀態（内部之真空度）而從第2圖之實線位置 上昇至1點虛線位置。由於該上昇，使第】負載緊固室32之 真空空間與第1搬送室20之真空空間相連通，並在上昇端 ，使第1負載緊固室32之第1出入口 32A與真空室31之第i 開口部31A相一致》 經漪部中央標卒局貝工消资合作社印聚 其次，第1搬送室20之晶圓搬送裝置21乃介著操縱臂 而從第1負載緊固室32取出晶圓w，並將晶圊w移載於所 定之處理室10,而處理室10乃對晶圓界施予所定之處理， 例如’成膜處理。在該處理之間，由昇降桿32E而使第i 負載緊固室32下降，並在下降端使第！出人口似從真空 至31之真空之間被遮斷，同時，第2出入口 32β與真空室η 之第2開口部3職一致。接著，介著給排氣路3ΐ(}將空氣 供給於第！負載緊固室32之内部，使第i負載緊固室32内回 復為大氣愿。然後，第lf„34A就開放，並反覆上述之 動作’使其次之晶圓W從第2搬送室4〇搬送至處理室1〇。 另方面，在處理室10完成成膜處理時，第1搬送室20 之晶圓搬送裝置2m驅動，並且，操縱臂就從處理室1〇取 出處理完成之晶mW，而移載至其次之處理㈣，例如， 其-人之處理室1〇乃進行蝕刻處理。接著，晶圓搬送裝置21 就從第1負載緊固室32將所等待之其次之晶圓靠載至空 本紙‘張尺錢财家縣（CNS ) -16- A7 Β·7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（14 間之成膜用的處理室1G，而成膜用之處理室u丨就對晶圓w 進行成膜處理。如是，晶圓W依序供給於各處理室1〇内， 而各處理室10乃各自連續進行其處理。 入對於多數之各處理室10之晶園w，當多數種之處理完 王終了時，於負載緊固機構3〇，已經抽為真空之第2負載 緊固室33就介著昇降桿33E，在真空室31内以保持氣密狀 態(内部之真空度)下降。到達下降端之時，第2負載緊固 至33之第1出入口33A乃與真空室31之第】開口部BA一致 ’使第2負載緊固室33與^搬送室2Q連通。該時，第⑽ 送室20之晶圓搬送裝置21乃與從第i負載緊固室32搬出晶 圓W之場合為同樣之高度，介著操縱臂而從處理室骑處 理完了之晶圓W移載至第2負載緊固室33内。 在第2負載緊固室33，3栓昇降機33F在上昇位置接受 晶圓W之後，3栓昇降機331；就下降並退穩於載置部内而將 圓W載置在載置部上。另方面，由於冷卻等使晶圓贾之 溫度回復為常溫，而於此期間，第2負載緊固室33就介著 昇降桿现而上昇。當到達上昇端之時，第1出入口 33A就 從真空空間被遮斷，同時，第2出入口 33B乃與真空室31 之第2開口部31B一致。接著，利用給排氣路31H使空氣供 給於第2負載緊固室33之内部’而第2負載緊固室33内就回 復為大氣壓。該時，3栓昇降機33F上昇而成為晶圓臀能引 渡之狀態。然後，第2閘閥34B開放，第2搬送室40之晶圓 搬送裝置41驅動，操縱臂乃將第2負載緊固室33内之處理 完了的晶圓W移載至托架收納室5〇内之托架的原來位置上 本紙張尺度it财關家料（CNS ) λ7^"717〇χ2"9τ7>'f~ 一 . n n I n l[ n I I I. I 丁 __---I : I n _ y ------------------- (請先閱讀背而之注意事項再填寫本I ) -17- Λ 7 --------Η7 五、發明説明（15 ) ~— 。由此’完成晶圓W之一連串的處理。 對於收納在其他托架收納室5〇内之晶靠，亦以同樣 之步驟能連續進行其所定之處理。又，晶圓w被搬入第2 負載緊固室33内之時，若不需要晶靠之溫度調整之場合 ，即將3栓昇降機33E維持為上昇位置就可以。 第5圖係表示本發明之其他實施例的處理裝置之平面 圖。本實施例之處理裝置如在第5圖所示，在^搬送室2〇a 乃比上述實施例之處理裝置，連結較多之處理室1〇A。如 在第5圊所*，由於處理室1〇A延伸至負載.緊固機構3〇a之 左右兩側面，是故，唯一之第2搬送室4〇A就配置在負載 緊固機構30A之正面。多層化之配線構造，就作更有效之 配置與作成。其以外之構成，即如上述實施例之構成。本 實施例之處理裝置，其動作範圍雖比上述實施例之場合， 稍為較大，但，其比上述實施例之場合，所增加之處理室 10A的數量，就能連續進行較多之份量的相異之處理。 本發明之效果 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 n In n n n In n I I ^ In I ^11 I T , - X 、T (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) 如上述說明，依據本實施態樣，負載緊固機構3〇具備 真空室31以及在該真空室31内上下移動之上下二段的第1 、第2負載緊固室32，33»由於從第1搬送室2〇介著1處之 第1開口部3 1A ’以同樣之高度能搬出入晶圓w之故，可 將負載緊固機構30之動作範圍能削減為習知之大約一半， 並且，不必更換第1搬送室2〇之晶圓搬送裝置2丨的構造， 而能對第1、第2負載緊固室32，33進行晶圓之搬出入。由 於此，將本實施態樣之負載緊固機構30適用於處理裝置， 本紙張尺度適财ϋϋ^ν( CNS ) ( 21GX297;>U …. ' -18 - Λ7 ------ _ Η 7 五、發明説明（16 ) — · 一- 即，不僅能削減處理裝置本體之動作範圍，並且，更能提 南處理室10之佈置的自由性（彈性）。 - I.---^---<! (誚先間讀背而之項再填寫本頁) 又’由於第！、第2負載緊固室32, 33分別對應於真空 室31之各給排氣路31G，31H，是故，使第卜第2負載; 固室32, 33雖配設於同一真空室31内，亦能將其各自之室 内個別作給排氣。因此’能將第1、第2負載緊固室32, 33 分別區分為晶圓W之搬入專用或搬出專用而使用之。當然 ，亦能將其各自使用為搬入及搬出之兩方面。 又’由於第卜第2負載緊固室32,33,具有將晶圓w 昇降之昇降機構32F，33F之故，乃能將晶圓w之搬出入於 第1、第2負載緊固室32, 33圓滑進行。 又，由於第1、第2負載緊固室32,33,具有調節晶圓 w之溫度的溫度調節機構32G，33G，是故，纟晶靠之 搬出入時，能將晶圓W冷卻或加熱於所定之溫度。 又’本發明之負載緊固機構，其負載緊固室僅為—室 亦可以。而所處理之被處理體並不限於晶圓，以玻璃基板 等亦可以。 圖面之簡單說明 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 第1圖係表示本發明之處理裝置的—實施例之平面圖 第2圖係表示在第i圖所示之處理装置的^線截面 圖； 第3圖係表示在第丨圖及第2圖所示之下段的負載緊固 室之擴大構成圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2IOX2^>iri -19- A7 IV7 五、發明説明（17 ) 第4圖係表示在第1圖及第2圖所示之上段的負載緊固 室之擴大構成圊； 第5圖係表示本發明之處理裝置的其他實施例之平面 圖； 第6圖係表示習知之處理裝置之平面圖。 (銘先閱讀背而之注意事項#填寫本页) 經濟部中央標準局員工消费合作社印聚 本紙張尺度適用中國國家栋準（CNS ) Λ4現抬（210X297公焓） -20 - 經滴部中央樣率局貝工消费合作社印製 Λ7 1Π 五、發明説明（丨8 ) 元件標號對照 1··.處理室 31Η…第2給排氣路 2A ’ 2B ’ 2C ’ 2D…閘閥 32…第1負載緊固室 3...第1搬送室 32Α ’ 33Α···第 1 出入 口 3A，5A…晶圓搬送裝置 32Β ’ 33Β.··第 2 出入口 4·.·負載緊固室 32D，33C··.凸緣部 4A…載置台（可調整溫度） 32Ε，33Ε···昇降椁 5··.第2搬送室 32F ’ 33F_._3拴昇降機 6…托架收納室 32G ’ 33G...溫度調節機構 10，10A...處理室 33.··第2負載緊固室 20，20A.··第1搬送室 33D，32C···段部 (真空搬送室） 34A...第1閘間 30，30A…負載緊固機構 34B...第2閘閥 21，41…晶圓搬送裝置 35A，35B ’ 35C...密封部材 31…真空室（矩形狀） 36A，36B，36C··.密封部材 31A...第1開口部 40，40A...第2搬送室 31B...第2開口部 (大氣壓搬送室） 31C，31D，31E，31F··· 50...托架收納室 段部 51...閘閥 31G...第1給排氣路 (諳先閱讀背而之注意事項再填湾本頁} -- 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4ϋ( 210x2^1 -21 -

Claims (1)

1. 經濟部中央棣準局負工消费合作社印製 申請專利範固 種負載緊固機構，其構成特徵在於包含有： —真空室，其更含有： -第1開口部，係配置在真空壓領域與大氣麼領域 之間，並向真空壓領域側開口； 第2開口部，係向大氣壓領域側開口而最少亦有 1對，及 ―開閉機構，係開閉各第2開口部之用； 負載緊固至’係在真空室内收容為移動可行而 最少亦有1對，其各負載緊固室具有： 第1出入σ，係能與第1開口部相連通； -第2出入口，係與所對應之第2開口部能相連通 ，及 一遮斷機構，係於第2開口部與第2出入口相達 之時，遮斷真空室内與負載緊固室内之用。 .如申請專利範圍第1項所記載之負載緊固機構，其中 第丨出入口與第2出入口乃形成在同一水平面内 .如申請專利範圍第2項所記載之負載緊固機構 =緊固室於真空室内，可作上下方向之移動 :專利範圍第3項所記載之負載緊固機構，其中 負載緊固室沒有上下兩個； 真空室在上部及下部具有2個第2開口部；及 在各第2開口部，夂 可連通。 *負載緊固室之第2出入口分 5.如申請專利範圍第1項所記載之負載緊固機構’其中 本紙張纽適用巾

   訂 -22-

   經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 給排氣機構具有’於形成在真空室之負載緊固室 =第2開口部，與第2出入口連通之時，與第1開口部相 連通之給排氣路。 如申請專利第1項所記載之負„固機構，其中， 負載緊固室具有給排氣口；及 給排氣機構具有，於形成在真空室之負載緊固室 的第2開口部，與第2 ψ入-„、由、s 丄 ㈣2出人D連敎時，與給排氣口相 連通之給排氣路。 7·如申請專利範圍第i項所記載之負載緊固機構，其中， 負載緊固室於其室内下面設有可載置被處理趙在 上下方向移動之昇降機構。 8.如申請專利範圍第！項所記載之負載緊固機構，其中， 負載緊固室於其室内下面設有可冷卻收容在室内 之被處理體的冷卻機構。 9·—種處理裝置，其構成特挺在於包含有： 一真空搬送室，係為真空壓領域； 一大氣壓搬送室，係為大氣壓領域； 一真空室’係配置在真空搬送室與大氤壓搬送室 之間’其更含有：一 口部，係向真空搬送室側開口； 一第、2開口部’係向大氣壓搬送室侧開口而最少亦 有1對；及 一開閉機構，係開閉各第2開口部之用； 一 jmi’一傳查真空室内收容為移動可行而 —-· 6. (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) ,II I — I · *11 本从張从適用中國國家揉準（CNS )八4胁（21〇><297公痊 -23- A8 B8 C8 D8 申請專利範囷 *亦有1對，並且，各負載緊固室更含有： π请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1出入口，係與第1開口部為可連通； —第2出入口，係與所對應之第2開口部為可速通 ;及 —遮斷機構，係於第2開口部與第2出入口相連通 時遮斷真空至内與負載緊固室内之用；以及 給排氣機構’係對各負載緊固室内給排氣空氣 之用。 1〇.如申請專利範圍第9項所記載之處理裝置，其中， 第1出入口與第2出入口乃形成在同一水平面内。 申》青專利紅圍第1 〇項所記載之處理裝置，其中， 負載緊固室在真空室内可於上下方向移動β 訂 申叫專利範圍第11項所記載之處理裝置，其中， 負載緊固室在上下設置2個； 真空室在上部及下部具有2個第2開口部； 在各第2開口部，各負載緊固室之第2出入口各自 為可行連通。 經濟部中央標率局負工消費合作社印製 如申請專利範圍第’9項所記載之處理裝置，其中， 給排氣機構具有，於形成在真空室之負載緊固室 的第2開口部，與第2出入口相連通之時，與第1開口部 相連通之給排氣路。 14.如申請專利範圍第9項所記載之處理裝置，其中， 負載緊固室具有給排氣口； 給排氣機構具有，於形成在真空室之負載緊固室 私紙張U適用中國因家搞丰（CNS ) Α4ί)^ ( 210X297公釐 -24 - 、申請專利範團 A8 B8 C8. D8 的第2開口部，與第2 φ 弟2出入口相連通之時，與給排氣路 相連通之給排氣路。 15.如申請專利範圍第9項所記載之處理裝置，其中， 負載緊固室在其室内下面，設有可載置被處理體 在上下方向移動之昇降機構。 16·如申請專利範圍第9項所記載之處理裝置，其中， 負載緊固室在其室内下面，設有可冷卻收容在 内之被處理體之冷卻機構。 室 經濟部中央榡準局属工消费合作社印$L 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） -25- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)