JP4920667B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
320,420,520 第2搬送チャンバー
311,411,511 第1ロードロックチャンバー
321,421,521 第2ロードロックチャンバー
330,430,530 基板移送ロボット
340,440,540 カセット
Claims (4)
- 真空内で基板を搬送するロボットを有する第1及び第2搬送チャンバーと、
前記第1及び第2搬送チャンバーにそれぞれ連結され、前記第1及び第2搬送チャンバーとそれぞれ前記基板を取り交わす第1及び第2ロードロックチャンバーと、
前記第1及び第2ロードロックチャンバー間に配置され、大気圧内で前記第1及び第2ロードロックチャンバーにそれぞれ連結されるハウジングと、前記ハウジング内に設置され、カセット内に積載された前記基板を前記第1及び第2ロードロックチャンバーにそれぞれ伝達する基板移送ロボットとを有する基板移送ユニットと、
前記第1及び第2ロードロックチャンバーと前記ハウジングとの間にそれぞれ相対向して設置され、前記基板移送ロボットによって伝達された前記基板が出入する第1及び第2ゲートバルブと、を含み、
前記基板移送ロボットが、前記第1ゲートバルブと第2ゲートバルブとの間で並進運動し、
前記カセット及び前記基板移送ロボット間の前記基板の移動方向と、前記第1及び第2ロードロックチャンバー及び前記基板移送ロボット間の前記基板の移動方向とが、略直角をなすことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1ロードロックチャンバー及び前記基板移送ロボット間の前記基板の移動方向と前記第1ロードロックチャンバー及び第1搬送チャンバー間の前記基板の移動方向、及び、前記第2ロードロックチャンバー及び前記基板移送ロボット間の前記基板の移動方向と前記第2ロードロックチャンバー及び前記第2搬送チャンバー間の前記基板の移動方向とがそれぞれ、略直角をなすことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第1搬送チャンバーと連結された一つ以上の第1工程チャンバー及び前記第2搬送チャンバーと連結された一つ以上の第2工程チャンバーをさらに含み、
一つの前記第1工程チャンバーと一つの前記第2工程チャンバーは、前記ハウジングと略並んで隣接して配置されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第1工程チャンバーが前記第1ロードロックチャンバーを基準に等間隔に配置され、前記第2工程チャンバーが前記第2ロードロックチャンバーを基準に等間隔に配置されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
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