TW320602B - - Google Patents

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3SG602

五、發明説明（彳 經涛部中央榡準局員工消費合作社印製 發明背景 發明範圍 «明係關於透光性表面之處理，包括以抗反射塗層處 理無機表面和有機聚合物表面。更特別地，本發明係關於 =種複合物結構’包括-透光性基質，如有機聚合物基質 薄膜’其表面之-或二個表面皆具有多層塗層，其爲耐久 且具導電性，減低光反射性並提高透光性。 先前技藝敘述 一種從基質（如聚合物表面）減低光反射性之方法係以厚 度約1/4波長之抗反射層塗裝該表面。該抗反射層可以是_ 有機材料，如聚合物，或是無機材料，如金屬氟化物或金 屬氣化物，其中該沉積層之反射指數低於基質。一種產生 此一層之方法係揭示於美國專利第4,〇66,814號中。倘若該 扎積抗反射層與空氣接觸，則當該沉積抗反射層等於基質 反射指數平方根時便達到最大反射減低値。此嘗試有所限 制。單層，低反射指數，抗反射塗層較厚，能夠導制明顯 的染色，反射或穿透。 具有較寬帶（因此較低染色）之抗反射塗層亦可以以使用 多重此積層得到。如同於光學薄膜使用者手册（1987年由麥 克米蘭出版公司詹.姆司D •蘭克所著）中所述，二種一般抗反 射塗層設計係1/4-1/4和1/4· 1/2-1/4層堆法。·即該反射塗 層係以許多具有不同反射指數之材料層製成，各厚戽等於 欲抗反射波長之1/4或1/2。這些設計於磁電管喷鍍之應用 性易於受限，因爲材料之可用性和製造之複雜性。 —— ____________ - 4 - tan tmTcNS ) A4^mT210 X 297^ ) ----------裝------訂------ •i , /'_ \ I f先閑磺背面之注意事孕再填跨本耳j 經濟部中央榇準局貝工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（ 減低基質表面反射性之另一方式包括多孔塗層。如同於 美國專利第4,282,643號中所述，產生等級反射指數之多孔 塗層係特別有效之抗反射塗層。然而，存在非常少產生此 塗層之商業方法。 然而，使表面具抗反射性質之另一方法係揭示美國專利 第5,494,743號中。某些金屬氧化物或氧氮化物之不連續層 或不連續雙層係用以達成抗反射表面。 當使用抗反射層時，產生額外的結果。即抗反射塗層中 使用之材料？系選擇其光學性質（指數，顏色等），因而可以 較易碎。倘若在抗反射層上使用傳統保護覆蓋塗層，如厚 硬塗層’此塗層能夠本身存在反射光學表面，因此使抗反 射塗層之功效喪失。 於該技藝中亦已知在各種應用之基質上具有導電塗層較 有利，特別是在一些當導電塗層爲相當透明之裝配時。這 些導電塗層能夠作爲靜電屏蔽，如輻射展蔽等。這些導電 塗層能夠找到特殊之應用，如在CRT管之顯示面前或層壓 於其上之透明屏蔽。 達成透光基質之簡單塗層將較有利，其將摻入這三種性 質：抗反射性，耐久性和導電性。 發明概述 現頃發現一種使透光性基質具抗反射性質之改良方法， 同時達到耐久表面和導電性。至少二種喷鍍沉積透光性無 機層，其一具導電性並具有高反射指數，位於其上者（相對 於抗反射之基質）具有低反射指數，與包括可溶於溶劑之潤 本紙張尺度CNS)八爾(ϋ?公廣）— (請先M讀背面之注意事項再填寫本頁) _ - — i HI 1 I— —I— I— - —I I I - I HI I -. ΊI In - I - l^l^i I I I i 1-- - I —^ϋ - ‘ · * ί · s-'-i \ . 32_2 A7 B7 經濟部中央標準局肩工消費合作社印製 五、發明説明（3 滑劑之薄潤滑復蓋層’如可溶於溶劑之氟聚合物，能夠達 到此希望之結合性質。 本發明能夠視需要採取基質帶動此簡單三層（高，低無機 層加上潤滑層）塗層之形式，能夠以使用一層堆二或多對替 代性高和低反射透光無機層取代該二層最簡單之系統。亦 能夠二面基質皆應用此二或多層塗層。 在另一更特別之具體實施例中，頃發現本發明找到於塑 膠基質抗反射性之特殊應用，如聚酯（例如PET)基質。亦 發現在較佳之具體實施例中，使用這些替代指數材料對之 二或三種’第一此對，即最靠近基質之對，較薄，其後之 對較厚，便得到良好之結果。基質，特別是塑膠基質，帶 動這些層構成本發明之一個觀點。使用喷鍍沉積以製備這 些材料之方法構成本發明之另一觀點。 因而’在一個本發明之具體實施例中，提供一種具有抗 反射性質之透光性基質。此材料具有透光性固體基質，其 表示一種或多種欲抗反射之表面。一種多層抗反射塗層黏 附於這些表面之一或二者，包括至少一對層，各對依次具 有最靠近聚合物基質之第一層，其爲喷鍍沉積，具透光性 ’導電之無機材料，反射指數介於1.7和2.6之間，厚度介 於約50至3000埃之間，和第二層，其爲喷鍍沉積之透光性 無機材料’反射指數介於1.29和1_7之間，厚度.介於約5〇至 3000埃之間。該塗層亦包括一潤滑層，其在多層無機抗反 射塗層層堆上之界面能不大於4 0達因/公分。在此具體實施 例之變化中，該抗反射基質，特別是倘若其爲一種聚合物 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4^ (刑χ2974兼） ----Γ---Η---(-装—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 基質，額外地可以在基質上並介於基質和多層抗反射塗層 之間包括一硬塗層，和/或一以可氧化金屬製成之底層，位 於多層抗反射塗層下。在一變化中，能夠以一種分離導電 層之形式使此抗反射層具導電性，其典型上係以一種高反 射指數材料製成，厚度與適才提及之第一和第二層類似。 因而，在本發明之一較佳具體實施例中，提供一種具抗 反射性質之聚合物。此材料具有—固體聚合物基質，表示 一種或多種欲抗反射之表面。一種多層抗反射塗層黏附於 這些表面’包括至少一對層，較佳二對或更多，各對依次 具有最靠近聚合物基質之第一層，其爲喷鍍沉積，具透光 性，導電之無機材料，反射指數介於1.7和2 6之間，厚度 介於約50至3000埃之間，和第二層，其爲喷鍍沉積之透光 性無機材料’反射指數介於1.29和1.7之間.，厚度介於約5〇 至3000埃之間，繼之爲一潤滑層，其在多層無機抗反射塗 層層堆上之界面能不大於40達因/公分。在此具禮實施例之 變化中，該抗反射基質，特別是倘若其爲一種聚合物基質 ，.額外地可以在基質上並介於基質和多層抗反射塗層之間 包括一硬塗層，和/或一以可氧化金屬製成之底層，位於多 層柷反射塗層下。在一變化中，能夠以一種分離導電層之 形式使此抗反射層·具導電性，其典型上係以一種高反射指 數材料製成。 . 在一種更佳之具體實施例中，此抗反射聚合物產物具有 一聚酯基質，和一層或多層，經常爲一層，具有二對層之 抗反射層’依次爲第一層，最靠近該聚酯基質其爲喷鍍沉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^ f 裝-- (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本瓦) 訂 .Λ%11------ 320602 Α7 Β7 五、發明説明（ ，具導電性和透光性之無機材料，反射指數介於188和 2.15之間，厚度介於約15〇至5〇〇埃之間，和第二層，其爲 嘴鍵a積之透光性無機材料，反射率介於丨彳和丨/之間， 厚度介於約15〇至500埃之間，第二對具有第一層，其爲嘴 鍵’儿積’具透光性，導電之無機材料，反射指數介於188和 2.15义間，厚度介於約5〇〇至15〇〇埃之間，和第二層，其爲 噴鍍沉積之透光性無機材料，反射指數介於丨^和丨6之間 ，厚度介於约150至1500埃之間，繼之爲潤滑層，再者， 具有或不具硬塗層和底層。 在本發明之另一觀點中，提供一種使聚合物基質具有抗 反射性質之方法。此方法包括以下連續步驟：（a)噴鍍沉積 第一層，最靠近基質，其爲透明無機材料，反射指數爲I7 至2.6，厚度約5〇至3〇〇〇埃，（b)於該第一層上噴鍍第二層 ，其爲透明無機材料，反射指數爲1.29至1.7，厚度約5〇至 3000埃，（c)重複步驟（a)*(b)，其後塗裝一層可溶於溶劑 之潤滑劑，如氟聚合物，以在多層抗反射塗層層堆上提供 不大於4 0達因/公分之界面能。 在額外較佳之觀點中，本發明能夠包括一預輝光步驟， 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 進行一個或多個這些喷鍍沉積步驟，並能夠包括在抗反射 塗層上塗裝一潤滑.劑層。 附圖簡述 參考附囷説明本發明。在這些圖中， 圖1和2表示帶動本發明之抗反射塗層之塑膠基質概要非 成比例橫面围。 本紙張尺歧财關家料（ 五、發明説明（ 6 A7 B7 圖3表示用於形成本發明之抗反射塗層之磁電管嘴鍵單元 概要圖。 圖4表示當聚合物基質（聚（對苯二甲酸乙二醇酯）經本發 明之抗反射塗層如實例1中所述般處理時觀察到之反射減低 圖。 圖5表示當PET經如實例2中所述般處理時達到之反射圖 〇 囷6表示當PET經如實例3中所述般處理時達到之反射圏 圖7表示當PET經如實例4中所述般處理時達到之反射 圖 ;,7~~f 裝 I- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 圖8表示當PET經如實例5中所述般處理時達到之反射圖 〇 圖9表示當PET經如實例6中所述般處理時達到之反射圖 〇 圖10表示當PET經如實例7中所述般處理時達到之反射圖 〇 較佳具體實施例之敘述 本發明提供一種抗反射塗層，用於如聚合物之基質。回 到圖1，説明本發明之抗反射塗層產物。產物1包括基質j 〇 。受惠於本發明之抗反射塗層和方法之基質能.夠包括透光 性無機材料，如玻璃，石英，氟化鎂，氟化鈣，硒化鋅， 各種晶體等。然而，更典型地，該基質係聚合物，特別是 碳基材料。其包括典型之無機聚合物，如聚酯和聚碳酸酯 -9 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 A7 經濟部中央梯準局員工消費合作社印裝 B7 五、發明説明（7 ) 與氟碳以及氩氟碳材料。這些材料之反射指數爲約1.2至約 1.7，尤其是約1.4至約1 . 7，代表性有機聚合物包括聚酯， 如聚（對苯二甲酸乙二醇酯）（，'PET”），聚碳酸酯，聚丙烯酸 酯和甲基丙烯酸酯，如聚（曱基丙烯酸甲酯）（PMMA)，聚（ 甲基丙烯酸酯）。聚（丙烯酸乙酯）和共聚物，如聚（甲基丙 烯酸曱酯共丙烯酸乙酯）。亦能夠使用氟碳聚合物，如鐵 弗龍。視需要可以使用其它反射指數低於該抗反射塗層之 聚合物。雖然不限於本發明之應用，但清澈，透光之塑膠 材料（即塑膠片，薄膜，或在至少約20%之可見波長上具有 積成穿透性之主體，即在此範圍中從約2 5 %至約9 0 %無標 示吸收或反射波峰）產生特別引人注意之最終產物。該材料 (無本發明之抗反射塗層）通常在可見波長上具有5至約2 〇 0/〇 之反射。例如，PET反射12-15%之可見光（雙面反射）。雖 然並非本發明之必要條件，但此基質可以經染色或著色。 在一些應用中，此類染色或著色能夠提供益處，如改良對 比或縮減背光問題等。 各種無機和聚合物基質通常本身可利用或能夠以各種該 技藝已知之方法製備。這些基質需要抗反射。此類表面能 夠由固體，薄張膜，如厚度約0.25密耳至約50密耳之塑膠 張膜，塗侔或層壓於非聚合物表面上之塑膠薄膜，如玻璃 ，所提供。 基質10帶動抗反射性層堆，該層堆包括第一對層12和14 。層12係一種噴鍍沉積之無機材料，反射指數約17至約 2.6，較佳1.8至2.3，尤其是1.88至2.15«此層解釋爲相對 10- 本紙張尺度適财@1!轉準（CNS ) Α4· (210><297公後 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 -----— B7 五、發明説明（8 ) 之”高指數"層。 此層之特徵在於"相當透明"或，，具透光性"。這些用詞定 義爲表示該材料在典型上使用之層厚度於可見區（彻_7〇〇 毫微米）中相备具穿透性，在此範圍上之總積成吸收低於約 50〇/。，較佳爲0%至25%，〇%至2〇%更佳。 當與層14之低指數材料結合存在時，層12之使用之材料 亦常f相當無色β "相#無色"之用詞定義爲表示該材料之 吸收曲線在毫微米範圍中無明顯吸波峰，且不存在 明顯著色或反射色彩’或當在典型之陽光環境下觀察時具 透光性。 層12應該具有相當之導電度，即薄板電阻率每平方等於 或小於約1x10歐姆，特別是每平方低於或等於ΐχΐ〇歐姆，' 最特別是每平方小於或等於約2_5χ1姆。此能夠以從金 屬氧化物或硫化物製造層12達到，即缺氧或硫因而固有導 電性不足。此類材料之實例爲銻，銦，鋅，鎢和鎘之氧化 物，和這些材料合金之氧化物，如銦_錫氧化物，Ζη〇， Sn02 ’ WOJ。此外，導電性能夠藉著以金屬元素填補得 到，如銻，鍺，錫，鋇，鎂等。在此設定中，銦/錫氧化物 混合物得到良好結果且較佳。 任何無機材料能·夠以噴鍍沉積舖置，該用詞係解釋爲包 括希望材料之直接舖置，亦包括以反應性喷錄方法沉積材 料，能夠使用符合這些反射指數光學參數，相當透明和導 電性者。具有位於這些參數内之材料之化合物種類實例爲 金屬氧化物，氮化物，氧氮化物，羰化物，硫化物等。能 »· -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） |~:-7~~---f 裝------訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 32〇6〇2

五、發明説明（9 ) 夠形成符合這些條件下無機化合物之金屬實例包括過渡金 屬，如鋼，鋅，錫，輕，鈮，僞，釩，铽，鉍等。 特殊無機材料之實例，其能夠作爲此高指數層者包括 In2〇3，ZnS，Zn0，Sn〇2，Ti〇2，Ta2〇5，Nb2〇5，w〇3， V2 〇5，Ce〇2 ’ Bi2 〇5，siN ’ SiOxNy，SiCiH，以及這些型 〜材料之/昆合物，視需要與填補劑一起，以到達導電狀烤 〇 此層12之厚度介於約50至約3〇〇〇埃之間，約1〇〇至約 1500埃之間較佳，約15〇至約“ο埃之間更佳。 層14亦是一種喷鍍沉積之無機材料。其反射指數爲約 1.25至約1.7, ^至^較佳，尤其是丄4至丨6。此層“係 解釋爲該對之，，低指數"層。 此層14，類似層12，特徵在於爲"相當透明，，。此材料亦 可以是"相當無色"，當與層12之高指數材料一起存在時。 能夠使用任何能夠以噴鍍沉積舖置，其符合這些反射指數 之光學參數，且相當透明之無機材料。具有位於這些參數 内之化合物種類實例爲某些無機氧化物，金屬氟化物，金 屬氧氟化物和金屬氟氮化物。 經濟部中央梯準局員工消費合作社印製 能夠作爲此低指數層14之特殊無機材料實例包括si〇2， 冰晶石，MgFz和矣12〇3等，以及這些型態材料之混合物。 此層14經常厚度與層12相當相等，因而厚度.介於約5〇至 約3000埃之間’約1 〇 〇至約1500埃之間較佳，約1 5 0至約 3 5 0埃之間更佳。 抗反射層堆含潤滑層2 8。此層係一薄層，在某些案例中 •12- 本纸張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公着) '~~ --— A7 A7 10 五、發明説明（ 其薄如平均爲2埃，通常厚度低於約200埃。（將預期以這 些範圍之較低者而論，該塗層事實上並非連續，但較佳爲 覆蓋和露出表面之平均。）其係以一種固有界面能之材料製 成，如低於40達因/公分之成塊（連續）塗層。此層係存在以 改良最终產物之處理性和耐久性。用於此目的之潤滑劑可 以包括硬脂酸酯，矽烷等，但經常爲氟材料，更佳爲反射 指數爲約1.29至約1.49並可溶於溶劑之氟聚合物。產生層之 典型厚度爲約2埃至約200埃。這些層之特徵在於將塗裝聚 合物之界面能從約6 〇達因/公分減低至4 〇或3 〇或甚至低於 20達因/公分。一種較佳之氟聚合物潤化劑層係以 Fluroad氟化學塗層型態FC-722。此商業用材料係溶於氟碳 溶劑中運輸，成塊界面能低至u_12達因/公分。 產物1可以包括至少二額外之無機層，如圖1之層16和18 所示。層16係另一高指數層，層18係另—低指數層。存在 這些層之材料係使用分別選擇層丨2和層1 4中材料中所列之 光學相同標準選擇。而這些層中之材料能夠獨立從層12和 14中使用者選擇，從實務觀點而論，使用在層12和14中使 用與層16與18中使用之相同材料具有製造益處。 如於圖1中所示，具有此厚度大於第一對之層之第二對層 常常是有益的。再·次，層1 6和1 8厚度經常彼此相當類似。 因而層1 6和1 8之厚度爲约5 0和約3000埃之間，·約5 0 0至約 1500埃之間更佳。 將預期圖1中所示之結構能夠調整和改變，不違反本發明 之精義。例如，能夠在層1 2下添加一種如層1 4之低指數層 -13- (紙張从適财關家梯準（CNS ) A4· (21GX297公瘦） 丨~：.?—^----f裝------訂------C泳 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五 、發明説明（u) A7 B7 經濟部中央榡準局負工消費合作社印製 二’能夠在層18上添加一種如層16之高指數層。在另 般變化中，能夠使用二對相配層以上，例如使用連績 包括二或更多之層堆’例如三至五個連續層對。亦能夠放 置—聚合物主體以上之抗反射層，例如在塑膠薄膜二面。 對於此材料，按其能夠進行第二塗層而不破壞第—層堆之 良好財久性，這實在是可能的。在抗反射聚合物結構中亦 能夠包括額外之層，其係添加以改良最終產物之耐久性， 處理性和其它特徵。 此一更包括之抗反射聚合物結構實例係如圖2中之2所示 。在抗反射聚合物結構2中，基質1〇和層12, 14, 16和18 及潤滑層28係參考圖i中結構丨如先前所述般。層2〇和22 係第三對高低反射層，其係以與選擇層16和18相同之方式 選擇。 材料2亦包括存在於塑膠基質1〇上之硬塗層此硬塗 層係用以改良在處理前與處理期間聚合物之耐久性。硬塗 層於該技藝中係已知的’且通常存在於如同商業上供應之 塑膠薄膜基質。層24中之硬塗層材料能夠是任何已知之材 料，如碎石基底硬塗層，矽氧烷硬塗層，三聚氰胺硬塗層 ’丙締酸系硬塗層等。這些材料典型上指數爲約丨⑽至丨65 ，厚度典型上爲约1至約2 〇微米。這些指數低於聚合物本 身之指數。當存在硬塗層時，其常常較佳使用.至少二對高 低指數層，以達到最佳之抗反射功效。 抗反射層堆視需要能夠直接舖置於硬塗層24上。舖置一 薄金屬底層改良黏性等亦較有利。使用之金屬應該是一種 請 先 閲 背 ΐ} 之 注 意 事 項 再 旁 裝 訂

A 14- 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210χ297公董） 經濟部中央梯準局員工消費合作杜印製 A7 ____ _Β7 五、發明12 ) "— ---— 在處理期間本身將進行轉變（氧化）以產生相當透明，相當 無色之無機金屬，如金屬氧化物。有用之底層材料實例爲 Ti ’ Cr，Ni和合金，如NiCr等。這些材料本身進行相當程 度之氧化作用。此底層應該薄至將抗反射聚合物產物所需 要之光學性質干擾減至最低。厚度按此層之選擇性本質能 夠是介於0埃至50埃之間，厚度爲約〇至約3〇埃之間較佳。 該抗反射塗層係使用噴鍍製法。本方法能夠用以沉積金 屬層，其接著轉變爲各種層中使用之透明無機化合物。此 可以藉著具電磁管喷鍍器和惰性噴鍍氣體之金屬陽極舖置 金屬，然後將該舖置金屬藉著與氧，硫，氮等之還原作用 轉變爲希望之化合物，常常係在與惰性喷鍍氣體之混合物 ，或氧，氮與惰性氣體之混合物中，視需要可以添加氫等 。當舖置底層26時，倘若需要能夠使用此嘗試。或者，透 明無機化合物本身能夠喷鍍。然而，這常常是一種低效率 之方法。更普遍地’透明無機材料係以反應噴鍍沉積，其 中該透明無機材料係以直接反應性喷鍵舖置，於其中嘴艘 陽極係金屬，且使用反應性氣體（氧，氮和氫等）噴鍍，經 常是一種惰性噴鍍氣體’如氬，以得到希望之化合物層。 能夠藉著摻入喷鍍目標中透加添補劑。 其後’視需要可.沉積下一透明無機材料，典型上亦再次 以與適當氣體混合物反應性噴鍍。各層之厚度係以改變供 應於電極目標之電壓和電流，氣體流速控制，以其中聚合 物基質和喷鍍目標彼此相對移動之連續系統而論，亦受基 質移動通過目標之速度控制。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210'〆297公变）

I « - I II (請先閲讀背面之注意^項再填寫本頁) 乂裝·

-、1T " 320602 A7 B7 五、發明説明（13 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 非常普遍的’在底層和各種修補抗反射塗層之透明層之 舖置前爲溫和預輝光處理。此能夠調理舖置表面和改良黏 性或其後之沉積層。 用以舖置這些抗反射塗層之噴鍍沉積裝置係如圖3所示。 喷鍍沉積係一種在表面上沉積無機材料，金屬，氮氧化物 ，氧化物之商業方法《噴鍍沉積方法和設備之代表性敘述 可以見於美國專利第4,204,942號和第4,948,087號，併入本 文以供參考。 於噴鍍時，係在反應性或非反應性氣體存在下於金屬或 金屬化合物施加電壓以形成一種等離子體。陽極上噴鍵氣 體等離子之作用引起陽極之原子（目標）強制移出並移動沉 積於鄰近喷鍍源之基質上。典型上噴鍍氣體係一種貴重氣 體，如氬或氪等。氬是最普遍之喷鍍氣體，原因在於其吸 引人之價格。於該技藝中亦已知使用約1至約9 〇 % (以鈦目 標而論甚至爲100%)—種或多種反應性氣體作爲喷鍍氣體混 合物之組份。當存在反應性氣體時，其導致金屬沉積爲氧 化物（當存在氧來源時），氧氮化物（當存在氧和氮來源時) 等。此反應性喷鍍方法係眾所皆知並於商業上使用。 本發明之材料可以以連續之個別噴鍍沉積製備。以此方 式’例如’聚合物基質將在用以產生正確厚度之第一高指 數層的條件下暴露於喷鍍目標。然後開動機器，改變目標 ’重射條件以在相同基質上沉積第一低指數層，現具有第 一高指數層。以類似方式，能夠舖置底層，表面能夠視需 要預輝光處理。重複使連續重設機械和重噴鍍，直到達到 _ -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

*1T ·" .II 11-— A7 A7 經濟部中央榡準局貝工消費合作杜印製 Β7 五、發明説明（14 ) 希望之層堆。或者，透過連續供料噴鍍設備，能夠一次舖 置一層以上。 圖3表示一種連續連結板塗裝喷鍍機。連結板塗裝系統如 圖3中系統1 0所示。系統丨〇包括眞空室1 2，其經由直線i 4 抽眞空。室12中含驅動機構，以將彈性聚合物基質片16移 動通過一系統磁電管喷鍍站50, 48和46。該驅動機構包括 供料輥18 ’惰輪20 ’ 22，24 ’ 26，28，30和32，以及採 樣輥34。薄膜通過冰冷惰輪筒36周圍。薄膜在塗裝前通過 一對用以測定其穿透度和反射度之監控器38和4〇,在塗裝 後通過一類似監控器對4 2和4 4。構成此塗裝器以便能夠使 用三個分離之DC磁電管陽極46，48頷，在連結板上同時 並連續喷鍍沉積達到三層。典型上，陽極46係用以舖置金 屬或金屬化合物層’如底層或在此使用之透明氮化物，氧 氮化物，氧化物等。陽極48和50能夠用以舖置額外之金屬 或金屬化合物層，如在本抗反射塗層中使用之層。亦在系 統中置入預輝光站52，用以在塗裝前視需要清潔離子化氣 體或調整基質表面。使用類似方法塗裝非彈性材料，如玻 璃片等，以用以處理非彈性之材料處理。 這四個站各可以彼此分離空間成爲小型室（見美國專利第 4’298,444號）；因產生污染各種等離子體氣體之局部環境。 此容許在各站以改變站與站間之大氣壓，同時進行分離方 法’不在四個來源之間交叉污染。 喷鍍系統之監控通常使用此塗裝機中標準之設備和計測 器完成。這些示於圖1中，包括：υ質量流控制器54，用 -17- I-ΝΙΊ---f ·裝------訂-----<冰| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張 ί「NS、 A4祁技f 八铢、 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印聚 五、發明説明（15 以調節進入陽極小型室之氣流；2)全部三喷鍍陽極之5_10 千瓦DC供電器56; 3)光學監控系統58，其測量在光譜範圍 400和2000毫微米上薄膜之反射度和穿透度；4)薄膜移動 控制系統60，其按移動通過系統調節薄膜之張力，速度和 距離；5)預輝光供電器62。 分離且不與喷鍍儀器相連地添加潤滑層。如前所述，這 些潤滑劑通常相當薄。此類層能夠藉著在抗反射材料塗裝 一層或潤滑劑稀劑液，蒸發溶劑留下潤滑劑殘餘物。 本發明之抗反射材料適用於許多應用。一個特別常用之 應用係作爲陽極射線管前之低反射輕射異蔽。該導電層提 供一種可接地之透明輻射屏蔽。在本申請案中，該塑膠薄 膜產物能夠應用於玻璃CRT結構外部。其亦能夠層恩於結 構中。 此僅爲這些產物許多用途之一。其能夠用以作爲多格窗 片对光單元。多格窗構造尤其是具有内部塑膠薄膜或内部 玻璃表面者’於該技藝中已知並示於美國專利第3,935，351 號；第 4,335，166號；第4,835,264號等。 由以下實例將進一步敘述本發明。這些係用以説明本發 明，並非限制申請專利範圍中所定義之發明。 實例 實例1 將厚度0.007英寸之輕，硬k裝PET薄膜（Teijin)置入圖3 中所示一般形式之實驗規格輥喷鍍機。該薄膜之ΡΕτ指數 爲1.65。該硬塗裝指數爲1.49。薄膜朝向所以硬塗層面對噴 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） —i-ί~~----f ·裝------訂-----/4 I (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局we：工消費合作社印製 五、發明説明（16 ) 鍍站並通過機器5次。 通過I 在以下預輝光條件下進行薄膜第一次通過機器： 無金屬目標僅輝光 氣流：02 3.8 seem • 系統壓力：1 3微米 輝光電壓：1500伏特 輝光電流牵引：100 ma 直線速度：25毫米/秒 通過II 其後將薄膜回轉，繼之預輝光（如通過1般），並立即在以 下預條件下於第二通過中塗裝第一高指數層： 90 : 10銦/錫目標氣流：02 3.8 seem，Ar 19.4 seem 系統壓力：3.65微米 目標能量：5000瓦（DC) 直線速度：25毫米/秒 標稱層：170埃之銦/錫氧化物 通過III 其後將薄膜回轉·’繼之預輝光（如通過1般），並立即在以 下預條件下塗裝第一高指數層： . 硼添補矽目標 氣流：02 49.5 seem，Ar 100 seem 系統壓力：3.57微米 *··-- -19- 本紙張尺度適用中國國家標牟（CNS ) Α4規格（210X297公後） (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 裝-

、1T 沐 A7 B7 五、發明説明（17) 目標能量：5000瓦（AC)

直線速度：33毫米/秒 標稱層：230埃之銦/錫氧化物 通過IV 其後將薄膜回轉，繼之預輝光（如通過1般），並立即在以 下預條件下塗裝第一高指數層： 90 : 1 0銦/錫目標 氣流.02换直接添加但來自預輝光之過量，αγ 19.4 seem 系統壓力：3.09微米 目標能量：3000瓦（DC)

直線速度：6毫米/秒 標稱層：900埃之銦/錫氧化物 電阻板：每平方190歐姆 通過V 其後將薄膜回轉，繼之預輝光（如通過1般），並立即在以 下預條件下塗裝第二低指數層： 硼添補矽目標 龙濟部中央標準局員工消费合作社印袋 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 氣流：02 48.8 seem，Ar 90 seem 系統壓力：3.25微米 目標能量：5000.瓦（DC) 直線速度：8.4毫米/秒 . 標稱層：8 10埃之硼添補8丨〇2 其後使用旋轉塗佈裝置在抗反射層堆表面上從PF 5060 0.05%溶液沉積潤滑劑（Fluorad FC 722)薄層（低於1〇〇埃）。 —·· ·- -20- 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 320602 A7 五、發明説明（18 ) (此二材料可以取自3M公司）。 此產生具有圖4中所示抗反射性質之產物。一面上全部之 可見反射爲0.46%(未塗裝之PET典型上單面反射爲6 8%)。 該材料爲無色透明，如圖4中之光譜所示。 該抗反射塗層由其承受以機械筆在2〇〇克之尖端負載刮傷 之能力證明其具耐久性。（在同一測試中，無潤滑劑相等材 料者在35克之負载即被破壞。）塗裝表面界面能由於應用氟 聚合物潤滑劑之結果從6 〇達因/公分減低至3 〇達因/公分。 該塗裝通過使用3M 610膠帶之橫紋黏性測試。將該塗層置 於50°C 98%相對濕度中48小時後觀察無不良處，由該事實 顯π該塗層具有長期耐久性。該塗層之薄張電阻導電性低 於約每平方2000歐姆。 此型態之抗反射塗層具有數個重要益處。第一，其能夠 以至少一種播機材料，一高一低指數材料加上潤滑劑層材 料製造。此導致製造簡易和二個通過之製造，特別是直接 製造。另一個，其適才所説明，該塗層具耐久性。其抿抗 辨污，易於清潔和抗污染。 以導電性加強材料而論，藉著接地其導電層抗靜電性質 是可能的。此亦提供加強ΕΜΙ屏蔽。抗靜電性質將灰塵收 集和敏電組件之硪壞減至最低，導電層與塗層表面之緊密 度足以讓電有效連接於地面或另一電連接。 該塗層提供光學性質之優良平衡。其對於實例中所述之 抗反射層特別有效。其提供非常高可見透射比（低吸收率） 之材料，與金屬抗反射塗層不同。此將CRT光亮度提高至 21 ----f 裝------訂------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國豕標準（CNS ) A4規格（2丨〇χ297公楚） Α7 Β7 19 五、發明説明（ 最高。此外，抗反射層堆的確允許某種程度之UV傳遞。此 容許黏合膠黏劑之UV熟化，俏若塗裝薄膜層壓於另—表面 時。 該塗層非常具伸縮彈性，彈性且適用性。視使用之塑膠 基質而定（如較佳之PET材料），該塗裝產物能夠適合並符 合許多簡單和複雜之表面。 實例1。重複實例1之製備。基質爲硬塗裝PET。在其上 舖置5層無機透明材料。首先爲mi a之Si02，其後爲260 A 之ITO(導電）’然後爲263 A之Si02，637 A之ITO和924 A之

Si〇2。在此上面塗裝潤滑層以產生導電性之耐久材料，如 圖5中電腦產生之點所示。 實例3。重複實例1之製備。基質爲無硬塗裝之p £ τ。在 其上舖置5層無機透明材料。首先爲56〇入之8丨〇2，其後爲 72 Α 之 ΙΤΟ(導電），然後爲 943 Α 之 Si〇2，298 Α 之 ΙΤΟ 和205 A之Si〇2，702 A之ITO，902 A之Si〇2。在此上面塗裝潤滑 層以產生導電性之耐久材料，如圖6中電腦產生之點所示。 此爲一種"1 / 4 -1 / 4 -1 / 4 ”系統。 實例4。重複實例1之製備。基質爲無硬塗裝之p e τ ^在 其上舖置6層無機透明材料。首先爲丨12八之叮以導電），然 後爲 943 A之Si02 ·，363 A之ITO，76 A之 Si02， 888 A之 ITO，869 A之Si〇2。在此上面塗裝潤滑層以產生導電性之 耐久材料，如圖7中電腦產生之點所示。此爲一種”〖μι/4-1/4-1/4" 系統。 實例5。重複實例〗之製備。基質爲硬塗裝之ρΕτ。在其 22 >^適用中國國家揉準（〇叫八4^#>(21〇\297公釐） (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 裝------訂 紙 -1______ 本 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ____ B7 ________ 五、發明説明（2〇) 上舖置5層無機透明材料。首先爲1447 A之Si〇2，其後爲 193 A之ITO(導電），然後爲 223 A之 Si02，853 A之 ITO， 850 A之Si02。在此上面塗裝潤滑層以產生導電性之耐久材 料，如圖8中電腦產生之點所示。此爲一種·· 1 /4 -1 /4 - 1 /4 " 系統。 實例6。重複實例1之製備。基質爲硬塗裝之PET。在其 上舖置5層無機透明材料。首先爲13 27 A之Si02，其後爲 231 A之ITO(導電），然後爲 277 A之 Si02，6β3 A之 ITO， 917 A之Si02。在此上面塗裝澗滑層以產生導電性之耐久材 料，如圖9中電腦產生之點所示。此爲一種"1 /2 - 1 /4 - 1 /4 " 系統。 實例7 »重複實例1之製備。基質爲反射指數1.52之玻璃 。在其上舖置4層無機透明材料。首先爲218 A之ITO(導電） ，然後爲 200 A之 Si02，848 A之 ITO，873 A之 Si02。在此 上面塗裝潤滑層以產生導電性之耐久材料，如圖1 〇中電腦 產生之點所示。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -23- 本紙張尺度賴巾國國家標準（CNS )八4驗（210X297公後）

Claims (1)

1. / 第85104153號專利申請案 中文申請專利範圍修正本(ί, 六、申請專利範圍

   經濟部中央標準局貝工消費合作社^-製 1. 一種具抗反射性質之透光性薄膜，包括： 一透光聚酯薄膜基質，於其上黏附用以抗反射之表 面； 一多層抗反射塗層，包括 較靠近聚酯薄膜基質之第一層，包括導電性透光喷 鍍/几積播機材料，其選自金屬氧化物，金屬碳化物，金 屬氮化物，金屬氧氮化物，和金屬硫化物，其反射指數 爲1_88至2.15，厚度爲5〇至3 〇〇〇埃，及 第二層，包括導電性透光喷鍍沉積無機材料，其選 自無機氧化物，金屬氟化物，金屬氧氟化物，和金屬氟 氮化物，其反射指數爲14至1.6,厚度爲5 0至3000埃，及 一潤滑層存在於上面並黏附於抗反射塗層，該潤滑層 厚度爲200埃’成塊界面能低於4〇達因/公分。 2. —種具抗反射性質之耐久導電性聚酯薄膜，包括 一固鱧聚酯薄膜基質，存在欲黏附抗反射表面之表 面； 一多層抗反射塗層，包括一或多對層，各層依序具 有： ' 第一層，較靠近聚酯薄膜基質，其反射指數爲188 至2.15之喷艘沉積之透明無機材料，其選自金屬氧化 物，金屬碳化物，金屬氮化物，金屬氧氮化物，和金屬 硫化物，厚度爲50至3000埃，及 第二層’爲噴鍍沉積之透明無機材料，其選自無機 氧化物’金屬氟化物，金屬氧氟化物，和金屬氣氮化 表紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4规格（210X297公嫠） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 乂 32〇6〇2

   '申請專利範圍 A8 B8 C8 D8

   經 濟 部 中 A 標 準 工 消 費 合 作 社 物’其反射指數爲14至1.6，厚度爲5 0至3000埃，及 —潤滑層，具少於2〇〇埃之厚度’鬆界面能不大於40 達因/公分，位於多層抗反射塗層上面。 3’根據申請專利範圍第2項之薄膜，其中該抗反射層包栝 —對所述之層。 4根據申請專利範圍第2項之薄膜，其中該抗反射層包栝 一對所述之層。 5·根據申請專利範圍第2項之薄膜，其中該抗反射層包栝 三對所述之層。 6. 根據申請專利範圍第2項之薄膜，其中該第一層包括金 屬氧化物。 7. 根據申請專利範圍第2項之薄膜，其中該第一層包括導 電性金屬氧化物。 8·根據申請專利範圍第2項之薄膜，其額外包括一硬塗裝 層’位於薄膜基質上並介於基質和多層抗反射塗層之 間。 9. 根據申請專利範圍第2項之薄膜，其額外包括一底層， 該底層包括一可氧化金屬位於多層抗反射塗層之下。 10. 根據申請專利範圍第1項之薄膜，其中該基質爲聚酯， 且該抗反射塗層包括二對層， 第一對依序具有： 第一層，最靠近酯薄膜基質，其爲噴鍍沉積導電性 透明無機氧化物，反射指數爲1.88至2.15，厚度爲150至 5 0 0埃，和 -2- 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 锖 先 讀' 背 面 之 · 注 意 事 項 鼻

   t 訂 A8 B8 C8 ____ D8 六、申請專利範圍 第二層’爲噴鍍沉積之透明無機氧化物，其反射指 數爲1.4至1.6，厚度爲1 50至500埃，且 第二對層，具有： 第一層，爲喷鍍沉積導電性透明無機氧化物，反射 指數爲1.88至2_15，厚度爲5 00至1500埃，和 第二層，爲噴鍍沉積之透明無機氧化物，反射指數 爲1.4至1.6,厚度爲150至1500埃，和 一潤滑層，其界面能不大4〇達因/公分，位於抗反射塗 層上面。 - 11. 根據申請專利範圍第10項之薄膜，其中該二對中各對之 第一層係導電性之銦/錫氧化物，各對之第二層爲矽氧化 物。 12. 根據申請專利範團第10項之薄膜，其額外包括一硬塗裝 層，位於薄膜基質上面且介於基質和多層抗反射塗層之 間。 13. 根據申請專利範圍第1〇項之薄膜，其中該聚酯爲聚（對 苯二甲酸乙二醇酯）。 h—~~—— ______ __ - 3 - 本紙張从適用中邮家揉率（CNS )八4胁（21GX297公嫠）