CN1474949A - 低反射高透射触板膜 - Google Patents

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Abstract

适合用作屏幕界面显示器中触板膜电极的低反射、柔性、透明叠片，它包括柔性塑料衬底薄片，在所述薄片一个面上的外部导电层，及在所述薄片的至少一个面上的至少一对氧化物层的减反射叠层。一种优选叠片包括柔性的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄片衬底(1)，该衬底在一面或两面上具有硬涂层(2)，在一面上具有氧化铟锡层的外部导电表面(C)，并且在其一面或两面具有氧化物层的减反射叠层(3)，例如一层二氧化硅和一层氧化铟锡层的叠层。优选的叠片在460～700nm的整个范围对可见光至少具有90％的透射和低于2％的反射，并且该优选叠片作为触膜板电极特别有用，例如在计算机显示屏幕上。

Description

低反射高透射触板膜
此处公开的是低反射、柔性、透明、叠片电极及制造和使用这种电极的方法，例如，作为触板膜开关的柔性电极元件。
发明背景
一种现代化的电子输入装置是一种触板，该触板是安装在视频显示器前面的透明输入装置。触板包括两种平面电极，一种位于另外一种的上面(或前面)，并通过一薄间隔隔开。基底电极通常是坚硬的，而上电极是柔性的。柔性电极称作触板膜，并包括柔性薄片上的导电表面。在基底电极上印制塑料小点来形成隔开两电极的缝隙。两电极之间保持空气缝隙直到在一点对着基底电极挤压外部的柔性电极。该装置的电子元件然后计算形成两电极之间接触的空间位置。之后，按应用要求使用输入。
触板安装在显示器的前面，因此两电极都必须是光学上能透射的。按一般规则，透射越高越好。这常常通过制造已用透明导电材料覆盖的塑料或玻璃基底电极来实现。柔性电极是也已用透明导电材料覆盖的柔性塑料薄片。这两导电层面对面放置。在手指或笔尖压力下，柔性电极在点之间向下弯曲，并与基底电极形成电接触。
显示器中每个空气/表面的界面产生反射。这些反射使得来自于显示器的图象降级。触板膜具有两个表面/空气的界面。面向观察者的界面称作触板的“前”表面。在柔性薄片“背面”的导电表面界面面向空气缝隙。此后，这两个面称作“前”和“背”面。环境光和来自于显示器的光在这两个界面都发生反射。来自于显示器的光反射远离观察者，而环境光反射到观察者。这些反射的发生相结合导致改变显示器颜色，减小了亮度，降低了对比度。这是显示器特性的一种退化。
触板膜是基于柔性塑料薄片的一种复合构造。与基底电极形成接触的薄片的背面必须导电的。使用透明无机材料，或最近使用聚合物材料的薄层来提供导电性。
薄片的前面通常使用硬塑料层覆盖来承受手指或笔尖的持续接触。在产业中这些是所谓的‘硬涂层’。为了增加持久性，衬底的前后面可以用硬涂层覆盖。
发明概述
本发明提供作为触板膜电极的低反射、透明叠片。这里本发明的一个方面是提供在可见光区域既是低反射又是高透射的触板膜电极。通过降低从柔性电极的一个或两个表面反射的光，显示器的视图基本上得到改善。此外，叠片可以用于基底电极，例如，层叠在玻璃CRT显示屏上。这降低了从基底电极与空气缝隙相遇位置的反射。
本发明通过改性膜的前和/或后面，使用薄膜减反射层，恢复了显示器的颜色、亮度和对比度。为了得到最好的结果，薄膜的两个面都可以具有减反射层，并且基底电极也可以具有减反射层。除了使用减反射薄层之外，可以在物理上改变硬涂层本身来散射一些环境光，更进一步降低观察者看到的反射。
在本发明的一个方面之中，提供一种适合用作减反射膜电极的柔性透明叠片。这种叠片优先制造成连续薄板(web)，包括(a)柔性塑料衬底薄片，(b)在衬底薄片一面上的外部导电层，及(c)在衬底薄片至少一面上的至少一对氧化物层的减反射叠层。可以提供连续薄板的卷筒。
本发明可以用三种不同的方法实施。在每个实施例中，触板膜具有作为衬底的塑料薄膜薄片。该塑料薄膜是透光的，在400-750nm的可见光区域，至少为60％，更优选地至少为80％的透射或更高，更优选地是在460-700nm的可见光区域至少有90％的透射。塑料薄膜可以在一面或两面用抗划痕的层覆盖。该层可以具有光滑的表面或形成织构来提供减眩目的特性。硬层可以包括单一材料或不同材料的层。每一种材料可以是有机或无机的，均匀的或包括微粒的。
本发明的第一实施例包括在膜前面上的减反射薄膜叠层。该层叠层涂制于前表面，如果有硬层则位于硬层的顶部。减反射薄膜叠层可以包括1～10或更多的层。多层之一或更多可以是电学上导电的，例如降低静电荷。多层可以用真空工艺或从气体或液体淀积。减反射薄膜叠层在400～700nm之间将反射平均降低到2％或更低。减反射薄膜叠层的顶层可以是低表面能的抗指印的材料。该薄膜的背面只具有透明导电涂层。该层可以具有一层或更多的层。
本发明的第二实施例包括薄片背面上的减反射薄膜叠层。该层叠层涂制于背面，位于硬层的顶部，但位于导电层的下方。减反射薄膜叠层包括1到10或更多的层。多层之一或更多可以是导电的。这些层可以用真空工艺或从气体或液体淀积。减反射薄膜叠层在400～700nm之间将导电层的反射平均降低到5％或更低。该薄膜的前面只具有一硬层。
这种结构也可以用于触板或笔输入装置的基底电极。该薄膜可以叠层到具有导电层的面向空气缝隙的坚硬透明衬底。使减反射薄膜叠层位于基底电极之下来进一步改善显示器的视图。
本发明的第三实施例包括薄片前面和背面的减反射薄膜叠层。一叠层涂制于前面，如果有硬层则位于硬层的顶部。第二层叠层涂制于背面，位于任一硬层的顶部，但位于导电层的下方。减反射薄膜叠层包括1～10或更多的层。多层之一或更多可以是导电的。这些层可以用真空工艺或从气体或液体淀积。位于前面的减反射薄膜叠层在400到700nm之间将反射平均降低到2％或更低。减反射薄膜叠层的顶层可以是低表面能的抗指印材料。在背面，减反射薄膜叠层在400到700nm之间将导电层的反射平均降低到5％或更低。
本发明也提供在具有膜电极表面的显示屏幕的表面上用压力激活输入数据的装置的改善。这种改善是基于电极组件中减反射导电薄片的使用产生的。
附图简述
图1A，2A，3A，4A，5A，6A，7A，和8A是说明具有本发明的减反射特性的叠片电极的示意图。
图1B和8B是说明现有技术的叠片电极的示意图。
图1C，2B，3B，4B，5B，6B，7B，8C和9是说明透明叠片电极的光谱特性，例如可见光的反射和透射的曲线。
优选实施例详述
如此处所用的“可见光”是指电磁光谱在400-700nm的范围。
如此处所用术语“叠片”是指多层的薄片，其中材料的不同层用多种不同的方法涂制，例如真空淀积，溶液薄膜等。例如，如有机材料的层可以用于硬涂层，叠片的低表面能和导电聚合物层的通常涂制为溶液涂层的湿膜。如果无机材料的多层，如氧化物和氮化物可以用于叠片的预涂层、初始层、无机氧化物导体和减反射叠层通常是用真空淀积涂制。
本发明提供用作柔性膜电极，如触板或笔交互式屏幕的低反射透明叠片。在本发明的一个方面中，这种叠片电极是减小光反射和增强光透射的柔性触板膜。在柔性触板膜的所有实施例中，本发明的物理衬底是透明柔性的塑料薄片。这种塑料薄片衬底通常是聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)，并且厚度约为.007″。只要能提供所需要的物理性能，即好的光透射和足够的柔性，其它的塑料材料可以取代。要求的柔性依赖于板的设计和应用，并且由板设计者指定。
因为塑料薄片衬底相对比较柔软，通常通过增加硬涂层来增加衬底的表面硬度。硬涂层是将高硬度的涂层涂制到塑料薄片衬底上。该层的厚度必须足够提供所需的划痕阻力，但不会太厚以至于在使用中卷曲或破裂。这种厚度通常在1～10微米。硬涂层材料可以是有机物，无机物或两者的混合物。在一些情形下，总厚度可以由不同材料的几个薄层组成。硬涂层是众所周知的，并且是本领域中普通技术人员可以容易选择的。
硬涂层的表面通常是光滑的。可以有意使硬涂层的表面粗糙来降低远离表面的镜面反射。但是，当表面粗糙后镜面透射也减小。这些‘减眩目’的硬涂层可以包括微粒或可以图案化来产生所期望的表面。通常，可以使用任何与本发明材料兼容的透明硬涂层。硬涂层可以涂制到塑料薄片的前面或背面。也可以涂制到塑料薄片的两面。在一些应用中，可完全不需要硬涂层。
参照本发明叠片的第一实施例中的图1A，用透明硬涂层2和薄膜减反射叠层3覆盖塑料薄片衬底1的前面。叠片背面具有一透明导电层C。这种透明导电材料直接涂制到塑料薄片上或直接涂制到中间硬涂层2′上。导电层通常是透明导电的金属氧化物，如氧化铟锡(ITO)、氧化锑锡(ATO)、氧化锡、氧化铟锌等或导电聚合物。导电表面可以用金属或氧化层来保护，例如用0.5～50nm的钯、铬、锆、铝或钛，或0.5～10nm的氧化锡、氧化钛、氧化锆、氧化钽或氧化硅制成。
通常，本发明的叠片可以与任何类型的导电和光学上透明的材料组合。将一种减反射薄膜的叠层3涂制到叠片电极的前面。薄膜叠层中层的数量和材料的类型依赖于降低反射的程度。薄膜可以是均匀的或分级的，可以是有机的或无机的；并且，它们可以用真空淀积或从气体或液体涂制。有用的材料是氧化物和氮化物。在共同未决的申请序列号为09/085,844中公开了优选的减反射叠层。在国际申请WO06/31343和欧洲申请号为EP 0764857中也公开了减反射叠层，所有这些在此处引用作为参考。一种优选的减反射叠层包括氧化铟锡和和二氧化硅的交替层。叠层材料的其它结合在本领域中是众所周知的。设计叠层的各层使得空气/表面的界面产生减反射。所选择的衬底硬涂层材料的光学指数不是关键的，因为通常可以设计减反射叠层使得减反射任一普通材料。依赖于基底材料和所期望反射的程度，减反射叠层将包括高、低和中等指数材料的大量薄层。对所有的应用，前表面的反射将降低到低于2％。对于大多数应用，所期望的反射低于1％。
减反射薄膜叠层可以用低表面能的材料覆盖来提高前表面的方便清洁。该层结合在减反射薄膜叠层的设计中。在可见光谱的范围，图1C比较了如图1A所示的本发明的叠片与图1B所示的具有直接涂制到硬涂层2′上的导电层C的现有技术中的标准触膜的反射和透射。透射率的增加使显示更加明亮，从前表面反射的减小提高了对比度。
参照本发明第二实施例中的图2A，柔性、透明衬底的前面用硬涂层2覆盖，而背面具有硬涂层2′，薄膜减反射叠层3′和透明导电材料层C。在本发明的该第二实施例中，塑料薄片衬底的前面无减反射薄膜叠层。前面可以具有减小前面的一些反射的低表面能的层。
在电极的背面，将减反射薄膜叠层直接涂制到塑料薄片衬底上，但更优选地是在硬涂层上。设计叠层使得叠层中的外层(在空气缝隙处)是透明导电涂层，例如ITO。此外，可以按以上讨论的制作减反射叠层使从背面的反射降到最小。
用高折射率(约2.0)的透明导电材料作为导电层，可以在10～300nm的范围。依赖于所期望的电导率，优选的光学设计将要求非常薄层的材料，例如约10～30nm。这是由于在导电层和空气之间及导电层和塑料薄膜之间存在大的折射率失配。但是，导电层通常不是制作的这么薄来产生最低的反射。因为导电材料制作地比较薄时，表面的薄片电阻将增加。触板电子元件要求特定的薄片电阻，而光学系统必须提供必要的导电材料的厚度。
具有高指数的材料面对空气的结果是，从背面的反射通常没有降到低于2％。当透明的导电材料直接淀积到塑料薄片衬底的背面时，就产生可观的反射。因此，增加一薄膜减反射叠层极大地改善了光的透射。从背面的实际反射依赖于层的厚度和折射率。例如，在20nm的ITO导电层，其下面具有单一高折射率和单一低折射率的层，在400～700nm可以具有低于6％的平均反射。
该实施例作为触板电极的任一电极，即作为柔性电极或作为粘附到CRT或其它显示器的玻璃面上具有面向空气缝隙的导电涂层的坚硬基底电极方面是有用的。当涂制到坚硬衬底上时，硬涂层可以使用，但是通常不需要。例如，叠片电极可以涂制到具有减反射叠层和面向空气缝隙的导电表面的坚硬衬底上。导体/空气的界面也是低反射和高透射的来提供显示器已改善的视图。为了得到最好的结果，至少在减反射叠层的一面其特征是连续、柔性的膜。
图2B在可见光谱的范围比较了如图2A所述本发明的叠片与如图1B所示的现有技术的柔性电极的反射和透射。透射率的增加使显示更加明亮，从前表面反射的减小提高了对比度。
参照本发明第三实施例中的图3A，如上所述，塑料薄片衬底1的两面具有如上所述的硬涂层2和2′及减反射薄膜叠层3和3′。背面还具有导体层C。这是本发明的具有最高特性的优选实施例，其前表面的反射低于2％，优选小于1％。图3B在可见光谱的范围比较了如图3A所示的本发明的叠片与图1B所示的现有技术的柔性电极的反射和透射。透射率的增加使显示更加明亮，从前表面反射的减小提高了对比度。
以下实例是为了说明而不是限定本发明的范围。对这些实例的修改对本领域的技术人员是显而易见的。
实例1
背面(导电表面)减反射
该实例说明如图4A所示在衬底背面上具有多层的本发明叠片的部分制作。叠片的衬底1是透明的柔性PET薄片，具有0.18mm(7mil)的厚度，并在一面用厚度约为3～4微米(μm)的清晰硬涂层2覆盖，而在另一面用厚度约为3～4μm的减眩目(粗糙表面)的硬涂层2′覆盖。随后的层在具有81厘米(32英寸)的圆筒和112×28cm(14×11英寸)的阴极的滚筒到滚筒的真空溅射涂镀装置中涂制。
预处理：在以4.6米每分钟(mpm)(每分钟15英尺)通过的减眩目硬涂层上通过DC溅射从钛靶淀积氧化钛预处理层4′，淀积条件为功率1千瓦(KW)、总气压1.5毫乇(mTorr)，在以175标准立方厘升每分钟(sccm)提供的50∶50的氩/氧混合气体中进行。
初始层：在以4.6mpm通过的氧化钛预处理层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积氧化硅初始层5′，淀积条件为功率12KW、总气压2.6mTorr，在以271sccm提供氩和以50sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
二氧化钛层：在以1.4mpm通过的氧化硅初始层上通过双磁控管溅射从钛靶淀积厚度为28nm的二氧化钛减反射叠层组件层6′，淀积条件为功率40KW、总气压1.7mTorr，在以215sccm提供氩和以80sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
二氧化硅层：在以1.4mpm通过的二氧化钛层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积厚度为64nm的二氧化硅减反射叠层组件层7′，淀积条件为功率30KW、总气压3.0mTorr，在以270sccm提供氩和以170sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
氧化铟锡层：在以2.3mpm通过的二氧化硅层上通过DC溅射从氧化铟锡靶淀积厚度为16nm的氧化铟锡外部导电层C(它也是减反射叠层的组成部分)，淀积条件为功率6.3KW、总气压1.64mTorr，在以175sccm提供氩和以11sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。导电涂层具有300～325欧姆/平方的电导率。
在衬底的导电涂层一侧的叠片结构在550nm处具有91.73％的透射率，4.82％的反射率和3.45％的吸收。在可见光谱更宽范围的透射和反射的数据示于图4B中。叠片结构展现了好的附着、硬度和耐磨损性能。
实例2
前面(使用者界面侧)减反射
该实例参照图5说明在衬底前面(使用者界面)具有多层的本发明叠片的部分制作。叠片用实例1中所描述的硬涂层覆盖的PET衬底来制备。用实例1中描述的真空溅射装置在衬底的前侧上构造氧化物的减反射叠层，该装置用于所有的层但低表面能的含氟聚合物层从溶液涂敷。
预处理：在以3.7mpm通过的清晰硬涂层上通过DC溅射从钛靶淀积氧化钛预处理层4，淀积条件为功率1千瓦(KW)、总气压1.5毫乇(mTorr)，在以175sccm提供的50∶50的氩/氧混合气体中进行。
初始层：在以3.7mpm通过的氧化钛预处理层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积氧化硅初始层5，淀积条件为功率12KW、总气压2.6mTorr，在以270sccm提供氩和以50sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
第一氧化铟锡层：在以3.1mpm通过的氩化硅初始层上通过DC磁控管溅射从氧化铟锡靶淀积厚度为25nm的第一氧化铟锡减反射叠层组件层8，淀积条件为功率5.5KW、总气压1.4mTorr，在以175sccm提供氩和以13sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
第一二氧化硅层：在以3.1mpm通过的第一氧化铟锡层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积厚度为25nm的第一二氧化硅减反射叠层组件层7，淀积条件为功率28KW、总气压3.0mTorr，在以270sccm提供氩和以170sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
第二氧化铟锡层：在以0.9mpm通过的第一二氧化硅减反射叠层组件层上通过DC磁控管溅射从氧化铟锡靶淀积厚度为73nm的第二氧化铟锡减反射叠层组件层8，淀积条件为功率5.5KW、总气压1.4mTorr，在以175sccm提供氩和以13sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
第二二氧化硅层：在以0.9mpm通过的第二氧化铟锡减反射叠层组件层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积厚度为94nm的第二二氧化硅减反射叠层组件层7，淀积条件为功率28KW、总气压3.0mTorr，在以270sccm提供氩和以170sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
低表面能层：在第二二氧化硅减反射叠层组件层上从溶液淀积低表面能的含氟聚合物层9，并允许干燥的聚合物薄膜具有5～10nm的厚度，并具有低于40dynes/cm的表面能。
参照图5A在该实例2中制备的叠片结构包括透明、柔性的厚度为0.18mm(7mils)的PET衬底1。在衬底的前面具有清晰硬涂层2、氧化硅初始层5、包括厚度为25nm的第一氧化铟锡层7，厚度为25nm的第一二氧化硅层6、厚度为73nm的第二氧化铟锡层7、厚度为94nm的第二二氧化硅层6的减反射叠层和低表面能层8。在衬底背面有减眩目的硬涂层2′和导电层C。图5B示出对可见光的透射率和反射率的数据。叠片结构展现了好的附着、硬度和耐磨损性能。
实例3
两面(使用者界面侧)减反射
该实例说明在柔性衬底的前面(使用者界面)和背面(观察者界面)上具有减反射层的本发明叠片的制作。叠片用实例1所描述的硬涂层覆盖的PET衬底来制备。按实例1所述在衬底的背面构建氧化物层的减反射叠层，按实例2所描在衬底的前面构建氧化物层的减反射叠层。
参照图6示出本发明的叠片，该叠片在PET衬底1的背面具有硬涂层2′，氧化钛预涂层4′，氧化硅初始层5′，包括厚度为28nm的二氧化钛膜6′，厚度为64nm的二氧化硅层7′和也作为电极表面的厚度为16nm的氧化铟锡层C的薄膜减反射叠层。在PET衬底的前面具有硬涂层2，氧化钛预涂层4，氧化硅初始层5，包括厚度为25nm的第一氧化铟锡层，厚度为25nm的第一二氧化硅层、厚度为73nm的第二氧化铟锡层和厚度为94nm的第二二氧化硅层的减反射叠层，及厚度为5～10nm的含氟聚合物的低表面能层。前侧的光学性能表明叠片在550nm处具有95.85％的透射，0.78％的反射和3.37％的吸收。叠片的前面和背面的透射和反射特性基本上是相同的。图6B示出从叠片的前面记录的可见光的透射和反射数据。叠片结构展现了好的附着、硬度和耐磨损性能。
实例4
该实例说明可用于本发明叠片的减反射叠层的可替换制作，例如，在柔性衬底的前面(使用者界面)。在实例1中制备的叠片用于使用实例1中描述的真空溅射装置在前面构建氧化层的减反射叠层。如实例1中所述，PET衬底1的背面具有硬涂层2′，氧化钛预涂层4′，氧化硅初始层5′，二氧化钛层6′，二氧化硅层7′和氧化铟锡层导体层C。
预处理：在以0.9mpm通过的清晰硬涂层上通过DC磁控管溅射从钛靶淀积氧化钛预处理层4，淀积条件为功率0.8千瓦(KW)、总气压1.5毫乇(mTorr)，在50∶50的氩/氧混合气体中进行。
中间层：在以0.9mpm通过的氧化钛预处理层上通过双磁控管溅射从铝靶淀积氧化铝中间层10，淀积条件为功率30KW、总气压3.0mTorr，在以270sccm提供氩和以150sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
氧化铟锡层：在以0.9mpm通过的氧化铝初始层上通过DC磁控管溅射从氧化铟锡靶淀积氧化铟锡减反射叠层组件层8，淀积条件为功率5.5KW、总气压1.4mTorr，在以175sccm提供氩和以13sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
三氧化硅层：在以0.9mpm通过的氧化铟锡层上通过双磁控管溅射从掺硼硅靶淀积二氧化硅减反射叠层组件层7，淀积条件为功率30KW、总气压3.0mTorr，在以270sccm提供氩和以170sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。
低表面能层：在第二二氧化硅减反射叠层组件层上从溶液淀积低表面能的含氟聚合物层9，并允许干燥聚合物薄膜具有5～10nm的厚度，并具有低于40dynes/cm的表面能。
图7B绘制出了叠片的光学性能，即可见光的透射率和反射率。
实例5
该实例说明用实例1描述的真空溅射装置制备的现有技术的透明叠片电极。
A.如图8A所示，柔性、透明、减反射电极包括PET衬底1，该衬底具有包括厚度为28nm的二氧化钛层6′和厚度为64nm的二氧化硅层7′的一对减反射层和具有约300欧姆每平方的导电率的氧化铟锡导电层C。该叠片的前面的光学性能在550nm处约具有92.33％的透射率，5.16％的反射率和2.51％的吸收。
B.如图8B所示，现有技术的柔性、透明电极包括在以4mpm通过的PET衬底1的一个面上淀积的电导率约为300欧姆每平方的氧化铟锡层C，该层通过DC磁控管溅射从氧化铟锡靶淀积，淀积条件为功率0.5KW、总气压1.5mTorr，在以175sccm提供氩和以9sccm提供氧的氩/氧混合气体中进行。这种叠片结构的前面的光学性能在550nm处约具有84.75％的透射率，13.55％的反射率和1.7％的吸收。
图8C示出在更宽的可见光谱范围该实例5的叠片的透射率和反射率值。
实例6
该实例说明从实例4中制备的叠片的一个面的反射率的测量。叠片的氧化铟锡导体表面是粗糙的，并且涂制成黑色。在前面和背面测量的叠片的反射率绘制在图9中。
提出在前描述的描述目的是为了描述本发明的不同(不是全部)方面和向本领域的技术人员讲述如何制作和使用本发明公开的实施例和明显修改及改进的实施例，这些对本领域的技术人员是显而易见的。因此，前述内容只是看作范例，而本发明的全部范围和广度从以下的权利要求中得到确定。

Claims (19)

1.一种低反射透明电极，包括
(a)柔性塑料衬底薄片，
(b)在所述薄片一个面上的外部导电层，及
(c)在所述薄片的至少一个面上的至少一对不同折射率材料的层的减反射叠层。
2.根据权利要求1的电极，其中所述外部导电层包括导电金属氧化物或导电聚合物。
3.根据权利要求2的电极，其中所述外部导电层包括氧化铟锡。
4.根据权利要求1的电极，在所述薄片具有外部导电层的一面上具有减反射叠层，其中该叠层位于所述薄片和外部导电层之间。
5.根据权利要求1的电极，在所述薄片与外部导电层相对的一面上具有减反射叠层。
6.根据权利要求1的电极，在所述薄片的两面上具有减反射叠层。
7.根据权利要求6的电极，其中所述外部导电层包括导电金属氧化物或导电聚合物。
8.根据权利要求7的电极，其中所述外部导电层包括氧化铟锡。
9.根据权利要求1的电极，其中所述减反射叠层包括至少一对包括氧化硅层和氧化铟锡邻近层的层。
10.一种包括根据权利要求1的叠片的低反射、柔性、透明、触板电极，其中所述叠片在400～700nm的可见光范围对可见光的反射不超过6％，对可见光的透射至少为80％。
11.根据权利要求10的电极，在460～700nm的可见光范围对可见光的反射不超过2％，对可见光的透射至少为90％。
12.一种适合用作触板显示器的柔性膜电极的叠片，包括柔性的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄片衬底，在该衬底一面上具有包括氧化铟锡层的外部导电表面，并在该衬底两面上具有包括至少一层二氧化硅层和至少一层氧化铟锡邻近层的减反射叠层。
13.根据权利要求12的叠片，在与外部导电表面相对的一面上具有低表面能材料的外部层。
14.根据权利要求13的叠片，在所述薄片的至少一面上具有邻近聚合物衬底的硬涂层。
15.根据权利要求14的叠片，在460～700nm的范围对可见光具有至少90％的透射和对可见光低于2％的反射。
16.在具有膜电极的显示屏幕表面上通过压力激活输入数据的装置中，其中改善在于所述膜电极包括至少一个根据权利要求1的柔性透明电极。
17.一种人机对话式显示器屏幕，具有粘附到坚硬玻璃屏幕表面的第一减反射、透明叠片电极，及相对的柔性、减反射、透明的第二电极，当所述第二电极弯曲与所述第一电极接触时，该第二电极适合与所述第一电极相互作用，其中所述电极至少之一包括
(a)柔性塑料衬底薄片，
(b)在所述薄片一面上的外部导电层，及
(c)在所述薄片的至少一个面上的至少一对不同折射率材料层的减反射叠层。
18.一种适合用作减反射膜电极的柔性透明叠片，其中所述叠片包括：
(a)柔性塑料衬底薄片，
(b)在所述薄片至少一面上的外部导电层，及
(c)在所述薄片的至少一个面上的至少一对氧化物层的减反射叠层。
19.根据权利要求18的叠片是连续薄板的卷筒形状。
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