JPH1173119A - 電磁波シールド効果を有する反射防止コート及び反射防止コートを有する光学部材 - Google Patents
電磁波シールド効果を有する反射防止コート及び反射防止コートを有する光学部材Info
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Abstract
ラウン管や他の機器などから発生する電磁波を有効に遮
蔽することができ、視界を妨げることがなく、目の疲労
を少なくすることができる電磁波低減反射防止コート及
び該電磁波低減反射防止コート付光学部材を提供するこ
と。 【解決手段】 透光性金属薄膜層を含む3層以上の透光
性薄膜層で構成されているか、あるいは、1000Å以
上の膜厚または100Ω/□以下のシート抵抗率を有す
る透明導電性層と2層以上の他の透光性薄膜層で構成さ
れている電磁波低減反射防止コート及び該電磁波低減反
射防止コートを有する光学製品。
Description
有する反射防止コ一ト及び反射防止コ一ト付光学部材に
関する。
テレビのブラウン管やその他の機器などから放射される
電磁波の身体に及ぼす悪影響、他の機器への障害が問題
となっている。
来行われていた方法は、金網などの向こう側が見える導
電物で覆うことであった。
機器、テレビのブラウン管をこれら導電物で覆った場
合、金網などを構成する細線でブラウン管画面が見にく
くなり、使用者の目が疲れるという問題があった。ま
た、住宅、自動車の窓に用いた場合は、金網などを構成
する細線で視界がさえぎられるという問題があった。
トメーション機器、テレビのブラウン管や他の機器など
から発生する電磁波を有効に遮蔽することができ、視界
を妨げることがなく、目の疲労を少なくすることができ
る電磁波低減反射防止コート及び電磁波低減反射防止コ
ート付光学部材を提供することにある。
なくとも1層の透光性金属薄膜層を含む3層以上の透光
性薄膜層で構成されていることを特徴とする電磁波低減
反射防止コート。 (2)基板と基板に最も近い透光性金属薄膜層との間、
および、基板からみて基板から最も離れた位置にある透
光性金属薄膜層よりも更に離れた位置に反射防止コート
を構成する層が少なくとも1層あることを特徴とする上
記(1)に記載の電磁波低減反射防止コート。 (3)透光性金属薄膜層が複数の層で構成されているこ
とを特徴とする上記(1)または(2)に記載の電磁波
低減反射防止コート。 (4)透光性金属薄膜層が、Au、Pt、Ag、Co、
Mo、Al、Cuから選ばれた少なくとも1つの金属で
構成されていることを特徴とする上記(1)〜(3)の
いずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 (5)透光性金属薄膜層の、基板からみて遠い側に、高
屈折率の透光性薄膜層が形成されていることを特徴とす
る上記(1)〜(4)のいずれかに記載の電磁波低減反
射防止コート。 (6)高屈折率の透光性薄膜層に挟まれて透光性金属薄
膜層が設けられていることを特徴とする上記(1)〜
(5)のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 (7)透光性金属薄膜層に接して少なくとも1層の透明
導電性層が設けられていることを特徴とする上記(1)
〜(6)のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コー
ト。 (8)透光性金属薄膜層のシート抵抗率が100Ω/□
以下であることを特徴とする上記(1)〜(7)のいず
れかに記載の電磁波低減反射防止コート。 (9)透光性金属薄膜層の膜厚が300Å以下であるこ
とを特徴とする上記(8)に記載の電磁波低減反射防止
コート。 (10)透光性金属薄膜層の膜厚が200Å以下である
ことを特徴とする上記(8)または(9)に記載の電磁
波低減反射防止コート。 (11)基板上に形成される反射防止コートであって、
反射防止コートが少なくとも1層の膜厚1000Å以上
の透明導電性層と2層以上の他の透光性薄膜層で構成さ
れていることを特徴とする電磁波低減反射防止コート。 (12)基板上に形成される反射防止コートであって、
反射防止コートが少なくとも1層のシート抵抗率が10
0Ω/□以下である透明導電性層と2層以上の他の透光
性薄膜層で構成されていることを特徴とする電磁波低減
反射防止コート。 (13)透明導電性層の両側に、それぞれ、少なくとも
1層の反射防止コートを構成する層が設けられているこ
とを特徴とする上記(11)または(12)に記載の電
磁波低減反射防止コート。 (14)透明導電性層の基板から見て遠い側に、透明導
電性層の屈折率よりも低い屈折率の透光性薄膜層が形成
されていることを特徴とする上記(11)〜(13)の
いずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 (15)透明導電性層の基板側に、透明導電性層の屈折
率と、基板から見て遠い側に設けられた透明導電性層の
屈折率よりも低い屈折率の透光性薄膜層の屈折率との間
の屈折率を有する透光性薄膜層が形成されていることを
特徴とする上記(14)に記載の電磁波低減反射防止コ
ート。 (16)透明導電性層の両側に、それぞれ、該層の屈折
率よりも低い屈折率の透光性薄膜層が形成されているこ
とを特徴とする上記(11)〜(13)のいずれかに記
載の電磁波低減反射防止コート。 (17)透明導電性層が酸化インジュウムとスズを含む
層であることを特徴とする上記(11)〜(16)のい
ずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 (18)基板上に、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率
の透光性薄膜層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率層
の透光性薄膜層が順次形成される反射防止コートであっ
て、高屈折率の透光性薄膜層の少なくとも1層が、膜厚
1000Å以上の透明導電性層で構成されていることを
特徴とする電磁波低減反射防止コート。 (19)基板上に、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率
の透光性薄膜層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率層
の透光性薄膜層が順次形成される反射防止コートであっ
て、高屈折率の透光性薄膜層の少なくとも1層が、シー
ト抵抗率が100Ω/□以下の透明導電性層であること
を特徴とする電磁波低減反射防止コート。 (20)基板上に、低屈折率層の透光性薄膜層、高屈折
率の透光性薄膜層、低屈折率の透光性薄膜層、高屈折率
の透光性薄膜層、低屈折率層の透光性薄膜層が順次形成
される反射防止コートであって、高屈折率の透光性薄膜
層の少なくとも1層が、膜厚1000Å以上の透明導電
性層で構成されていることを特徴とする電磁波低減反射
防止コート。 (21)基板上に、低屈折率層の透光性薄膜層、高屈折
率の透光性薄膜層、低屈折率の透光性薄膜層、高屈折率
の透光性薄膜層、低屈折率層の透光性薄膜層が順次形成
される反射防止コートであって、高屈折率の透光性薄膜
層の少なくとも1層が、シート抵抗率が100Ω/□以
下の透明導電性層であることを特徴とする電磁波低減反
射防止コート。 (22)プラスチックよりなる光学部材上に、上記
(1)〜(21)のいずれかに記載の電磁波低減反射防
止コートを形成したことを特徴とする光学部材。 (23)プラスチックよりなる光学部材が、70℃以上
の耐熱性を有する材料により構成されていることを特徴
とする上記(22)に記載の光学部材。 (24)ガラスよりなる光学部材上に、上記(1)〜
(21)のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート
を形成したことを特徴とする光学部材。 (25)フィルム状光学部材上に、上記(1)〜(2
1)のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コートを形
成したことを特徴とする光学部材。 (26)フィルム状光学部材が偏光機能を有しているこ
とを特徴とする上記(25)に記載の光学部材。 (27)光学部材と電磁波低減反射防止コートとの間に
ハードコート層が設けられていることを特徴とする上記
(22)〜(25)のいずれかに記載の光学部材。 (28)電磁波低減反射防止コート上に、ハードコート
層を設けたことを特徴とする上記(22)〜(27)の
いずれかに記載の光学部材。 (29)上記(22)〜(28)のいずれかに記載の光
学部材を他の光学部材と接合してなることを特徴とする
光学部材。 (30)他の光学部材と接合して使用される光学部材で
あって、他の光学部材と接合される側の光学面に導電性
層を含む電磁波低減反射防止コートが形成されているこ
とを特徴とする光学部材。 (31)導電性層が膜厚1000Å以上の透明導電性層
であり、電磁波低減反射防止コートが形成されている光
学部材側の第1層は、屈折率が、光学部材の屈折率<第
1層の屈折率<透明導電性層の屈折率の条件を満足する
透光性薄膜層であることを特徴とする上記(30)に記
載の光学部材。 (32)導電性層が膜厚1000Å以上の透明導電性層
であり、光学部材から最も離れた層の屈折率が、最も離
れた層に接する他の光学部材側の材料の屈折率<最も離
れた層の屈折率<透明導電性層の屈折率の条件を満足す
る透光性薄膜層であることを特徴とする上記(30)に
記載の光学部材。 (33)導電性層が、少なくとも酸化インジウムを含む
透明層であることを特徴とする上記(31)または(3
2)に記載の光学部材。 (34)導電性層が、少なくとも酸化インジウムとスズ
を含む透明層であることを特徴とする上記(31)また
は(32)に記載の光学部材。 (35)導電性層が透光性金属薄膜層であり、電磁波低
減反射防止コートが形成されている光学部材側の第1層
は、屈折率が、光学部材の屈折率<第1層の屈折率の条
件を満足する透光性薄膜層であることを特徴とする上記
(30)に記載の光学部材。 (36)導電性層が透光性金属薄膜層であり、光学部材
から最も離れた層は、屈折率が、最も離れた層に接する
他の光学部材側の材料の屈折率<最も離れた層の屈折率
の条件を満足する透光性薄膜層であることを特徴とする
上記(30)に記載の光学部材。 (37)透光性金属薄膜層が少なくともAu、Ag、C
u、Pt、Mo、Co、Alのいずれかの金属を含む層
であることを特徴とする上記(35)または(36)に
記載の光学部材。 (38)導電性層のシート抵抗が100Ω/□以下であ
ることを特徴とする上記(30)〜(37)のいずれか
に記載の光学部材。 (39)光学部材がフィルムで構成されていることを特
徴とする上記(30)〜(38)のいずれかに記載の光
学部材。 (40)フィルムが偏光機能を有していることを特徴と
する上記(39)記載の光学部材。 (41)光学部材または他の光学部材の少なくとも一方
がポリカーボネートで構成されていることを特徴とする
上記(29)〜(40)のいずれかに記載の光学部材。 (42)上記(39)または(40)の光学部材を光学
レンズの間に挟みこんでなる光学レンズ。 によって達成される。
効に透過することを意味している。
ィスオートメーション機器、テレビのブラウン管の前面
に設置して使用する場合には、反射防止コート付光学部
材全体として25%以上の光透過性があることが、目の
疲労防止のために好ましい。
1000Å以上の透明導電性層あるいはシート抵抗率が
100Ω/□以下である透明導電性層(以下、これらを
併せて導電性層ということもある。)は導電性を与え、
電磁波を有効に遮蔽する。
合、膜厚が1000Å未満であったり、シート抵抗率が
100Ω/□を越える場合には電磁波を有効に遮蔽する
ことはできない。
性が優れてはいるが、導電性を高めるために膜厚を厚く
すると光透過率が低下したり、他の欠点が生じたりする
ので、使用目的に合う膜厚とすることが好ましい。透光
性金属薄膜層の場合、膜厚は300Å以下とすることが
望ましく、200Å以下とすることが更に望ましい。
は、透光性金属薄膜層のシート抵抗率を100Ω/□以
下とすることが望ましい。
光性金属薄膜層との間、および、基板から見て基板から
最も離れた位置にある透光性金属薄膜層より更に離れた
位置に反射防止コートを構成する層(反射防止効果を有
する透光性薄膜層)を少なくとも1層設ける、あるい
は、膜厚1000Å以上の透明導電性層やシート抵抗率
が100Ω/□以下である透明導電性層を反射防止コー
トの一部に用いることによって、反射防止コートの入射
側、反射側ともに反射防止の効果を得ることができる。
は、Au、Pt、Ag、Co、Mo、Al、Cuなどを
用いることができる。
ジウム、酸化インジウムとスズの混合物(ITO)、酸
化スズ、酸化スズとアンチモンの混合物、酸化亜鉛、酸
化マンガン、あるいはこれらの混合物を用いることがで
きる。
でシート抵抗の値を変えることができるが、本発明を実
現するためには、スズの含有量は10重量%以下とする
ことが望ましい。
あらかじめ所定の比率で組成し、透明導電性層の蒸発材
料として使用することができるが、その他に、酸化前の
金属を蒸発材料として反応ガス中で蒸着したり、酸化前
の金属で金属膜を形成後反応ガスのプラズマにさらすこ
とで透明導電性層を得ることができる。
化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化タン
タル、酸化プラセオジム、酸化ハフニウム、酸化アルミ
ニウム、酸化シリコンなど及びこれらの混合物を用いる
ことができる。
しない場合には、低屈折率材料の屈折率としては、基板
の屈折率以下、さらには1.55以下が望ましく、材料
として二酸化シリコンや弗化マグネシウムなどがある。
高屈折率材料としては、1.8以上の屈折率を持つこと
が望ましく、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリ
ウム、酸化タンタル、酸化プラセオジム、酸化ハフニウ
ムなど及びこれらの混合物がある。屈折率が1.55〜
1.8にある材料については、高屈折率層と低屈折率層
とからなる交互層の、等価膜の材料として利用すること
ができる。
ようとする場合、抵抗値や着色の調整、膜強度の向上の
ために、透明導電性層の一部を誘電体で置き換えること
ができる。すなわち、透明導電性層の形成の前また/及
び後に所望のシート抵抗値及び反射防止性能をえること
ができる膜厚の範囲において、他の透光性誘電体薄膜を
形成し、前記透明導電性層とあわせて透明導電性層とみ
なすことができる。
折率の透光性薄膜層で挟んで形成する場合、高屈折率の
透光性薄膜層の屈折率を1.5以上とすることが好まし
い。
透光性金属薄膜層の膜厚を薄くした場合、透光性金属薄
膜層を構成する金属が島状に形成され、十分な電磁波遮
蔽性がえられる導電性が得られない場合があるが、透光
性金属薄膜層に接して透明導電性層を設けると、透光性
金属薄膜層単独の導電性及び透明導電性層単独での導電
性からは予測されない導電性が得られ、十分な電磁波遮
蔽性を得ることができる。
明導電性層、その他の透光性薄膜層の形成手段は特に限
定されるものではなく、従来周知の手段を用いて形成す
ることができる。本発明において用いられるこれら薄膜
層の形成方法としては、例えば、蒸着法、RFイオンプ
レーティング法、スパッタリング法、CVDを挙げるこ
とができる。
脂、紫外線硬化型の樹脂、電子線硬化型の樹脂などの樹
脂を用いる周知の方法で形成することができる。
ーコートとして基板に直接設けてもよく、また、オーバ
ーコートとして反射防止コートの上に設けてもよい。基
板にハードコート層を設けてから反射防止コートを設け
ると反射防止コートの付着力や基板の表面強度を向上す
ることができる。この時、ハードコート層の屈折率を基
板の屈折率に可能な限り近づけておくと色ムラの発生を
少なくすることができる。
る場合、付着力や強度を向上させるために、ハードコー
ト層や反射防止コートにシラン化合物による処理、プラ
ズマ処理、紫外線処理等の周知の前処理を施すことがで
きる。
ト付光学部品において、表面に撥水処理を施すことがで
きる。撥水処理は防曇効果、防汚効果をもたらし好まし
い。
は、透明性を有するものであればいずれでも用いること
ができるが、実用的にはプラスチック基板、ガラス基板
が用いられる。プラスチック基板はコーティング作業時
の加熱、温度上昇に耐えるに十分な強度を有するような
耐熱性を有することが望ましい。
どを透明性を損なわない範囲で着色することができる。
特定波長吸収剤を混入したり、染色する、などの手段が
あり、これらと電磁波低減反射防止コートを組み合わせ
ることにより、電磁波低減と同時に、紫外線カット、赤
外線カット、コントラスト向上などの効果を得ることが
できる。
もできる。
紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射してハードコー
トを形成し、ハードコート層を有する透明なアクリル系
樹脂基板(以下、単に「アクリル基板」という。)及び
ハードコート層を有する透明なポリカーボネート基板
(以下、単に「ポリカーボネート基板」という。)作成
した。
ネート基板に下記に従って反射防止コートを形成し、試
料1〜7を作成した。 試料1(本発明) アクリル基板に、第1層として膜厚450Åの5%のス
ズを含む酸化インジュウムとスズとの混合物(以下、
「ITO」という。)の層をRFイオンプレーティング
により形成し、第2層として膜厚150ÅのAu層を真
空蒸着により形成し、第3層として膜厚450Åの酸化
チタンと酸化ジルコニウムとの混合物(以下、混合物A
という。)の層を真空蒸着により形成し、反射防止コー
トを形成した光学部材を得た。
の透光性薄膜層/透光性金属薄膜層/高屈折率の透光性
薄膜層からなる層構成を有している。 試料2(本発明) アクリル基板に、第1層として膜厚450ÅのITOの
層をRFイオンプレーティングにより形成し、第2層と
して膜厚150ÅのAu層を真空蒸着により形成し、第
3層として膜厚250Åの混合物Aの層を真空蒸着によ
り形成し反射防止コートを形成し、第4層として膜厚4
00Åの二酸化シリコンの層を真空蒸着により形成し、
反射防止コートを形成した光学部材を得た。
の透光性薄膜層/透光性金属薄膜層/高屈折率の透光性
薄膜層/低屈折率の透光性薄膜層からなる層構成を有し
ている。 試料3(本発明) アクリル基板に、第1層として膜厚350Åの二酸化シ
リコンの層を真空蒸着により形成し、第2層として膜厚
380ÅのITOの層をRFイオンプレーティングによ
り形成し、第3層として膜厚100ÅのAu層を真空蒸
着により形成し、第4層として膜厚170ÅのITOの
層をRFイオンプレーティングにより形成し、第5層と
して膜厚550Åの二酸化シリコンの層を真空蒸着によ
り形成し、反射防止コートを形成した光学部材を得た。
の透光性薄膜層/高屈折率の透光性薄膜層/透光性金属
薄膜層/高屈折率の透光性薄膜層/低屈折率の透光性薄
膜層からなる層構成を有している。 試料4(本発明) ポリカーボネート基板に、第1層として膜厚30ÅのP
t層を真空蒸着により形成し、第2層として膜厚100
ÅのAg層を真空蒸着により形成し、第3層として膜厚
400ÅのITOの層を−100Vの電圧を印加しなが
らRFイオンプレーティングにより形成し、反射防止コ
ートを形成した光学部材を得た。
透光性金属薄膜層/透光性金属薄膜層/高屈折率の透光
性薄膜層からなる層構成を有している。 試料5(本発明) ポリカーボネート基板の一方の側に、第1層として膜厚
780Åの酸化アルミニウムの層を真空蒸着により形成
し、第2層として膜厚1270ÅのITOの層をRFイ
オンプレーティングにより形成し、第3層として膜厚8
90Åの二酸化シリコンの層を真空蒸着により形成し
た。また、他方の側にも、上記と同一第1層、第2層及
び第3層を形成し、両面に反射防止コートを形成した光
学部材を得た。
/透光性導電層/低屈折率の透光性薄膜層/ポリカーボ
ネート基板/低屈折率の透光性薄膜層/透光性導電層/
高屈折率の透光性薄膜層からなる層構成を有している。 試料6(本発明) ポリカーボネート基板の一方の側に、第1層として膜厚
360Åの二酸化シリコンの層を真空蒸着により形成
し、第2層として膜厚130Åの混合物A層を真空蒸着
により形成し、第3層として膜厚360Åの二酸化シリ
コンの層を真空蒸着により形成した。第4層として膜厚
1270ÅのITOの層をRFイオンプレーティングに
より形成し、第5層として膜厚940Åのフッ化マグネ
シウムの層を真空蒸着により形成した。また、他方の側
にも、上記と同一第1層、第2層、第3層、第4層、第
5層を形成し、両面に反射防止コートを形成した光学部
材を得た。
/透光性導電層/低屈折率の透光性薄膜層/高屈折率の
透光性薄膜層/低屈折率の透光性薄膜層/ポリカーボネ
ート基板/低屈折率の透光性薄膜層/高屈折率の透光性
薄膜層/低屈折率の透光性薄膜層/透光性導電層/高屈
折率の透光性薄膜層からなる層構成を有している。 試料7(比較) ポリカーボネート基板に、膜厚150ÅのAg層を真空
蒸着により形成し、導電層を形成した光学部材を得た。
透光性金属薄膜層からなる層構成を有している。
光反射率、電磁波遮蔽性能、膜の付着力を測定した。 〈分光反射率〉分光光度計により各波長における反射率
を測定した。 〈電磁波遮蔽性能〉入力信号の100MHzにおける減
衰率を測定した。減衰率はdBで示した。 〈膜の付着力〉粘着テープを貼り付け、該粘着テープを
基板に対して垂直の方向に引きはがし膜の剥れ具合で評
価した。
おいて、横軸は光の波長、縦軸は反射率(%)である。
の測定の結果を示す。また、表1には波長540nmで
の反射率及び導電性層のシート抵抗値を記載した。
く、電磁波遮蔽性能が優れており、膜の付着力も優れて
いた。これに対して、試料7は、光反射率が高く、電磁
波遮蔽性能も劣り、膜の付着力も弱い上、日数を減るに
つれて表面が黄色味を帯びてきた。 実施例2 実施例1に記載のポリカーボネート基板に下記に従って
電磁波低減反射防止コートを形成し、試料8〜14を作
成した。 試料8(本発明) ポリカーボネート基板に下記の4層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
の厚さの酸化ジルコニウム層 第2層;真空蒸着により形成した310Åの厚さの二酸
化シリコン層 第3層;RFイオンプレーティングにより形成した13
50Åの厚さのITO(Sn含有量5%)層 第4層;真空蒸着により形成した900Åの厚さの二酸
化シリコン層 試料9(本発明) ポリカーボネート基板に下記の5層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
Åの厚さの二酸化シリコン層 第2層;真空蒸着により形成した260Åの厚さのチタ
ン酸ジルコニウム層 第3層;真空蒸着により形成した350Åの厚さの二酸
化シリコン層 第4層;RFイオンプレーティングにより形成した15
00Åの厚さのITO(Sn含有量5%)層 第5層;真空蒸着により形成した920Åの厚さの二酸
化シリコン層 試料10(本発明) ポリカーボネート基板に下記の5層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
の厚さのチタン酸ジルコニウム層 第2層;真空蒸着により形成した550Åの厚さの酸化
アルミニウム層 第3層;真空蒸着により形成した240Åの厚さのチタ
ン酸ジルコニウム層を 第4層;RFイオンプレーティングにより形成した13
00Åの厚さのITO(Sn含有量5%)層 第5層;真空蒸着により形成した940Åの厚さの二酸
化シリコン層 蒸着条件を変えることにより、透明導電性層の色を変え
ることができる。 試料11(本発明) ポリカーボネート基板に下記の5層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
の厚さの二酸化シリコン層 第2層;InとSnをRF放電させた酸素雰囲気中で、
それぞれ120Å/分、6Å/分の蒸着速度にて混合蒸
着して形成した厚さ220Åの導電層 第3層;真空蒸着により形成した350Åの厚さの二酸
化シリコン層 第4層;InとSnをRF放電させた酸素雰囲気中で、
それぞれ120Å/分、6Å/分の蒸着速度にて混合蒸
着して形成した厚さ1400Åの導電層 第5層;真空蒸着により形成した930Åの厚さの二酸
化シリコン層 試料12(本発明) ポリカーボネート基板に下記の5層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
の厚さの二酸化シリコン層 第2層;InとSnをRF放電させた酸素雰囲気中で、
それぞれ200Å/分、10Å/分の蒸着速度にて混合
蒸着して形成した厚さ220Åの導電層 第3層;真空蒸着により形成した350Åの厚さの二酸
化シリコン層 第4層;InとSnをRF放電させた酸素雰囲気中で、
それぞれ120Å/分、6Å/分の蒸着速度にて混合蒸
着して形成した厚さ1400Åの導電層 第5層;真空蒸着により形成した930Åの厚さの二酸
化シリコン層 試料13(比較) ポリカーボネート基板に下記の4層からなる電磁波低減
反射防止コートを順次形成した。
形成した280Åの厚さのITO(Sn含有量5%) 第2層;真空蒸着により形成した27OÅの厚さの二酸
化シリコン層 第3層;真空蒸着により形成した550Åの厚さの酸化
ジルコニウム層 第4層;真空蒸着により形成した1000Åの厚さの二
酸化シリコン層 上記試料8〜13について、実施例1と同様にして分光
反射率、電磁波遮蔽性能、膜の付着力を測定した。
3の分光反射率を示す。図9、10及び13において、
横軸は光の波長、縦軸は反射率(%)である。
の測定の結果を示す。また、表2には波長540nmで
の反射率及び導電性層のシート抵抗値を記載した。
により、分光透過率を測定した。 〈分光透過率〉分光光度計により各波長における透過率
を測定した。
透過率を示す。図11及び12において、横軸は光の波
長、縦軸は透過率(%)である。
層構成であっても、導電層の蒸着条件を変えると、導電
性層のシート抵抗値や反射率をほとんど変えずに透過率
を変えることができる。
低減反射防止コート上に、耐擦性のある皮膜をオーバー
コートを施すことにより、膜が傷つくのを防ぐことがで
きる。
の基板に接合させてもよい。 実施例3 ポリカーボネイト製のレンズの片面に下記の2層からな
る電磁波低減反射防止コートを順次形成した。
形成したλ/2の光学厚さのITO(Sn含有量5%)
層 第2層;真空蒸着により形成したλ/4の光学厚さ(λ
は設計波長、本実施例の場合はλ=520nmであっ
た。)の酸化アルミニウム層 得られたレンズの電磁波低減反射防止コート上に、アク
リル系樹脂製レンズをUV接着剤にて接合し1枚のレン
ズとした。
たところ優れた電磁波低減性能を有していた。 実施例4 PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム上に下
記の3層からなる電磁波低減反射防止コートを順次形成
した。
光学厚さ(λは設計波長、本実施例の場合はλ=520
nmであった)の酸化アルミニウム層 第2層;RFイオンプレーティングにより形成したλ/
2の光学厚さのITO(Sn含有量5%)層 第3層;真空蒸着により形成したλ/4の光学厚さ(λ
は設計波長、本実施例の場合はλ=520nmであっ
た)の酸化アルミニウム層 得られたフィルムを、2枚のアクリル(PMMA)製レ
ンズの間に挟み込み、UV硬化型接着剤にて接合し1枚
のレンズを形成した。
と同等の電磁波低減性能を得ることができた。
いているが、用いるフィルムはPETフィルムに限定さ
れず、各種のフィルムを用いることができる。また、接
着剤も各種の接着剤を用いることができる。この時、接
着剤の屈折率を接合する部材と同じにすると色ムラの発
生を防止できる。
ターなどに使用される光学用プラスチックは一般に耐衝
撃性が弱いといわれており、貼りあわせレンズの片方を
ポリカーボネイト製にしたり、柔軟性に富む接着剤を用
いることなどはレンズの耐衝撃性を向上させることから
好ましい。
たが、他にも導電性反射防止膜をコーティングした光学
部材を、硬化前の樹脂に接して配置し、その後樹脂を硬
化させることで所望の光学部材を得ることも可能であ
る。
薄膜層を設けた場合であっても、また、透明導電性層を
設けた場合であっても可視領域における光反射率が低く
可視領域の光透過性に優れ、電磁波遮蔽性能が優れてい
る。また、膜の付着力も優れている。また、透光性金属
薄膜層を用いた場合、透過する赤外線量を低減すること
ができる。
図である。
図である。
Claims (42)
- 【請求項1】 基板上に形成される反射防止コートであ
って、少なくとも1層の透光性金属薄膜層を含む3層以
上の透光性薄膜層で構成されていることを特徴とする電
磁波低減反射防止コート。 - 【請求項2】 基板と基板に最も近い透光性金属薄膜層
との間、および、基板からみて基板から最も離れた位置
にある透光性金属薄膜層よりも更に離れた位置に反射防
止コートを構成する層が少なくとも1層あることを特徴
とする請求項1に記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項3】 透光性金属薄膜層が複数の層で構成され
ていることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁
波低減反射防止コート。 - 【請求項4】 透光性金属薄膜層が、Au、Pt、A
g、Co、Mo、Al、Cuから選ばれた少なくとも1
つの金属で構成されていることを特徴とする請求項1〜
3のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項5】 透光性金属薄膜層の、基板からみて遠い
側に、高屈折率の透光性薄膜層が形成されていることを
特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の電磁波低減
反射防止コート。 - 【請求項6】 高屈折率の透光性薄膜層に挟まれて透光
性金属薄膜層が設けられていることを特徴とする請求項
1〜5のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項7】 透光性金属薄膜層に接して少なくとも1
層の透明導電性層が設けられていることを特徴とする請
求項1〜6のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コー
ト。 - 【請求項8】 透光性金属薄膜層のシート抵抗率が10
0Ω/□以下であることを特徴とする請求項1〜7のい
ずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項9】 透光性金属薄膜層の膜厚が300Å以下
であることを特徴とする請求項8に記載の電磁波低減反
射防止コート。 - 【請求項10】 透光性金属薄膜層の膜厚が200Å以
下であることを特徴とする請求項8または9に記載の電
磁波低減反射防止コート。 - 【請求項11】 基板上に形成される反射防止コートで
あって、反射防止コートが少なくとも1層の膜厚100
0Å以上の透明導電性層と2層以上の他の透光性薄膜層
で構成されていることを特徴とする電磁波低減反射防止
コート。 - 【請求項12】 基板上に形成される反射防止コートで
あって、反射防止コートが少なくとも1層のシート抵抗
率が100Ω/□以下である透明導電性層と2層以上の
他の透光性薄膜層で構成されていることを特徴とする電
磁波低減反射防止コート。 - 【請求項13】 透明導電性層の両側に、それぞれ、少
なくとも1層の反射防止コートを構成する層が設けられ
ていることを特徴とする請求項11または12に記載の
電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項14】 透明導電性層の基板から見て遠い側
に、透明導電性層の屈折率よりも低い屈折率の透光性薄
膜層が形成されていることを特徴とする請求項11〜1
3のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項15】 透明導電性層の基板側に、透明導電性
層の屈折率と、基板から見て遠い側に設けられた透明導
電性層の屈折率よりも低い屈折率の透光性薄膜層の屈折
率との間の屈折率を有する透光性薄膜層が形成されてい
ることを特徴とする請求項14に記載の電磁波低減反射
防止コート。 - 【請求項16】 透明導電性層の両側に、それぞれ、該
層の屈折率よりも低い屈折率の透光性薄膜層が形成され
ていることを特徴とする請求項11〜13のいずれかに
記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項17】 透明導電性層が酸化インジュウムとス
ズを含む層であることを特徴とする請求項11〜16の
いずれかに記載の電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項18】 基板上に、高屈折率の透光性薄膜層、
低屈折率の透光性薄膜層、高屈折率の透光性薄膜層、低
屈折率層の透光性薄膜層が順次形成される反射防止コー
トであって、高屈折率の透光性薄膜層の少なくとも1層
が、膜厚1000Å以上の透明導電性層で構成されてい
ることを特徴とする電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項19】 基板上に、高屈折率の透光性薄膜層、
低屈折率の透光性薄膜層、高屈折率の透光性薄膜層、低
屈折率層の透光性薄膜層が順次形成される反射防止コー
トであって、高屈折率の透光性薄膜層の少なくとも1層
が、シート抵抗率が100Ω/□以下の透明導電性層で
あることを特徴とする電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項20】 基板上に、低屈折率層の透光性薄膜
層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率の透光性薄膜
層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率層の透光性薄膜
層が順次形成される反射防止コートであって、高屈折率
の透光性薄膜層の少なくとも1層が、膜厚1000Å以
上の透明導電性層で構成されていることを特徴とする電
磁波低減反射防止コート。 - 【請求項21】 基板上に、低屈折率層の透光性薄膜
層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率の透光性薄膜
層、高屈折率の透光性薄膜層、低屈折率層の透光性薄膜
層が順次形成される反射防止コートであって、高屈折率
の透光性薄膜層の少なくとも1層が、シート抵抗率が1
00Ω/□以下の透明導電性層であることを特徴とする
電磁波低減反射防止コート。 - 【請求項22】 プラスチックよりなる光学部材上に、
請求項1〜21のいずれかに記載の電磁波低減反射防止
コートを形成したことを特徴とする光学部材。 - 【請求項23】 プラスチックよりなる光学部材が、7
0℃以上の耐熱性を有する材料により構成されているこ
とを特徴とする請求項22に記載の光学部材。 - 【請求項24】 ガラスよりなる光学部材上に、請求項
1〜21のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コート
を形成したことを特徴とする光学部材。 - 【請求項25】 フィルム状光学部材上に、請求項1〜
21のいずれかに記載の電磁波低減反射防止コートを形
成したことを特徴とする光学部材。 - 【請求項26】 フィルム状光学部材が偏光機能を有し
ていることを特徴とする請求項25に記載の光学部材。 - 【請求項27】 光学部材と電磁波低減反射防止コート
との間にハードコート層が設けられていることを特徴と
する請求項22〜25のいずれかに記載の光学部材。 - 【請求項28】 電磁波低減反射防止コート上に、ハー
ドコート層を設けたことを特徴とする請求項22〜27
のいずれかに記載の光学部材。 - 【請求項29】 請求項22〜28のいずれかに記載の
光学部材を他の光学部材と接合してなることを特徴とす
る光学部材。 - 【請求項30】 他の光学部材と接合して使用される光
学部材であって、他の光学部材と接合される側の光学面
に導電性層を含む電磁波低減反射防止コートが形成され
ていることを特徴とする光学部材。 - 【請求項31】 導電性層が膜厚1000Å以上の透明
導電性層であり、電磁波低減反射防止コートが形成され
ている光学部材側の第1層は、屈折率が、 光学部材の屈折率<第1層の屈折率<透明導電性層の屈
折率の条件を満足する透光性薄膜層であることを特徴と
する請求項30に記載の光学部材。 - 【請求項32】 導電性層が膜厚1000Å以上の透明
導電性層であり、光学部材から最も離れた層の屈折率
が、 最も離れた層に接する他の光学部材側の材料の屈折率<
最も離れた層の屈折率<透明導電性層の屈折率の条件を
満足する透光性薄膜層であることを特徴とする請求項3
0に記載の光学部材。 - 【請求項33】 導電性層が、少なくとも酸化インジウ
ムを含む透明層であることを特徴とする請求項31また
は32に記載の光学部材。 - 【請求項34】 導電性層が、少なくとも酸化インジウ
ムとスズを含む透明層であることを特徴とする請求項3
1または32に記載の光学部材。 - 【請求項35】 導電性層が透光性金属薄膜層であり、
電磁波低減反射防止コートが形成されている光学部材側
の第1層は、屈折率が、 光学部材の屈折率<第1層の屈折率の条件を満足する透
光性薄膜層であることを特徴とする請求項30に記載の
光学部材。 - 【請求項36】 導電性層が透光性金属薄膜層であり、
光学部材から最も離れた層は、屈折率が、 最も離れた層に接する他の光学部材側の材料の屈折率<
最も離れた層の屈折率の条件を満足する透光性薄膜層で
あることを特徴とする請求項30に記載の光学部材。 - 【請求項37】 透光性金属薄膜層が少なくともAu、
Ag、Cu、Pt、Mo、Co、Alのいずれかの金属
を含む層であることを特徴とする請求項35または36
に記載の光学部材。 - 【請求項38】 導電性層のシート抵抗が100Ω/□
以下であることを特徴とする請求項30〜37のいずれ
かに記載の光学部材。 - 【請求項39】 光学部材がフィルムで構成されている
ことを特徴とする請求項30〜38のいずれかに記載の
光学部材。 - 【請求項40】 フィルムが偏光機能を有していること
を特徴とする請求項39記載の光学部材。 - 【請求項41】 光学部材または他の光学部材の少なく
とも一方がポリカーボネートで構成されていることを特
徴とする請求項29〜40のいずれかに記載の光学部
材。 - 【請求項42】 請求項39または40の光学部材を光
学レンズの間に挟みこんでなる光学レンズ。
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