TW200905388A - Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkaly soluble resin - Google Patents

Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkaly soluble resin Download PDF

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Description

200905388 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種光感樹脂組成物,其具有優異之耐 化學性及耐熱性,且不會導致殘留。 本申請主張源自2007年4月11曰申請於韓國智慧局之 韓國專利申請第10-2007-0035389號之優先權,其所揭露之 内容參併於此,以作為整體參考。 f) 【先前技術】 光聚合性之負型光感樹脂組成物已應用於多種用途, 10 例如,用於製作彩色濾光片之光阻、保護膜光阻、柱狀間 隔物' 及具遮光性之絕緣材。一般而言,光感樹脂組成物 包括鹼溶性樹脂、具有乙烯不飽和鍵之可聚合化合物、光 聚合起始劑、溶劑及其類似物。光感樹脂組成物可以下述 方法製備,其包括:塗覆該光感樹脂組成物於基板上,以 15形成一膜層;藉由光罩或其類似物,以放射線曝照該膜層 之預定部位;以及藉由顯影處理,移除未曝照以^ U 成圖樣。 Μ以办 、近年來,液晶顯示器(LCDs)之應用已朝桌上型電腦、 ::視及筆記型電腦之螢幕發展’因此,其藉由增加彩 ::先阻中之顏料濃度及精細分散顏料之方式 :呈現馬品質色調…。因而衍生大量殘留彩色遽光片 先阻之問題。減少光阻殘留之 " 樹脂中黏姓聚人物、孓方式為,增加鹼溶性 黏'一\。物之酸值(AV)以製作光阻 (MW)。然而,由於 乂夕具刀子置 由於黏,合物與其他組成分之 20 200905388 及顯影過程中圖樣移除 而有所限制,此外,減聚合物之酸值增加因 故此方法不甚理想。s之減少會導㈣化學性下降, 因此’於該領域中,爲製得具有優異物理 可作為驗溶性樹脂之新材料,據此,已有許多研 九致力發展此種新材料。 【發明内容】 據此’本發明致力於解決上述習知技術所發生之問 H)題’本發明之目的係在提供一種光感樹脂組成物,其係使 用大分子單體作為驗溶性樹脂,以改善如殘留現象有無之 物理性質現象,耐化學性及耐熱性。 為達成上述目的,本發明提供一種光感樹脂組成物, 其包括作為鹼溶性樹脂之聚合物。該聚合物係使用一包含 15以下步驟之方法製得::(1)藉由熱聚合起始劑及分子量控 制劑,使一或多個乙烯不飽和單體聚合,根據熱聚合方法, 獲得一端具有酸基之產物,其中,該乙烯不飽和單體係選 自由不飽和叛酸醋(unsaturated carboxylic acid esters)、芳 香私乙烯(aromatic vinyls)、不飽和醚(unsaturated ethers)、 20 N-乙烯叔胺(N-vinyl tertiary amines) '不飽和醯亞胺及順丁 烯二酸酐單體所組成之群組’而該分子量控制劑係一端具 有羧酸結構之硫醇化合物;(2)使一端具有酸基之該產物(由 步驟1製得)’與一端具有環氧結構之曱基丙烯或丙稀單體 200905388 進行反應,以製得一大分子單體;以及(3)使步驟2所製得之 大分子單體與具有酸基之單體聚合。 於本發明中,使用大分子單體所製得之聚合物可作為 驗溶性樹脂,而包含該驗溶性樹脂之光感樹脂組成物可製 5 作為光阻,以改善物理性質,例如改善殘留現象或無殘留 現象,对化學性及财熱性。 由於本發明藉由大分子單體所製得之聚合物在其側鏈 處具有一長支鏈,其與典型之線型聚合物不同,因此,於 顯影過程中,該聚合物之長支鏈可移除有機顏料。此外, 10 由於該聚合物具有剛性單體所組成之支鏈,故該聚合物具 有高的玻璃轉移溫度(glass transition temperature, Tg),因 而改善其对化學性,财熱性及其類似性質。 下文將詳述本發明。 本發明之光感樹脂組成物包括作為驗溶性樹脂之聚合 15 物。該聚合物係使用一包含以下步驟之方法製得: (1)藉由熱聚合起始劑及分子量控制劑,使一或多個乙 烯不飽和單體聚合,根據熱聚合方法,獲得一端具有酸基 之產物,其中,該乙烯不飽和單體係選自由不飽和羧酸酯 (unsaturated carboxylic acid esters)、芳香族乙浠(aromatic 20 vinyls)、不飽和醚(unsaturated ethers)、N-乙稀叔胺(N-vinyl tertiary amines)、不飽和醢亞胺及順丁烯二酸Sf單體所組成 之群組,而該分子量控制劑係一端具有羧酸結構之硫醇化 合物; 200905388 . (2)使一端具有酸基之該產物(由步驟1製得),與一端具 有環氧結構之曱基丙烯或丙烯單體進行反應,以製得一大 分子單體;以及 (3)使步驟2所製得之大分子單體與具有酸基之單體聚 5 合。 於本發明製備該聚合物之方法中,步驟(1)所使用之單 體舉例如下。 不飽和羧酸酯單體之示範性舉例包括,但不限於:一 (} 或多個單體,其係選自由苯甲基(甲基)丙烯酸S旨(benzyl 10 (meth)acrylate)、 甲基(曱基)丙烯酸酯 (methyl(meth)acrylate)、 乙基(甲基)丙稀酸酉旨 (ethyl(metli)acrylate)、丁基(曱基)丙烯酸醋(butyl (meth)acrylate)、二曱胺基乙基(曱基)丙烯酸醋 (dimethylaminoethyl(meth)acrylate)、異丁基(甲基)丙稀酸 S旨 15 (isobutyl(meth)acrylate)、第三丁基(甲基)丙稀酸酉旨 (t-butyl(meth)acrylate)、環己基(曱基)丙烯酸酉旨 (cyclohexyl(meth)acrylate)、異冰片基(曱基)丙烯酸酉旨 v ? (isobornyl(meth)acrylate)、乙基己基(甲基)丙稀酸酉旨 (ethylhexyl(meth)acrylate)、2-苯氧基乙基(曱基)丙烯酸酉旨 20 (2-phenoxyethyl(meth)acrylate)、四氫糠基(曱基)丙稀酸酉旨 (tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate, hydroxyethyl(meth)acrylate)、2-經基丙基(甲基)丙稀酸酉旨 (2-hydroxypropyl(meth)acrylate)、2-經基-3-氯丙基(曱基)丙 稀酸醋(2-hydroxy-3-chloropropyl(meth)acrylate)、4-經基丁 25 基(甲基)丙烯酸酉旨(4-hydroxybutyl(metli)acrylate)、酿基辛 200905388 氧基-2-羥基丙基(曱基)丙烯酸酯 * (acyloctyloxy-2-hydroxypropyl(meth)acrylate)、丙三醇(曱基) 丙烯酸醋(glycerol (meth) acrylate)、2-曱氧基乙基(甲基)丙稀 酸 S旨(2-methoxyethyl(meth)acrylate)、3-甲氧基丁基(甲基) 5 丙嫦酸 6旨(3-methoxybutyl(meth)acrylate)、乙氧基二甘醇(曱 基)丙烯酸酉旨(ethoxydiethylene glycol(meth)acrylate)、曱氧 基三甘醇(甲基)丙稀酸醋(methoxytriethyleneglycol (meth)acrylate)、甲氧基三丙二醇(曱基)丙烯酸西旨 (') (methoxytripropyleneglycol(meth)acrylate)、聚(乙二醇)曱醚 10 (甲基)丙稀酸酉旨(poly(ethyleneglycol)methylether (meth)acrylate)、苯氧基二甘醇(甲基)丙稀酸醋 (phenoxydiethyleneglycol(meth)acrylate)、對-壬基苯氧基聚 二甘醇(曱基)丙稀酸g旨(p-nonylphenoxypoly ethyleneglycol(meth)acrylate)、對-壬基苯氧基聚丙二醇(曱 15 基)丙稀酸 S旨(p-nonylphenoxypolypropylene glycol(meth)acrylate)、四氣丙基(甲基)丙晞酸S旨 (tetrafluoropropyl (meth)acrylate)、1,1,1,3,3,3-六氟異丙基 (甲基)丙稀酸醋(l,l,l,3,3,3-hexafluoroisopropyl (meth)acrylate)、 八氣戊基(曱基)丙烯酸醋 20 (octafluoropentyl(meth)acrylate)、全氟癸基(甲基)丙稀酸 (heptadecafluorodecyl(meth)acrylate)、三溪苯基(曱基)丙稀 酸酯(tribromophenyl(meth)acrylate)、甲基 α-經基曱基丙烯 酸酯(methyl α-hydroxymethyl acrylate)、乙基 α-經基曱基丙 稀酸醋(ethyl α-hydroxymethyl acrylate)、丙基 a-經基曱基丙 200905388 浠酸 S旨(propyl α-hydroxymethyl acrylate)、丁基 α-經基曱基 丙烯酸醋(butyl α-hydroxymethyl acrylate)、二環戊基(曱基) 丙浠酸酷(dicyclopentanyl(meth)acrylate)、二環戊稀基(曱基) 丙烯酸醋(dicyclopentenyl (meth)acrylate)、二環戊基乙氧基 5 (曱基)丙烯酸酉旨(dicyclopentanyl oxyethyl(metli)acrylate)、 二環戊烯基乙氧基(甲基)丙晞酸醋(dicyclopentenyl oxyethyl(meth)acrylate)及其類似物所組成之群組。 芳香族乙烯單體之示範性舉例包括,但不限於:一或 多個選自由苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(鄰,間,對)-乙烯基甲 10 苯、(鄰,間,對)-甲氧基苯乙烯、(鄰,間,對)-氣苯乙烯及其類 似物所組成之群組。 不飽和醚單體之示範性舉例包括,但不限於··一或多 個選自由乙烯基甲醚、乙烯基乙醚及其類似物所組成之群 組。 15 Ν-乙烯叔胺之示範性舉例包括,但不限於:一或多個 選自由Ν-乙烯砒咯烷酮(N-vinyl pyrrolidone)、Ν-乙烯基咔 ^(N-vinyl carbazole)、N-乙烯基嗎琳(N-vinyl morpholine) ρ 及其類似物所組成之群組。 不飽和醯亞胺單體之示範性舉例包括,但不限於:一 20 或多個選自由N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)、 N-(4-氣苯基)馬來醯亞胺(N-(4-chlorophenyl)maleimide)、 N-(4-經苯基)馬來醯亞胺(N-(4-hydroxyphenyl) maleimide)、N-環己基馬來隨亞胺(N-cyclohexylmaleimide) 及其類似物所組成之群組。 200905388 順丁烯二酸酐單體之示範性舉例包括,但不限於:一 * 或多個選自由順丁烯二酸酐、曱基順丁烯二酸酐及其類似 物所組成之群組。 以100重量份之鹼溶性樹脂為基準,上述乙烯不飽和單 5 體之使用量較佳少於80重量份。其原因為,若其含量大於 80重量份,則於進行步驟2時,高黏度將致使其與曱基丙烯 或丙烯單體反應。 此外,使用於步驟1之熱聚合起始劑之示範性舉例包 () 括,但不限於:一或多個選自由2,2’-偶氮二異丁腈 10 (2,2’-azobisisobutyronitrile,AIBN)、2,2’-偶氮二-(2,4-二曱基 戊腈)(2,2'-azobis-(2,4-dimethyl valeronitrile))、2,2’-偶氮雙 (4-甲氧-2,4-二曱基戊腈(2,2’-azobis-(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile))、過氧化苯酸(benzoylperoxide)、過 氧化十二酿(lauroyl peroxide)、過氧化叔戊酸叔丁 S旨(t-butyl 15 peroxypivalate)、Ι,Γ-二-(雙-叔丁 過氧化)-環己烧 (l,r-bis-(bis-t-butylperoxy) cyclohexane)及其類似物所組 成之群組。 以100重量份之鹼溶性樹脂為基準,上述熱聚合起始劑 之使用量較佳為1至10重量份。其原因為,若其含量少於1 20 重量份,則聚合轉化率低,若其含量大於10重量份,則反 應後會有熱聚合起始劑殘留之問題。 此外,使用於步驟1之分子量控制劑(為一端具有羧酸 結構之硫醇化合物)具體實例包括:一或多個選自由3-髄基 丙酸(3-mercaptopropionic acid) 、 2-疏基丙酸 200905388
ίο 15 (2-mercaptopropionic acid) ' 2-疏基乙酸(2-mercaptoacetic acid)、2-(5-氣-2-氰基-3-甲基苯基)-2-酼基乙酸 (2-(5-chloro-2-cyano-3-methylphenyl)-2-mercaptoacetic acid)、2-酼基-2-(蔡-7-基)乙酸(2-mercapto-2-(naphthalene-7-yl)acetic acid)、2-(4-氯-2-甲基苯基)-2-巯基乙酸 (2-(4-chloro-2-methylphenyl)-2-mercaptoacetic acid)、2-魏 基-4-甲基笨丙酸(2-mercapto-4-methyl benzene propionic acid)、2-疏基-2-(丙硫基)乙酸(2-mercapto-2-(propylthio) acetic acid)、2-(異丙硫基)-2-M 基乙酸(2-(isopropylthio)-2-mercaptoacetic acid)、2-疏基-2-( 丁硫基)乙酸 (2-mercapto-2-(butylthio)acetic acid)、2-疏基-2-(曱硫基)乙 酸(2-mercapto-2-(methylthio)acetic acid)、2-魏基-壬酸 (2-mercapto-peragonic acid)、2-M 基-3,4-二甲氧基氫化肉桂 酸(2-mercapto-3,4-dimethoxy hydro cinnamic acid)、2-疏基-環戊基十三烧酸(2-mercapto-cyclopentanetridecanoic acid) 及其類似物所組成之群組,但不限於此。 以乙烯不飽和單體之含量為基準,該分子量控制劑(為 一端具有羧酸結構之硫醇化合物)之使用量較佳為0.2至10 重量百分比,更佳為,0.5至5重量百分比。當分子量控制劑 20 之含量少於0.2重量百分比時,其分子量控制效果不顯著。 當其含量大於10重量百分比時,由於所形成之聚合物分子 量極小,因而無法達到光阻所需之保護膜物理強度的要 求,且可能生成如鏈轉移劑(Chain Transfer Agent, CTA)雙 體(double body)之不純物。 12 200905388 於本發明之一實施例中,步驟2所製得之大分子單體可 為如下式1所示之化合物: | α R3— R2~s— 丫--
OH
[式1] 5 於上式1中, ^ R為亞甲基或環亞己基; C) R1係選自由經取代或未經取代之亞烷基、Ci_c 基、經取代或未經取代之亞苯基、及萘基所組群組之任二 者,其中,亞烷基之取代基為Ci-Ci2環己基,亞苯基之取代 10 基係選自由鹵素、氰基、CpC6烷基及CrC:6烷氧-亞苯基所 組群組之任一者; R2為有機二價基,其係藉由聚合一或多個單體而生 成,其中,§亥單體係選自由不飽和缓酸酯、芳香族乙烯、 不飽和醚、N-乙烯叔胺、不飽和醯亞胺及順丁烯二酸酐單 Cjl5 體所組成之群組;且 R3可因自由基聚合特性而為各種不同類型之物質,其 可為源自熱聚合起始劑之基團、源自鏈轉移反應或歧化反 應之氫原子及其類似物、源自結合反應之聚合物或其類似 物0 源自熱聚合起始劑之基團舉例可包括異丁基團、 二甲基戊腈基團、4_甲氧基从二甲基戊腈基團、苯基團 及其類似物。 13 20 200905388 由於源自結合反應之聚合物可藉由各種方式製得,故 其形成方法無較限制。該聚合物可藉由聚合 體而製得’而1單體俜選自由Xs 戍夕個早 卞U體係選自由不餘和幾酸醋、芳香族乙稀、 5
不飽和m烯叔胺、不鮮醯亞胺及順丁稀二酸 體所組成之群組。 例如’該大分子聚合物可藉由下列反應、式製得。 [反應式]
乙烯不飽和單體 熱聚合起始劑 0
hs^A R1
R3R2 R1 〇H 上述反應係關於乙烯不飽和單體、熱聚合起始劑、一 端具有m酸結構之硫醇化合物、及—端具有環氧結構之甲 基丙烯或丙烯單體相互反應形成大分子單體之反應式。具 體而言’如上反應式所示’乙烯不飽和單體、熱;合起: 劑及鈿具有缓酸結構之硫醇化合物可經聚合而形成一端 具有酸基之化合物,而一端具有酸基之該化合物可與一端 具有環氧結構之曱基丙烯或丙烯單體反應,以製得大分子 早體。所製得之大分子單體可進行自由基聚合反應,而與 14 15 200905388 具有酸基之單體進行聚合,以报士且 - 以形成長鏈狀聚合物。所形成 的聚合物可作為光感樹脂'敏成物中的驗溶性樹脂。 Μ’較佳為’於步驟1及3進行聚 合時,依據所使用之熱聚合起始物的半生期(與溫度有關) 5來決定聚合溫度及時間。例如,當使用2,2,_偶氮二異丁猜 (ΑΙΒΝ)作為熱聚合起始劑時,由於其7〇1下之半生期為4 8 小時’因此聚合時間較佳為6小時或以上一般而言,較佳 為,聚合溫度為50至15(TC,聚合時間為3〇分鐘至48小時。 此外,聚合反應較佳係於氮氣氛圍下進行。 10 具體而言,於本發明中’步驟2所使用之曱基丙烯或丙 烯單體(其一端具有環氧結構)舉例包括:一或多個選自由烯 丙基縮水甘油醚(allyl glycidyl ether)、(甲基)丙烯酸縮水甘 油酯(glycidyl (meth)acrylate)、3,4-環氧環己基甲基(甲基) 丙烯酉文西日(3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth)acrylate)及其 15 類似物所組成之群組,但不限於此。 此外’以步驟1所製得之產物所包含之酸基為基準,一 端具有環氧結構之甲基丙烯或丙烯單體的使用量較佳為1 至3當量,更佳為1.丨至15當量。當其含量少於i當量時,步 驟1所製得之產物一端上的酸基將不進行反應。當其含量大 20 於3當量時’則環氧化合物將不進行反應,因而影響利用大 分子單體製備聚合物時所使用之酸基單體。 於本發明之步驟3中,步驟2所製得之大分子單體會與 具有酸基之單體進行聚合反應,以聚合出鹼溶性樹脂。於 15 200905388 此,該大分子單體與具有酸基之單體可藉由自由基聚合法 進行聚合反應。 可使用於自由基聚合反應之自由基聚合起始劑可為該 領域習知之任一起始劑,其舉例包括,但不限於:2,2·-偶 5 氮二異丁腈(2,2'-azobisisobutyronitrile,AIBN)、2,2偶氮二 -(2,4-二甲 基戊腈)(2,2'-azobis-(2,4-dimethyl valeronitrile))、2,2'-偶氮雙(4-曱氧-2,4-二曱基戊腈 (2,2'-azobis-(4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile))、過氧化 苯醢(benzoylperoxide)、過氧化十二醯(lauroyl peroxide)、 10 過氧化叔戊酸叔丁醋(t-butyl peroxypivalate)、1,1'-二-(雙-叔丁 過氧化)-環己烧(l,l'-bis-(bis-t-butylperoxy) cyclohexane)及其類似物。該自由基聚合起始劑可與該熱聚 合起始劑相同。
步驟3所使用之具有酸基之單體舉例包括:一或多個選 15 自由(曱基)丙烯酸、巴豆酸(crotonic acid)、衣康酸(itaconic acid)、順丁 稀二酸(maleic acid)、反丁 浠二酸(fumaric acid)、單曱基馬來酸(monomethyl maleic acid)、異戊二婦 '續酸(isoprenesulfonic acid)、苯乙烯石黃酸(styrene sulfonic acid)、5-冰片稀-2-叛酸(5-norbornene-2-carboxylic acid)、 20 單-2-異 丁烯醯乙氧基鄰笨二曱酸酯 (mono-2-((meth)acryloyloxy) ethyl phthalate)、單-2-((甲基) 丙烯醯氧)乙基琥珀酸酯(mono-2-((meth)acryloyl〇xy) ethyl succinate)、及ω-叛聚己内醋單(曱基)丙稀酸SI 16 200905388 (ω-carboxypolycaprolactone mono(meth)acrylate)所組成之 群組,但不限於此。 此外,於步驟3之聚合反應中,較佳為,添加具有不飽 和乙烯基之單體作為共單體,以聚合出鹼溶性樹脂。具有 5不飽和乙烯基之單體舉例包括:不飽和羧酸酯單體、芳香 族乙烯單體、不飽和醚單體、不飽和醯亞胺、N_乙烯叔胺、 順丁烯一酸針單體及其類似物。 於一實施例中,具有酸基之單體、大分子單體及具有 不飽和乙浠基之單體可與一聚合溶劑混合,並於預定溫度 10下加熱,通入氮氣以移除氧氣,且加入自由基聚合起始劑 與鏈轉移劑(CTA),同時維持聚合溫度,以製得鹼溶性樹脂。 在此’以1 〇〇重量份之總單體為基準,步驟2所製得之 大分子單體含量為5至60重量份,具有酸基之單體含量為5 至60重量份,而具有不飽和乙烯基之單體含量為〇至9〇重量 15 份。 此外’該光感樹脂組成物(包括本發明利用大分子單體 所製得之聚合物,即鹼溶性樹脂)更可包括一或多個選自由 具有乙稀不飽和鍵之可聚合化合物、光聚合起始劑、溶劑 及其類似物所組成之群組。具體而言,以1〇〇重量份之光感 20樹脂組成物為基準,較佳為,該光感樹脂組成物包括: 1) 1至20重量份之鹼溶性樹脂; 2) 0.5至30重量份之可聚合化合物,其具有乙烯不飽和 鍵; 3) 0.1至5重量份之光聚合起始劑;以及 17 200905388
ίο 15
20 4)10至95重量份之溶劑。 該具有乙烯不飽和鍵之可聚合化合物舉例可包括,但 不限於:藉由S旨化多元醇(polyhydric alcohol)而製得之化合 物,如具有α,β-不飽和羧酸之乙二醇二(甲基)丙烯酸酯 (ethylene glycol di(meth)acrylate)、包含有 2至 14個乙稀基之 聚乙二醇二(甲基)丙稀酸醋(polyethylene glycol di(meth)acrylate)、三經曱基丙烧二(甲基)丙稀酸酉旨 (trimethylolpropane di(meth)acrylate)、三經曱基丙炫三(甲 基)丙烯酸醋(trimethylolpropane tri(meth)acrylate)、季戊四 醇三(曱基)丙烯酸 g旨(pentaerythritol .tri(meth)acrylate)、季 戊四醇四(甲基)丙烯酸醋 (pentaerythritol tetra(meth)acrylate)、2-三丙稀醯氧曱基乙基鄰苯二曱酸 (2-trisacryloyloxymethylethyl phthalic acid)、包含有 2至 14 個丙烯基之丙二醇二(曱基)丙烯酸@旨(propylene glycol di(meth)acrylate)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酉旨 (dipentaerythritol penta(meth)acrylate)、以及二季戊四醇六 (曱基)丙稀酸酉旨(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate);藉由 添加(曱基)丙浠酸S旨至具有縮水甘油醚基(glycidyl)之化合 物所製得之化合物,如三羥曱基丙烷三縮水甘油醚丙烯酸 加成物(trimethylolpropane triglycidyletheracrylic acid adduct)及雙紛A二縮水甘油謎丙浠酸加成物(bisphenol A diglycidyletheracrylic acid adduct) ; β-經乙基(曱基)丙稀酸 酉旨之鄰苯二曱酸二酉旨(phthalic acid diester of P-hydroxyethyl(meth)acrylate)、由經基(如 β-經乙基(甲基) 18 200905388 丙烯酸醋之甲苯二異氰酸S旨加成物(toluene diisocyanate adduct))製得之酯類化合物、或具有乙烯不飽和鍵及聚羥基 叛酸之化合物、或多異氣酸酯加成物(an adduct with polyisocyanate);以及(曱基)丙稀酸烧醋((meth)acrylic acid 5 alkyl esters), 如甲基(曱基)丙稀酸醋 (me thyl (me th) acrylate)、 乙基(甲基)丙稀·酸酉旨 (ethyl(meth)acrylate) 、 丁基(曱基)丙烯酸酉旨 (butyl(meth)acrylate)、及2-乙基己基(甲基)丙烯酸西旨 (2-ethylhexyl(meth)acrylate);以及 9,9-(4 苯基 2 丙烯酰乙氧 10 基)雙芴(9,9’-bis[4-(2-acryloyloxyethoxy)phenyl]fluorine) 0 然而,可聚合化合物並不侷限於此,而該領域所習知之材 料皆可作為可聚合化合物。此外,若需要的話,二氧化矽 分散質亦可使用於此化合物,例如,可使用Hanse Chemie 有限公司所生產之Nanocryl XP系列(0596、1045及21/1364) 15 及 Nanopox XP 系列(05 16及 0525)。 光聚合起始劑舉例包括,但不限於:三嗪化合物 (triazine),如2,4-三氣甲基-(4’-甲氧基苯基)-6-三嗪 (2,4-trichloromethyl-(4'-methoxyphenyl)-6-triazine) ' 2,4-^. 氯曱基-(4’-曱氧基苯乙烯基)-6-三嗪(2,4-trichloromethyl-20 (4'-11161:11〇乂781>^丫1)-6-1:14&21116)、2,4-三氯曱基-(胡椒基)-6-三 口秦(2,4-trichloromethyl-(pyflonyl)-6-triazine)、2,4-三氣曱基 -(3’,4’-二曱氧基苯基)-6-三嗪(2,4-trichloromethyl-(3',4'-dimetlioxyphenyl)-6-triazine)、以及 3-{4-[2,4-雙(三氣甲 基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸甲酯(3-{4-[2,4-bis 25 (tri chlorome thy l)-s-triazine-6-yl]phenylthio} propanoic 19 200905388 acid);聯味°坐化合物(biimidazole),如2,2’-雙(2-氯笨 基)-4,4’,5,5’-四苯基聯 °米 °坐(2,2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl biimidazole)、2,2’-雙(2,3-二氣笨 基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪 °坐(2,2'-bis(2,3-dichlorophenyl)-5 4,4',5,5’-tetraphenyl biimidazole);乙醯苯化合物 (acetophenone)(Irgacure-369),如 2-經基-2-甲基-1-苯基丙烧 -1-酮(2-hydroxy-2-methyl-l-phenylpropane-l-on)、1-(4-異丙 基苯基 )-2- 羥基 -2-曱基丙烷 -1 酮
10 15
20 (l-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropane-1 -on)、 4-(2-羥基乙氧基)-苯基(2-羥基)丙基酮 (4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl (2-hydroxy)propyl ketone) ' 1-經基環己基苯基酮(1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone)、 2,2-二甲氧基-2-苯基乙酸苯(2,2-dimethoxy-2-phenyl acetophenone)、2-甲基-(4-曱基硫苯基)-2-嗎淋-1-丙烧-1-酮 (2-methyl-(4-methylthiophenyl)-2-morpholino-l-propane-1-on,Irgacure-907)、及2-苯曱基-2-二甲基胺-1-(4-嗎啉苯基) 丁 烧 -1- 酮 (2-benzyl-2-dimethylamino-l-(4-morpholinophenyl)-butane-1 -on); O-acyloxim化合物,如 Ciba Geigy有限公司所生產之Irgacure OXE 01 及 Irgacure OXE 02 ;二苯曱K化合物(benzophenone),如4,4’-雙(二甲基胺) 二苯曱酮(4.,4'-bis(dimethylamino)benzophenone)及 4,4’-雙 (二乙基胺)二苯曱酿I (4,4'-bis(diethylamino) 匕61120卩116110116);0塞°頓嗣化合物((1^0叉&111;11〇]16),如2,4-二乙 基嘆B頓鋼(2,4-diethyl thioxanthone)、2-氣基 °塞 D頓酮(2-chloro thioxanthone)、異丙基0塞嘲 _ (isopropyl thioxanthone)及二 20 25 200905388
ίο 15
20 異丙基°塞β頓酮(diisopropyl thioxanthone);膦氧化合物 (phosphine oxide ),如2,4,6-三曱基苯曱醢二苯基膦氧 (2,4,6-trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide)、雙(2,6-二曱氧基苯甲醯)-2,4,4-三甲基戊基膦氧 (bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentyl phosphine oxide)、 及雙(2,6-二氯苯曱醯)丙基膦氧 (bis(2,6-dichlorobenzoyl) propyl phosphine oxide);以及香 豆素化合物(coumarin compounds),如3,3’-敷基乙烯基 -7-(二乙基胺)香豆素(3,3'-carbonylvinyl-7-(diethylamino)coumarin)、3-(2-苯並 °塞 °坐基)-7-(二乙基胺) 香豆素(3-(2-benzothiazolyl)-7-(diethylamino)coumarin)、3-苯曱醯-7-(二乙基胺)香豆素(3-benzoyl-7-(diethylamino)coumarin)、3-苯甲酸-7-曱氧基-香豆.素 (346!12〇71-7-11161:]1〇乂7-〇〇11111&1^11)及10,10’-幾基雙[1,1,7,7-四 甲基-2,3,6,7-四氫_111,511,1111-(:1]-苯並吡喃並[6,7,8-出-喹 嗪-11- _(10,10’-carbonylbis[l,l,7,7-tetramethyl-2,3,6,7-tetrahydro - 1H,5H, 1 lH-Cl]-benzopyrano[6,7,8-ij]-quinolizin-11-one)。 溶劑舉例包括,但不限於:丁 i同(methyl ethyl ketone)、 曱基溶纖劑(methyl cellosolve)、乙基溶纖劑(ethyl cellosolve)、乙二醇二甲醚(ethylene glycol dimethyl ether)、乙二醇二乙喊(ethylene glycol diethyl ether)、丙二 醇二甲醚(propylene glycol dimethyl ether)、丙二醇二乙醚 (propylene glycol diethyl ether)、二乙二醇二甲醚(diethylene 25 glycol dimethyl ether)、二乙二醇二乙醚(diethylene glycol 21 200905388 diethyl ether)、二乙二醇甲乙醚(diethylene glycol methyl ethyl ether)、2-乙氧基丙醇(2-ethoxy propanol)、2-甲氧基丙 醇(2-methoxypropanol)、3-曱氧基丁醇(3-methoxybutanol)、 環己酿I (cyclohexanone)、環戊酿I (cyclopentanone)、丙二酵 5 甲醚醋酸醋(propylene glycol methyl ether acetate)、丙二醇 乙醚醋酸醋(propylene glycol ethyl ether acetate)、3-甲氧基 丁基醋酸S旨(3-methoxybutyl acetate)、3-乙氧基丙酸乙酉旨 (ethyl 3-ethoxypropionate)、乙基溶纖劑乙酸醋(ethyl cellosolve acetate)、曱基溶纖劑乙酸酉旨(methyl cellosolve 10 acetate)、乙酸丁 S旨(butyl acetate)、二丙二醇曱醚 (dipropylene glycol monomethyl ether)或其混合物。 若需要的話,本發明之光感樹脂組成物更可包括一或 多種添加劑,其係選自由光敏劑、染色劑、固化促進劑、 熱聚合抑制劑、增塑劑、黏著促進劑、填充劑及界面活性 15 劑。 可使用一或多個顏料、染料或其混合物作為染色劑。 黑色顏料之具體實例可包括,碳黑(carbon blacks)、墨鉛 (black leads)、金屬氧化物(如,鈦黑)及其類似物。碳黑舉 例包括:Tokai Carbon有限公司所生產之SEAST 20 5HIISAF-HS、SEAST KH、SEAST 3HHAF-HS、SEAST NH、 SEAST 3M、SEAST 300HAF-LS、SEAST 116HMMAF-HS、 SEAST 116MAF、SEAST FMFEF-HS、SEAST SOFEF、SEAST VGPF、SEAST SVHSRF-HS 及 SEAST SSRF ; Mitsubishi Chemical有限公司所生產之DIAGRAM BLACK II、 22 200905388 DIAGRAM BLACK N339、DIAGRAM BLACK SH、 DIAGRAM BLACK H、DIAGRAM LH、DIAGRAM HA、 DIAGRAM SF、DIAGRAM N550M、DIAGRAM M、 DIAGRAM E、DIAGRAM G、DIAGRAM R、DIAGRAM 5 N760M、DIAGRAM LR、#2700、#2600、#2400、#2350、 #2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、 #47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、 MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、 ζΛ 0IL11B、OIL30 及 0IL31B ; Degussa 有限公司所生產之 l〇 PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、 PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、 PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、 PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIAL BLACK-550、SPECIAL 15 BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIAL BLACK-100 及 LAMP BLACK-101 ; Colombia Carbon有限公司所生產之 RAVEN-1100ULTRA 、 RAVEN-1080ULTRA 、 RAVEN- (j i 1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、 RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-20 880ULTRA' RAVEN-860ULTRA' RAVEN-850' RAVEN-820, RAVEN-790ULTRA 、RAVEN-780ULTRA 、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、 RAVEN-450 、 RAVEN-430ULTRA 、 RAVEN-420 、 RAVEN-410 、RAVEN-2500ULTRA 、RAVEN-2000,、 23 200905388 RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、 RAVEN-1190ULTRA及RAVEN-1170 ;及其混合物。
此外,用於提供色彩之染色劑舉例包括:洋紅6B (CARMINE 6B, C.I. 12490)、酞菁綠(PHTHALOCYANINE 5 GREEN,C.I. 74260)、酞菁藍(PHTHALOCYANINE BLUE, C.I. 74160)、茈系黑(PERYLENE BLACK, BASF K0084. K0086)、酞菁黑(CYANINE BLACK)、雷奥諾爾黃(LIONOL YELLOW, C.I. 21090)、雷奥諾爾黃 GRO (LIONOL YELLOW GRO, C.I. 21090)、聯苯胺黄 4T-564D (BENZIDINE l〇 YELLOW 4T-564D)、維多利亞藍(VICTORIA PURE BLUE, C.I. 42595)、顏料紅(C_I. PIGMENT RED)3, 23, 97, 108, 122, 139, 140, 141,142, 143, 144, 149, 166, 168, 175, 177, 180, 185, 189, 190, 192, 202, 214, 215, 220, 221,224, 230, 235, 242, 254, 255, 260, 262, 264及272 ;顏料綠(C_I. PIGMENT 15 GREEN)7 及 36;顏料藍(C.I. PIGMENT blue)15:l,15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 28, 36, 60 及 64 ;顏料黃(C.I. PIGMENT yellow) 13, 14, 35, 53, 83, 93, 95, 1 10, 120, 138, 139, 150, 151, 154, O 175, 180, 181,185,194 及 213 ;顏料紫(C.I. PIGMENT VIOLET)15, 19, 23, 29, 32及37 ;及其類似物。此外,亦可 20 使用白色顏料、螢光顏料及其類似物作為染色劑。 上述固化促進劑舉例可包括:一或多個選自由2-酼基 苯並 σ米唆(2-mercaptobenzoimidazole)、2-疏基苯並"塞。圭 (2-mercaptobenzothi azole) 、 2-疏基苯並 °惡峻 (2-mercaptobenzoxazole)、2,5-二疏基-1,3,4-嗟二0坐 25 (2,5-dimercapto-l,3,4-thiadiazole)、2-M 基-4,6-二曱基胺0比 24 200905388 (2-mercapto-4,6-dimethylaminopyridine)、四苯丙酸季戍四 醇醋(pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate))、三(3-酼基 丙酸)季 戊四醇 S| (pentaerythritol tris(3-mercaptopropionate))、季戊四醇四疏基乙酸酉旨 5 (pentaerythritol tetrakis(2-mercaptoacetate))、三(2-疏基乙酸) 季戊四醇酉旨(pentaerythritol tris(2-mercaptoacetate))、三經曱 基丙烧三 (2-魏基乙酸 S旨)(trimethylolpropane tris(2-mercaptoacetate))、三經甲基丙烧三(3-魏基丙酸 酉旨)(trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate))、三經甲 10 基乙烧三 (2-魏基乙酸 S旨)(trimethylolethane tris(2-mercaptoacetate))、及三經曱基乙烧三(3-疏基丙酸 醋)(trimethylolethane tris(3-mercaptopropionate))所組群組 之化合物。然而,該固化促進劑並不侷限於此,該領域之 習知材料皆可作為固化促進劑。 15 熱聚合抑制劑舉例可包括:一或多個選自由對-苯甲醚 (p-anisole)、對苯二紛(hydroquinone)、鄰苯二紛 (pyrocatechol)、叔丁基鄰苯二盼(t-butylcatechol)、N-亞石肖 苯骇敍鹽(N-nitrosophenylhydroxyamine ammonium salt)及 汾°塞嗓(phenothiazine)。然而,該熱聚合抑制劑並不侷限於 20 此,該領域之習知材料皆可作為熱聚合抑制劑。 所有可用於相關領域光感樹脂組成物中之化合物亦可 作為增塑劑、黏著促進劑、填充劑及界面活性劑。 本發明之光感樹脂组成物可作為彩色濾光片之光阻、 保護膜光阻、柱狀間隔物、絕緣材或其類似物。 25 200905388 _ 為使本發明更加清楚,可參考配合有圖式說明之下述 實施例,其中,本發明並不侷限於下述實施例。 【實施方式】 5 《製備例1》合成大分子單體 於氮氣氛圍下,將58 g的N-苯基馬來醯亞胺(N-phenyl maleimide)、42 g 的苯乙稀(styrene)、6 g 的 3-疏基丙酸 (3-mercaptopropionic acid)及作為溶劑的300 g丙二醇甲醚 C') 醋酸酯(PGMEA)混合,並機械攪拌30分鐘。於氮氣氛圍下, 10 將反應溫度提高至70°C。當混合物達到70°C時,加入2.0 g 的偶氮二異丁腈(AIBN,作為熱聚合起始劑),並攪拌6小 時。接著,再將作為熱聚合抑制劑之0.07 g對羥基苯曱醚 (MEHQ)及 0.2 g 的三苯基膦(triphenylphosphine)加至其中。 將反應溫度提高至90°C,並攪拌30分鐘。再加入8g的曱基 15 丙稀酸甘油醚S旨(glycidyl methacrylate),並將反應溫度提高 至120°C,攪拌24小時,同時維持於大氣氛圍下(Mw: 4,700, AV : 1.09)。 ϋ 《製備例2》合成已知鹼溶性樹脂 20 於氮氣氛圍下,將9 g的Ν-苯基馬來醯亞胺、11 g的 苯乙烯、53 g的曱基丙稀酸苯醋(benzyl methacrylate)、28 g 的甲基丙烯酸、2 g的3-巯基丙酸及及作為溶劑的300 g丙二 醇甲醚醋酸酯(PGMEA)混合,並機械攪拌30分鐘。於氮氣 氛圍下,將反應溫度提高至70°C。當混合物達到70°C時, 26 200905388 加入2,0 g的偶氮二異丁腈(aibn,作為熱聚合起始劑),並 攪拌6小時(Mw : 10,000, AV : 107)。 《製備例3》合成已知鹼溶性樹脂 5 於氮氣氛圍下,將75 g的甲基丙烯酸苯酯、25 g的曱 基丙烯酸、3.2 g 的 3_窥基丙酸(3_mercapt〇pr〇pi〇nic acid)及 作為溶劑的300 g丙二醇甲_醋酸醋(pGMEA:^合,並機械 授拌30刀鐘。於氮氣氛圍下,將反應溫度提高至了代。當 〇 混合物達到7〇t時,加入2.0§的偶氮二異丁腈(AIBN,作 10 U α起始劑)’並授拌6小時。接著,將反應溫度提高 至90。(:,並加入〇.2g的三苯基膦。再將〇 〇7§的對羥基苯甲 乾(MEHQ作$熱聚合抑制劑)加至其中,並授拌%分鐘。 接著加入10 g的甲基丙烯酸甘油醚酯,並將反應溫度提高 至U〇°C,維持於大氣氛圍下攪拌20小時(Mw : 1〇,_, 15 AV : 11〇)。 ’ ’ 《製備例4》本發明之鹼溶性樹脂 於氮乳氛圍下,將45 g的甲基丙烯酸苯S旨、15 g的甲基 丙烯酸、製備m所製得之40 g大分子單體、3 5 §的3邊 20基丙&及作為,奋劑的300 g丙二醇曱醚醋酸醋(pGMEA)混 合’並機械攪拌30分鐘。於氮氣氛圍下,將反應溫度提高 至7〇t:。當混合物達到70°C時,加入2.0g的AIBN作為熱聚 σ起始d ’並攪拌6小時。⑽w :仏綱,AV :⑻)。 25《製備例5》本發明之鹼溶性樹脂 27 200905388 於氮氣氛圍下,將42 g的甲基丙烯酸苯酯、22 g的甲基 丙烯酸、製備例1所製得之36 g大分子單體、3.8 g的3-酼 基丙酸及作為溶劑的300 g丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)混 合,並機械攪拌30分鐘。於氮氣氛圍下,將反應溫度提高 5 至70°C。當混合物達到70°C時,加入2.0 g的AIBN作為熱 聚合起始劑,並攪拌6小時。接著,將反應溫度提高至90°C, 並加入0.2 g的三苯基膦。再將0.07 g的對羥基苯甲醚 (MEHQ ,作為熱聚合抑制劑)加至其中,並攪拌30分鐘。接 著,加入7g的曱基丙烯酸甘油醚酯,並將反應溫度提高至 1〇 110°C,攪拌20小時,同時維持於大氣氛圍下(MW : 1 1,500, AV : 110)。 《實施例1》 混合50 g的顏料紅257 (C_I. Pigment Red 254,作為光 15 感樹脂組成成分中之顏料)分散溶液(15 %)、製備例4所製得 之5 g鹼溶性樹脂、3 g的雙季戊四醇六丙烯酸酯 (dipentaerythritol hexaacrylate,為可聚合化合物)、2g 的光 聚合起始劑(Irgacure-369)及作為溶劑之40 g丙二醇曱醚醋 酸酯(PGMEA),攪拌3小時,以製得光感樹脂組成物。 20 《實施例2》 混合65 g的顏料綠36(C.I. Pigment Green 36,作為光感 樹脂組成成分中之顏料)分散溶液(15 %)、製備例4所製得之 5 g驗溶性樹脂、6 g的雙季戊四醇六丙稀酸醋 25 (dipentaerythritol hexaacrylate,為可聚合化合物)、2 g的光 28 200905388 聚合起始劑(Irgacure-369)、0.2 g的4,4'-二乙基胺基二苯甲 酿l(4,4’-diethyl aminobenzophenone)及作為溶劑之40 g丙二 醇甲醚醋酸酯(PGMEA)’攪拌3小時,以製得光感樹脂組成 物。 5 《實施例3》 混合40 g的顏料藍 15:4(C.I. Pigment Blue 15:4,作為光 感樹脂組成成分中之顏料)分散溶液(15 %)、製備例5所製得 之8 g驗溶性樹脂、10 g的雙季戊四醇六丙浠酸醋 10 (dipentaerythritol hexaacrylate,為可聚合化合物)、2g 的光 聚合起始劑(Irgacure-907)及作為溶劑之40 g丙二醇曱醚醋 酸酯(PGMEA),攪拌3小時,以製得光感樹脂組成物。 《實施例4》 15 混合35 g光感樹脂組成成分中的碳黑分散溶液(25 %)、製備例4所製得之3.5 g鹼溶性樹脂、3.5 g的雙季戊四 醇六丙烯酸醋(dipentaerythritol hexaacrylate,作為可聚合 化合物)、2.5 g的光聚合起始劑(Irgacure-369)、1 g的 3-{4-[2,4-雙(三氣曱基)-s-三嗪-6-基]苯硫基}丙酸曱酯、0.5 20 g的4,4'-二乙基胺基二苯曱酮及作為溶劑之40 g丙二醇曱醚 醋酸酯(PGMEA),攪拌3小時,以製得光感樹脂組成物。 《比較例1》 除了該比較例係使用製備例2所製得之鹼溶性樹脂 25 外,其餘製備光感樹脂組成物之步驟皆與實施例1相同。 29 200905388 《比較例2》 除了該比較例係使用製備例2所製得之鹼溶性樹脂 外,其餘製備光感樹脂組成物之步驟皆與實施例2相同。 《比較例3》 除了該比較例係使用製備例3所製得之鹼溶性樹脂 外,其餘製備光感樹脂組成物之步驟皆與實施例3相同。 10 《實驗例1》評估光感樹脂組成物之物理性質 進行下述測試,以評估本發明所製得之光感樹脂組成 物的圖樣清晰度(pattern sharpness)、有無殘留物、对化學 性(耐酸性及耐溶劑性)及耐熱性。 以實施例1至4所製得之組成物作為實驗組,而比較例1 15 至3之組成物作為控制組。 藉由旋轉塗佈法’將光感樹脂組成物溶液塗佈於玻璃 上’並於約100下。C預烤2分鐘,以形成膜層。於高壓汞燈 下,使用光罩,以100或200 mj/cm2之能量密度曝照所形成 之膜層,且每小時以K〇H鹼性溶液(pH值範圍為u 3至u 7) 20 對該圖樣進行顯影,再以去離子水清洗。接著,於2〇〇°c下 後烤40分鐘,並利用下述方法評估圖樣清晰度(pauern
Sharpness)、有無殘留物、耐化學性(耐酸性及耐溶劑性)及 耐熱性’其結果如表1所示。 -圖樣清晰度及有無殘留物:利用光學顯微鏡,觀察形 25 成有塗層之玻璃基板。 30 200905388 * _耐酸性:於4(rc下,將形成有塗層之玻璃基板浸於水 /合液(具有HCl/FeCl3 = 1/1重量比;)10分鐘後,觀察塗層之外 觀變化,以評估其耐酸性。在此,無外觀變化表示耐酸性 佳(〇),fe微外觀變化表示耐酸性中等;膜層剝離或褪 5 色表示耐酸性差(X)。 -耐溶劑性:於40。〇下,將形成有塗層之玻璃基板浸於 N-甲基n比咯酮溶液(NMp)1〇分鐘後,觀察塗層之外觀變 化,以評估其耐溶劑性。在此,無外觀變化表示耐溶劑性 仏(〇) ’輕微外觀變化表示耐溶劑性中等(△);膜層剝離或 10 褪色表示耐溶劑性差(X)。 -耐熱性:將形成有塗層之玻璃基板置於潔淨烘箱,進 行250 c之熱處理1小時,比較熱處理前後之厚度減少比率。 結果如下表1所示。
由上表1可發現’相較於比較例1至3之組成物(使用習 知單體),貫施例1至4之光感樹脂組成物(包含本發明利用 31 15 200905388 分子單體所製得之鹼溶性樹脂)具有較優異之圖樣清晰 度、耐酸性、耐溶劑性及耐熱性,且無殘留現象。 5 因此’由此可證實,本發明之光感樹脂組成物因包括 有大分子單體所製得之驗溶性樹脂,而能滿足耐化學性及 耐熱性之所有需求,並且無殘留問題。 上述實施例僅係為了方便說明而舉 主張之權利·自應㈣請專利範 本發月所 於上述實施例。 _所迹為準’而非僅限
1〇【圖式簡單說明】 盖 *、、、 【主要元件符號說明】 無 32

Claims (1)

  1. 200905388 十、申請專利範圍: 1· 一種光感樹脂組成物,其包括— 聚合物,且該聚合物係使用一包含以下步驟‘溶性樹脂之 (1)藉由一熱聚合起始劑及一分子量控制:方2:多 個乙烯不飽和單體聚合,根據熱聚合方法,之或多 酸基之產物,其中’該乙婦不飽和單體係選;:;:= 酉請、芳香族乙稀、不飽和_、N•乙稀叔胺、不飽和酿亞
    10 胺及順丁稀二自請單||賴叙群組,㈣分?量控制劑 係一端具有缓酸結構之硫醇化合物; (2)使步驟1所製得之一端具有酸基之該產物,與一端具 有環氧結構之甲基丙烯或丙烯單體進行反應,以製得一^ 分子單體;以及 (3)使步驟2所製得之該大分子單體與具有酸基之該單 體聚合。 15 2.如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,更 包括一具有不飽和乙烯基之單體,其係作為步驟3聚合反應 時之共單體。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該不飽和羧酸酯單體係選自由苯曱基(甲 20 基)丙稀酸酯(benzyl (meth)acrylate)、曱基(甲基)丙稀酸酯 (methyl(meth)acrylate)、乙基(曱基)丙烯酸酯(ethyl(meth) acrylate)、丁基(曱基)丙浠酸酉旨(butyl (meth)acrylate)、二曱 胺基乙基(甲基)丙烯酸I旨(dimethylaminoethyl (meth)acrylate)、異丁基(甲基)丙烯酸醋(isobutyl(meth) 33 200905388 acrylate)、 第三丁基(甲基)丙烯酸西旨 (t-butyl(meth)acrylate)、環己基(曱基)丙烯酸西旨 (cyclohexyl(meth)acrylate)、異冰片基(甲基)丙烯酸S旨 (isobornyl(meth)acrylate) '乙基己基(曱基)丙烯酸西旨 5 (ethylhexyl(meth)acrylate)、2-苯氧基乙基(甲基)丙烯酸西旨 (2-phenoxyethyl(meth)acrylate)、四氫糠基(甲基)丙稀酸醋 (tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate,hydroxyethyl(meth)acrylat e)、2-經基丙基(甲基)丙稀酸醋(2-hydroxypropyl (meth)acrylate)、2-經基-3-氯丙基(甲基)丙浠酸醋 1〇 (2-hydroxy-3-chloropropyl(meth)acrylate)、4-經基丁基(曱基) 丙稀酸酉旨(4-hydroxybutyl(meth)acrylate)、醯基辛氧基-2-經 基丙基(曱基)丙烯酸酯(acyloctyloxy-2-hydroxypropyl (meth)acrylate)、 丙三醇(曱基)丙烯酸 SI (glycerol(meth)acrylate)、2-甲氧基乙基(甲基)丙烯酸醋 15 (2-methoxyethyl(meth)acrylate)、3-甲氧基丁基(甲基)丙稀酸 酉旨(3-methoxybutyl(meth)acrylate)、乙氧基二甘醇(甲基)丙 烯酸酉旨(ethoxydiethylene glycol(meth)acrylate)、曱氧基三甘 醇(曱基)丙烯酸 S 旨(methoxytriethyleneglycol (meth)acrylate)、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸醋 20 (methoxytripropyleneglycol(meth)acrylate)、聚(乙二醇)曱醚 (甲基)丙烯酸醋(poly(ethylen.eglycol)metliylether (meth)acrylate)、苯氧基二甘醇(曱基)丙烯酸西旨 (phenoxydiethyleneglycol(meth)acrylate)、對-壬基苯氧基聚 二甘醇(曱基)丙烯酸 Θ旨(p-nonylphenoxypolyethyleneglycol 25 (meth)acrylate)、對-壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸醋 34 200905388 (p-nonylphenoxypolypropylene glycol(meth)acrylate)、四氟 丙基(曱基)丙烯酸酉旨(tetrafluoropropyl (meth)acrylate)、 1,1,1,3,3,3-六氟異丙基(甲基)丙烯酸酯 (l,l,l,3,3,3-hexafluoroisopropyl(meth)acrylate)、八氣戊基 5 (曱基)丙浠酸 S旨(octafluoropentyl(meth)acrylate)、全氟癸基 (曱基)丙烯酸(heptadecafluorodecyl(meth)acrylate)、三漠苯 基(曱基)丙稀酸醋(tribromophenyl(meth)acrylate)、曱基 α-經基甲基丙烯酸酷(methyl α-hydroxymethyl acrylate)、乙基 α-經基甲基丙浠酸醋(ethyl α-hydroxymethyl acrylate)、丙基 10 α-經基曱基丙烯酸酉旨(propyl α-hydroxymethyl acrylate)、丁 基 α-經基甲基丙稀酸醋(butyl α-hydroxymethyl acrylate)、二 環戊基(曱基)丙稀酸酯(dicyclopentanyl(meth)acrylate)、二 環戊烯基(甲基)丙稀·酸醋(dicyclopentenyl (meth)acrylate)、 二環戊基乙氧基(曱基)丙稀酸S旨(dicyclopentanyl 15 oxyethyl(meth)acrylate)及二環戊烯基乙氧基(甲基)丙烯酸 酉旨(dicyclopentenyl oxyethyl(meth)acrylate)所組成之群組。 4. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該芳香族乙烯單體係選自由苯乙烯、(X-曱 基苯乙烯、(鄰,間,對)-乙烯基曱苯、(鄰,間,對)-曱氧基苯乙 20 烯、(鄰,間,對)-氣苯乙烯及其組合物所組成之群組。 5. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中’於步驟1中,該不飽和醚單體係選自由乙烯基曱醚、乙 稀基乙醚及其組合物所組成之群組。 35 200905388 6. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該Ν-乙烯叔胺單體係選自由Ν-乙烯砒咯烷 酮(N-vinyl pyrrolidone)、N-乙烯基0卡嗤(N-vinyl carbazole)、N-乙烯基嗎琳(N-vinyl morpholine)及其組合物 5 所組成之群組。 7. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該不飽和醯亞胺單體係選自由N-苯基馬來 醯亞胺(N-phenylmaleimide)、N-(4-氣笨基)馬來醢亞胺 (N-(4-chlorophenyl)maleimide)、N-(4-經苯基)馬來醯亞胺 10 (N-(4-hydroxyphenyl)maleimide)、N-環己基馬來醢亞胺 (N-cyclohexylmaleimide)及其組合物所組成之群組。 8. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該順丁烯二酸酐單體係選自由順丁烯二酸 酐、曱基順丁烯二酸酐及其組合物所組成之群組。 15 9.如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟1中,該熱聚合起始劑係選自由2,2'-偶氮二異丁 腈(2,2'-azobisisobutyronitrile,AIBN)、2,2’_偶氮二-(2,4-二甲 基戊腈)(2,2'-azobis-(2,4-dimethyl valeronitrile))、2,2’-偶氮 雙(4-曱氧-2,4-二甲基戊腈(2,2'-azobis-(4-methoxy-2,4- 20 dimethylvaleronitrile))、過氧化苯酿(benzoylperoxide)、過 氧化十二醯(lauroyl peroxide)、過氧化叔戊酸叔丁 S旨(t-butyl peroxypivalate)、Ι,Γ-二-(雙-叔丁 過氧化)-環己烧 (l,l’-bis-(bis-t-butylperoxy) cyclohexane)及其組合物所組 成之群組。 36 200905388 10. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 r 中,於步驟1中,該分子量控制劑為一端具有羧酸結構之硫 醇化合物,其係選自由3-魏基丙酸(3-;〇^1^&卩1;〇卩1>〇卩1〇114 acid)、2-M基丙酸(2-mercaptopropionic acid)、2-M基乙酸 5 (2-mercaptoacetic acid)、2-(5-氯-2-氰基_3_ 曱基苯基)-2-魏 基 乙 .酸 (2-(5-chloro-2-cyano-3-methylphenyl)-2-mercaptoacetic acid) 、2-疏基-2-(萘-7-基)乙酸 (2-mercapto-2-(naphthalene-7-yl)acetic acid)、2-(4-氣-2-曱 基苯基)-2-疏基乙酸(2-(4-chloro-2-methylphenyl)-2-10 mercaptoacetic acid) 、 2-疏基-4-甲基苯丙酸 (2-mercapto-4-methyl benzene propionic acid)、2-魏基-2-(丙 硫基)乙酸(2-mercapto-2-(propylthio)acetic acid)、2-(異丙硫 基)-2-疏基乙酸(2-(isopropylthio)-2-mercaptoacetic acid)、 2-疏基-2-( 丁硫基)乙酸(2-mercapto-2-(butylthio)acetic 15 acid)、2-疏基-2-(甲硫基)乙酸(2-mercapto-2-(methylthio) acetic acid)、2-疏基-壬酸(2-11161^&卩1;〇-卩61&8〇11]^3(^(1)、2-疏基-3,4-二曱氧基氫化肉桂酸(2-mercapto-3,4-dimethoxy hydro cinnamic acid)、2- Μ 基-環戊基十三烧酸 (2-mercapto-cyclopentanetridecanoic acid)及其組合物所組 20 成之群組。 11. 如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,於步驟2中,一端具有環氧結構之該曱基丙烯或丙烯單 體係選自由烯丙基縮水甘油醚(allyl glycidyl ether)、(甲基) 丙稀酸縮水甘油醋(glycidyl (meth)acrylate)、3,4-環氧環己 37 200905388 基曱基(甲基)丙烯酸酯(3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth)acrylate)及其組合物所組成之群組。 12.如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,該大分子單體包括一如下式1所示之化合物:
    [式1] Ο 其中,R為亞曱基(methylene)或環亞己基; R1係選自由經取代或未經取代之亞烷基(alkyiene)、 CrC4烷硫基、經取代或未經取代之亞苯基、及萘基所組群 10 組之任一者,其中,亞烷基之取代基為CkCq環己基,亞苯 基之取代基係選自由鹵素、氰基、Cl_C6烷基及Ci_c6烷氧_ 亞苯基所組群組之任一者; R2為有機二價基,其係藉由聚合一或多個單體而生 成’其中’該單體係選自由不飽和羧酸酯、芳香族乙稀、 (15不飽和醚、N-乙烯叔胺、不飽和醯亞胺及順丁烯二酸酐單 體所組成之群組;且 、源自鏈轉移反 R3係選自由源自熱聚合起始劑之基團、 應之氫原子、及源自結合反應之聚合物所組成
    acid)、衣康酸(itaconic acid)、 順丁烯 應或歧化反應之氫原子、及源自結合反應之 之群組。 中,; 酸、匕立吸lcrotomc acid)、衣康酸(ita 38 200905388 二酸(maleic acid)、反丁 烯二酸(fumaric acid)、單曱基馬來 酸(monomethyl maleic acid)、異戊二烯項酸 (isoprenesulfonic acid)、苯乙浠續酸(styrene sulfonic acid)、5-冰片烯-2-叛酸(5-norbornene-2-carboxylic acid)、 5 單-2-異 丁烯醯乙氧基鄰苯二曱酸酯 (mono-2-((meth)acryloyloxy) ethyl phthalate)、單-2-((曱基) 丙烯醢氧)乙基破 ίό 酸 S旨(mono-2-((meth)acryloyloxy) ethyl succinate)、ω-叛聚己内S旨單(曱_基)丙烯酸醋 (ω-carboxypolycaprolactone mono(meth)acrylate)及其組合 10 物所組成之群組。 14.如申請專利範圍第2項所述之光感樹脂組成物,其 中,具有不飽和乙烯基之該單體係選自由不飽和羧酸酯單 體、芳香族乙烯單體、不飽和醚單體、不飽和醯亞胺、N-乙烯叔胺、順丁烯二酸酐單體及其組合物所組成之群組。 15 15.如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,更 包括一或多個選自由具有一乙烯不飽和鍵之一可聚合化合 物、一光聚合起始劑及一溶劑所組成之群組。 16.如申請專利範圍第15項所述之光感樹脂組成物,其 中,以100重量份之該光感樹脂組成物為基準,該光感樹脂 20 組成物包括: 1) 1至20重量份之一鹼溶性樹脂; 2) 0.5至30重量份之一可聚合化合物,其具有一乙烯不 飽和鍵; 3) 0.1至5重量份之一光聚合起始劑;以及 39 200905388 4)10至95重量份之一溶劑。 17.如申請專利範圍第1項所述之光感樹脂組成物,其 中,該光感樹脂組成物係作為彩色濾光片之光阻、保護膜 光阻、柱狀間隔物及絕緣材。 200905388 七、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:無。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明: 無
    八、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵 的化學式:
    [式1] 其中,R、R1、R2及R3定義如說明書所述。
TW097113053A 2007-04-11 2008-04-10 包含由做為鹼溶性樹脂之大分子單體所製備之聚合物之光感樹脂組成物 TWI403838B (zh)

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