KR20010111360A - 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물 - Google Patents

평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물 Download PDF

Info

Publication number
KR20010111360A
KR20010111360A KR1020000031964A KR20000031964A KR20010111360A KR 20010111360 A KR20010111360 A KR 20010111360A KR 1020000031964 A KR1020000031964 A KR 1020000031964A KR 20000031964 A KR20000031964 A KR 20000031964A KR 20010111360 A KR20010111360 A KR 20010111360A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
formula
acrylate
meth
composition
photosensitive resin
Prior art date
Application number
KR1020000031964A
Other languages
English (en)
Inventor
김경준
안용식
황윤일
김광규
Original Assignee
성재갑
주식회사 엘지씨아이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성재갑, 주식회사 엘지씨아이 filed Critical 성재갑
Priority to KR1020000031964A priority Critical patent/KR20010111360A/ko
Publication of KR20010111360A publication Critical patent/KR20010111360A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F2/00—Processes of polymerisation
    • C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
    • C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
    • C08F2/50—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/22—Absorbing filters
    • G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/22—Absorbing filters
    • G02B5/23—Photochromic filters
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

본 발명은 알칼리 수용액에 현상 가능한 신규의 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 특히 LCD에서 안료 분산형 컬러필터 수지, 또는 블랙 매트릭스 수지로 사용될 수 있는 감도 및 분해능이 우수할 뿐만 아니라 현상과정 중에 잔사의 발생이 적으며, 유리기판에 대한 접착력이 우수한 신규의 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 이를 위하여, LCD의 안료분산형 컬러필터 또는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물에 있어서, a) 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 팽윤되는 자기경화형 바인더 수지; b) 광중합 개시제; c) 안료; 및 d) 용매를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 감도 및 분해능(resolution)이 우수할 뿐만 아니라 현상과정 중에 잔사의 발생이 적으며, 유리기판에 대한 접착력이 우수하며, 특히 노광과정 중 노광된 부분에서 바인더 수지와 가교성 화합물의 화학적 결합과 동시에 바인더 수지 사슬간의 화학적 결합을 일으킬 수 있도록 하여 현상 과정 중의 비노광 부위와의 용해도 차이를 극대화함으로써 분해능이 우수하고, 가교성 화합물의 사용량을 감소시켜서 전체 노광량이 감소되어 공정상 유리할 뿐만 아니라 막 특성이 우수하다.

Description

평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR FLAT PANEL DISPLAY}
본 발명은 알칼리 수용액에 현상 가능한 신규의 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 특히 LCD(liquid crystal display)에서 안료 분산형 컬러필터(color filter) 수지, 또는 블랙 매트릭스(black matrix) 수지로 사용될 수 있는 감도(sensitivity) 및 분해능(resolution)이 우수할 뿐만 아니라 현상과정 중에 잔사의 발생이 적으며, 유리기판에 대한 접착력이 우수한 신규의 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
최근에 정보통신 기술의 발달로 말미암아 많은 양의 시각 정보 구현을 위한 디스플레이 분야도 급속도로 발전하고 있다. 특히 디스플레이 분야에서는 경량화, 박형화, 컬러화 등의 요구가 더욱 가속화되고 있는 실정이며, 이러한 실정에서 LCD(liquid crystal display)는 가장 유력한 디스플레이 중의 하나이다.
LCD에 있어서 컬러필터는 색조를 재현하는 가장 중요한 부품 중의 하나이며, LCD의 용도가 종래의 노트북 컴퓨터용에서 TV 나 각종 모니터용 등으로 확대되면서 보다 우수한 고투명, 고색도, 고정세화 제품이 요구되고 있다. 또한 LCD 제조 공정에서는 생산성 향상을 위한 공정 및 제품 신뢰성이 우수한 컬러필터 제조방법도 꾸준히 연구되고 있다.
이러한 컬러필터의 제조방법은 염색법, 프린트법, 전착법, 안료 분산법 등이 사용되어 왔다. 염색법은 젤라틴이나 염색이 가능한 감광성 합성수지를 이용하여 이미지를 형성하고 염색을 하는 방법으로서, 공정이 복잡하고 얻어진 컬러필터의 열적 안정성 및 습기에 대한 안정성이 낮아 신뢰성이 저하되는 단점을 가지고 있다. 프린터법은 비교적 공정 비용이 적고, 대형 기판에 쉽게 적용할 수 있다는 장점이 있으나 분해능이 낮아서 고정세의 패턴을 얻지 못하는 단점을 가지고 있다. 전착법은 제품 신뢰성이 우수하나 공정이 복잡하고 별도의 설비가 필요한 단점을 가지고 있다. 이와 같은 이유로 오늘날에는 분해능(resolution), 색재현성, 신뢰성 특성 등이 모두 우수한 안료 분산법(일본공개 특허공보 평1-152449호, 평1-254918호, 및 평2-153353호)이 가장 널리 이용되고 있다.
안료분산법은 안료가 분산된 감광성 수지 조성물을 유리기판 위에 코팅하고 리소그라피(lithography) 기법으로 노광, 현상, 경화 과정을 거져서 컬러필터를 형성하는 방법으로, 다른 방법에 비하여 공정성, 제품 신뢰성, 색재현성이 모두 우수한 장점이 있는 것에도 불구하고 보다 고색도, 고정세화 패턴을 얻기 위한 시도가 아직까지도 계속되고 있다.
일반적으로 안료 분산형 컬러필터 감광성 수지 조성물은
a) 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 팽윤되는 바인더 수지;
b) 적어도 2 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물;
c) 광중합 개시제;
d) 안료; 및
e) 용매
로 이루어져 있으며, 필요에 따라서는 제막 성능을 향상시키거나 기판과의 접착력을 향상시키는 여러 가지 첨가제들을 포함한다.
상기 a)의 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 팽윤되는 바인더 수지는 일반적으로 고분자 사슬 중에 카르본산, 무수카르본산, 수산화기, 아미노기, 또는 아미드기 등을 함유하는 구조로 이루어져 있으며, 노볼락계 페놀수지 또는 아크릴계 수지의 단독 중합체 또는 공중합체 형태가 이용되고 있다. 알칼리 용액에 현상 가능한 아크릴계 바인더 수지는 말레이산 무수물, 아크릴산 또는 메타아크릴산 및 이들의 알킬 에스테르, 치환 또는 치환되지 않은 아릴 에스테르, 방향족 비닐 모노머 등으로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 화합물을 이용한 공중합체가 주로 사용된다. 구체적인 예로 벤질아크릴레이트, 벤질메타아크릴레이트, 펜에틸아크릴레이트, 페에틸메타아크릴레이트, 3-페닐프로필아크릴레이트, 3-페닐프로필메타아크릴레이트, 4-페닐부틸아크릴레이트, 4-페닐부틸메타아크릴레이트, 아크릴산, 메타아크릴산의 공중합체 등이 알려져 있다(미국 특허 제4,139,391호, 제4,629,680호, 및 제5,626796호).
상기 b)의 적어도 2 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물은 구체적인 예로 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타아크릴레이트, 1-3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트 등이 알려져 있다(일본공개 특허공보 소50-6034호 및 소51-37193호).
상기 c)의 광중합 개시제는 UV에 의하여 라디칼을 형성할 수 있는 성분으로서, 벤조페논, 아세토페논과 같은 벤조페논류, 비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논, 비스-4,4'-디에틸아미노벤조페논과 같은 치환된 벤조페논계, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-트리아진과 같은 트리아진계 광개시제와 N-메틸-2-벤조일메틸렌-β-나프티아졸, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰포리노페닐)부탄온, 2,4-디에틸사이옥산톤, 2,2'-디메톡시-1,2-디페닐에탄온과 같은 키톤계 광중합 개시제로 이루어진 군에서 선택되는 화합물을 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다(미국특허 제4,239,850호, 및 제5,362,603호).
상기 d)의 안료는 유기, 무기계 안료가 모두 사용될 수 있으며, 대표적으로는 프탈로시아닌계의 청색 안료, 퀴나크리돈, 페릴렌, 피롤, 아트라퀴논계의 적색안료, 할로겐화 프탈로시아니계의 녹색 안료 등이 있다.
상기 e)의 용제는 상기 구성성분 a) 내지 d)를 용해하거나 또는 균일하게 분산시킬 수 있는 것으로, 대표적으로는 메틸에틸케톤, 씨클로헥사논, 테트라하이드로퓨란, 메틸셀로솔부 또는 메틸셀로솔부, 메틸셀로솔프아세테이트, 디메틸포름아마이드, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 및 2-메톡시에틸에테르로 이로어진 군으로부터 선택되는 화합물을 단독 또는 혼합하여 사용하는 경우가 대분분이다.
이러한 안료분산형 컬러필터 감광성 수지 조성물을 사용하여 컬러필터를 제조하는 안료분산법은 안료가 분산된 조성물을 유리기판 위에 스핀코팅하여 박막을 형성한 후, 포토마스크를 통하여 UV를 조사하고 현상과정을 거쳐 경화시킨다. 일반적인 컬러필터의 제작과정은 적색, 녹색, 청색의 순으로 상기 과정을 되풀이하는 데, 종래의 안료 분산형 컬러필터 감광성 수지 조성물은 상기 가교성 화합물이 조성물 내에서 안료를 분산시킨 바인더 수지에 분포되어 있다가 UV 등의 활성광에 의하여 노광되게 되면 가교성 반응을 일으키게 되며, 그 결과 그물 구조를 이룸으로써 알칼리 가용성 수지가 현상 과정 중에 현상액에 의하여 용해되어 나가는 것을 방지하여 주게되며, 결과적으로 기판 위에 이미지를 남기게 되는 역할을 한다.
이러한 안료분산형 컬러필터 감광성 수지 조성물은 여러 번의 노광, 현광 과정을 거치기 때문에 경화 후, 열, UV, 알칼리 약품 등에 대한 내성이 우수하여야 하고, 포함된 안료가 노광시 UV를 흡수하여 감도를 저하시킴으로, 이에 대한 특성이 우수하여야 한다. 또한 고정세 컬러필터의 형성에 있어서, 미세패턴의 경우 유리기판에 대한 접착력이 부족하여 현상과정 중에 패턴이 유기되기도 하며 이를 방지하기 위하여 접착력이 지나치게 우수한 경우 현상과정 주에 비노광 부위가 완전히 제거되지 않고 남아있는 경우가 발생할 수 있는 등의 문제점을 가지고 있다.
또한 종래의 컬러필터 감광성 수지 조성물은 노광된 부분과 노광되지 않은 부분과의 차이가 충분히 크지 못하여 실제로는 현상 과정 중에 남아 있어야 할 바인더 수지가 현상 용액에 의하여 일부 녹아 나가기도 함으로써 결과적으로 원하는 미세 패턴의 형상을 얻기 어려운 경우가 대부분이었다. 이러한 현상을 방지하기 위하여 가교성 화합물을 과다하게 사용할 경우 노광 후 표면의 경도가 저하되어 공정성을 저하시키게 됨은 물론 상대적으로 바인더의 함량이 줄어들게 되어 안료 분산 안전성이 저하될 뿐만 아니라 충분한 가교화 반응을 일으키기 위한 노광량이 많아짐으로써 공정 수율을 저하시키게 된다. 그리고 이러한 경우 노광되지 않은 부분의 용해도도 같이 저하되게 되어 레지스트로서의 분해능이 감소하는 단점이 있다.
한편, LCD에 있어서 블랙메트릭스(black matrix)는 컬러필터가 적색, 녹색, 청색의 픽셀(pixel)을 유리기판 위에 형성시킴으로써 이루어지는데, 이때 컬러필터의 외주부에 위치하여 색대비성을 증가시켜 색상의 선명도를 좋게 하는 역할을 한다. 따라서 블랙 매트릭스는 빛의 차단성이 우수하도록 높은 광학적 밀도(OD; optical density)를 나타내고, 반사성이 낮은 특성을 지녀야 한다. 또한 최근에는 IPS 형(in-plane switching mode) LCD 등과 같은 특수형 LCD에서 전도성이 낮은 물질을 요구하고 있다.
현재까지 사용되는 컬러필터의 블랙 매트릭스는 크롬을 진공 하에서 스퍼터링하여 제작하고 있다. 크롬을 이용하는 블랙 매트릭스의 제조방법은 막의 평탄성이나 빛의 차단성 측면에서 유리하지만 공정이 복잡하여 경제성이 낮고 반사성이 높은 문제점이 있다. 또한 크롬 블랙 매트릭스는 중금속이 함유된 폐수를 발생시켜 환경적인 측면에서 바람직하지 않으며, 전도성이 높아서 IPS형 LCD로의 대응이 어렵다.
이와 같은 이유로 유기계 블랙 매트릭스의 개발에 관한 연구가 활발하다. 유기계 블랙 매트릭스는 일반적으로 상기에서 설명한 컬러필터 감광성 수지 조성물과 유사하나 안료로서 검정색의 유기 또는 무기계 안료를 분산시켜 제조하며, 감광성 수지의 작용 기전에 따라서 광증폭형과 광중합형으로 분류할 수 있다.
광증폭형 유기 블랙 매트릭스는 감도가 우수하며 노광시에 주변환경의 영향을 적게 받는다는 이점이 있지만, 노광 후에 별도의 가열공정(post exposure baking)이 필요하며, 형성된 패턴의 안정성이 저하되는 문제점이 있다. 페놀수지와 가교성 화합물, 광산발생제를 사용하는 광증폭형 블랙 매트릭스 조성물은 일본공개 특허공보 평4-163552 등에 기재되어 있다.
반면에 광중합형 유기 블랙 매트릭스는 열적특성 및 내약품성이 우수하고 공정이 간단한 이점이 있지만, 감도 및 분해능이 부족하고, 노광량을 증가시킬 경우 비노광 부위의 제거가 용이하지 않게 되어 잔사가 발생하는 경우가 많은 문제점이 있다.
상기 광중합형 유기 블랙 매트릭스는 컬러필터 감광성 수지 조성물과 유사하게 카본 블랙이나 안료 조합물을 분산시킨 감광성 수지 조성물을 유리기판 위에 코팅하고 리소그라피(lithography) 기법으로 노광, 현상, 및 경화 과정을 거쳐 블랙 매트릭스를 형성하게 되며, 그 위에 컬러필터 제작을 위한 여러 번의 노광, 현상 과정을 거치기 때문에 경화 후, 열, UV, 알칼리 약품 등에 대한 내성이 우수해야 하고, 포함된 안료가 노광시 UV를 흡수하여 감도를 저하시키므로 이에 대한 특성이 우수해야 한다. 또한 고정세 컬러필터의 형성에 대응할 수 있도록 미세패턴 형성이 가능한 분해능을 가져야 한다.
상기 블랙 매트릭스에 사용되는 검정색 안료는 유기, 무기계 안료가 모두 사용될 수 있으며, 대표적으로는 검정색을 위하여 카본블랙, 아닐린블랙, 페릴렌블랙, 티탄블랙, 실리콘카바이드를 사용하며, 또는 프탈로시아닌계의 청색 안료, 퀴나크리돈, 페릴렌, 피롤, 아트라퀴논계의 적색안료, 할로겐화 프탈로시아니계의 녹색 안료 등의 조합물이 사용된다.
그러나 종래의 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물은 컬러필터 감광성 수지 조성물과 마찬가지로 노광된 부분과 노광되지 않은 부분과의 용해도 차이가 충분히 크지 못하여 실제로는 현상 과정 중에 남아 있어야 할 바인더 수지가 현상 용액에 의하여 일부 녹아 나가기도 하여 결과적으로 원하는 미세 패턴을 얻기 어려운 경우가 대부분이었다.
또한 이러한 현상을 방지하기 위하여 가교성 화합물을 과다하게 사용할 경우 노광 후 표면의 경도가 저하되어 공정성을 저하시키게 됨은 물론 상대적으로 바인더의 함량이 줄어들게 되어 안료 분산 안전성이 저하될 뿐만 아니라 충분한 가교화 반응을 일으키기 위한 노광량이 많아짐으로써 공정 수율을 저하시키게 된다. 또한 이러한 가교성 화합물은 현상용 알칼리 수용액에 용해되지 않기 때문에 현상과정 중에 잔사 발생 원인이 되기도 한다.
따라서 본 발명은 상기 종래기술의 문제점들을 고려하여, LCD의 안료분산형 컬러필터 또는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물에 있어서, 감도(sensitivity) 및 분해능(resolution)이 우수할 뿐만 아니라 현상과정 중에 잔사(비노광 부위가 기판 위에 남아있는 현상)의 발생이 적으며, 유리기판에 대한 접착력이 우수한 신규의감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 노광과정 중 노광된 부분에서 바인더 수지와 가교성 화합물의 화학적 결합과 동시에 바인더 수지 사슬간의 화학적 결합을 일으킬 수 있도록 하여 현상 과정 중의 비노광 부위와의 용해도 차이를 극대화함으로써 분해능이 우수하고, 가교성 화합물의 사용량을 감소시켜서 전체 노광량이 감소되어 공정상 유리할 뿐만 아니라 막 특성이 우수한 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, LCD의 안료분산형 컬러필터 또는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물에 있어서,
a) 하기 화학식 1로 표시되는 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 팽윤되는
자기경화형 바인더 수지;
b) 광중합 개시제;
c) 안료; 및
d) 용매
를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.
[화학식 1]
상기 식에서, A는 하기 화학식 2로 표시되는 화합물이고, B는 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물이고, C는 하기 화학식 4, 또는 화학식 5로 표시되는 화합물이며,
[화학식 2]
[화학식 3]
[화학식 4]
[화학식 5]
상기 화학식 2, 3, 4, 및 5의 식에서,
R1은 수소, 또는 메틸기이며;
R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 하이드록시기가 치환된 알킬기, 또는 치환되었거나 치환되지 않은 탄소수 1 내지 12의 아릴기이며;
R3은 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 벤젠, 탄소수 1 내지 6의 알킬 치환기를 갖는 벤젠, 탄소수 1 내지 8의 알콕시 치환기를 갖는 벤젠, 또는 수산화기나 할로겐이 치환된 벤젠이다.
본 발명은 상기 감광성 조성물에
e) 적어도 2 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물
을 더욱 포함하는 조성물도 제공한다.
상기 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더에 있어서, A, B, 및 C의 조성비는 전체 바인더 수지에 대하여 A가 10 내지 50 몰%이고, B가 15 몰% 이하이고, C가 90 내지 50 몰%이다.
또한 상기 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지는 하기 화학식 6, 7, 및 8로 표시되는 카르본산기를 갖는 화합물의 군으로부터 1 종 이상 선택되는 공중합체와 하기 화학식 9로 표시되는 화합물을 반응시켜서 제조한다.
[화학식 6]
[화학식 7]
[화학식 8]
[화학식 9]
상기 화학식 6, 7, 8, 및 9의 식에서,
R1은 수소, 또는 메틸기이며;
R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 하이드록시기가 치환된 알킬기, 또는 치환되었거나 치환되지 않은 탄소수 1 내지 12의 아릴기이며;
R3은 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 벤젠, 탄소수 1 내지 6의 알킬 치환기를 갖는 벤젠, 탄소수 1 내지 8의 알콕시 치환기를 갖는 벤젠, 또는 수산화기 또는 할로겐이 치환된 벤젠이다.
상기 a)의 화학식 1의 자기경화형 바인더 수지를 살펴보면, 먼저 상기 화학식 6의 화합물과 상기 화학식 7 또는 8의 화합물 중에서 하나 또는 둘 모두를 일정한 몰비로 공중합시켜서 제조된 공중합체를 교반기, 및 질소 투입구가 부착된 플라스크에 투입하고, 메틸에틸케톤 등의 용매를 사용하여 용해시킨다. 이때의 공중합체는 수평균 분자량 1000 내지 30000의 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2000내지 20000이다. 이 후에 이 플라스크의 온도를 120 ℃까지 올리고 상기 화학식 9의 화합물을 1 시간 동안 서서히 가한 다음, 에폭시기가 완전히 사라질 때까지 더 반응시킨다. 이 반응물을 n-헥산과 메탄올의 중량비가 1 : 1 인 혼합물로 침전을 형성시키고, 진공 하에 건조하여 자기경화형 바인더 수지를 최종으로 제조한다.
상기 반응에 있어서, 화학식 9의 화합물의 에폭시기는 바인더 수지에 존재하는 카르본산기와 반응하여 에스테르 결합을 형성하게 되며, 결과적으로 선형인 바인더 수지에 반응성 (메타)아크릴기가 곁가지로 도입된 자기경화형 바인더 수지가 형성되게 된다. 이렇게 얻어진 자기경화형 바인더 수지는 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 적어도 팽윤되는 수지로서 UV 등과 같은 활성광에 의하여 경화반응을 일으킬 수 있다.
본 발명은 상기 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지, 필요시 첨가되는 적어도 2 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물, 광중합 개시제, 및 안료를 용매에 용해 및 분산시킨 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다.
종래의 컬러필터용 감광성 수지 조성물은 노광에 의하여 가교성 화합물끼리만 화학반응이 일어나게 되어 바인더 수지가 마치 그물 구조의 가교성 화합물에 싸여 있는 형태가 되는데 반하여, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 가교성 화합물과 바인더 수지 사슬간의 화합결합은 물론 바인더 수지 사슬간에도 화학결합을 일으킴으로써 높은 용해 억제 정도를 보이며, 가교성 화합물을 사용하지 않거나 사용량을 줄이더라도 비노광 부위의 알칼리 수용액 현상액에 대한 용해도를 증가시킬 수 있어서 감도 및 분해능이 종래의 감광성 수지 조성물에 비하여 우수하다.
이를 위하여, 상기 화학식 6의 화합물은 아크릴산 또는 메타아크릴산 등을 선택하여 사용할 수 있으며, 사용량은 공중합체 중 전체 단량체의 몰 합계에 대하여 10 내지 90 몰%가 바람직하다.
또한 상기 화학식 7의 화합물은 벤질(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 또는 2-에틸헥식(메타)아크릴레이트 등을 선택하여 사용할 수 있으며, 특히 벤질(메타)아크릴레이트 또는 페닐(메타)아크릴레이트가 바람직하다.
또한 상기 화학식 8의 화합물은 스티렌, 4-하이드록시스티렌, 4-메틸스티렌, 또는 초산비닐 등을 선택하여 사용할 수 있다.
또한 상기 화학식 9의 화합물은 글리시딜아크릴레이트, 또는 글리시딜메타아크릴레이트 등을 선택하여 사용할 수 있으며, 사용량은 상기 화학식 6의 카르본산 함유 단량체에 대하여 0.1 내지 90 몰%이다.
본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 필요할 경우 첨가되는 상기 e)의 적어도 2 개 이상의 불포화기를 갖는 가교성 화합물은 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아트릴레이트, 펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테르라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택하여 사용될 수 있으며, 사용량은 상기 화학식 1의 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 200 중량부 이하로 투입되는 것이 바람직하며, 150 중량부 이하로 투입되는 것이 더욱 바람직하다.
또한 상기 광중합 개시제는 벤조페논, 아세토페논과 같은 벤조페논류, 비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논, 비스-4,4'-디에틸아민벤조페논과 같은 치환된 벤조페논계, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-트리아진과 같은 트리아진계, N-메틸-2-벤조일메틸렌-β-나프토티아졸, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰포리노페닐)부탄온, 2,4-디에틸사이옥산톤, 2,2,-디메톡시-1,2-디페닐에탄온과 같은 키톤계 등의 광중합 개시제로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택하여 사용할 수 있으며, 사용량은 상기 화학식 1의 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 0.1 내지 10 중량부가 투입되는 것이 바람직하다.
또한 안료는 여러 가지를 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있는데, 구체적인 예는 색지수(color index; CI)가 97, 105, 123, 149, 177, 179, 180, 192, 202, 220인 적색 안료, 색지수가 7, 36인 녹색안료, 색지수가 15, 22, 60인 청색안료, 색지수가 20, 24, 31, 53, 83인 황색안료, 색지수가 36, 43, 51, 55, 59인 오렌지색 안료, 색지수가 19, 23, 29, 37인 보라색 안료 등이다. 특히 블랙 매트릭스 수지 조성물의 경우는 상기 안료들의 조합으로 검정색을 발현하며, 카본블랙, 아닐린블랙, 페릴렌블랙, 티탄블랙, 실리콘카바이드 등도 사용할 수 있다.
본 발명의 감광성 수지 내에 분산되는 안료의 크기는 적어도 500 ㎚ 이하, 더욱 바람직하게는 200 ㎚ 이하이다. 이를 위하여 안료를 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리우레탄, 폴리카프로락톤 등으로부터 유도된 고분자형 분산제와 함께 용매에 투입하고 비드밀(bead mill) 또는 샌드밀(sand mill)로 수차례 분산시켜서 평균 입자 크기를 50 내지 500 ㎚로 하는 안료 분산액으로 제조하여 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 안료 분산액은 상기 분산제 이외에도 필요에 따라서 소포제, 유화제, 윤활제 등을 첨가하여 제조할 수 있다.
또한 안료의 사용량은 최종 제품의 적용 용도에 따라 달라지지만 본 발명의 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 10 내지 60 중량부가 투입되는 것이 바람직하며, 20 내지 50 중량부가 투입되는 것이 더욱 바람직하다.
또한 용매는 본 발명의 바인더의 합성 및 다른 성분의 분산 또는 용해에 효과적인 것이면 특별한 제한을 두지 않는다. 주로 사용될 수 있는 용매는 메틸에틸케톤, 씨클로헥사논, 테트라하이드로퓨란, 메틸셀로솔부, 메틸셀로솔브아세테이트, 디메틸포름아미드, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 2-메톡시에틸에테르 등과 같은 키톤계, 또는 에테르계 등이며, 이들 용매군으로부터 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다. 사용량은 전체 조성물 100 중량부에 대하여 10 내지 90 중량부의 범위 내에서 조절할 수 있다.
한편, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 성분들 이외에도 필요에 따라서 염료 또는 제막 성능을 향상시키기 위하여 소포제, 계면활성제, 열중합개시제, 접착력 증진제 등의 첨가제를 소량 첨가할 수도 있다.
본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용하여 컬러필터, 또는 블랙 매트릭스를 제조하는 방법은 다음과 같다.
각 성분을 적절한 용매에 분산시킨 컬러필터 조성물을 스핀 코팅법, 롤 코팅법, 스프레이 코팅법 등의 방법으로 제막을 한다. 제막용 기판은 유리판이나 실리콘 웨이퍼 등을 사용할 수 있으며, 필름 면의 두께는 조성물의 점도, 고형분의 농도, 제막 속도 등과 같은 제막 조건에 의하여 결정되며, 본 발명의 조성물을 사용하는 경우에 두께 0.1 내지 500 ㎛의 박막을 얻을 수 있다. 상기에서 얻어진 박막을 50 내지 150 ℃의 온도로 가열판 또는 오븐을 이용하여 10 내지 500 초 동안 유지하여 전처리를 한다.
어느 정도 건조가 된 박막은 네가티브형 시험 포토마스크(Toppan사 제조)를 통하여 자외선을 조사한다. 이때 자외선 광원은 g, h, i 선을 함유하는 1 KW 고압 수은등을 이용하여 30 내지 500 mJ/㎠ 내외의 조도로 조사한다. 이때 특별한 광학 필터는 사용하지 않는다.
자외선이 조사된 부분은 자외선이 조사되지 않은 부분에 비하여 용해도가 훨씬 작게 되어서 양자의 용해도 차이가 극대화된다.
자외선이 조사된 박막은 스프레이법이나 담금 방식으로 20 내지 30 ℃의 온도에서 현상하여 패턴을 형성한다. 이때의 현상액은 pH 9 내지 12의 KOH 수용액이나 0.1 내지 5 중량%의 테트라메틸암모늄하이드라이드 수용액을 사용할 수 있다.
현상이 완료된 패턴은 삼차 증류수를 이용하여 세정한 후, 150 내지 250 ℃의 온도에서 10 분 내지 100 분 동안 경화반응 시킨다. 컬러필터 및 블랙 매트릭스의 성능은 얻어진 패턴을 광학 현미경으로 관찰하여 판단하고, 블랙 매트릭스의 경우에는 추가적으로 조성물의 OD를 색좌표상의 Y값으로부터 구한다.
이하의 실시예 및 비교예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 단, 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것이지 이들만으로 한정하는 것이 아니다.
[실시예]
실시예 1
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산의 몰비가 60/40이고, 수평균분자량이 10000인 벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산 공중합체 10 g을 교반기 및 질소투입구가 부착된 플라스크에 투입하고, 메틸에틸케톤 100 ㎖로 용해시켰다. 플라스크의 온도를 120 ℃ 까지 올리고 글리시딜메타아크릴레이트 0.3 g을 1 시간 동안 서서히 가한 다음, 에폭시기가 완전히 사라질 때까지 반응시켰다.
반응물에 n-헥산과 메탄올의 중량비가 1 : 1인 혼합물을 가하여 침전을 형성시키고, 진공 하에 건조하여 바인더 수지를 얻었다.
실시예 2
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산의 몰비가 50/50이고, 수평균분자량이 15000인 벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산 공중합체 10 g과 글리시딜아크릴레이트 0.6 g을 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 같은 방법으로 바인더 수지를 얻었다.
실시예 3
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산의 몰비가 70/30이고, 수평균분자량이 15000인 벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산 공중합체 10 g과 글리시딜메타아크릴레이트 0.05 g을 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 같은 방법으로 바인더 수지를 얻었다.
실시예 4
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산의 몰비가 70/30이고, 수평균분자량이 10000인 벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산 공중합체 10 g과 글리시딜아크릴레이트 0.04 g을 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 같은 방법으로 바인더 수지를 얻었다.
실시예 5
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
에틸메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌의 몰비가 50/40/10이고, 수평균분자량이 14500인 에틸메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌 삼원 공중합체 10 g과 글리시딜아크릴레이트 0.3 g을 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 같은 방법으로 바인더 수지를 얻었다.
실시예 6
(자기경화형 바인더 수지의 제조)
에틸메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌의 몰비가 60/30/10이고, 수평균분자량이 14500인 에틸메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌 삼원 공중합체 10 g과 글리시딜메타아크릴레이트 0.05 g을 사용하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 같은 방법으로 바인더 수지를 얻었다.
이하의 실시예의 컬러필터 감광성 수지 조성물에 포함되는 안료 조성물에 있어서, 적색 안료 조성물은 적색 안료(색지수 179)와 황색 안료(색지수 31)을 75 : 25의 중량비로 혼합한 조성물이며; 녹색 안료 조성물이 녹색 안료(색지수 36)와 황색 안료(색지수 31)을 90 : 10의 중량비로 혼합한 조성물이며; 청색 안료 조성물이 청색 안료(색지수 22)와 자주색 안료(색지수 23)을 95 : 5의 중량비로 혼합한 조성물이다.
실시예 7∼12
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 1에서 제조된 바인더 수지를 사용하는 하기 표 1과 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예7 실시예8 실시예9 실시예10 실시예11 실시예12
실시예 1의 바인더 수지 9 g 9 g 9 g 14 g 12 g 11 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 8 g 7 g 7 g 0 g 3 g 4 g
비스-4,4'-디에틸아미노벤조페논 2 g 3 g 3 g 2 g 2 g 2 g
적색 안료 조성물 6 g - - 5 g - -
녹색 안료 조성물 - 6 g - - 6 g -
청색 안료 조성물 - - 6 g - - 5 g
프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 스핀 코팅법으로 유리기판 위에 도포한 다음, 가열판 위에 놓고 80 ℃의 온도에서 3 분간 유지하여 박막을 형성시켰다.
이어서, 상기 박막 위에 접촉 방식으로 네거티브형 시험 포토마스크(Toppan사 제조)를 올려놓고 자외선을 조사하였다. 이때 자외선 광원은 g, h, i 선을 모두 함유하는 1 kw 고압 수은등을 사용하여 100 mJ/㎠의 조도로 조사하였으며, 특별한 광학 필터는 사용하지 않았다.
상기에서 자외선이 조사된 박막을 pH 10.5의 KOH 수용액 현상 용액에 2 분 동안 담구어서 현상하였다. 이 박막이 입혀진 유리판을 증류수를 사용하여 씻어준 다음, 질소 가스를 불어서 건조하고, 200 ℃의 가열 오븐에서 1 시간 동안 가열하였다.
상기에서 얻어진 컬러필터의 필름 두께는 1.5 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 10 ㎛인 적색, 녹색, 청색의 선명한 패턴을 얻을 수 있었다.
실시예 13∼15
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 2에서 제조된 바인더 수지를 사용하는 하기 표 2와 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 13 실시예 14 실시예 15
실시예 2의 바인더 수지 9 g 12 g 9 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 8 g 3 g 9 g
2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-트리아진 2 g 3 g 3 g
적색 안료 조성물 6 g - -
녹색 안료 조성물 - 6 g -
청색 안료 조성물 - - 6 g
프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 7과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 100 mJ/㎠의 조도로 노광한 후 현상하였다.
상기에서 얻어진 컬러필터의 필름 두께는 1.7 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 12 ㎛인 적색, 녹색, 청색의 선명한 패턴을 얻을 수 있었다.
실시예 16∼18
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 3에서 제조된 바인더 수지를 사용하는 하기 표 3과 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 16 실시예 17 실시예 18
실시예 3의 바인더 수지 9 g 11 g 9 g
트리메틸올프로판트리아크릴레이트 5 g 3 g 9 g
2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-트리아진 2 g 3 g 3 g
적색 안료 조성물 6 g - -
녹색 안료 조성물 - 6 g -
청색 안료 조성물 - - 6 g
메틸셀로솔부 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 7과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 150 mJ/㎠의 조도로 노광한 후 현상하였다.
상기에서 얻어진 컬러필터의 필름 두께는 1.3 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 10 ㎛인 적색, 녹색, 청색의 선명한 패턴을 얻을 수 있었다.
실시예 19∼21
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 4에서 제조된 바인더 수지를 사용하는 하기 표 4와 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 19 실시예 20 실시예 21
실시예 4의 바인더 수지 7 g 11 g 8 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 4 g 2 g 9 g
비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논 2 g 3 g 3 g
적색 안료 조성물 6 g - -
녹색 안료 조성물 - 7 g -
청색 안료 조성물 - - 7 g
디에틸렌글리콜디메틸에테르 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 7과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 150 mJ/㎠의 조도로 노광한 후 현상하였다.
상기에서 얻어진 컬러필터의 필름 두께는 2.0 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 11 ㎛인 적색, 녹색, 청색의 선명한 패턴을 얻을 수 있었다.
실시예 22∼27
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 5 및 실시예 6에서 제조된 바인더 수지를 각각 사용하는 하기 표 5와 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 제조용 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 22 실시예 23 실시예 24 실시예 25 실시예 26 실시예 27
실시예 5의 바인더 수지 8 g 13 g 9 g - - -
실시예 6의 바인더 수지 - - - 15 g 14 g 12 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 8 g 0 g 7 g 2 g 2 g 3 g
비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논 2 g 3 g 3 g 2 g 2 g 2 g
적색 안료 조성물 6 g - - 6 g - -
녹색 안료 조성물 - 6 g - - 6 g -
청색 안료 조성물 - - 6 g - - 5 g
프로필렌글리콜디메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 7과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 150 mJ/㎠의 조도로 노광한 후 현상하였다.
상기에서 얻어진 컬러필터의 필름 두께는 1.8 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 10 ㎛인 적색, 녹색, 청색의 선명한 패턴을 얻을 수 있었다.
비교예 1∼6
(컬러필터 감광성 수지 조성물의 제조)
벤질메타아크릴레이크/메타아크릴산 공중합체와 벤질메타아크릴레이크/메타아크릴산/스티렌 공중합체를 각각 바인더 수지로 사용하는 하기 표 6과 같은 조성을 혼합 및 분산하여 컬러필터 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 비교예 1 비교예 2 비교예 3 비교예 4 비교예 5 비교예 6
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산공중합체(몰비 = 70/30, 수평균분자량 = 10000) 8 g 10 g 13 g - - -
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌 공중합체 (몰비 = 60/30/10,수평균분자량 = 14000) - - - 12 g 10 g 13 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 12 g 12 g 8 g 15 g 10 g 5 g
비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논 3 g 3 g 3 g 2 g 2 g 2 g
적색 안료 조성물 6 g - - 6 g - -
녹색 안료 조성물 - 6 g - - 6 g -
청색 안료 조성물 - - 6 g - - 5 g
프로필렌글리콜디메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(컬러필터의 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 7과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 노광량을 변화시키면서 패턴을 형성하여 하기 표 7과 같은 결과를 얻었다.
구 분 비교예 1 비교예 2 비교예 3 비교예 4 비교예 5 비교예 6
조사량(mJ/㎠) 250 200 150 250 200 150
막 두께(㎛) 1.2 1.0 패턴유실 1.1 0.8 패턴유실
분해능(㎛) 40 30 - 30 25 -
잔사 여부 잔사발생 - - 잔사발생 - -
상기 결과들에 따르면, 본 발명의 자기경화형 바인더 수지를 사용하는 컬러필터 제조용 감광성 수지 조성물을 이용하여 박막을 형성하는 경우 노광량을 100 ∼150 mJ/㎠으로 조사하면 그 박막의 두께가 1 내지 2 ㎛이었으며, 그 선폭 및 선간격은 10 내지 12 ㎛으로서, 선명한 컬러필터 패턴을 얻을 수 있음을 알 수 있다.
이에 반하여, 자기경화형 바인더 수지를 사용하지 않는 비교예 1 내지 6의 종래의 감광성 수지 조성물은 박막을 형성할 때 가교성 화합물의 사용량을 줄일 경우 그 노광량이 150 mJ/㎠인 경우에는 패턴 자체가 유실되었으며, 노광량을 200 내지 250 mJ/㎠으로 증가시킬 경우에도 노광 부위와 비노광 부위의 용해도 차이가 크지 않아서 패턴 두께의 감소율이 컸으며, 실시예와 같은 조건일 경우에는 박막 두께가 1.0 내지 1.2 ㎛를 나타내었다. 그러므로 가교성 화합물의 사용량을 늘리게 되면 최소 250 mJ/㎠ 이상의 노광량이 필요하게 되며, 이럴 경우 분해능이 감소하고, 현상시 잔사가 발생하는 경우가 많았다.
이는 자기경화형 바인더 수지를 사용하지 않는 감광성 수지 조성물이 가교성 화합물의 함량을 증가시키고 노광량을 증가시킴에 따라서 패턴을 얻을 수는 있으나 공정 시간이 길어지고 분해능의 감소와 잔사 발생 위험도 커짐을 알 수 있다.
그러므로 본 발명의 자기경화형 바인더 수지를 사용하는 컬러필터 제조용 감광성 수지 조성물은 노광량이 적어도 종래의 감광성 수지 조성물에 비하여 선명한미세 패턴을 얻을 수 있어서 노광 공정 시간을 단축할 수 있다.
실시예 28∼33
(블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 1 내지 실시예 3에서 제조된 바인더 수지를 각각 사용하여 하기 표 8과 같은 조성으로 혼합 및 분산하여 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 28 실시예 29 실시예 30 실시예 31 실시예 32 실시예 33
실시예 1의 바인더 수지 9 g - - 14 g - -
실시예 2의 바인더 수지 - 9 g - - 12 g -
실시예 3의 바인더 수지 - - 9 g - - 11 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 8 g 7 g 5 g 0 g 3 g 4 g
비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논 2 g 3 g 3 g 2 g 2 g 2 g
CI 15 청색 안료 2 g - 2 g - 2 g -
CI 23 보라색 안료 5 g - 5 g - 5 g -
CI 83 황색 안료 2 g - 2 g - 2 g -
카본 블랙(MA-100, 미쓰비시 화학) - 10 g - 9 g - 8 g
프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(블랙 매트릭스 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 스핀 코팅법으로 유리기판 위에 도포한 다음, 가열판 위에 놓고 80 ℃의 온도에서 3 분간 유지하여 박막을 형성시켰다.
이어서, 상기 박막 위에 접촉 방식으로 네거티브형 시험 포토마스크(Toppan사 제조)를 올려놓고 자외선을 조사하였다. 이때 자외선 광원은 g, h, i 선을 모두 함유하는 1 kw 고압 수은등을 사용하여 100 mJ/㎠의 조도로 조사하였으며, 특별한 광학 필터는 사용하지 않았다.
상기에서 자외선이 조사된 박막을 pH 10.5의 KOH 수용액 현상 용액에 2 분동안 담구어서 현상하였다. 이 박막이 입혀진 유리판을 증류수를 사용하여 씻어준 다음, 질소 가스를 불어서 건조하고, 220 ℃의 가열 오븐에서 1 시간 동안 가열하였다.
상기에서 얻어진 블랙 매트릭스의 필름 두께는 1.2 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 15 ㎛인 선명한 패턴을 얻을 수 있었다. 색좌표로부터 블랙 매트릭스의 광학밀도(OD)는 각각 최소 3.2 이상의 값을 나타내었다.
실시예 34∼39
(블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물의 제조)
상기 실시예 4 내지 실시예 6에서 제조된 바인더 수지를 각각 사용하여 하기 표 9와 같은 조성으로 혼합 및 분산하여 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 실시예 34 실시예 35 실시예 36 실시예 37 실시예 38 실시예 39
실시예 4의 바인더 수지 7 g - - 11 g - -
실시예 5의 바인더 수지 - 9 g - - 8 g -
실시예 6의 바인더 수지 - - 15 g - - 11 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 4 g 7 g 2 g 2 g 8 g 4 g
2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-트리아진 2 g 3 g 3 g 3 g 2 g 2 g
CI 15 청색 안료 2 g - 2 g - 2 g -
CI 23 보라색 안료 5 g - 5 g - 5 g -
CI 83 황색 안료 2 g - 2 g - 2 g -
카본 블랙(MA-100, 미쓰비시 화학) - 10 g - 9 g - 8 g
디에틸렌글리콜디메틸에테르 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(필름 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 28과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 120 mJ/㎠의 조도로 노광한 후 현상하였다.
상기에서 얻어진 블랙 매트릭스의 필름 두께는 1.7 ㎛ 이었으며, 선폭 및 선간격이 12 ㎛인 선명한 패턴을 얻을 수 있었다. 색좌표로부터의 블랙 매트릭스 광학밀도(OD)는 각각 최소 3.0 이상의 값을 나타내었다.
비교예 7∼12
(블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물의 제조)
벤질메타아크릴레이크/메타아크릴산 공중합체와 벤질메타아크릴레이크/메타아크릴산/스티렌 공중합체를 각각 바인더 수지로 사용하는 하기 표 10과 같은 조성을 혼합 및 분산하여 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
구 분 비교예 7 비교예 8 비교예 9 비교예 10 비교예 11 비교예 12
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산공중합체(몰비 = 70/30, 수평균분자량 = 10000) 8 g 10 g 13 g - - -
벤질메타아크릴레이트/메타아크릴산/스티렌 공중합체 (몰비 = 60/30/10,수평균분자량 = 14000) - - - 12 g 10 g 13 g
디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 12 g 12 g 8 g 15 g 10 g 5 g
비스-4,4'-디메틸아미노벤조페논 3 g 3 g 3 g 2 g 2 g 2 g
CI 15 청색 안료 2 g - - 2 g - 2 g
CI 23 보라색 안료 5 g - - 5 g - 5 g
CI 83 황색 안료 2 g - - 2 g - 2 g
카본 블랙(MA-100, 미쓰비시 화학) - 9 g 9 g - 9 g -
프로필렌글리콜디메틸에테르아세테이트 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g 100 g
(필름 제조)
상기 각각의 조성물 용액을 상기 실시예 28과 같은 방법으로 유리기판에 필름을 형성시키고 노광량을 변화시키면서 패턴을 형성하여 하기 표 11과 같은 결과를 얻었다.
구 분 비교예 7 비교예 8 비교예 9 비교예 10 비교예 11 비교예 12
조사량(mJ/㎠) 300 250 150 300 250 150
막 두께(㎛) 1.3 1.2 패턴유실 1.2 0.9 패턴유실
분해능(㎛) 40 40 - 30 30 -
잔사 여부 잔사발생 - - 잔사발생 - -
상기 결과들에 따르면, 본 발명의 자기경화형 바인더 수지를 사용한 블랙 매트릭스 조성물을 이용하여 박막을 형성하는 경우 노광량을 120 ∼150 mJ/㎠으로 조사하면 그 박막의 두께가 1 내지 2 ㎛이었으며, 그 선폭 및 선간격은 12 내지 15 ㎛으로서, 선명한 블랙 매트릭스 패턴을 얻을 수 있음을 알 수 있다.
이에 반하여, 자기경화형 바인더 수지를 사용하지 않는 비교예 7 내지 12의 감광성 수지 조성물은 박막을 형성할 때 가교성 화합물의 사용량을 줄일 경우 그 노광량이 150 mJ/㎠인 경우에는 패턴 자체가 유실되었으며, 노광량을 250 내지 300 mJ/㎠으로 증가시킬 경우에도 노광 부위와 비노광 부위의 용해도 차이가 크지 않아서 패턴 두께의 감소율이 컸으며, 가교성 화합물의 사용량을 늘리게 되면 최소 250 mJ/㎠ 이상의 노광량이 필요하게 되며, 이럴 경우 분해능이 감소하고, 현상시 잔사가 발생하는 경우가 많았다.
이로부터 자기경화형 바인더 수지를 사용하지 않는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물에 가교성 화합물의 함량을 증가시키고 노광량을 증가시킴에 따라서 패턴을 얻을 수는 있으나 공정 시간이 길어지고 분해능의 감소와 잔사 발생 위험도 커짐을 알 수 있다.
그러므로 본 발명의 자기경화형 바인더 수지를 사용하는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물은 노광량이 적어도 종래의 감광성 수지 조성물에 비하여 선명한 미세 패턴을 얻을 수 있어서 노광 공정 시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 감도 및 분해능(resolution)이 우수할 뿐만 아니라 현상과정 중에 잔사의 발생이 적으며, 유리기판에 대한 접착력이 우수하며, 특히 노광과정 중 노광된 부분에서 바인더 수지와 가교성 화합물의 화학적 결합과 동시에 바인더 수지 사슬간의 화학적 결합을 일으킬 수 있도록 하여 현상 과정 중의 비노광 부위와의 용해도 차이를 극대화함으로써 분해능이 우수하고, 가교성 화합물의 사용량을 감소시켜서 전체 노광량이 감소되어 공정상 유리할 뿐만 아니라 막 특성이 우수하다.

Claims (15)

  1. LCD의 안료분산형 컬러필터 또는 블랙 매트릭스 감광성 수지 조성물에 있어서,
    a) 하기 화학식 1로 표시되는 알칼리 수용액에 의하여 용해되거나 팽윤되는
    자기경화형 바인더 수지 화합물;
    b) 광중합 개시제;
    c) 안료; 및
    d) 용매
    를 포함하는 감광성 수지 조성물:
    [화학식 1]
    상기 식에서, A는 하기 화학식 2로 표시되는 화합물이고, B는 하기 화학식 3으로 표시되는 화합물이고, C는 하기 화학식 4, 또는 화학식 5로 표시되는 화합물이며,
    [화학식 2]
    [화학식 3]
    [화학식 4]
    [화학식 5]
    상기 화학식 2, 3, 4, 및 5의 식에서,
    R1은 수소, 또는 메틸기이며;
    R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 하이드록시기가 치환된 알킬기, 또는 치환되었거나 치환되지 않은 탄소수 1 내지 12의 아릴기이며;
    R3은 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 벤젠, 탄소수 1 내지 6의 알킬 치환기를 갖는 벤젠, 탄소수 1 내지 8의 알콕시 치환기를 갖는 벤젠, 또는 수산화기나 할로겐이 치환된 벤젠이다.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 조성물에
    e) 적어도 2 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 가교성 화합물
    을 더욱 포함하는 조성물.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 a)의 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지의 A, B, 및 C의 조성비는 A가 10 내지 50 몰%이고, B가 15 몰% 이하이고, C가 90 내지 50 몰%인 조성물.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 a)의 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지가 하기 화학식 6, 7, 및 8로 표시되는 카르본산기를 갖는 화합물의 군으로부터 1 종 이상 선택되는 공중합체와 하기 화학식 9로 표시되는 화합물을 반응시켜서 제조되는 조성물:
    [화학식 6]
    [화학식 7]
    [화학식 8]
    [화학식 9]
    상기 화학식 6, 7, 8, 및 9의 식에서,
    R1은 수소, 또는 메틸기이며;
    R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 하이드록시기가 치환된 알킬기, 또는 치환되었거나 치환되지 않은 탄소수 1 내지 12의 아릴기이며;
    R3은 탄소수 1 내지 8의 알킬기, 탄소수 1 내지 8의 알콕시기, 벤젠, 탄소수 1 내지 6의 알킬 치환기를 갖는 벤젠, 탄소수 1 내지 8의 알콕시 치환기를 갖는 벤젠, 또는 수산화기 또는 할로겐이 치환된 벤젠이다.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 화학식 6의 화합물은 아크릴산, 또는 메타아크릴산이고, 상기 화학식 7의 화합물은 벤질(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 및 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 화합물이고, 상기 화학식 8의 화합물은 스티렌, 4-하이드록시스티렌, 4-메틸스티렌, 및 초산비닐로 이루어진 군으로부터 선택되는 화합물인 조성물.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 화학식 9의 화합물이 글리시딜아크릴레이트, 또는 글리시딜메타아크릴레이트인 조성물.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 공중합체는 수평균분자량이 1000 내지 30000인 조성물.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 화학식 9로 표시되는 화합물의 화학식 1로 표시되는 바인더 수지 내 함량이 화학식 6의 카르본산 함유 단량체에 대하여 0.1 내지 90 몰%인 조성물.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 화학식 6의 화합물의 공중합체 내 함량이 화학식 6의 화합물, 화학식 7의 화합물, 및 화학식 8의 화합물의 몰합계에 대하여 10 내지 90 몰%인 조성물.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 e)의 가교성 화합물의 조성물 내 함량이 상기 화학식 1의 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 200 중량부 이하인 조성물.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 e)의 가교성 화합물이 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,3-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타이리트리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 및 트리메틸올프로판트리아크릴레이트로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 조성물.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 b)의 광중합 개시제의 함유량이 상기 a)의 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 0.1 내지 10 중량부인 조성물.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 c)의 안료가 프탈로시아닌계 청색안료, 퀴나크리돈, 페릴렌, 피롤, 아트라퀴논계 적색안료, 할로겐화 프탈로시아니계 녹색안료, 카본블랙, 아닐린블랙, 페릴렌블랙, 티탄블랙, 실리콘카바이드로 이루어진 군으로부터 1 종 이상 선택되는 조성물.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 c)의 안료의 함유량이 상기 a)의 화학식 1로 표시되는 자기경화형 바인더 수지 100 중량부에 대하여 10 내지 60 중량부인 조성물.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 d)의 용매의 함유량이 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대하여 10 내지 90 중량부인 조성물.
KR1020000031964A 2000-06-10 2000-06-10 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물 KR20010111360A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000031964A KR20010111360A (ko) 2000-06-10 2000-06-10 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000031964A KR20010111360A (ko) 2000-06-10 2000-06-10 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20010111360A true KR20010111360A (ko) 2001-12-17

Family

ID=45931149

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000031964A KR20010111360A (ko) 2000-06-10 2000-06-10 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20010111360A (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050070619A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 제일모직주식회사 컬러필터용 감광성 수지 조성물
KR100529370B1 (ko) * 2002-04-23 2005-11-21 주식회사 엘지화학 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 블랙 매트릭스
WO2007139312A1 (en) * 2006-05-26 2007-12-06 Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Colored negative photoresist composition, colored pattern comprising the same, and method for producing the colored pattern
WO2008127036A2 (en) * 2007-04-11 2008-10-23 Lg Chem, Ltd. Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkali soluble resin
KR101258726B1 (ko) * 2008-03-26 2013-04-26 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 그의 경화물 및 그의 경화물로 이루어지는 솔더 레지스트층을 갖는 인쇄 배선 기판
KR101285161B1 (ko) * 2008-10-15 2013-07-11 주식회사 엘지화학 내열성이 우수한 감광성 수지, 및 이를 포함하는 감광성 조성물
KR101442393B1 (ko) * 2008-03-26 2014-09-22 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 그의 경화물 및 그의 경화물로 이루어지는 솔더 레지스트층을 갖는 인쇄 배선 기판
KR101520623B1 (ko) * 2008-10-01 2015-05-18 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0682620A (ja) * 1992-09-07 1994-03-25 Fuji Photo Film Co Ltd カラーフィルターの保護層形成方法及びカラーフィルター
JPH06324296A (ja) * 1993-05-12 1994-11-25 Fuji Photo Film Co Ltd カラーフイルターの欠陥修正方法
KR950011163A (ko) * 1993-10-11 1995-05-15 전성원 바아형 스테빌라이저
JPH09179295A (ja) * 1995-12-21 1997-07-11 Fuji Photo Film Co Ltd 感放射線性組成物
KR0140907B1 (ko) * 1995-01-20 1998-06-15 박홍기 액정디스플레이 칼라필터용 감광성 수지 조성물
KR0153466B1 (ko) * 1995-08-31 1998-11-02 한형수 액정 디스플레이 칼라필터용 감광성 수지 조성물
JPH11149008A (ja) * 1997-11-17 1999-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性転写材料およびカラーフィルターの製造方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0682620A (ja) * 1992-09-07 1994-03-25 Fuji Photo Film Co Ltd カラーフィルターの保護層形成方法及びカラーフィルター
JPH06324296A (ja) * 1993-05-12 1994-11-25 Fuji Photo Film Co Ltd カラーフイルターの欠陥修正方法
KR950011163A (ko) * 1993-10-11 1995-05-15 전성원 바아형 스테빌라이저
KR0140907B1 (ko) * 1995-01-20 1998-06-15 박홍기 액정디스플레이 칼라필터용 감광성 수지 조성물
KR0153466B1 (ko) * 1995-08-31 1998-11-02 한형수 액정 디스플레이 칼라필터용 감광성 수지 조성물
JPH09179295A (ja) * 1995-12-21 1997-07-11 Fuji Photo Film Co Ltd 感放射線性組成物
JPH11149008A (ja) * 1997-11-17 1999-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd 感光性転写材料およびカラーフィルターの製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100529370B1 (ko) * 2002-04-23 2005-11-21 주식회사 엘지화학 감광성 수지 조성물 및 이를 포함하는 블랙 매트릭스
KR20050070619A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 제일모직주식회사 컬러필터용 감광성 수지 조성물
WO2007139312A1 (en) * 2006-05-26 2007-12-06 Dongwoo Fine-Chem. Co., Ltd. Colored negative photoresist composition, colored pattern comprising the same, and method for producing the colored pattern
JP2009538455A (ja) * 2006-05-26 2009-11-05 ドンウー ファイン−ケム カンパニー リミテッド 着色ネガティブフォトレジスト組成物、それを含む着色パターンおよびその製造方法
WO2008127036A2 (en) * 2007-04-11 2008-10-23 Lg Chem, Ltd. Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkali soluble resin
WO2008127036A3 (en) * 2007-04-11 2008-12-04 Lg Chemical Ltd Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkali soluble resin
US8357483B2 (en) 2007-04-11 2013-01-22 Lg Chem, Ltd. Photosensitive resin composition comprising a polymer prepared by using macromonomer as alkali soluble resin
KR101258726B1 (ko) * 2008-03-26 2013-04-26 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 그의 경화물 및 그의 경화물로 이루어지는 솔더 레지스트층을 갖는 인쇄 배선 기판
KR101442393B1 (ko) * 2008-03-26 2014-09-22 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 감광성 수지 조성물, 그의 경화물 및 그의 경화물로 이루어지는 솔더 레지스트층을 갖는 인쇄 배선 기판
KR101520623B1 (ko) * 2008-10-01 2015-05-18 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법
KR101285161B1 (ko) * 2008-10-15 2013-07-11 주식회사 엘지화학 내열성이 우수한 감광성 수지, 및 이를 포함하는 감광성 조성물

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8216770B2 (en) Resin composition comprising cardo resin, method for forming pattern using the resin composition and color filter using pattern formed by the method
US5800952A (en) Photopolymerizable composition for a color filter, color filter and liquid display device
KR100396231B1 (ko) 착색된 상 형성 물질 및 그로부터 제조된 컬러필터
KR20010009058A (ko) 감광성 수지 조성물
KR101134278B1 (ko) 감방사선성 조성물 및 그의 제조 방법
EP0902327A2 (en) Radiation sensitive composition
TWI430020B (zh) 感光性樹脂組成物
JP2004361736A (ja) ブラックレジスト用感光性樹脂組成物並びにこれを用いて形成された遮光膜
KR20080077435A (ko) 착색 감광성 수지 조성물 및 컬러필터
TW200937118A (en) Photosensitive resin composition with good stripper-resistance for color filter and color filter formed using the same
KR100493961B1 (ko) 감광성 수지 조성물
JP2003246935A (ja) 着色組成物及び感光性着色組成物並びにカラーフィルタ
KR20140089917A (ko) 착색 감광성 수지 조성물
CN100520577C (zh) 遮光膜形成用感光性组合物、由该遮光膜形成用感光性组合物形成的黑底
JP2000338322A (ja) カラーフィルター用光重合性組成物およびカラーフィルター
US20070238047A1 (en) Photosensitive resin composition for color filters
KR20010111360A (ko) 평판 디스플레이용 감광성 수지 조성물
JP2009198751A (ja) 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP3641894B2 (ja) カラーフィルター用黒色光重合性組成物
JPH10253815A (ja) カラーフィルター用光重合性組成物及びカラーフィルター
KR20100045771A (ko) 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 컬러필터
JP2003035815A (ja) カラーフィルター用組成物及びカラーフィルター
JPH11323143A (ja) 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター
KR101437158B1 (ko) 컬러필터용 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 이를 구비한 액정표시장치
JP3641895B2 (ja) カラーフィルター用光重合性組成物及びカラーフィルター

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application