TWI430020B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Description

感光性樹脂組成物
本發明係關於感光性樹脂組成物。更詳言之，係關於可適用於耐焊劑(solder resist)、各種塗布漆、接著劑、印刷油墨用黏著劑、彩色濾光片用黏著劑等，且可形成優異的耐熱性、與基板之密接性、顯影特性之硬化塗膜之感光性樹脂組成物。
近年來，從節省資源、節省能源之觀點來看，在印刷、塗料、接著劑之領域中已廣泛地使用可藉由紫外線或電子線予以硬化之放射線硬化型樹脂。即使是印刷配線板等電子機器領域，為了能夠長時間保護搭載零件後之電路板，亦已採用耐焊劑。作為以光阻法使用於印刷配線板之材料，通常為酸懸吊型酚醛環氧樹脂，惟與銅電鍍之密接性不夠充分，在作為多層印刷配線板用來使用的情況下，除了有導體電路間的密接強度不夠充分之問題外，尚有由於可撓性亦為惡劣，故容易碎裂之問題。
為解決此等課題，已提議一種在使用(甲基)丙烯酸共聚物之感光性樹脂組成物中混合無機填料之方法(例如，專利文獻1)，但是仍有對酸懸吊型酚醛環氧樹脂之耐熱性差之問題。
在彩色液晶顯示裝置、固體攝影元件中係使用彩色濾光片，此等係由在基板上以指定圖案著色紅(R)、綠(G)、藍(B)等色之著色塗膜、與該等之間之黑色的黑矩陣所構成。通常，在玻璃等透明基板上形成黑矩陣，接著依序形成R、G、B等著色塗膜圖案來製成。
一般而言，彩色濾光片係以染色法、印刷法、顏料分散法或電解沈積法等製造方法來製造。其中，特別是採用以鹼可溶性樹脂、反應性單體、光聚合啟發劑、顏料及溶劑為主體之光硬化性樹脂組成物，在透明基板上重複進行塗布、曝光、顯影、後硬化之微影術工法所製成之顏料分散法，因耐光性．耐熱性等耐久性優異，且針孔等缺陷少，而成為現今的主流。
顏料分散法係具有上述優點，然而另一方面由於重複地形成矩陣、R、G、B等圖案，故要求成為塗膜之黏著劑的鹼可溶性樹脂具有高耐熱性、與基板之密接性。
作為提升鹼可溶性樹脂之耐熱性的方法，迄今已提議：將在側鏈上具有環狀構造之(甲基)丙烯酸酯當作共聚合成分之樹脂組成物(例如，專利文獻2)、或將含馬來醯亞胺之單體作為共聚合成分之樹脂組成物(例如，專利文獻3)等。
然而，前者之將在側鏈上具有環狀構造之(甲基)丙烯酸酯當作共聚合成分之樹脂組成物，為提升耐熱性，而使其使用比率增加時，則有與基板之密接性下降之問題、或對於在顯影步驟使用之顯影液之樹脂溶解性下降，且不僅在顯影步驟中之時間變長，甚至變得無法顯影，而得不到指定圖案之問題、或是即使已經得到圖案，但為了固定塗膜，進行實施加熱處理後，在硬化時側鏈被熱分解而成為揮發性成分，而污染了生產線之問題。
後者之將含馬來醯亞胺之單體作為共聚合成分之樹脂組成物，則有由於分子中含有氮原子，導致由黃色著色為黃褐色，使塗膜之透明性惡化。此外，進行加熱處理後，在硬化時被更進一步地著色之問題。
專利文獻1：特開2006－190848號公報專利文獻2：特開2004－240396號公報專利文獻3：特開2003－29018號公報
本發明之目的係提供一種感光性樹脂組成物，除了具有可用於微影術步驟之顯影特性，還可形成耐熱性、密接性、透明性亦優異之硬化塗膜。
本發明人等為了解決上述課題，進行了鑽研探討。其結果發現，包括含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a－1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a－2)作為必要成分之共聚物的樹脂組成物係解決了上述課題，根據此發現而完成了本發明。
也就是說，本發明之感光性樹脂組成物，其係含有聚合物成分(A)與光聚合性單體(B)而成之感光性樹脂組成物，其特徵為聚合物成分(A)係含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a－1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a－2)作為必要單體成分而成之聚合物。
若根據本發明，可以提供一種感光性樹脂組成物，其係除了具有可用於微影術步驟之顯影特性外，尚可形成耐熱性、密接性、透明性亦優異之硬化塗膜。
又，由本發明之感光性樹脂組成物所形成之硬化塗膜係對玻璃基板或半導體基板之耐熱性．密接性優異，由於具有鹼顯影性，因而在各種光阻領域之利用價值極高。
 實施發明之最佳形態
以下詳細地說明本發明。
本發明之感光性樹脂組成物係藉由含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a－1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a－2)作為必要單體成分而成之共聚物作為聚合物成分(A)，而除了具有可用於微影術步驟之顯影特性以外，尚可形成耐熱性、密接性、透明性亦優異之硬化塗膜。
以下，針對聚合物成分(A)加以説明。
分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a－1)係無特別限定，作為其具體例，可舉出丙三醇單(甲基)丙烯酸酯、丁三醇單(甲基)丙烯酸酯、戊三醇單(甲基)丙烯酸酯等伸烷基多醇單(甲基)丙烯酸酯類、咖啡因酸、莽草酸等。其中，由密接性、顯影特性之點而言，特佳為丙三醇單(甲基)丙烯酸酯。
得到前述聚合物成分(A)之際，單體成分中之在分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a－1)的比例係無特別限制，在全部單體成分中為3~30莫耳%，較佳為5~20莫耳%，更佳為5~15莫耳%。該聚合性單體(a－1)係在該範圍內時，除了密接性等塗膜性能亦為足夠外，由於羥基之導入量正好恰當地維持，故感光性樹脂組成物溶液之黏度不會變高，由於亦不需使感光性樹脂組成物中的溶劑比率變高，故摻合的自由度高。又，相對地，可藉由使其他單體之摻合比率變高，而亦不使耐熱性降低，對於後述之鹼顯影中必要的羧基、光硬化中必要的感光性基之導入量亦無限制。
該聚合性單體(a－1)係由於用以賦予顯影性、密接性之機能高，故最終摻合比例為少，是以相對地賦予耐熱性之聚合性單體、賦予顯影性之聚合性單體、或賦予感光性之聚合性單體的摻合比例可以為多，而可兼備作為聚合物成分(A)之顯影性．感光性、以及耐熱性．密接性。
作為分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a－2)，其具體例可舉出(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸甲基環己酯、(甲基)丙烯酸乙基環己酯、(甲基)丙烯酸二環己酯、單(甲基)丙烯酸－1,4－環己烷二甲醇酯、(甲基)丙烯酸三環癸酯、(甲基)丙烯酸三環癸基氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸金剛烷酯、(甲基)丙烯酸松香酯、(甲基)丙烯酸降冰片烯酯、(甲基)丙烯酸－5－甲基降冰片烯酯、(甲基)丙烯酸－5－乙基降冰片烯酯等(甲基)丙烯酸酯類；α－蒎烯、α－萜品醇(α－terpeniol)等在分子內持有C－C雙鍵之單萜烯類；降冰片烯、5－甲基降冰片烯、5－降冰片烯－2－羧酸、5－降冰片烯－2,3－二羧酸、5－降冰片烯－2,3－二羧酸酐等環烯類等。該等之中，尤其由耐熱性之點而言，以(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸三環癸酯、(甲基)丙烯酸松香酯、降冰片烯為較佳。
得到前述聚合物成分(A)之際，單體成分中之分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a－2)的比例係無特別限制，宜為全單體成分中3~30莫耳%，較佳為5~20莫耳%，更佳為5~15莫耳%。若化合物(a－2)在該範圍內，相對地其他單體之摻合比率亦可不變低，與基板之密接性變得充分，後述之鹼顯影中必需的羧基、光硬化中必需的感光性基之導入量亦無限制。又，由於亦可持有交聯構造之脂環式骨架的導入量並沒有變多，故樹脂對顯影液的溶解性不會降低，在顯影步驟中花費的時間亦不會變長，不會無法顯影，而可得指定圖案。又，耐熱性等塗膜性能亦充分。
前述聚合物成分(A)係酸價為20~180 mgKOH/g，較佳為30~150 mgKOH/g，更佳為40~140 mgKOH/g。
若酸價在該範圍內，則可得充分之鹼顯影特性。也就是說，如果酸價在該範圍內，對鹼顯影液的溶解性變得充分，而沒有硬化部分時而溶解於鹼顯影液、時而膨潤之情形。
前述聚合物成分(A)係重量平均分子量(GPC法之聚苯乙烯換算數值)較佳為5000~80000。若重量平均分子量在該範圍內的話，耐熱性、可撓性不會下降，對鹼顯影液的溶解性亦變得充分。
關於在前述聚合物成分(A)導入酸價，已知將不飽和一價酸(a－3)作為共聚合成分使用(共聚物(A－1)、共聚物(A－2))、或使將具有環氧基之自由基聚合性化合物(a－5)作為共聚合成分使用之共聚物的環氧基與不飽和一價酸(a－3)反應後，使生成之羥基或共聚合成分(a－1)之羥基與多價酸酐(a－6)反應(共聚物(A－3))之方法。
共聚物(A－1)係將(a－1)與(a－2)、(a－3)及(a－4)予以共聚合而得，其共聚合比率係全單體成分中，(a－1)為3~30莫耳%，較佳為5~20莫耳%，更佳為5~15莫耳%；(a－2)為3~30莫耳%，較佳為5~20莫耳%，更佳為5~15莫耳%；(a－3)為20~70莫耳%，較佳為20~60莫耳%，更佳為20~50莫耳%；(a－4)為0~75莫耳%，較佳為20~60莫耳%，更佳為25~50莫耳%，其合計為100莫耳%。
使(a－1)為3~30莫耳%、(a－2)為3~30莫耳%係如前所述。
(a－3)係用以使共聚物(A－1)之側鏈持有存在羧基之酸價。作為本發明之(a－3)的不飽和一價酸，並無特別限定，可舉出例如，(甲基)丙烯酸、巴豆酸、桂皮酸等。又，亦可使用具有1個羥基與1個以上之(甲基)丙烯醯基之多官能(甲基)丙烯酸酯(例如，(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸羥基丙酯、(甲基)丙烯酸羥基丁酯、二(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯等)與多價酸酐之反應物等。該等之中，較佳為使用(甲基)丙烯酸。該等亦可併用1種或2種以上。
作為(a－1)、(a－2)及(a－3)以外之自由基聚合性化合物(a－4)，只要為具有乙烯性不飽和基者，即無特別限定。作為其具體例，可舉出丁二烯、2,3－二甲基丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等二烯類；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸新戊酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸2－乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸胡椒酯、(甲基)丙烯酸水楊酯、(甲基)丙烯酸呋喃酯、(甲基)丙烯酸糠酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸吡喃酯、(甲基)丙烯酸苯乙酯、(甲基)丙烯酸甲苯酚酯、(甲基)丙烯酸1,1,1－三氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟正丙酯、(甲基)丙烯酸全氟異丙酯、(甲基)丙烯酸三苯基甲酯、(甲基)丙烯酸異丙苯酯、(甲基)丙烯酸3－(N,N－二甲基胺基)丙酯、(甲基)丙烯酸2－羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2－羥基丙酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽酯等(甲基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酸醯胺、(甲基)丙烯酸N,N－二甲基醯胺、(甲基)丙烯酸N,N－二乙基醯胺、(甲基)丙烯酸N,N－二丙基醯胺、(甲基)丙烯酸N,N－二異丙基醯胺、(甲基)丙烯酸蒽基醯胺等(甲基)丙烯酸醯胺；(甲基)丙烯酸醯苯胺、(甲基)丙烯醯基腈、丙烯醛、氯化乙烯、氯化亞乙烯、氟化乙烯、氟化亞乙烯、N－乙烯基吡咯啶酮、乙烯基吡啶、乙酸乙烯酯等乙烯基化合物；苯乙烯、苯乙烯之α －、o－、m－、p－烷基、硝基、氰基、醯胺衍生物；檸康酸二乙酯、馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、伊康酸二乙酯等不飽和二羧酸二酯；N－苯基馬來醯亞胺、N－環己基馬來醯亞胺、N－月桂基馬來醯亞胺、N－(4－羥基苯基)馬來醯亞胺等單馬來醯亞胺類；N－(甲基)丙烯醯基苯二甲醯亞胺等。上述之中，由硬化塗膜之密接性、透明性的觀點而言，較佳為使用(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2－羥基乙酯、苯乙烯或乙烯基甲苯。該等係可併用1種或2種以上。
用以得到共聚物(A－1)之自由基共聚合反應係無特別限制，可適用迄今進行之一般自由基聚合法。例如，藉由在丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯之類的二醇醚系之溶劑、不具有甲苯或二甲苯之類的烴系或乙酸乙酯之類的官能基之有機溶劑中，以所期望的比率溶解上述(a－1)、(a－2)較佳為(a－3)及(a－4)之共聚合成分，混合偶氮雙異丁腈、偶氮雙異戊腈、過氧化苯甲醯、己酸過氧化第三丁基－2－乙酯之類的聚合啟發劑，在迴流狀態、以50~130℃左右，聚合1~20小時左右，而得共聚物(A－1)之有機溶劑溶液。聚合啟發劑之使用量係相對於(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)之合計量100質量份而言，通常為0.5~20質量份左右，較佳為1.0~10質量份。
亦可不使用有機溶劑，僅以(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)與聚合啟發劑進行塊狀聚合。
相對於(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)之合計量100質量份而言，有機溶劑之使用量係通常為30~1000質量份左右，較佳為50~800質量份左右。藉由使有機溶劑之使用量為1000質量份以下，防止因鏈轉移作用導致共聚物(A－1)之分子量降低，且能夠將最終所得之共聚物(A－1)的固體成分濃度控制在適切之範圍內。
藉由成為30質量份以上，能夠防止異常的聚合反應，而進行安定的聚合反應，可以防止樹脂著色、膠化。
本發明之共聚物(A－1)係當作混合後述反應性稀釋劑、溶劑而成之感光性樹脂組成物，由於主要是作為光阻等電子材料使用，故以上述之類的自由基共聚合法製造共聚物(A－1)之際，較佳係使用丙二醇單甲基醚乙酸酯之類的二醇酯系溶劑。
共聚物(A－2)係將(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)予以共聚合，使所得共聚物中之羧基與(a－5)成分反應而得。(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)之共聚合比率係與共聚物(A－1)相同，惟進一步使存在於側鏈之羧基與(a－5)之具有環氧基的自由基聚合性化合物反應，將部分羧基轉換為不飽和基。相對於存在於共聚物之側鏈的羧基100莫耳而言，(a－5)之具有環氧基的自由基聚合性化合物之使用量係5~80莫耳。藉由控制在5~80莫耳內，羧基與不飽和基的平衡良好，且共聚物(A－2)之硬化性及鹼顯影性維持適當。
(a－1)、(a－2)、(a－3)及(a－4)之共聚合反應係可在與共聚物(A－1)相同條件下反應。
作為(a－5)之具有環氧基的自由基聚合性化合物，並無特別限定，可舉出例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、具有環式環氧基之(甲基)丙烯酸3,4－環氧基環己基甲酯及其內酯加成物[例如，Daicel化學工業(股)製Cyclomer－A200、M100]、3,4－環氧基環己基甲基－3’,4’－環氧基環己烷羧酸酯之單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯之環氧基化物、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧乙酯之環氧基化物等，惟從原料取得容易而言，較佳為使用(甲基)丙烯酸縮水甘油酯及(甲基)丙烯酸3,4－環氧基環己基甲酯。該等係可併用1種或2種以上。
關於使共聚物中之羧基與(a－5)之具有環氧基的自由基聚合性化合物反應，係如下進行。也就是說，為了防止不飽和一價酸和含生成之不飽和基之共聚物的聚合所導致之膠化。在氫醌、甲基氫醌、氫醌單甲基醚、氧等聚合防止劑之存在下，並且在三乙基胺之類的三級胺、三乙基苄基氯化銨之類的四級銨鹽、三苯基膦之類的磷化合物、鉻之螯合物化合物等觸媒之存在下，通常以50~150℃左右、較佳為80~130℃進行反應。在用以得到共聚物之自由基共聚合反應使用有機溶劑的情形，可將共聚物有機溶劑之溶液狀態原樣地用於以後之反應。
共聚物(A－3)係使(a－1)、(a－2)、(a－5)及(a－4)進行共聚合，並使所得之共聚物中的環氧基與(a－3)反應後，使生成之羥基或(a－1)之羥基與多價酸酐之(a－6)反應而得。(a－1)、(a－2)、(a－5)及(a－4)之共聚合比率係全單體成分中，(a－1)為3~30莫耳%、較佳為5~20莫耳%、更佳為5~15莫耳%，(a－2)為3~30莫耳%、較佳為5~20莫耳%、更佳為5~15莫耳%，(a－5)為30~85莫耳%、較佳為30~70莫耳%、更佳為30~60莫耳%，(a－4)為0~65莫耳%、較佳為15~55莫耳%、更佳為25~50莫耳%，其合計為100莫耳%。
使(a－1)為3~30莫耳%、(a－2)為3~30莫耳%係如前所述。
(a－5)係在共聚物的側鏈導入環氧基，用以與之後(a－3)之羧基反應，以導入不飽和基。再者，藉由使所生成之羥基與多價酸酐之(a－6)反應，亦用以導入酸價。因此，所謂在共聚物(A－2)之側鏈所導入的(a－5)係機能相異、導入量亦相異，但可使用相同之環氧基化合物。
藉由使(a－5)成為30~85莫耳%，可以控制環氧基之導入量，亦即來自(a－3)之不飽和一價酸的不飽和基之導入量，而能夠控制共聚物(A－3)之硬化性。藉由使(a－1)、(a－2)及(a－5)成為如上述比率，(a－4)係可在0~65莫耳%之範圍內適當地選定。
該共聚物(A－3)為藉由使上述(a－1)、(a－2)、較佳為(a－5)及(a－4)自由基共聚合形成共聚物後，使(a－3)之不飽和一價酸反應，接著，使(a－6)之多價酸酐反應而得。(a－3)之不飽和一價酸的羧基係與來自(a－5)之側鏈的環氧基反應，以將環氧基開環，且在形成羥基的同時於末端賦予不飽和基。(a－6)之多價酸酐係與由(a－1)之羥基或(a－3)中的羧基及來自(a－5)之側鏈的環氧基反應所生成之羥基反應，酸酐基係開環變換為羧基。
相對於100莫耳之來自(a－5)之側鏈的環氧基而言，(a－3)之不飽和一價酸的使用量係10~100莫耳，較佳為30~100莫耳，更佳為50~100莫耳。
藉由使不飽和一價酸之使用量為10莫耳以上，能夠導入用以硬化樹脂所必需之不飽和基的最低量，藉由使不飽和一價酸的使用量為100莫耳以下，可以減少所得之本發明共聚物(A－3)中未反應之不飽和一價酸的量。
相對於藉由(a－1)之羥基及(a－3)中之羧基、與來自於(a－5)之側鏈的環氧基反應所生成羥基合計100莫耳而言，反應之(a－6)的多價酸酐使用量係5~100莫耳，較佳為10~90莫耳，更佳為20~90莫耳。藉由使相對於100莫耳之羥基而言，多價酸酐的莫耳數成為5~100莫耳之範圍，可將所得共聚物(A－3)之酸價(JIS K6901)控制於20~180mgKOH/g之範圍。
上述共聚物之羥基與多價酸酐(a－6)的反應係在將上述共聚物中來自(a－5)側鏈之環氧基與(a－3)之不飽和一價酸反應後，原樣地添加預定量之該(a－6)，通常為在50~150℃左右，較佳為80~130℃加熱進行。不需要重新添加觸媒。
作為本發明共聚物(A－3)中(a－6)之多價酸酐並無特別限定，可舉出例如琥珀酸酐、馬來酸酐、檸康酸酐、伊康酸酐、酞酸酐、四氫酞酸酐、內亞甲基四氫酞酸酐、甲基四氫酞酸酐、六氫酞酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐等。此等之中，較佳為使用四氫酞酸酐、琥珀酸酐。該等係可併用1種或2種以上。
含有如上所得之共聚物(A－1)~(A－3)之聚合物成分(A)與光聚合性單體(B)而成的本發明之感光性樹脂組成物，係可添加光聚合啟發劑(C)及溶劑(D)。
可使用之光聚合性單體(B)，只要為可與聚合物成分(A)反應者，即無特別限制。可舉出例如，苯乙烯、α－甲基苯乙烯、α－氯甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、二乙烯基苯、酞酸二烯丙酯、二烯丙基苯膦酸酯等芳香族乙烯基系單體類；乙酸乙烯酯、己二酸乙烯酯等聚羧酸單體類；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸β－羥基乙酯、(甲基)丙烯酸羥基丙酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙烷酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、參(羥基乙基)三聚異氰酸酯之三(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸系單體；三烯丙基氰脲酸酯等。亦可併用此等之1種或2種以上。
光聚合性單體(B)之添加量相對於100質量份之聚合物成分(A)而言，通常為10~200質量份，較佳為20~150質量份。
藉由在上述範圍內，可以將光硬化性保持於適當範圍內，再者，亦能夠調整黏度。
作為可添加於感光性樹脂組成物之溶劑(D)，只要為不與聚合物成分(A)及光聚合性單體(B)反應之惰性溶劑，即無限制而可以使用。
作為可利用之溶劑(D)，可舉出丙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸異丙酯、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、三丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、二乙二醇單甲基醚、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇乙基醚乙酸酯等。此等之中，較佳為使用在前述自由基聚合反應中較佳使用之丙二醇單甲基醚乙酸酯。
溶劑(D)之添加量係相對於100質量份之聚合物成分(A)而言，通常為30~1000質量份，較佳為50~800質量份。藉由為上述範圍，可將黏度保持適度。
本發明之感光性樹脂組成物係利用紫外線等活性光作為活性能量線進行光硬化的情況下，添加光聚合啟發劑(C)。作為可利用之光聚合啟發劑(C)並無特別限定，可舉出例如，苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚等苯偶姻及其烷基醚類；苯乙酮、2,2－二甲氧基－2－苯基苯乙酮、1,1－二氯苯乙酮、4－(1－第三丁基二氧基－1－甲基乙基)苯乙酮等苯乙酮類；2－甲基蒽醌、2－戊基蒽醌、2－第三丁基蒽醌、1－氯蒽醌等蒽醌類；2,4－二甲基噻吨酮、2,4－二異丙基噻吨酮、2－氯噻吨酮等噻吨酮類；苯乙酮二甲基縮酮、苄基二甲基縮酮等縮酮類；二苯甲酮、4－(1－第三丁基二氧基－1－甲基乙基)二苯甲酮、3,3’,4,4’－肆(第三丁基二氧基羰基)二苯甲酮等二苯甲酮類；2－甲基－1－[4－(甲基硫)苯基]－2－嗎複啉基－丙烷－1－酮或2－苄基－2－二甲基胺基－1－(4－嗎福啉基苯基)丁酮－1；戊基氧化膦類及呫吨酮類等。該等係可併用1種或2種以上。光聚合啟發劑(C)之摻合量係相對於本發明之感光性樹脂組成物中固體成分100質量份而言，通常宜為0.1~30質量份，較佳為0.5~20質量份，更佳為1~10質量份。藉由為0.1~30質量份，能夠將光硬化性保持在適當範圍。
再者，本發明之感光性樹脂組成物係可視需要含有習知之著色劑、消泡劑、偶合劑、整平劑等。
作為該著色劑，可使用無機顏料或有機顏料、染料等習知著色劑。
作為可使用之顏料的具體例，可舉出例如，C.I.色素黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料；C.I.色素橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色顏料；C.I.色素紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料；C.I.色素藍15、15：3、15：4、15：6、16、60等藍色顏料；C.I.色素紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料；C.I.色素綠7、36等綠色顏料；C.I.色素棕23、25等茶色顏料；C.I.色素黑1、7、碳黑、鈦黑、氧化鐵等黑色顏料等。此等著色劑係可因應目的畫素的顏色，分別單獨使用或組合2種以上使用。
著色劑之摻合量係無特別限定，相對於本發明之感光性樹脂組成物中固體成分100質量份而言，通常宜為20~70質量份，較佳為25~60質量份，更佳為、30~50質量份。
為了提升顏料之分散性，亦可更添加習知之分散劑。作為分散劑，若採用高分子分散劑則經時分散安定性優異，因而較佳。作為高分子分散劑，可舉出例如，胺基甲酸酯系分散劑、聚乙烯亞胺系分散劑、聚氧基伸乙基烷基醚系分散劑、聚氧基乙二醇二酯系分散劑、脫水山梨糖醇脂肪族酯系分散劑、脂肪族變性酯系分散劑等。作為該分散劑之具體例，以商品名表示可舉出EFKA(EFKA Chemicals B.V.(EFKA)社製)、Disperbyk(BYK化學公司製)、Disperlon(楠本化成股份有限公司製)、SOLSPERSE(ZENECA公司製)等。
分散劑之摻合量係無特別限定，相對於100質量份的所用之顏料而言，通常宜為100質量份以下，較佳為1~90質量份，更佳為10~70質量份。
如上所述，本發明之聚合物成分(A)係酸價為20~180mgKOH/g，因此使用含該等之感光性樹脂組成物的光阻類係可用鹼水溶液進行顯影。
本發明之感光性樹脂組成物係能夠在例如，印刷配線基板、玻璃基板、陣列基板上，以篩網印刷法、輥塗布法、簾幕塗布法、噴灑塗布法、旋塗法等予以塗布，使必要部分光硬化後，將其未硬化(未曝光)部分以鹼水溶液洗去，以進行顯影。作為在顯影所使用之鹼水溶液，可舉出碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸鈣、氫氧化鈉等水溶液，胺系亦有使用胺基苯酚系化合物，惟較佳係使用p－伸苯二胺系化合物，其代表例可舉出3－甲基－4－胺基－N,N－二乙基苯胺、3－甲基－4－胺基－N－乙基－N－β－羥基乙基苯胺、3－甲基－4－胺基－N－乙基－N－β－甲磺醯胺乙基苯胺、3－甲基－4－胺基－N－乙基－N－β－甲氧基乙基苯胺及此等之硫酸鹽、鹽酸鹽、或p－甲苯磺酸鹽之水溶液。
在光照射以使塗布面硬化之際所採用之光源，係使用低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈、金屬鹵素燈等。
實施例
以下顯示實施例及比較例，以具體地說明本發明，惟本發明係不因此等例而有任何限定。
又，份及百分比若無特別說明，則全部係以質量為基準。共聚物之分子量係以GPC(凝膠滲透層析法)所測定之聚苯乙烯換算的重量平均分子量(Mw)。
合成例1在配備攪拌装置、滴液漏斗、冷凝器、溫度計、氣體導入管之燒瓶中，置入作為溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯700g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)53.2g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)19.3g、乙烯基甲苯(a－4)165.4g及甲基丙烯酸(a－3)56.1g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯6.0g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到固體成分酸價122.0mgKOH/g、重量平均分子量29800之共聚物(A－1)－1(感光性樹脂1)的溶液。
合成例2在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸環己酯(a－2)73.4g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)69.9g、乙烯基甲苯(a－4)171.9g、甲基丙烯酸(a－3)50.1g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯34.7g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到固體成分酸價81.7mgKOH/g、重量平均分子量9500的共聚物(A－1)－2(感光性樹脂2)之溶液。
合成例3在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯700g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)45.9g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)33.4g、乙烯基甲苯(a－4)96.0g及甲基丙烯酸(a－3)73.6g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯5.0g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，把甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)44.4g、三苯基膦0.8g、及甲基氫醌0.8g投入上述共聚物溶液中，以120℃持續反應，得到固體成分酸價101.4mgKOH/g、重量平均分子量30500的共聚物(A－2)－1(感光性樹脂3)之溶液。
合成例4在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在環己基甲基丙烯酸酯(a－2)40.5g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)38.6g、甲基丙烯酸(a－3)93.3g、甲基丙烯酸苄酯(a－4)148.5g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯25.3g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，把甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)51.4g、三苯基膦1.2g及甲基氫醌1.2g投入上述共聚物溶液中，以120℃持續反應，得到固體成分酸價101.4mgKOH/g、重量平均分子量10500的共聚物(A－2)－2(感光性樹脂4)之溶液。
合成例5在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯700g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，投入甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)27.9g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)20.3g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)99.2g及苯乙烯單體(a－4)33.0g，並添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯3.7g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到共聚物1之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，把丙烯酸(a－3)48.8g、三苯基膦0.8g及甲基氫醌0.8g投入上述共聚物1之溶液中以120℃持續反應，在固體成分之酸價成為0.8mgKOH/g時反應結束，而得到共聚物1a之溶液。接著，藉由加入四氫酞酸酐(a－6)65.6g，以115℃反應2小時，而得固體成分酸價80.7mgKOH/g、重量平均分子量30800的共聚物(A－3)－1(感光性樹脂5)之溶液。
合成例6在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)36.3g、環己基甲基丙烯酸酯(a－2)55.4g、丙三醇單丙烯酸酯(a－1)26.4g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)117.1g及乙烯基甲苯(a－4)19.5g所構成之單體混合物中，添加t－丁基過氧基－2－乙基己酸酯20.5g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到共聚物2之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，投入丙烯酸(a－3)57.6g、三苯基膦1.0g及甲基氫醌1.0g，以120℃持續反應，在固體成分之酸價成為0.8mgKOH/g時反應結束，得到共聚物2a之溶液。接著，藉由加入四氫酞酸酐(a－6)65.2g，以115℃反應2小時，而得固體成分酸價60.2mgKOH/g、重量平均分子量9400的共聚物(A－3)－2(感光性樹脂6)之溶液。
比較合成例1在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在丙三醇單丙烯酸酯(a－1)74.4g、乙烯基甲苯(a－4)241.8g、甲基丙烯酸(a－3)50.7g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯32.9g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到固體成分酸價82.7mgKOH/g、重量平均分子量10200之比較感光性樹脂1之溶液。
比較合成例2在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在環己基甲基丙烯酸酯(a－2)190.7g、乙烯基甲苯(a－4)130.6g、甲基丙烯酸(a－3)51.2g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯27.5g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到固體成分酸價83.6mgKOH/g、重量平均分子量9200之比較感光性樹脂2之溶液。
比較合成例3在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯700g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)46.9g、甲基丙烯酸2－羥基乙酯(a－4)27.7g、乙烯基甲苯(a－4)98.1g、甲基丙烯酸(a－3)75.1g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯5.1g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時，得到共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，將甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)45.4g、三苯基膦0.9g及甲基氫醌0.9g投入上述共聚物溶液中，以120℃持續反應，得到固體成分酸價103.6mgKOH/g、重量平均分子量29800之比較感光性樹脂3之溶液。
比較合成例4在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯650g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在甲基丙烯酸三環癸酯(a－2)128.5g、甲基丙烯酸(a－3)68.6g及甲基丙烯酸苄酯(a－4)99.4g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯10.1g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時、進行反應，而得共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，將甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)41.5g、三苯基膦1.0g及甲基氫醌1.0g投入上述共聚物溶液中，以120℃持續反應，得到固體成分酸價81.1mgKOH/g、重量平均分子量20800之比較感光性樹脂4之溶液。
比較合成例5在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯600g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在丙三醇單丙烯酸酯(a－1)27.1g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)144.2g、甲基丙烯酸正丁酯(a－4)72.1g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯19.5g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶，然後，以120℃攪拌2小時、進行反應，而得共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，把丙烯酸(a－3)70.9g、三苯基膦1.0g及甲基氫醌1.0g投入上述共聚物之溶液中，以120℃持續反應，在固體成分之酸價成為0.8mgKOH/g時反應結束，得到共聚物之溶液。接著，藉由加入四氫酞酸酐(a－6)64.3g，以115℃反應2小時，得到固體成分酸價59.3mgKOH/g、重量平均分子量9800之比較感光性樹脂5之溶液。
比較合成例6在與合成例1相同之燒瓶中置入作為溶劑的丙二醇單甲基醚乙酸酯700g，邊進行氮置換邊進行攪拌，昇溫至120℃。接著，在環己基甲基丙烯酸酯(a－2)56.9g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a－5)96.2g、甲基丙烯酸正丁酯(a－4)16.0g所構成之單體混合物中，添加己酸第三丁基過氧基－2－乙酯5.1g。將其從滴液漏斗費2小時滴下至燒瓶然後，以120℃攪拌2小時、進行反應，而得共聚物之溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，把丙烯酸(a－3)47.3g、三苯基膦0.7g及甲基氫醌0.7g投入上述共聚物溶液，以120℃持續反應，在固體成分之酸價成為0.8mgKOH/g時反應結束，得到共聚物之溶液。接著，藉由加入四氫酞酸酐(a－6)77.2g，以115℃反應2小時，得到固體成分酸價95.0mgKOH/g、重量平均分子量31000之比較感光性樹脂6之溶液。
實施例1~6、比較例1~6分別使用合成例1~6所得之感光性樹脂1~6的各溶液作為實施例1~6，比較合成例1~6所得之比較感光性樹脂1~6之各溶液作為比較例1~6。將在各感光性樹脂之溶液的固體成分100份中，添加季戊四醇四丙烯酸酯30份作為光聚合啟發劑、2,2－二甲氧基－2－苯基苯乙酮4份所調製而成之感光性樹脂組成物，以塗抹器(applicator)在玻璃基板上塗布為濕潤時之厚度係10 μm，在100℃之熱風乾燥器中使低沸點物揮發後，用ORC MANUFACTURING CO.,LTD.(股)製超高壓水銀燈，視需要通過遮罩以150mJ/cm2 進行曝光，得到厚度2 μm之硬化塗膜，接著進行鹼顯影。
<綠色顏料分散液1之調製>在經填充直徑0.5mm之鋯珠粒180質量份的SUS容器中，投入7.58質量份之C.I色素綠36、7.58質量份之合成例2所得之感光性樹脂2、28.54質量份之丙二醇單甲基醚乙酸酯及6.31質量份之分散劑(BYK化學公司製Disperbyk－161)，以塗料攪拌器(paint shaker)進行分散6小時，而得綠色顏料分散液1。
<綠色顏料分散液2之調製>在經填充直徑0.5mm之鋯珠粒180質量份的SUS容器中，投入7.58質量份之C.I色素綠36、7.58質量份之比較合成例2所得之比較感光性樹脂2、28.54質量份之丙二醇單甲基醚乙酸酯及6.31質量份之分散劑(BYK化學公司製Disperbyk－161)，以塗料攪拌器進行分散6小時，而得綠色顏料分散液2。
<綠色感光性樹脂組成物1之調製>混合50質量份之上述所得之綠色顏料分散液1、20.8質量份之合成例3所得之感光性樹脂3、6.25質量份之六丙烯酸二季戊四醇酯、2.5質量份之Irgacure 907(Ciba Specially Chemicals股份有限公司製)、31.1質量份之丙二醇單甲基醚乙酸酯M得到綠色感光性樹脂組成物1。
<綠色感光性樹脂組成物2之調製>混合50質量份之上述所得之綠色顏料分散液2、20.8質量份之比較合成例4所得之比較感光性樹脂4、6.25質量份之六丙烯酸二季戊四醇酯、2.5質量份之Irgacure 907(Ciba Specially Chemicals股份有限公司製)、31.1質量份之丙二醇單甲基醚乙酸酯，得到綠色感光性樹脂組成物2。
實施例7、比較例7分別使用綠色感光性樹脂組成物1作為實施例7、綠色感光性樹脂組成物2作為比較例7，以塗抹器在玻璃基板上塗布成乾燥時之厚度為2 μm，在100℃之熱風乾燥器中使低沸點物揮發後，用Orc Manufacturing Co.,Ltd.(股)製超高壓水銀燈，視需要通過遮罩以150mJ/cm2 進行曝光，得到厚度2 μm之硬化塗膜，接著進行鹼顯影。
(1)耐熱性試驗切出實施例1~7及比較例1~7所得之各硬化塗膜，進行熱重量分析(TGA)。將切出之試料加熱至220℃為止，測定保持2小時時之重量變化率。
(2)耐熱變色性試驗將製膜於玻璃基板上之塗膜在230℃之乾燥機中放置1小時，以色差計比較加熱處理前後塗膜之著色，根據以下基準進行評價。
○：△E*ab為0.3以下×：△E*ab超過0.3
(3)透明性將製膜於玻璃基板上之塗膜在230℃之乾燥機中放置1小時，以分光光度計測定加熱處理前後塗膜在400nm之透過率，根據以下基準進行評價。
○：透過率之變化率為1%以下×：透過率之變化率超過1%
(4)密接性用硬化塗膜、依據JIS K5400進行矩形試驗，以目視觀察100個矩形之剝離狀態，根據以下基準進行評價。
○：判斷完全無剝離者。×：判斷整體的10%以上剝離者。
(5)鹼顯影性將將通過遮罩曝光之硬化塗膜在23℃用0.1%之碳酸鈉水溶液噴灑顯影，觀察水洗後塗膜之有無，跟據以下基準進行評價。
○：顯影時間70秒後，目視無塗膜×：顯影時間70秒後，目視有塗膜
由表1~4，實施例中加熱時的重量減少或耐熱變色、透明性之惡化少，並且判斷無硬化塗膜之剝離，更且亦無損鹼顯影性。
產業上之可利用性
由本發明之感光性樹脂組成物所形成之硬化塗膜係對玻璃基板或半導體基板之耐熱性．密接性優異，由於具有鹼顯影性，因此在各種光阻領域之利用價值極高。

Claims (7)

  1. 一種感光性樹脂組成物，其係含有聚合物成分(A)與光聚合性單體(B)而成之感光性樹脂組成物，其特徵為聚合物成分(A)係含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)作為必要單體成分之聚合物，其中前述聚合物成分(A)係使在分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、和在分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)、與不飽和一價酸(a-3)、以及可與彼等共聚合之(a-1)、(a-2)及(a-3)以外的自由基聚合性化合物(a-4)進行共聚合而成之共聚物(A-1)。
  2. 一種感光性樹脂組成物，其係含有聚合物成分(A)與光聚合性單體(B)而成之感光性樹脂組成物，其特徵為聚合物成分(A)係含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)作為必要單體成分之聚合物，其中前述聚合物成分(A)係使在分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、和在分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)、與不飽和一價酸(a-3)、以及可與彼等共聚合之(a-1)、(a-2)及(a-3)以外的自由基聚合性化合物(a-4)進行共聚合，並使所得之共聚物中之羧基與具有環氧基之自由基聚合性化合 物(a-5)反應而成之共聚物(A-2)。
  3. 一種感光性樹脂組成物，其係含有聚合物成分(A)與光聚合性單體(B)而成之感光性樹脂組成物，其特徵為聚合物成分(A)係含有以分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、與分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)作為必要單體成分之聚合物，其中前述聚合物成分(A)係使在分子中具有2個以上的羥基之聚合性單體(a-1)、和在分子中具有亦可持有碳數6~20之交聯構造的脂環式骨架之聚合性單體(a-2)、與具有環氧基之自由基聚合性化合物(a-5)、以及可與彼等共聚合之(a-1)、(a-2)及(a-5)以外的自由基聚合性化合物(a-4)進行共聚合，並使所得共聚物中之環氧基與不飽和一價酸(a-3)反應後，使羥基與多價酸酐(a-6)反應而成之共聚物(A-3)。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之感光性樹脂組成物，其中聚合物成分(A)之酸價為20~180mgKOH/g。
  5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之感光性樹脂組成物，其中聚合物成分(A)之重量平均分子量為5000~80000。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之感光性樹脂組成物，其係更含有光聚合引發劑(C)及溶劑(D)。
  7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之感光性樹脂組成物，其係更含有著色劑。
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