JP6218393B2 - 層間絶縁膜用感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本発明における(A)成分は、一般式(a−1)で表される構成単位(A1)と、下記一般式(a−2)で表される構成単位(A2)と、脂環式エポキシ基含有単位(A3)とを構造中に有する共重合体を少なくとも含有することを特徴とする。
本発明における感光剤(B)としては、感光成分として使用できる化合物であれば特に限定されるものではないが、好ましい例としてキノンジアジド基含有化合物が挙げられる。
本発明に係る感光性樹脂組成物は、塗布性を改善したり、粘度を調整したりするために、有機溶剤(C)を含有する。
また、本発明に係る感光性樹脂組成物は、界面活性剤や、増感剤、消泡剤、架橋剤、カップリング剤等の各種添加剤を含有していてもよい。
する。
まず、基板等の支持体上に本発明に係る感光性樹脂組成物をスピンナー、ロールコーター、スプレーコーター、スリットコーター等を用いて塗布、乾燥させ、感光性樹脂組成物層を形成する。上記基板としては、例えば、透明導電回路等の配線を備え、必要に応じてブラックマトリクス、カラーフィルタ、偏光板等を備えるガラス板が挙げられる。
下記表1に示されるモル比で各成分が構成されるように重合性単量体を混合し、定法に従いアルカリ可溶性樹脂(A)であるアクリル1〜8を調製した。
表1に示す各アルカリ可溶性樹脂(A)と、感光剤(B)、及び有機溶剤(C)を以下の配合比で混合し、実施例1,2,5,6、参考例3,4及び比較例1,2の感光性樹脂組成物を調製した。
(A)成分:表1記載のポリマー・・・75質量部
(B)成分:4,4‘−[(3,4−ジヒドロキシフェニル)メチレン]ビス(2−シクロヘキシル−5−メチルフェノール)にナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルを反応させたもの(エステル化率80%)・・・25質量部
(C)成分:PGMEA/PGME=60/40の混合溶剤・・・400質量部
表1中、使用した重合性単量体の略号とその化学構造は以下の通りである。
A1−2:メタクリル酸
A2−1:メタクリル酸メチル
A2−2:メタクリル酸ブチル
A2−3:メタクリル酸ベンジル
A4−1:メタクリル酸グリシジル
上記感光性樹脂組成物を、ガラス基板(ダウコーニング社製:0.7mm×150mm(厚さ×直径))上に、膜厚2μmとなるようにスピンナーで塗布後、ホットプレート上にて110℃で2分間乾燥させて塗布膜を得た。この塗布膜に対して、2μmライン・パターン/2μmスペース・パターンのポジマスクパターンを介してミラープロジェクションアライナー(商品名:MPA−600FA、キヤノン社製)を用いて露光した。次いで、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド2.38質量%水溶液(現像液)中にて、1分間浸漬させ現像を行い、純水でのリンス洗浄を経て不要部分を除去し、パターンを得た。
2μmライン・パターンが解像するものを○、しないものを×として解像性の評価を行った。
上記の各実施例、各参考例及び各比較例の感光性樹脂組成物から形成させた層間絶縁膜について、下記の手順にて誘電率を評価した。まず、形成させた層間絶縁膜の一部を基板から切り出し、切り出した層間絶縁膜にアルミニウムを蒸着させ、測定器(製品名「SSM495」、Solid State Measurement社製)を用いて、得られた絶縁膜の誘電率(0.9216MHz)を測定した。
Claims (6)
- アルカリ可溶性樹脂(A)と、感光剤(B)と、有機溶剤(C)と、を含有する層間絶縁膜用感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂(A)が、下記一般式(a−1−1)で表される構成単位(A1)と、下記一般式(a−2)で表される構成単位(A2)と、脂環式エポキシ基含有単位(A3)とを構造中に有する共重合体を含有し、
前記共重合体における前記構成単位(A1)の含有比率が20〜60モル%である、
層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
- 前記共重合体における前記脂環式エポキシ基含有単位(A3)の含有比率が5〜40モル%である請求項1に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
- 前記感光剤(B)は、キノンジアジド基含有化合物である請求項1又は2に記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
- 請求項1から3のいずれかに記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を硬化する工程を含む、層間絶縁膜の製造方法。
- 前記硬化は、150〜250℃において行う、請求項4に記載の層間絶縁膜の製造方法。
- 請求項1から3のいずれかに記載の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を硬化した層間絶縁膜。
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