JP5638243B2 - グラフトポリマー及びそれを含む感光性樹脂組成物 - Google Patents

グラフトポリマー及びそれを含む感光性樹脂組成物 Download PDF

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Description

本発明は、ソルダーレジスト、各種コーティング、接着剤、印刷インキ用バインダー、カラーフィルター用バインダー等に好適に用いることができる感光性グラフトポリマー及びそれを含む感光性樹脂組成物に関するものである。
近年、省資源、省エネルギーの観点から印刷、塗料、接着剤等の分野において、紫外線、電子線等の活性エネルギー線で硬化可能な活性エネルギー線硬化型樹脂が広く使用されるようになっている。プリント配線基板等の電子材料分野でも半導体基板用の樹脂として活性エネルギー線で硬化する樹脂を用いたソルダーレジスト等が使用されている。
また、カラー液晶表示装置や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターは、基板上に赤(R)、緑(G)及び青(B)の三色を所定のパターンで形成した着色塗膜と、それらRGBの三色の着色塗膜間に形成された黒色のブラックマトリックスとから構成される。このようなカラーフィルターは、通常、ガラス等の透明基板上にブラックマトリックスを形成し、次いでR、G及びBの着色塗膜を所定のパターンで順次形成して製造される。
着色塗膜のパターンを形成する方法としては、一般的に、染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等が挙げられる。これらの中でも、アルカリ可溶性バインダーポリマー、反応性希釈剤、光重合開始剤、顔料及び溶剤を主体とする光硬化性樹脂組成物の透明基板上への塗布、露光、現像及び後硬化を繰り返すフォトリソグラフ方式を用いる顔料分散法は、形成した着色塗膜の耐光性及び耐熱性が優れており且つピンホール等の欠陥が少ないため、現在の主流となっている。
更に近年、カラーディスプレイの高精細化への要求は高まる一方である。顔料分散法によって鮮明な色調を得るためには顔料粒子を微細化するのが有効であるが、顔料を微細化し過ぎると経時での顔料の分散性及び安定性が低下し、光硬化性樹脂組成物が増粘して均一な膜厚が得られなかったり、寸法精度に問題を生じる。
そこで、顔料の分散安定性を向上させるために、バインダーポリマーをグラフト化する方法が提案されている。これは、バインダーポリマーをグラフト化させることで、枝ポリマーが立体障害となり顔料同士の凝集を防ぐことで分散安定性が向上するものと思われる。従来、アルコール性水酸基を有するモノマー、スチレンやメチルメタクリレートのマクロモノマーからなるバインダーポリマーを用いた感放射線性組成物(例えば、特許文献1及び2)や四級アンモニウム塩モノマーとスチレンやメチルメタクリレートとのマクロモノマーからなるバインダーポリマーを用いた感放射線性組成物(例えば、特許文献3)、窒素原子含有モノマーとスチレンやメチルメタクリレートとのマクロモノマーからなるバインダーポリマーを用いた着色感光性組成物(例えば、特許文献4)が提案されているが、これらのバインダーポリマーによる顔料の分散安定性は満足できるものではなかった。
特開平7−140654号公報 特開平8−259876号公報 特開平10−142796号公報 特開平10−339949号公報
従って、本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、顔料の分散安定性に優れ、且つ透明性にも優れる硬化塗膜を形成でき、さらにはアルカリ現像性を有し、現像後の残渣もない感光性樹脂組成物及びそれに配合される感光性グラフトポリマーを提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決するためには、まず、モノマー構造による立体障害効果で顔料の分散性を高めるため、これまで多く用いられてきたスチレンやメチルメタクリレートのようなアルキル基を有する(メタ)アクリレートのマクロモノマーよりも嵩高い構造のマクロモノマーを選定する必要があると考えた。そこで、本発明者らは、種々のマクロモノマーについて検討した結果、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマーと、橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマーとを特定の割合で共重合して得られるマクロモノマーを枝ポリマーとした感光性グラフトポリマーが上記課題を解決することを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明は、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー30〜80モル%と、橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマー20〜70モル%とを共重合して得られるマクロモノマーを枝ポリマーとすることを特徴とする感光性グラフトポリマーである。
また、本発明は、上記感光性グラフトポリマーと、反応性希釈剤と、光重合開始剤と、溶剤とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。
本発明によれば、顔料の分散安定性に優れ、且つ透明性にも優れる硬化塗膜を形成でき、さらにはアルカリ現像性を有し、現像後の残渣もない感光性樹脂組成物及びそれに配合される感光性グラフトポリマーを提供することができる。
以下、本発明を詳細に説明する。
まず、本発明による感光性グラフトポリマーにおいて枝ポリマーとなるマクロモノマー(a)について説明する。
本発明におけるマクロモノマー(a)は、従来行われている通常のラジカル重合法により得ることができる。例えば、有機溶剤中に、マクロモノマーの第1成分である炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー(a−1)と、マクロモノマーの第2成分である橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマー(a−2)とを所定の比率で溶解し、カルボキシル基、ヒドロキシル基等の官能基を有する連鎖移動剤及び重合開始剤を混合し、50〜130℃程度で1〜20時間程度溶液重合を行うことで、末端にカルボキシル基、ヒドロキシル基等の官能基を有するプレポリマーが得られる。このようにして得られるプレポリマーの末端に重合性不飽和基を導入することで、感光性グラフトポリマーに枝ポリマーとして導入可能なマクロモノマー(a)を得ることができる。重合性不飽和基の導入方法としては、例えば、プレポリマーの末端のカルボキシル基、ヒドロキシル基等の官能基と反応し得る官能基と重合性不飽和基との2つを有する化合物をプレポリマーに反応させればよい。末端に官能基を有するプレポリマーと反応し得る官能基と重合性不飽和基との2つを有する化合物としては、末端カルボキシル基のプレポリマーには、エポキシ基を有するグリシジル(メタ)アクリレートや脂環式エポキシを有する(メタ)アクリレート(例えば、ダイセル化学工業(株)製サイクロマーA200、M100)を使用することができ、末端ヒドロキシル基を有するプレポリマーには、イソシアネート基を有する(メタ)アクリレート(例えば、昭和電工(株)製カレンズAOI、MOI)を使用することができる。
マクロモノマー(a)の重量平均分子量は2,000〜20,000であることが好ましく、7,000〜18,000であることが更に好ましい。マクロモノマー(a)の重量平均分子量が2,000未満であると、顔料の分散安定性が十分に得られない場合があり、一方、重量平均分子量が20,000を越えても、顔料の分散安定性が更に向上することはなく、アルカリ現像性が低下し残渣が生じる場合がある。
重合性モノマー(a−1)と重合性モノマー(a−2)との共重合比率は、重合性モノマー(a−1)30モル%〜80モル%に対して重合性モノマー(a−2)20モル%〜70モル%であり、より好ましくは重合性モノマー(a−1)50モル%〜80モル%に対して重合性モノマー(a−2)20モル%〜50モル%である。重合性モノマー(a−1)の共重合比率が30モル%未満であると、顔料の分散安定性を十分に得ることができない。一方、重合性モノマー(a−1)の共重合比率が80モル%を越えると、マクロモノマーの疎水性が高くなり過ぎて、感光性グラフトポリマーの溶剤への溶解性が低下し、感光性グラフトポリマー溶液に濁りが生じるため、結果として、感光性樹脂組成物の透明性が損なわれることとなる。
マクロモノマーの第1成分である重合性モノマー(a−1)は、炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマーであればよく、耐熱性向上の観点から、ホモポリマーのガラス転移温度(Tg)が120℃以上であるものが好ましい。このような重合性モノマー(a−1)の具体例としては、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、イソボルニルメタクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、下記式(1)及び(2)で表される化合物等が挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
Figure 0005638243
(式中、R1は水素又はメチル基を表す)
マクロモノマーの第2成分である重合性モノマー(a−2)は、橋かけ環式炭化水素基を有さず且つ重合性モノマー(a−1)と共重合可能な重合性モノマーであればよく、感光性グラフトポリマー溶液の濁りを避けるため、あまり疎水性が高くなく且つグラフトポリマー合成時に使用する溶剤との相溶性が高いものが好ましい。更に、モノマー構造による立体障害効果で顔料の分散性を高めるため、重合性モノマー(a−2)は、環状構造、例えば、芳香環、複素環又は脂環構造を有するものが好ましい。このような重合性モノマー(a−2)の具体例としては、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
ラジカル重合時に用いる重合開始剤としては、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスイソバレロニトリル、アゾビスイソブチレート、アゾビスシアノ吉草酸、アゾビスシアノペンタノール、過酸化ベンゾイル、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等が挙げられる。重合開始剤の使用量は、重合性モノマー(a−1)及び重合性モノマー(a−2)の合計量100質量部に対して、通常0.5質量部〜20質量部、好ましくは1.0質量部〜10質量部である。
ラジカル重合時に用いる連鎖移動剤としては、効率良く末端に官能基を導入させるために、アクリル系のモノマーを使用する場合には連鎖移動定数の値からチオール類が好ましく、具体的には、チオグリコール酸、メルカプトプロピオン酸、メルカプトエタノール等がある。連鎖移動剤の使用量は、重合性モノマー(a−1)及び重合性モノマー(a−2)の合計量100質量部に対して、通常0.3質量部〜20質量部、好ましくは0.5質量部〜10質量部である。
有機溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのようなグリコールエステル系溶剤、トルエン、キシレンのような炭化水素系溶剤又は酢酸エチルのような官能基を有さない有機溶剤が挙げられる。
また、有機溶剤を使用せずに重合性モノマー(a−1)、重合性モノマー(a−2)、重合開始剤及び連鎖移動剤だけで塊状重合を行ってもよいが、異常な重合反応を防ぎ、安定した重合反応を進行させるためには上記のような有機溶剤を添加する方が好ましい。有機溶剤を添加して合成したマクロモノマー溶液はそのまま使用してもよいが、溶剤を除去して使用してもよく、その場合、マクロモノマー溶液を貧溶媒中で再沈させることでマクロモノマーの単離体が得られる。
次に、本発明による感光性グラフトポリマー(A)について説明する。
本発明による感光性グラフトポリマー(A)は、マクロモノマー(a)を上記枝ポリマーとすることを特徴とするものであるが、本発明では後述する(A−1)〜(A−4)の4つの共重合体に分類することができる。
本発明による共重合体(A−1)は、上記マクロモノマー(a)と、不飽和一塩基酸(b)と、マクロモノマー(a)及び不飽和一塩基酸(b)以外のラジカル重合性化合物(c)とを共重合させて得られるが、(a)成分、(b)成分及び(c)成分の共重合比率は、(a)成分が2質量%〜20質量%、好ましくは4質量%〜20質量%、更に好ましくは4質量%〜15質量%、(b)成分が3質量%〜35質量%、好ましくは10質量%〜35質量%、更に好ましくは10質量%〜30質量%、(c)成分が30質量%〜90質量%、好ましくは35質量%〜85質量%、更に好ましくは40質量%〜85質量%である。(a)成分の共重合比率が2質量%未満であると、顔料の分散安定性が十分に得られない場合があり、一方、(a)成分の共重合比率が20質量%を越えても、顔料の分散安定性が更に向上することはなく、アルカリ現像性が低下し残渣が生じる場合がある。
不飽和一塩基酸(b)は、共重合体(A−1)の側鎖にカルボキシル基を存在させて酸価を持たせるために用いられる。本発明の(b)成分である不飽和一塩基酸は特に限定はされず、例えば、カルボキシル基を有する化合物としては(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸等を挙げることができる。また、1個の水酸基と1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレート(例えばヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート等)と多塩基酸無水物との反応物等も用いることができる。これらの中でも、反応性、入手のし易さから、(メタ)アクリル酸が好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
(a)成分及び(b)成分以外のラジカル重合性化合物(c)としては、エチレン性不飽和基を有するものであれば特に限定されない。その具体例としては、スチレン、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド誘導体;ブタジエン、2,3−ジメチルブタジエン、イソプレン、クロロプレン等のジエン類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソ−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリルレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリルレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ネオペンチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパギル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、アントラセニル(メタ)アクリレート、アントラニノニル(メタ)アクリレート、ピペロニル(メタ)アクリレート、サリチル(メタ)アクリレート、フリル(メタ)アクリレート、フルフリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ピラニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェネチル(メタ)アクリレート、クレジル(メタ)アクリレート、1,1,1−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、パーフルオルエチル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−n−プロピル(メタ)アクリレート、パーフルオロ−イソ−プロピル(メタ)アクリレート、トリフェニルメチル(メタ)アクリレート、クミル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2,3−ジヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジ−イソ−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミド等の(メタ)アクリル酸アミド;(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルスルホン酸、酢酸ビニル等のビニル化合物;シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジエステル;N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド等のモノマレイミド類;N−(メタ)アクリロイルフタルイミド等が挙げられる。これらの中でも、硬化塗膜の透明性をより向上させる観点から、スチレン、ビニルトルエン、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート及び2,3−ジヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートが好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
共重合体(A−1)を製造するときのラジカル重合の方法は特に限定されないが、重合開始剤等の使用量はマクロモノマーを製造するときと同様の量でよい。また、有機溶剤を使用せずに(a)成分、(b)成分及び(c)成分と重合開始剤だけで塊状重合を行ってもよいが、マクロモノマー製造時と同様の理由で有機溶剤を添加する方が好ましい。
有機溶剤の使用量は(a)成分、(b)成分及び(c)成分の合計量100質量部に対して、通常30質量部〜1000質量部、好ましくは50質量部〜800質量部である。有機溶剤の使用量を1000質量部以下とすることにより、連鎖移動作用により共重合体の分子量が低下するのを防ぎ、且つ最終的に得られる共重合体の固形分濃度を適切な範囲にコントロールすることができる。
本発明による共重合体(A−1)は、後述する反応性希釈剤(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)と混合した感光性樹脂組成物として、主としてレジスト等の電子材料として用いられるので、共重合体(A−1)を上記のようなラジカル共重合で製造する際、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのようなグリコールエステル系溶剤が好ましく用いられる。
本発明による共重合体(A−2)は、共重合体(A−1)の側鎖に存在しているカルボキシル基にエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物(d)を反応させることにより、カルボキシル基の一部を不飽和基に変換させて得られる。(d)成分であるエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物の使用量は、共重合体(A−1)の側鎖に存在しているカルボキシル基100モルに対して5モル〜80モルであり、10モル〜65モルであることが好ましい。上記のような使用量とすることにより、カルボキシル基と不飽和基とのバランスが良好となり、共重合体(A−2)の硬化性及びアルカリによる現像性が適切に保たれる。
共重合体(A−1)中のカルボキシル基に(d)成分であるエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物を反応させるには、以下のように行う。すなわち、不飽和一塩基酸や生成する不飽和基含有共重合体の重合によるゲル化を防ぐために、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、酸素等の重合防止剤の存在下、且つトリエチルアミンのような三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライドのような四級アンモニウム塩、トリフェニルホスフィンのようなリン化合物の存在下、通常50℃〜150℃、好ましくは80℃〜130℃で反応を行う。共重合体(A−1)を得るためのラジカル共重合反応で有機溶剤が用いられた場合は、共重合体(A−1)の有機溶剤溶液の状態のまま以後の反応に用いることができる。
(d)成分であるエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物は特に限定されず、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート及びそのラクトン付加物(例えば、ダイセル化学工業(株)製サイクロマーA200、M100)、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(ダイセル化学工業(株)製セロキサイド2000)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3´,4´−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートのモノ(メタ)アクリル酸エステル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートのエポキシ化物、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートのエポキシ化物等が挙げられるが、原料入手のし易さから、グリシジル(メタ)アクリレート、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン及び3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレートが好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
本発明による共重合体(A−3)は、共重合体(A−1)の側鎖に存在しているカルボキシル基にエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物(d)を反応させた時に生成した水酸基に多塩基酸無水物(e)を更に反応させて得られる。(e)成分である多塩基酸無水物の使用量は、(b)成分中のカルボキシル基と(d)成分に由来する側鎖のエポキシ基又は脂環式エポキシ基との反応により生じた水酸基100モルに対して5モル〜100モルであり、10モル〜90モルであることが好ましく、20モル〜90モルであることが好ましい。上記のような使用量とすることにより、得られる共重合体(A−3)の酸価を20mgKOH/g〜180mgKOH/gの範囲にコントロールすることができる。
共重合体(A−2)中の水酸基に(e)成分である多塩基酸無水物を反応させるには、以下のように行う。すなわち、共重合体(A−1)中の(b)成分に由来する側鎖のカルボキシル基に(d)成分であるエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物を反応させた後、そのまま(e)成分を所定量添加して通常50℃〜150℃、好ましくは80℃〜130℃で反応を行う。新たに触媒を添加する必要はない。
(e)成分である多塩基酸無水物は特に限定されず、例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等が挙げられる。これらの中でも、反応性、入手のし易さから、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸が好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
本発明による共重合体(A−4)は、(a)成分、(d)成分及び(c)成分を共重合させ、得られた共重合体中のエポキシ基又は脂環式エポキシ基に(b)成分を反応させた後、反応により生成した水酸基に(e)成分を更に反応させて得られる。(b)成分のカルボキシル基は(d)成分に由来する側鎖のエポキシ基又は脂環式エポキシ基と反応してエポキシ基を開環し、共重合体に水酸基が生成されるとともに末端に不飽和基が付与される。(e)成分である多塩基酸無水物は、(b)成分中のカルボキシル基と(d)成分に由来する側鎖のエポキシ基との反応により生じた水酸基と反応して酸無水物基が開環してカルボキシル基に変換される。(a)成分、(d)成分及び(c)成分の共重合比率は、(a)成分が2質量%〜20質量%、好ましくは4質量%〜20質量%、更に好ましくは4質量%〜15質量%、(d)成分が10質量%〜50質量%、好ましくは20質量%〜45質量%、更に好ましくは25質量%〜45質量%、(c)成分が6質量%〜55質量%、好ましくは10質量%〜50質量%、更に好ましくは10質量%〜45質量%である。(a)成分の共重合比率が2質量%未満であると、顔料の分散安定性が十分に得られない場合があり、一方、(a)成分の共重合比率が20質量%を越えても、顔料の分散安定性が更に向上することはなく、アルカリ現像性が低下し残渣が生じる場合がある。
エポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物(d)は、共重合体の側鎖にエポキシ基又は脂環式エポキシ基を導入し、後の(b)成分のカルボキシル基と反応させ不飽和基を導入することに用いる。さらに、その際に生成した水酸基に(e)成分を反応させることで酸価の導入にも用いる。従って、共重合体(A−3)の側鎖に導入される(d)成分とは機能が異なっており、導入量も異なっているが同様のエポキシ化合物が使用できる。
(d)成分を10質量%〜50質量%とすることにより、エポキシ基又は脂環式エポキシ基の導入量、すなわち(b)成分である不飽和一塩基酸に由来する不飽和基の導入量をコントロールすることができ、共重合体(A−4)の硬化性をコントロールすることができる。(a)成分及び(d)成分を上記のような比率とすることにより、(c)成分は6質量%〜55質量%の範囲内で適宜選定することができる。
(b)成分である不飽和一塩基酸の使用量は、(d)成分に由来する側鎖のエポキシ基又は脂環式エポキシ基100モルに対して10モル〜100モルであり、好ましくは30モル〜100モル、更に好ましくは50モル〜100モルである。
不飽和一塩基酸の使用量を10モル以上とすることにより、樹脂が硬化するために必要な不飽和基の最低量を導入することができ、100モル以下とすることにより、得られる共重合体(A−4)中の未反応の不飽和一塩基酸の量を少なくできる。
(e)成分である多塩基酸無水物の使用量は、(b)成分中のカルボキシル基と(d)成分に由来する側鎖のエポキシ基又は脂環式エポキシ基との反応により生じた水酸基100モルに対して5モル〜100モルであり、好ましくは10モル〜90モルであり、更に好ましくは20モル〜90モルである。上記のような使用量とすることにより、得られる共重合体(A−4)の酸価を20mgKOH/g〜180mgKOH/gの範囲にコントロールすることができる。
上述した感光性グラフトポリマー(A)(共重合体(A−1)〜(A−4))は、酸価が20mgKOH/g〜180mgKOH/gであることが好ましく、20mgKOH/g〜150mgKOH/gであることが更に好ましい。酸価がこの範囲外であると、十分なアルカリ現像特性が得られない。すなわち、酸価が20mgKOH/g未満であると、アルカリ現像液に対する溶解性が不十分となる場合があり、180mgKOH/gを超えると硬化部分がアルカリ現像液に溶解したり膨潤する場合がある。
なお、本発明における感光性グラフトポリマー(A)の酸価は、感光性樹脂1gを中和するのに必要な水酸化カリウムのmg数であり、JIS K6901:1999、5.3の酸価に記載の方法に従って測定されるものである。
感光性グラフトポリマー(A)は、重量平均分子量(GPC法によるポリスチレン換算の数値)が5,000〜80,000であることが好ましく、7,000〜50,000であることが更に好ましい。重量平均分子量が5,000未満では耐熱性や可とう性が低下する場合があり、80,000を超えるとアルカリ現像液に対する溶解性が不十分となる場合がある。
なお、本発明における感光性グラフトポリマー(A)の重量平均分子量(Mw)の値は、ゲル・パーミッション・クロマトグラフィー(GPC)を用いて、下記条件にて測定し、ポリスチレン換算にて算出されるものである。
カラム:ショーデックス LF−804+LF−804
カラム温度:40℃
展開溶媒:テトラヒドロフラン
検出器:示差屈折計(ショーデックス RI−71S)
流速:1mL/min
以上のようにして得られた感光性グラフトポリマー(A)に、反応性希釈剤(B)、光重合開始剤(C)及び溶剤(D)を添加することにより、感光性樹脂組成物が得られる。
使用できる反応性希釈剤(B)としては、感光性グラフトポリマー(A)と反応可能なものであれば特に制限はされない。反応性希釈剤(B)の具体例としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロメチルスチレン、ビニルトルエン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の芳香族ビニル系モノマー類;酢酸ビニル、アジピン酸ビニル等のポリカルボン酸モノマー類;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、β−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル系モノマー;トリアリルシアヌレート等を挙げることができる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
反応性希釈剤(B)の添加量は、感光性グラフトポリマー(A)100質量部に対して、通常は10質量部〜200質量部であり、好ましくは20質量部〜150質量部である。上記範囲とすることにより、光硬化性を適正な範囲に保つことができ、さらに、粘度を調整することもできる。
使用できる光重合開始剤(C)としては、紫外線等の活性光により光硬化させる場合に用いられる公知のものを制限なく用いることができる。光重合開始剤(C)の具体例としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)アセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラキス(t−ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オンや2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノンー1;アシルホスフィンオキサイド類及びキサントン類等が挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合開始剤(C)の添加量は、感光性樹脂組成物中の固形分100質量部に対して、通常0.1質量部〜30質量部であり、好ましくは0.5質量部〜20質量部であり、更に好ましくは、1質量部〜20質量部である。上記範囲とすることにより、光硬化性を適正な範囲に保つことができる。
使用できる溶剤(D)としては、グラフトポリマー及び光重合性モノマー(B)と反応しない不活性な溶剤であれば制限なく使用することができる。
使用できる溶剤(D)としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソプロピル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート等を挙げることができる。これらの中でも、前記ラジカル重合反応において好ましく使用されるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましい。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
溶剤(D)の添加量は、感光性グラフトポリマー(A)100質量部に対して、通常は30質量部〜1000質量部であり、好ましくは50質量部〜800質量部である。上記範囲とすることにより、粘度を適度に保つことができる。
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて着色材(E)を添加することができる。着色材(E)としては、無機顔料や有機顔料、染料等の公知の着色材を用いることができる。本発明の感光性樹脂組成物は、液晶フォトスペーサー用や液晶シール用等に使用できるが、公知の顔料を添加することでカラーフィルター形成用の感光性樹脂組成物とすることができる。
使用できる顔料の具体例としては、例えば、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等の黄色顔料;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等の橙色顔料;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等の赤色顔料;C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、16、60等の青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;C.I.ピグメントグリーン7、36等の緑色顔料;C.I.ピグメントブラウン23、25等の茶色顔料;C.I.ピグメントブラック1、7、カーボンブラック、チタンブラック、酸化鉄等の黒色顔料等が挙げられる。これらの顔料は、目的とする画素の色に応じてそれぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
また、顔料の分散性を向上させるために、公知の分散剤を更に添加してもよい。分散剤としては、高分子分散剤を用いると経時の分散安定性に優れるので好ましい。高分子分散剤としては、例えば、ウレタン系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレングリコールジエステル系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性エステル系分散剤等を挙げることができる。このような分散剤の具体例としては、商品名で、EFKA(エフカーケミカルズビーブイ(EFKA)社製)、Disperbyk(ビックケミー社製)、ディスパロン(楠本化成株式会社製)、SOLSPERSE(ゼネカ社製)等が挙げられる。
更に、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて公知の増感剤、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤等を添加してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、プリント配線基板上にスクリーン印刷法、ロールコーター法、カーテンコーター法、スプレーコーター法、スピンコート法等で塗布され、必要部分を光硬化させた後、その未硬化(未露光)部分をアルカリ水溶液で洗い流すことにより現像が行われる。
現像に使用されるアルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸カルシウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、アミン系では、アミノフェノール系化合物も有用であるが、p−フェニレンジアミン系化合物が好ましく使用され、その代表例として3−メチル−4−アミノ−N,N−ジエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−ヒドロキシエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メタンスルホンアミドエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メトキシエチルアニリン及びこれらの硫酸塩、塩酸塩もしくはp−トルエンスルホン酸塩の水溶液が挙げられる。
光照射して塗布面を硬化させる際に用いられる光源としては、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、キセノンランプ、メタハライドランプ等が用いられる。
以下、実施例及び比較例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
<マクロモノマー合成例1>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.2質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート11.1質量部(約0.050モル)及びベンジルメタクリレート8.9質量部(約0.051モル)を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、ジシクロペンタニルメタクリレート44.4質量部(約0.202モル)、ベンジルメタクリレート35.6質量部(約0.202モル)、チオグリコール酸1.9質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート6.0質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応させた。
次に、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート2.9質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.06質量部をフラスコに投入し、120℃で3時間反応させた。この反応溶液を2リットルのn−ヘキサン中に滴下し、再沈させ82質量部の白色粉末状マクロモノマー(M−1)を得た。このマクロモノマー(M−1)の重量平均分子量は12,100であった。
<マクロモノマー合成例2>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.2質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート14.9質量部(約0.068モル)及びベンジルメタクリレート5.1質量部(約0.029モル)を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、ジシクロペンタニルメタクリレート59.6質量部(約0.271モル)、ベンジルメタクリレート20.4質量部(約0.116モル)、チオグリコール酸1.8質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート6.0質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応させた。
次に、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート2.8質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.06質量部をフラスコに投入し、120℃で3時間反応させた。この反応溶液を2リットルのn−ヘキサン中に滴下し、再沈させ82質量部の白色粉末状マクロモノマー(M−2)を得た。このマクロモノマー(M−2)の重量平均分子量は13,200であった。
<マクロモノマー合成例3>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート44.5質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート11.1質量部(約0.050モル)及びベンジルメタクリレート8.9質量部(約0.051モル)を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、ジシクロペンタニルメタクリレート44.4質量部(約0.202モル)、ベンジルメタクリレート35.6質量部(約0.202モル)、チオグリコール酸0.9質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート3.0質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応させた。
次に、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート2.9質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.06質量部をフラスコに投入し、120℃で3時間反応させた。この反応溶液を2リットルのn−ヘキサン中に滴下し、再沈させ82質量部の白色粉末状マクロモノマー(M−3)を得た。このマクロモノマー(M−3)の重量平均分子量は17,200であった。
<マクロモノマー比較合成例1>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.2質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート4.8質量部(約0.022モル)及びベンジルメタクリレート15.2質量部(約0.086モル)を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、ジシクロペンタニルメタクリレート19.0質量部(約0.086モル)、ベンジルメタクリレート61.0質量部(約0.347モル)、チオグリコール酸2.0質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート6.0質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応させた。
次に、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート3.1質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.06質量部をフラスコに投入し、120℃で3時間反応させた。この反応溶液を2リットルのn−ヘキサン中に滴下し、再沈させ82質量部の白色粉末状マクロモノマー(M−4)を得た。このマクロモノマー(M−4)の重量平均分子量は14,000であった。
<マクロモノマー比較合成例2:M−5>
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.2質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート18.4質量部(約0.084モル)及びベンジルメタクリレート1.6質量部(約0.009モル)を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、ジシクロペンタニルメタクリレート73.5質量部(約0.334モル)、ベンジルメタクリレート6.5質量部(約0.037モル)、チオグリコール酸1.7質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート6.0質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応させた。
次に、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート2.6質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.06質量部をフラスコに投入し、120℃で3時間反応させた。この反応溶液を2リットルのn−ヘキサン中に滴下し、再沈させ82質量部の白色粉末状マクロモノマー(M−5)を得た。このマクロモノマー(M−5)の重量平均分子量は12,500であった。
<グラフトポリマー合成例1>
フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート151.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、マクロモノマー(M−1)2.7質量部、ベンジルメタクリレート72.5質量部、メタクリル酸24.8質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.3質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応を続け、固形分酸価160mgKOH/g、重量平均分子量26,000のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例2>
フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート151.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、マクロモノマー(M−1)2.7質量部、ベンジルメタクリレート72.5質量部、メタクリル酸24.8質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.3質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応を続けた。
次いで、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート14.9質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.07質量部をフラスコに投入し、120℃で5時間反応を続け、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量31,400のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例3>
マクロモノマー(M−1)の代わりにマクロモノマー(M−2)を用いた以外はグラフトポリマー合成例2と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量30,600のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例4>
フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート151.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、マクロモノマー(M−1)5.3質量部、ベンジルメタクリレート70.1質量部、メタクリル酸24.6質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.3質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応を続けた。
次いで、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート14.6質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.07質量部をフラスコに投入し、120℃で5時間反応を続け、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量29,400のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例5>
フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート151.9質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、マクロモノマー(M−1)10.6質量部、ベンジルメタクリレート65.3質量部、メタクリル酸24.1質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.3質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応を続けた。
次いで、フラスコ内を空気置換した後、グリシジルメタクリレート13.9質量部、トリフェニルホスフィン0.3質量部及びメチルハイドロキノン0.07質量部をフラスコに投入し、120℃で5時間反応を続け、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量29,200のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例6>
マクロモノマー(M−1)の代わりにマクロモノマー(M−3)を用いた以外はグラフトポリマー合成例4と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量29,600のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例7>
グリシジルメタクリレートの代わりに1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン13.0質量部を用いた以外はグラフトポリマー合成例4と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量27,000のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー合成例8>
フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート152.3質量部を投入し、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。続いて、マクロモノマー(M−1)8.0質量部、ベンジルメタクリレート31.8質量部、グリシジルメタクリレート60.2質量部及びt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート1.5質量部を含む溶液を滴下ロートから2時間掛けてフラスコに滴下し、更に120℃で0.5時間反応を続けた。
次いで、フラスコ内を空気置換した後、アクリル酸29.6質量部、トリフェニルホスフィン0.4質量部及びメチルハイドロキノン0.08質量部をフラスコに投入し、120℃で5時間反応を続けた。次に、テトラヒドロ無水フタル酸41.6質量部をフラスコに投入し、115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量30,000のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー比較合成例1>
マクロモノマー(M−2)の代わりにマクロモノマー(M−4)を用いた以外はグラフトポリマー合成例3と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量30,800のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー比較合成例2>
マクロモノマー(M−2)の代わりにマクロモノマー(M−5)を用いた以外はグラフトポリマー合成例3と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量31,900のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー比較合成例3>
マクロモノマー(M−1)の代わりに市販品のポリスチレンマクロモノマー(東亞合成化学工業(株)製:AS−6、Mn=6,000)を用いた以外はグラフトポリマー合成例4と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量28,100のグラフトポリマーの溶液を得た。
<グラフトポリマー比較合成例4>
マクロモノマー(M−1)の代わりに市販品のポリメチルメタクリレートマクロモノマー(東亞合成化学工業(株)製:AA−6、Mn=6,000)を用いた以外はグラフトポリマー合成例4と同様の操作を行い、固形分酸価89mgKOH/g、重量平均分子量28,400のグラフトポリマーの溶液を得た。
[実施例1〜8及び比較例1〜4]
グラフトポリマー合成例1〜8及び比較合成例1〜4で得られたグラフトポリマーの溶液をそれぞれ固形分が30質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を用いて希釈した。希釈したグラフトポリマー溶液を実施例1〜8及び比較例1〜4でそれぞれ使用した。実施例及び比較例における各種物性等の測定は下記の方法で実施した。
<グラフトポリマー溶液の外観の評価>
実施例1〜8及び比較例1〜4で使用する各グラフトポリマー溶液の外観を目視で観察し、透明であるか濁っているか確認した。
<緑色顔料分散液の調製>
直径0.5mmのジルコニアビーズ180質量部が充填されたSUS容器に、C.Iピグメントグリーン36 7.58質量部、ベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体(重量平均分子量17,000、固形分酸価100mgKOH/g)のPGMEA溶液(固形分40質量%) 7.58質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 28.54質量部及び分散剤(ビックケミー社製 Disperbyk−161)6.31質量部を投入し、ペイントシェーカーで6時間分散させて緑色顔料分散液を得た。
上記で得られた緑色顔料分散液を用いて、下記表1に示す配合割合で緑色樹脂組成物を調製した。
Figure 0005638243
<顔料分散安定性の評価>
顔料分散安定性を評価するために緑色樹脂組成物の粘度変化を測定した。顔料分散安定性が悪い場合、粘度の上昇があり目的とする性能が得られなくなる。以下、具体的に説明する。
光重合開始剤成分1、光重合開始剤成分2及びPGMEAを除いた緑色樹脂組成物を調製した直後の粘度、及び経時変化を促進させるため40℃の恒温槽に7日間静置後の粘度を測定(東機産業株式会社製 E型粘度計 RE−80L、ローター1°34’×R24、25℃、5rpmで測定)し、下記基準に従って評価した。結果を表2に示した。
◎:粘度変化率15%未満であり、顔料分散安定性が極めて優れている
○:粘度変化率15%以上20%未満であり、顔料分散安定性が優れている
△:粘度変化率20%以上25%未満であり、顔料分散安定性がやや劣る
×:粘度変化率25%以上であり、顔料分散安定性が劣る
<硬化塗膜の作製>
5cm角ガラス基板(無アルカリガラス)上に乾燥時膜厚2.2μmとなるように緑色樹脂組成物をスピンコートし、80℃で3分プリベーク後、塗布膜から100μmの距離にフォトマスクを配置して150mJ/cm2で露光した。次いで、0.1質量%炭酸ナトリウム水溶液で0.3MPaの水圧でスプレー現像を行った後、230℃で30分ポストベークを行い、硬化塗膜を得た。
<アルカリ現像性の評価>
マスクを通して露光した硬化塗膜を23℃で0.1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像し、水洗後の塗膜の有無を観察し、下記基準に従って評価した。結果を表2に示した。
◎:現像時間50秒後、目視で塗膜なし。
○:現像時間70秒後、目視で塗膜なし。
×:現像時間70秒後、目視で塗膜あり。
<現像残渣の評価>
現像ガラス基板を投光器により目視で観察し、残渣の有無を確認。更に、基板の表面をエタノール付きウエスで拭き取り、ウエス上に拭き取られた残渣の有無の確認を行った。
Figure 0005638243
表2の結果から明らかなように、実施例1〜8のグラフトポリマー溶液は、白濁していないため塗膜の透明性に影響を与えることがない。また、実施例1〜8のグラフトポリマー溶液を用いて調製した顔料樹脂組成物は、経時での粘度安定性が良好であり、これを用いて作製した硬化塗膜はアルカリ現像が可能である上に、現像後の残渣もない。
このように、本発明の感光性グラフトポリマーは、顔料やカーボンブラック等の着色材の分散安定性に優れており、アルカリ現像が可能な透明硬化塗膜を形成することができることから、顔料分散液(ミルベース)用、着色組成物(カラーレジスト)用バインダーポリマーとしても有用なだけでなく、各種レジスト分野での利用価値が極めて高い。

Claims (11)

  1. ジシクロペンタニルメタクリレート(a−1)30モル%〜80モル%と、橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマー(a−2)20モル%〜70モル%とを、カルボキシル基及びヒドロキシル基から選択される官能基を有する連鎖移動剤の存在下で重合させ、得られた末端に官能基を有するプレポリマーに、該プレポリマーの末端の官能基と反応し得る官能基と重合性不飽和基とを有する化合物を反応させて得られるマクロモノマー(a)を枝ポリマーとすることを特徴とするグラフトポリマー。
  2. 前記橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマーが、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ロジン(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートからなる群から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項に記載のグラフトポリマー。
  3. 前記マクロモノマー(a)の重量平均分子量が、2,000〜20,000であることを特徴とする請求項1又は2に記載のグラフトポリマー。
  4. 前記グラフトポリマーの酸価が、20mgKOH/g〜180mgKOH/gであることを特徴とする請求項1〜の何れか一項に記載のグラフトポリマー。
  5. 前記グラフトポリマーの重量平均分子量が、5,000〜80,000であることを特徴とする請求項1〜の何れか一項に記載のグラフトポリマー。
  6. 前記グラフトポリマーが、前記マクロモノマー(a)と、不飽和一塩基酸(b)と、マクロモノマー(a)及び不飽和一塩基酸(b)以外のラジカル重合性化合物(c)との共重合体(A−1)であることを特徴とする請求項1〜の何れか一項に記載のグラフトポリマー。
  7. 炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー(a−1)30モル%〜80モル%と、橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマー(a−2)20モル%〜70モル%とを、カルボキシル基及びヒドロキシル基から選択される官能基を有する連鎖移動剤の存在下で重合させ、得られた末端に官能基を有するプレポリマーに、該プレポリマーの末端の官能基と反応し得る官能基と重合性不飽和基とを有する化合物を反応させて得られるマクロモノマー(a)と、不飽和一塩基酸(b)と、マクロモノマー(a)及び不飽和一塩基酸(b)以外のラジカル重合性化合物(c)とを共重合させ、得られた共重合体に含まれるカルボキシル基にエポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物(d)を反応させて得られる共重合体(A−2)であることを特徴とするグラフトポリマー。
  8. 前記グラフトポリマーが、前記共重合体(A−2)の水酸基に多塩基酸無水物(e)を反応させて得られる共重合体(A−3)であることを特徴とする請求項に記載のグラフトポリマー。
  9. 炭素数10〜20の橋かけ環式炭化水素基を有する重合性モノマー(a−1)30モル%〜80モル%と、橋かけ環式炭化水素基を有さない重合性モノマー(a−2)20モル%〜70モル%とを、カルボキシル基及びヒドロキシル基から選択される官能基を有する連鎖移動剤の存在下で重合させ、得られた末端に官能基を有するプレポリマーに、該プレポリマーの末端の官能基と反応し得る官能基と重合性不飽和基とを有する化合物を反応させて得られるマクロモノマー(a)と、エポキシ基又は脂環式エポキシ基を有するラジカル重合性化合物(d)と、(a)及び(d)以外のラジカル重合性化合物(c)とを共重合させ、得られた共重合体に含まれるエポキシ基又は脂環式エポキシ基に不飽和一塩基酸(b)を反応させた後、反応により生成した水酸基に多塩基酸無水物(e)を更に反応させて得られる共重合体(A−4)であることを特徴とするグラフトポリマー。
  10. 請求項1〜の何れか一項に記載のグラフトポリマーと、反応性希釈剤(B)と、光重合開始剤(C)と、溶剤(D)とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
  11. 着色材(E)を更に含むことを特徴とする請求項10に記載の感光性樹脂組成物。
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