JP5026435B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
しかしながら、前者の側鎖に環状の構造を持った(メタ)アクリル酸エステルを共重合成分とする樹脂組成物では、耐熱性を向上させるためにその使用比率を増加させると基板との密着性が低下するといった問題や、現像工程で使用する現像液への樹脂の溶解性が低下し、現像工程にかかる時間が長くなるばかりか現像不可能となり、所定のパターンが得られなくなるといった問題や、パターンが得られたとしても塗膜を固着するために実施される加熱処理を行う後硬化時に側鎖が熱分解され揮発性成分となることで製造ラインを汚染するという問題があった。
また、本発明の感光性樹脂組成物から形成される硬化塗膜は、ガラス基板や半導体基板への耐熱性・密着性に優れており、アルカリ現像性を有することから各種レジスト分野での利用価値が極めて高い。
本発明の感光性樹脂組成物は、分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)と、分子中に炭素数6〜20の橋かけ構造を持っていてもよい脂環式骨格を有する重合性モノマー(a−2)とを必須とする単量体成分を含有してなる共重合体をポリマー成分(A)として含むことで、フォトリソグラフ工程に使用できる現像特性を有した上、耐熱性、密着性、透明性に優れた硬化塗膜を形成しうるものである。
分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)は特に限定されないが、その具体例としては、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、ブタントリオールモノ(メタ)アクリレート、ペンタントリオールモノ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールモノ(メタ)アクリレート類、カフェイン酸、シキミ酸等を挙げることができる。これらの中でも特に、密着性、現像特性の点からグリセロールモノ(メタ)アクリレートが好ましい。
酸価がこの範囲内にあると、十分なアルカリ現像特性が得られる。すなわち、酸価がこの範囲内にあれば、アルカリ現像液に対する溶解性が十分となり、硬化部分がアルカリ現像液に溶解したり、膨潤したりすることがない。
(a−1)を3〜30モル%、(a−2)を3〜30モル%にするのは前記のとおりである。
有機溶剤を使用せずに(a−1)、(a−2)、(a−3)および(a−4)と重合開始剤だけで塊状重合を行っても良い。
30質量部以上とすることにより、異常な重合反応を防ぎ、安定した重合反応を進行させることができ、樹脂が着色したり、ゲル化するのを防ぐことができる。
(a−1)を3〜30モル%、(a−2)を3〜30モル%にするのは前記のとおりである。
不飽和一塩基酸の使用量を10モル以上とすることにより、樹脂が硬化するために必要な不飽和基の最低量を導入することができ、不飽和一塩基酸の使用量を100モル以下とすることにより、得られる本発明の共重合体(A−3)中の未反応の不飽和一塩基酸の量を少なくできる。
上記範囲内にすることにより、光硬化性を適正な範囲に保つことができ、さらに、粘度を調整することもできる。
利用できる溶剤(D)としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソプロピル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート等を挙げることが出来る。これらの中では、前記ラジカル重合反応において好ましく使用されるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましく用いられる。
溶剤(D)の添加量は、ポリマー成分(A)100質量部に対して、通常は30〜1000質量部、好ましくは、50〜800質量部である。上記範囲とすることにより、粘度を適度に保つことができる。
使用できる顔料の具体例としては、例えば、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等の黄色顔料;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等の橙色顔料;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等の赤色顔料;C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、16、60等の青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;C.I.ピグメントグリーン7、36等の緑色顔料;C.I.ピグメントブラウン23、25等の茶色顔料;C.I.ピグメントブラック1、7、カーボンブラック、チタンブラック、酸化鉄等の黒色顔料等が挙げられる。これらの着色剤は、目的とする画素の色に応じてそれぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
着色剤の配合量は特に限定されないが、本発明の感光性樹脂組成物中の固形分100質量部に対して、通常20〜70質量部が好ましく、より好ましくは、25〜60質量部、さらに好ましくは、30〜50質量部である。
分散剤の配合量は特に限定されないが、用いる顔料100質量部に対して、通常100質量部以下が好ましく、より好ましくは、1〜90質量部、さらに好ましくは、10〜70質量部である。
本発明の感光性樹脂組成物は、たとえば、プリント配線基板やガラス基板、アレイ基板上にスクリーン印刷法、ロールコーター法、カーテンコーター法、スプレーコーター法、スピンコート法等で塗布され、必要部分を光硬化させた後、その未硬化(未露光)部分をアルカリ水溶液で洗い流すことにより現像が行われる。現像に使用されるアルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸カルシウム、水酸化ナトリウム等の水溶液、アミン系では、アミノフェノール系化合物も有用であるが、p−フェニレンジアミン系化合物が好ましく使用され、その代表例として3−メチル−4−アミノ−N,N−ジエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−ヒドロキシエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メタンスルホンアミドエチルアニリン、3−メチル−4−アミノ−N−エチル−N−β−メトキシエチルアニリンおよびこれらの硫酸塩、塩酸塩もしくはp−トルエンスルホン酸塩の水溶液が挙げられる。
なお、部及びパーセントとあるのは特に断らない限りすべて質量基準である。共重合体の分子量は、GPC(ゲルパーミエイションクロマトグラフィ)により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)である。
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)53.2g、グリセロールモノアクリレート(a−1)19.3g、ビニルトルエン(a−4)165.4gおよびメタクリル酸(a−3)56.1gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート6.0gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、固形分酸価122.0mgKOH/g、重量平均分子量29800の共重合体(A−1)−1(感光性樹脂1)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、シクロヘキシルメタクリレート(a−2)を73.4g、グリセロールモノアクリレート(a−1)を69.9g、ビニルトルエン(a−4)を171.9g、メタクリル酸(a−3)を50.1gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを34.7g添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、固形分酸価81.7mgKOH/g、重量平均分子量9500の共重合体(A−1)−2(感光性樹脂2)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)45.9g、グリセロールモノアクリレート(a−1)33.4g、ビニルトルエン(a−4)96.0gおよびメタクリル酸(a−3)73.6gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート5.0gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、グリシジルメタクリレート(a−5)44.4g、トリフェニルホスフィン0.8g、およびメチルハイドロキノン0.8gを上記共重合体溶液中に投入し120℃で反応を続け、固形分酸価101.4mgKOH/g、重量平均分子量30500の共重合体(A−2)−1(感光性樹脂3)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、シクロヘキシルメタクリレート(a−2)40.5g、グリセロールモノアクリレート(a−1)38.6g、メタクリル酸(a−3)93.3g、ベンジルメタクリレート(a−4)148.5gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを25.3g添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、グリシジルメタクリレート(a−5)51.4g、トリフェニルホスフィン1.2gおよびメチルハイドロキノン1.2gを上記共重合体溶液中に投入し120℃で反応を続け、固形分酸価101.4mgKOH/g、重量平均分子量10500の共重合体(A−2)−2(感光性樹脂4)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)27.9g、グリセロールモノアクリレート(a−1)20.3g、グリシジルメタクリレート(a−5)99.2gおよびスチレンモノマー(a−4)33.0gを投入し、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート3.7gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、さらに120℃で2時間攪拌し、共重合体1の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸(a−3)48.8g、トリフェニルホスフィン0.8g及びメチルハイドロキノン0.8gを上記共重合体1の溶液中に投入し、120℃で反応を続け、固形分の酸価が0.8mgKOH/gとなったところで反応を終了し、共重合体1aの溶液を得た。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸(a−6)65.6gを加え、115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価80.7mgKOH/g、重量平均分子量30800の共重合体(A−3)−1(感光性樹脂5)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)36.3g、シクロヘキシルメタクリレート(a−2)55.4g、グリセロールモノアクリレート(a−1)26.4g、グリシジルメタクリレート(a−5)117.1gおよびビニルトルエン(a−4)19.5gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート20.5gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに添加し、さらに120℃で2時間攪拌し、共重合体2の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換して、アクリル酸(a−3)57.6g、トリフェニルホスフィン1.0g及びメチルハイドロキノン1.0gを投入して、120℃で反応を続け、固形分の酸価が0.8mgKOH/gとなったところで反応を終了し、共重合体2aの溶液を得た。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸(a−6)65.2gを加え115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価60.2mgKOH/g、重量平均分子量9400の共重合体(A−3)−2(感光性樹脂6)の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、グリセロールモノアクリレート(a−1)74.4g、ビニルトルエン(a−4)241.8g、メタクリル酸(a−3)50.7gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート32.9gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、固形分酸価82.7mgKOH/g、重量平均分子量10200の比較感光性樹脂1の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、シクロヘキシルメタクリレート(a−2)190.7g、ビニルトルエン(a−4)130.6g、メタクリル酸(a−3)51.2gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート27.5gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌、反応し、固形分酸価83.6mgKOH/g、重量平均分子量9200の比較感光性樹脂2の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)を46.9g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(a−4)を27.7g、ビニルトルエン(a−4)を98.1g、メタクリル酸(a−3)を75.1gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート5.1gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌し、共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、グリシジルメタクリレート(a−5)45.4g、トリフェニルホスフィン0.9gおよびメチルハイドロキノン0.9gを上記共重合体溶液中に投入し120℃で反応を続け、固形分酸価103.6mgKOH/g、重量平均分子量29800の比較感光性樹脂3の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート650gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、トリシクロデカニルメタクリレート(a−2)128.5g、メタクリル酸(a−3)68.6gおよびベンジルメタクリレート(a−4)99.4gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート10.1gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌、反応して共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、グリシジルメタクリレート(a−5)を41.5g、トリフェニルホスフィン1.0gおよびメチルハイドロキノン1.0gを上記共重合体溶液中に投入し、120℃で反応を続け、固形分酸価81.1mgKOH/g、重量平均分子量20800の比較感光性樹脂4の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、グリセロールモノアクリレート(a−1)27.1g、グリシジルメタクリレート(a−5)144.2g、n−ブチルメタクリレート(a−4)72.1gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート19.5gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌、反応して共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸(a−3)70.9g、トリフェニルホスフィン1.0g及びメチルハイドロキノン1.0gを上記共重合体の溶液中に投入し、120℃で反応を続け固形分の酸価が0.8mgKOH/gとなったところで反応を終了し、共重合体の溶液を得た。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸(a−6)64.3gを加えて115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価59.3mgKOH/g、重量平均分子量9800の比較感光性樹脂5の溶液を得た。
合成例1と同様のフラスコに、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート700gを入れ、窒素置換しながら攪拌し120℃に昇温した。次に、シクロヘキシルメタクリレート(a−2)56.9g、グリシジルメタクリレート(a−5)96.2g、n−ブチルメタクリレート(a−4)16.0gからなるモノマー混合物に、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート5.1gを添加した。これを滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに、120℃で2時間攪拌、反応して共重合体の溶液を得た。次に、フラスコ内を空気に置換し、アクリル酸(a−3)47.3g、トリフェニルホスフィン0.7g及びメチルハイドロキノン0.7gを上記共重合体溶液に投入し、120℃で反応を続け、固形分の酸価が0.8mgKOH/gとなったところで反応を終了し、共重合体の溶液を得た。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸(a−6)77.2gを加え115℃で2時間反応させることにより、固形分酸価95.0mgKOH/g、重量平均分子量31000の比較感光性樹脂6の溶液を得た。
実施例1〜6として、合成例1〜6で得られた感光性樹脂1〜6の各溶液を、比較例1〜6として、比較合成例1〜6で得られた比較感光性樹脂1〜6の各溶液を、それぞれ使用した。各感光性樹脂の溶液の固形分100部にペンタエリスリトールテトラアクリレート30部、光重合開始剤として、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン4部を添加して調製した感光性樹脂組成物をアプリケーターでガラス基板上に湿潤時の厚み10μmで塗布し、100℃の温風乾燥器中で低沸点物を揮発させた後、オーク製作所(株)製超高圧水銀灯を用い、必要に応じてマスクを通して150mJ/cm2で露光し、厚み2μmの硬化塗膜を得、次いでアルカリ現像を行った。
直径0.5mmのジルコニアビーズ180質量部が充填されたSUS容器に、C.Iピグメントグリーン36を7.58質量部、合成例2で得られた感光性樹脂2を7.58質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを28.54質量部及び分散剤(ビックケミー社製Disperbyk−161)6.31質量部を投入し、ペイントシェーカーで6時間分散させて緑色顔料分散液1を得た。
直径0.5mmのジルコニアビーズ180質量部が充填されたSUS容器に、C.Iピグメントグリーン36を7.58質量部、比較合成例2で得られた比較感光性樹脂2を7.58質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを28.54質量部及び分散剤(ビックケミー社製Disperbyk−161)6.31質量部を投入し、ペイントシェーカーで6時間分散させて緑色顔料分散液2を得た。
上記で得られた緑色顔料分散液1を50質量部、合成例3で得られた感光性樹脂3を20.8質量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを6.25質量部、イルガキュア907(チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製)を2.5質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを31.1質量部を混合し、緑色感光性樹脂組成物1を得た。
上記で得られた緑色顔料分散液2を50質量部、比較合成例4で得られた比較感光性樹脂4を20.8質量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを6.25質量部、イルガキュア907(チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製)を2.5質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを31.1質量部を混合し、緑色感光性樹脂組成物2を得た。
実施例7として、緑色感光性樹脂組成物1を、比較例7として、緑色感光性樹脂組成物2を、それぞれ使用し、アプリケーターでガラス基板上に乾燥時の厚みが2μmとなるように塗布し、100℃の温風乾燥器中で低沸点物を揮発させた後、オーク製作所(株)製超高圧水銀灯を用い、必要に応じてマスクを通して150mJ/cm2で露光し、厚み2μmの硬化塗膜を得、次いでアルカリ現像を行った。
実施例1〜7及び比較例1〜7で得られた各硬化塗膜を切り出し、熱重量分析(TGA)を行った。切り出した試料を220℃まで加熱し、2時間保持した時の重量変化率を測定した。
ガラス基板上に製膜した塗膜を、230℃の乾燥機中に1時間放置し、加熱処理前後の塗膜の着色を色差計にて比較し、以下の基準で評価した。
○:ΔE*abが0.3以下
×:ΔE*abが0.3超
ガラス基板上に製膜した塗膜を、230℃の乾燥機中に1時間放置し、加熱処理前後の塗膜の400nmでの透過率を分光光度計にて測定し、以下の基準で評価した。
○:透過率の変化率が1%以下
×:透過率の変化率が1%超
硬化塗膜を用いて、JIS K5400に準じて碁盤目試験を行い、100個の碁盤目の剥離状態を目視観察して以下の基準で評価した。
○:剥離が全く認められないもの。
×:全体の10%以上に剥離が認められるもの。
マスクを通して露光した硬化塗膜を23℃で0.1%の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像し、水洗後の塗膜の有無を観察し、以下の基準で評価した。
○:現像時間70秒後、目視で塗膜無し
×:現像時間70秒後、目視で塗膜あり
Claims (8)
- ポリマー成分(A)と光重合性モノマー(B)とを含有してなる感光性樹脂組成物であって、ポリマー成分(A)が、分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)と分子中に炭素数6〜20の橋かけ構造を持っていてもよい脂環式骨格を有する重合性モノマー(a−2)を必須とする単量体成分を含有してなる重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
- ポリマー成分(A)の酸価が20〜180mgKOH/gである請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- ポリマー成分(A)の重量平均分子量が5000〜80000である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリマー成分(A)が、分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)と分子中に炭素数6〜20の橋かけ構造を持っていてもよい脂環式骨格を有する重合性モノマー(a−2)と不飽和一塩基酸(a−3)、およびそれらと共重合し得る(a−1)、(a−2)および(a−3)以外のラジカル重合性化合物(a−4)を共重合させてなる共重合体(A−1)である、請求項1記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリマー成分(A)が、分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)と分子中に炭素数6〜20の橋かけ構造を持っていてもよい脂環式骨格を有する重合性モノマー(a−2)と不飽和一塩基酸(a−3)、およびそれらと共重合し得る(a−1)、(a−2)および(a−3)以外のラジカル重合性化合物(a−4)を共重合させ、得られた共重合体中のカルボキシル基にエポキシ基を有するラジカル重合性化合物(a−5)を反応させてなる共重合体(A−2)である、請求項1記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリマー成分(A)が、分子中に2個以上の水酸基を有する重合性モノマー(a−1)と分子中に炭素数6〜20の橋かけ構造を持っていてもよい脂環式骨格を有する重合性モノマー(a−2)とエポキシ基を有するラジカル重合性化合物(a−5)、およびそれらと共重合し得る(a−1)、(a−2)および(a−5)以外のラジカル重合性化合物(a−4)を共重合させ、得られた共重合体中のエポキシ基に不飽和一塩基酸(a−3)を反応させた後、水酸基に多塩基酸無水物(a−6)を反応させてなる共重合体(A−3)である、請求項1記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有してなる請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- さらに、着色剤を含有してなる請求項1又は7に記載の感光性樹脂組成物。
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