TWI520975B - 加成共聚物,感光性樹脂組成物及彩色濾光器 - Google Patents

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Description

加成共聚物,感光性樹脂組成物及彩色濾光器
本發明關於一種加成共聚物、感光性樹脂組成物及彩色濾光器,特別是關於一種加成共聚物及感光性樹脂組成物,係使用於有機EL顯示器、液晶顯示裝置、固態攝影元件內建的彩色濾光器之製造;以及使用該等該加成共聚物及感光性樹脂組成物所製造之彩色濾光器。
近年來,從省資源或省能源的觀點考量,在各種塗敷、印刷、塗料、黏著劑等領域之中,正廣泛利用可藉由紫外線或電子束等活性能量射線而硬化的感光性樹脂組成物。另外,在印刷電路板等電子材料的領域中,阻焊劑或彩色濾光器用光阻等亦採用藉由活性能量射線而硬化的感光性樹脂組成物。
彩色濾光器一般是由:玻璃基板等透明基板;形成於透明基板上的紅(R)、綠(G)及藍(B)之畫素;形成於畫素的交界之黑色矩陣;與形成於畫素及黑色矩陣上之保護膜所構成。具有這種構成的彩色濾光器,通常藉由在透明基板上依序形成黑色矩陣、畫素及保護膜而製造出來。就畫素及黑色矩陣(以下將畫素及黑色矩陣稱為「著色圖型」)之形成方法而言,已有文獻提出各種製造方法,而使用感光性樹脂組成物作為光阻,重覆進行塗佈、曝光、顯像及烘烤之光蝕刻法,可產生耐光性或耐熱性等耐久性優異、小孔等缺陷少的著色圖型,因此逐漸成為目前的主流。
一般而言,光蝕刻法所使用的感光性樹脂組成物,含有鹼可溶性樹脂、反應性稀釋劑、光聚合起始劑、著色劑及溶劑。作為鹼可溶性樹脂,曾經有文獻提出採用使含羧基的不飽和單體、馬來酸酐、與含羧基的不飽和單體及馬來酸酐以外之可共聚合的不飽和單體以既定比率進行共聚合而得之物(參照例如專利文獻1)。另外還有文獻提出採用在由馬來酸酐以及可與馬來酸酐共聚合的單體所得到的共聚物,加成含羥基的化合物而得之物(參照例如專利文獻2~5)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1:日本特開2005-148720號公報
專利文獻2:日本特開平10-293402號公報
專利文獻3:日本特開2007-79294號公報
專利文獻4:日本特開2007-133032號公報
專利文獻5:日本特開2009-223127號公報
然而,以往的感光性樹脂組成物會有靈敏度或顯像性不足的情形,或無法得到耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型的情形。
所以,本發明為了解決上述這些課題而完成,目的為提供一種感光性樹脂組成物,可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。另外,本發明目的為提供一種鹼可溶性樹脂(加成共聚物),係使用於可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型之感光性樹脂組成物。進一步而言,本發明目的為提供一種彩色濾光器,係具有耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。
本發明人等為了解決上述這些課題而潛心檢討,結果發現,特定的加成共聚物最適合作為感光性樹脂組成物所使用的鹼可溶性樹脂,而完成了本發明。
亦即,本發明為以下第[1]~[13]項。
[1] 一種感光性樹脂組成物,其特徵為含有加成共聚物(A)與溶劑(B),該加成共聚物(A),係在使具有碳數10~20之架橋環式烴基之單體(a-1)及/或下述一般式(1)所表示之單體(a-1')2~60莫耳%
[化1]
(式中,X及Y各自獨立,表示氫原子、或碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基;R1及R2各自獨立,表示氫原子、碳數1~20之烴基或羧基;R1及R2可形成連結的環狀構造)、不飽和多元酸酐(a-2)30~88莫耳%、以及(a-1)、(a-1')及(a-2)以外之可共聚合的單體(a-3)10~68莫耳%進行共聚合而得之共聚物,加成具有羥基的單體(a-4)。
[2] 如第[1]項所記載之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-1)係二環戊基甲基丙烯酸酯。
[3] 如第[1]或[2]項所記載之感光性樹脂組成物,其中前述不飽和多元酸酐(a-2)係馬來酸酐。
[4] 如第[1]~[3]項中任一項所記載之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-3)含有乙烯基甲苯10~40莫耳%。
[5] 如第[1]~[4]項中任一項所記載之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-4)係由(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯及季戊四醇三丙烯酸酯所構成之群中所選出之1種以上。
[6] 如第[1]~[5]項中任一項所記載之感光性樹脂組成物,其中進一步含有由反應性稀釋劑(C)、光聚合起始劑(D)及著色劑(E)所構成之群中所選出之1種以上。
[7] 如第[6]項所記載之感光性樹脂組成物,其中前述著色劑(E)含有染料。
[8] 一種加成共聚物(A),其特徵為:具有碳數10~20之架橋環式烴基之單體(a-1)及/或下述一般式(1)所表示之單體(a-1')2~60莫耳%
[化2]
(式中,X及Y各自獨立,表示氫原子、或碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基;R1及R2各自獨立,表示氫原子、碳數1~20之烴基或羧基;R1及R2可形成連結的環狀構造)、不飽和多元酸酐(a-2)30~88莫耳%、以及(a-1)、(a-1')及(a-2)以外之可共聚合的單體(a-3)10~68莫耳%進行共聚合而得之共聚物,加成具有羥基的單體(a-4)。
[9] 如第[8]項所記載之加成共聚物(A),其中前述單體(a-1)係二環戊基甲基丙烯酸酯。
[10] 如第[8]或[9]項所記載之加成共聚物(A),其中前述不飽和多元酸酐(a-2)係馬來酸酐。
[11] 如第[8]~[10]項中任一項所記載之加成共聚物(A),其中前述單體(a-3)含有乙烯基甲苯10~40莫耳%。
[12] 如第[8]~[11]項中任一項所記載之加成共聚物(A),其中前述單體(a-4)係由(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯及季戊四醇三丙烯酸酯所構成之群中所選出之1種以上。
[13] 一種彩色濾光器,其特徵為:具有由如第[1]~[7]項中任一項所記載之感光性樹脂組成物所形成的著色圖型。
依據本發明可提供一種感光性樹脂組成物,可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。另外,依據本發明可提供一種鹼可溶性樹脂(加成共聚物),係使用於可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型之感光性樹脂組成物。進一步而言,依據本發明還可提供一種彩色濾光器,係具有耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。
實施形態1.
本實施形態之加成共聚物(A),係藉由在使具有碳數10~20之架橋環式烴基之單體(a-1)及/或下述一般式(1)所表示之單體(a-1')
[化3]
(式中,X及Y各自獨立,表示氫原子、或碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基;R1及R2各自獨立,表示氫原子、碳數1~20之烴基或羧基;R1及R2可形成連結的環狀構造)、不飽和多元酸酐(a-2)、以及(a-1)、(a-1')及(a-2)以外之可共聚合的單體(a-3)進行共聚合而得之共聚物,加成具有羥基的單體(a-4)所得到之物。
單體(a-1)只要具有碳數10~20之架橋環式烴基,則並未受到特別限定。此處,架橋環式烴意指以金剛烷、降莰烷為代表,而具有下述一般式(2)或(3)所示構造之物質,架橋環式烴基意指相當於除去該構造中一部分的氫之後所殘餘的部分之基團。
[化4]
[化5]
一般式(2)中,A1及B1相同或相異皆可,分別表示直鏈或分支伸烷基(包括環式);R3表示氫原子或甲基。另外,A1及B1之分支可彼此鍵結而成為環狀。另外,一般式(3)中,A2、B2及L相同或相異皆可,分別表示直鏈或分支伸烷基(包括環式);R4表示氫原子或甲基。另外,A2、B2及L的分支亦可彼此結合成為環狀。
單體(a-1)的例子,可列舉二環戊烯基(甲基)丙烯酸酯、二環戊基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異莰酯、(甲基)丙烯酸金剛烷酯等。在該等之中,係以耐熱分解性、密著性、顯像性等觀點看來二環戊基甲基丙烯酸酯為佳。該等可單獨使用或組合兩種以上。
單體(a-1')只要具有上述一般式(1)所表示之化學構造,則並未受到特別限定。在一般式(1)之中,表示碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基之X及Y的例子,可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基等。另外,表示碳數1~20之烴基之R1及R2的例子,可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第三戊基、硬脂醯基、月桂基、2-乙基己基等直鏈或支鏈之烷基;苯基等芳香基;環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異冰片基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基;1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等經烷氧基取代之烷基;經苄基等芳香基取代之烷基等。
具有一般式(1)所表示之化學構造之單體(a-1')的例子,可列舉降莰烯(雙環[2.2.1]庚-2-烯)、5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、四環[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-甲基四環[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-乙基四環[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、二環戊二烯、三環[5.2.1.02,6]癸-8-烯、三環[5.2.1.02,6]癸-3-烯、三環[4.4.0.12,5]十一-3-烯、三環[6.2.1.01,8]十一-9-烯、三環[6.2.1.01,8]十一-4-烯、四環[4.4.0.12,5.17,10.01,6]十二-3-烯、8-甲基四環[4.4.0.12,5.17,10.01,6]十二-3-烯、8-亞乙基四環[4.4.0.12,5.17,12]十二-3-烯、8-亞乙基四環[4.4.0.12,5.17,10.01,6]十二-3-烯、五環[6.5.1.13,6.02,7.09,13]十五-4-烯、五環[7.4.0.12,5.19,12.08,13]十五-3-烯、5-降莰烯-2-羧酸、5-降莰烯-2,3-二羧酸、5-降莰烯-2,3-二羧酸酐等。在該等之中,從耐熱分解性、密著性、顯像特性等觀點看來,係以降莰烯、二環戊二烯、5-降莰烯-2,3-二羧酸酐為佳。該等可單獨使用或組合兩種以上。
單體(a-1)及/或單體(a-1')的摻合比例,在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100莫耳%的情況下為2~60莫耳%,宜為5~20莫耳%。單體(a-1)及/或單體(a-1')的摻合比例若未達2莫耳%,則無法得到所希望的耐熱分解性。另一方面,該摻合比例若超過60莫耳%,則不飽和多元酸酐(a-2)的摻合比例變少,而無法得到所希望的靈敏度或顯像性。
不飽和多元酸酐(a-2)並未受到特別限定,可採用在該技術領域所周知的物質。不飽和多元酸酐(a-2)的例子,可列舉馬來酸酐、伊康酸酐、檸康酸酐等。在該等之中,從容易取得、聚合性、反應性等觀點看來,以馬來酸酐為佳。
不飽和多元酸酐(a-2)的摻合比例,在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100莫耳%的情況下為30~88莫耳%,宜為35~70莫耳%。不飽和多元酸酐(a-2)的摻合比例若未達30莫耳%,則在加成共聚物(A)中的雙鍵量變少,而無法得到所希望的靈敏度。另一方面,該摻合比例若超過88莫耳%,則未反應不飽和多元酸酐(a-2)的殘存會變多。
單體(a-3)只要是(a-1)、(a-1')及(a-2)以外的可共聚合物質,則並未受到特別限定。單體(a-3)一般而言,係具有乙烯性不飽和基之自由基聚合性化合物,其例子可列舉丁二烯、2,3-二甲基丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等二烯類;(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸新戊酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸環戊酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸甲基環己酯、(甲基)丙烯酸乙基環己酯、1,4-環己烷二甲醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸松香酯、(甲基)丙烯酸降莰酯、(甲基)丙烯酸5-甲基降莰酯、(甲基)丙烯酸5-乙基降莰酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸胡椒酯、(甲基)丙烯酸水楊酯、(甲基)丙烯酸呋喃酯、(甲基)丙烯酸呋喃甲酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃甲酯、(甲基)丙烯酸吡喃酯、(甲基)丙烯酸苯乙酯、(甲基)丙烯酸甲苯酚酯、(甲基)丙烯酸1,1,1-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟正丙酯、(甲基)丙烯酸全氟異丙酯、三苯基甲基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異丙苯酯、(甲基)丙烯酸3-(N,N-二甲胺基)丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、丁三醇單(甲基)丙烯酸酯、戊三醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽酯等(甲基)丙烯酸酯類;(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸N-N-二甲基醯胺、(甲基)丙烯酸N,N-二乙基醯胺、(甲基)丙烯酸N,N-二丙醯胺、(甲基)丙烯酸N,N-二異丙醯胺、(甲基)丙烯酸蒽醯胺等(甲基)丙烯醯胺;(甲基)丙烯酸苯胺、(甲基)丙烯醯腈、丙烯醛、氯乙烯、偏二氯乙烯、氟乙烯、偏二氟乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、醋酸乙烯酯、乙烯基甲苯等乙烯基化合物;苯乙烯、苯乙烯在α位、鄰位、間位、對位的烷基、硝基、氰基、醯胺之衍生物;檸康酸二乙酯、馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、伊康酸二乙基等不飽和二羧酸二酯:N-苯基馬來醯亞胺、N-環己基馬來醯亞胺、N-月桂基馬來醯亞胺、N-(4-羥苯基)馬來醯亞胺等單馬來醯亞胺類;N-(甲基)丙烯醯基酞醯亞胺、(甲基)丙烯酸、巴豆酸、桂皮酸等具有羧基之化合物等。該等可單獨使用或組合兩種以上。
特別是在不飽和多元酸酐(a-2)採用馬來酸酐的情況下,馬來酸酐為電子接受性強的化合物,因此單體(a-3)係以電子供予性單體為佳。藉由使用這種電子供予性單體,與馬來酸酐等之間發生交互共聚,各個單元更隨機配置的結果,可提升顯像性或靈敏度等,同時可形成耐熱分解性優異的著色圖型。電子供予性單體可列舉乙烯基醚類、乙烯基硫類、苯乙烯類等。在該等之中,從共聚合性的觀點看來,係以苯乙烯類為佳,從耐分解性的觀點看來,係以乙烯基甲苯為較佳。另外,在使用乙烯基甲苯的情況下,藉著併用(甲基)丙烯酸酯類,能夠更進一步提升顯像性。
單體(a-3)的摻合比例,在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100莫耳%的情況下為10~68莫耳%,宜為20~50莫耳%。單體(a-3)的摻合比例若未達10莫耳%,則無法取得耐熱分解性或顯像性的平衡。另一方面,該摻合比例若超過68莫耳%,則靈敏度或耐熱性降低。
特別是在單體(a-3)採用乙烯基甲苯的情況下,在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100莫耳%的情況下,單體(a-3)係以含有10~40莫耳%的乙烯基甲苯為佳。
使用單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)作為原料的共聚合反應,可依照該技術領域之中周知的自由基聚合方法而進行。例如使單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)溶於溶劑之後,在該溶液添加聚合起始劑,使其在50~130℃反應1~20小時即可。
該共聚合反應所能夠使用的溶劑並未受到特別限定,而可列舉例如丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯等二醇醚系溶劑;甲苯、二甲苯等烴系溶劑、醋酸乙酯等不具有反應性官能基的溶劑。該等可單獨使用或組合兩種以上。另外,在該等之中,係以二醇醚系溶劑為佳。
溶劑的摻合量只要能夠使原料溶解,則並未受到特別限定,然而在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸無酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100質量份的情況下,一般而言為30~1000質量份,宜為50~800質量份。特別是將溶劑摻合量定為1000質量份以下,並藉由鏈轉移作用,可抑制共聚物分子量降低,且可將共聚物的黏度控制在適當的範圍。另外,藉著將溶劑的摻合量定為30質量份以上,可防止異常的聚合反應,而使聚合反應安定地進行,同時還可防止共聚物的著色或膠化。
另外,該共聚合反應所能夠使用的聚合起始劑並未受到特別限定,而可列舉例如偶氮雙異丁腈、偶氮雙異纈草腈、過氧化苯甲醯基、過氧化2-乙基已酸第三丁酯等。該等可單獨使用或組合兩種以上。
聚合起始劑的摻合量,在將單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)之合計定為100質量份的情況下,一般而言,為0.5~20質量份,宜為1.0~10質量份。
另外,亦可不使用有機溶劑,而使用單體(a-1)及/或單體(a-1')、不飽和多元酸酐(a-2)以及單體(a-3)與聚合起始劑進行塊狀聚合。
上述共聚物反應所得到的共聚物,係藉由加成具有羥基的單體(a-4),而在共聚物的側鏈導入羧基及雙鍵。藉此可提升感光性樹脂組成物的靈敏度或顯像性。
單體(a-4)的例子,可列舉2-羥乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸2,3-二羥丙酯、甘油二甲基丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-丙烯醯氧基丙酯、2-丙烯醯氧基乙基-2-羥乙基-苯二甲酸、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯等。該等可單獨使用,或組合兩種以上。
特別是在考慮到與共聚物中的酸酐基之反應性的情況下,單體(a-4)係以具有1級羥基為佳。另外,在考慮到感光性樹脂組成物靈敏度的情況下,單體(a-4)由於會使加成共聚物(A)中雙鍵的量變多,因此係以分子量小的物質或多官能之(甲基)丙烯酸酯為佳。滿足該等條件的單體,可列舉(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯等。
單體(a-4)相對於共聚物中酸酐基的加成比例係以10~100%為佳。為了進行這種單體(a-4)的加成反應,在將共聚物的酸酐基莫耳當量定為1時,只要添加單體(a-4)使單體(a-4)中的羥基莫耳當量在0.1~1的範圍而使其反應即可。加成比例若未達10%,則在共聚物的側鏈所導入的羧基及雙鍵的量變得太少,而無法得到所希望的靈敏度或顯像性。
單體(a-4)對於共聚物中的酸酐基之加成反應,只要在共聚物中添加單體(a-4)、聚合禁止劑及觸媒,並在50~150℃(宜為80~130℃)進行反應即可。另外,在該加成反應中,即使含有共聚合反應所使用的溶劑,也不會特別產生問題,因此在共聚合反應結束之後,不需要將溶劑除去也能進行加成反應。
此處添加聚合禁止劑是為了防止共聚物的聚合造成膠化。聚合禁止劑並未受到特別限定,而可列舉例如氫醌、甲基氫醌、氫醌單甲醚等。另外,觸媒亦並未受到特別限定,而可列舉例如三乙胺般的三級胺、三乙基苄基氯化銨般的四級銨鹽、三苯膦般的磷化合物、鉻的螯合化合物等。在該等之中,從酸酐與羥基的反應方面看來,宜採用三乙胺、三乙烯二胺、4-二甲胺基吡啶、甲基丙烯酸二甲胺基乙酯等三級胺。
如上述方式所得到加成共聚物(A)的酸價,宜為50~400KOHmg/g、較佳為150~300KOHmg/g。此酸價若未達50KOHmg/g,則會有感光性樹脂組成物之顯像性降低的情形。另一方面,此酸價若超過400KOHmg/g,則會有曝光部分(光硬化部分)變得容易溶於鹼顯像液的情形。
另外,加成共聚物(A)的分子量(聚苯乙烯換算之重量平均分子量)宜為1000~40000,較佳為3000~20000。此分子量若未達1000,則會有在顯像後容易發生著色圖型缺損的情形。另一方面,此分子量若超過40000,則會有顯像時間變得太長而缺乏實用性的情形。
本實施形態的加成共聚物(A)最適合作為感光性樹脂組成物所使用的鹼可溶性樹脂,能夠製造出可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型之感光性樹脂組成物。
實施形態2.
本實施形態之感光性樹脂組成物,係含有實施形態1的加成共聚物(A)與溶劑(B)。
溶劑(B)只要是不與加成共聚物(A)發生反應的非活性溶劑,則並未受到特別限定。
溶劑(B)可採用與製造加成共聚物(A)時(共聚合反應)的使用的溶劑相同的物質。具體而言,溶劑(B)的例子,可列舉丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯、二丙二醇單甲醚醋酸酯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、醋酸異丙酯、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、三丙二醇單甲醚、乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、甲基乙基酮、甲基異丁酮、環己酮、乙二醇單乙醚醋酸酯、二乙二醇乙醚醋酸酯等。該等可單獨使用,或組合兩種以上。另外,在該等之中,係以在製造加成共聚物(A)時(共聚合反應)所使用的丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯等二醇醚系溶劑為佳。
本實施形態之感光性樹脂組成物中的溶劑(B)摻合量,相對於感光性樹脂組成物中之固體成分(亦即溶劑以外的成分)100質量份而言,一般為30~1000質量份,宜為50~800質量份,較佳為100~700質量份。只要摻合量在此範圍,即可成為具有適當黏度的感光性樹脂組成物。
本實施形態之感光性樹脂組成物,在上述成分之外,還可含有反應性稀釋劑(C)、光聚合起始劑(D)及著色劑(E)。
反應性稀釋劑(C)只要能夠與加成共聚物(A)發生反應,則並未受到特別限定。反應稀釋劑的例子,可列舉苯乙烯、α-甲基苯乙烯、α-氯甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、二乙烯基苯、酞酸二烯丙酯、苯膦酸二烯丙酯等芳香族乙烯基系單體類;醋酸乙烯酯、己二酸乙烯酯等多元酸單體類;(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸β-羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、參(羥乙基)異氰尿酸酯之三(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸系單體;三烯丙基氰尿酸酯等。該等可單獨使用,或組合兩種以上。
本實施形態之感光性樹脂組成物中的反應性稀釋劑(C)摻合量,相對於感光性樹脂組成物中的固體成分(亦即溶劑以外的成分)100質量份而言,一般為10~90質量份,宜為20~80質量份,較佳為25~70質量份。只要摻合量在此範圍,即可成為具有適當的光硬化性及黏度的感光性樹脂組成物。
光聚合起始劑(D)並未受到特別限定,而可列舉例如安息香、安息香甲醚、安息香乙醚等安息香與其烷醚類;苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮、4-(1-第三丁基二氧基-1-甲基乙基)苯乙酮等苯乙酮類;2-甲基蒽醌、2-戊基蒽醌、2-第三丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌類;2,4-二甲基噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮、2-氯噻噸酮等噻噸酮類;苯乙酮二甲基縮酮、苄基二甲基縮酮等縮酮類;二苯酮、4-(1-第三丁基二氧基-1-甲基乙基)二苯酮、3,3',4,4'-肆(第三丁基二氧基羰基)二苯酮等二苯酮類:2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉基-丙-1-酮;2-苄基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)丁酮-1;氧化醯膦類;及呫噸酮類等。該等可單獨使用,或組合兩種以上。
本實施形態之感光性樹脂組成物中的光聚合起始劑(D)摻合量,相對於感光性樹脂組成物中的固體成分(亦即溶劑以外的成分)100質量份而言,一般為0.1~30質量份,宜為0.5~20質量份,較佳為1~10質量份。只要摻合量在此範圍,即可成為具有適當的光硬化性的感光性樹脂組成物。
著色劑(E)只要是可溶於溶劑(B)的物質,則並未受到特別限定,可列舉例如染料或顏料等。
特別是在以往的感光性樹脂組成物中,若採用染料,則可得到輝度高的著色圖型,然而與採用顏料的情況相比,會有著色圖型的耐熱性變低的問題。相對於此,在本實施形態之感光性樹脂組成物中,染料的親和性良好,因此即使採用染料也能夠得到耐熱性優異的著色圖型。
就染料而言,從對於溶劑(B)或鹼顯像液的溶解性、與感光性樹脂組成物中其他成分的交互作用、耐熱性等觀點看來,宜採用羧酸等具有酸性基團的酸性染料、酸性染料與氮化合物之鹽、酸性染料之磺醯胺體等。這種染料的例子可列舉acid alizarin violet N;acid black 1、2、24、48;acid blue 1、7、9、25、29、40、45、62、70、74、80、83、90、92、112、113、120、129、147;acid chrome violet K:acid Fuchsin;acid green 1、3、5、25、27、50;acid orange 6、7、8、10、12、50、51、52、56、63、74、95;acid red 1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、69、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、183、198、211、215、216、217、249、252、257、260、266、274;acid violet 6B、7、9、17、19;acid yellow 1、3、9、11、17、23、25、29、34、36、42、54、72、73、76、79、98、99、111、112、114、116;food yellow 3及該等衍生物等。在該等之中,係以偶氮系、呫噸系、蒽醌系或酞青素系之酸性染料為佳。該等可因應於目標之畫素顏色而單獨使用或組合兩種以上。
顏料的例子,可列舉C.I. Pigment Yellow 1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I. Pigment Orange 13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橘色顏料;C.I. Pigment Red 9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料;C.I. Pigment Blue 15、15:3、15:4、156:6、60等藍色顏料;C.I. Pigment Violet 1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;C.I. Pigment Green7、36、58等綠色顏料;C.I. Pigment Brown 23、25等褐色顏料;C.I. Pigment Black 1、7、碳黑、鈦黑、氧化鐵等黑色顏料等。該等可因應於目標之畫素顏色而單獨使用或組合兩種以上。
另外還可因應於目標之畫素顏色,而將上述染料及顏料組合使用。
本實施形態之感光性樹脂組成物中的著色劑(E)摻合量,相對於感光性樹脂組成物中的固體成分(亦即溶劑以外的成分)100質量份而言,一般為5~80質量份,宜為5~70質量份,較佳為10~60質量份。
在著色劑(E)採用顏料的情況下,從提升顏料分散性的觀點考量,亦可將周知的分散劑摻合至感光性樹脂組成物。分散劑宜採用長時間之分散安定性優異的高分子分散劑。高分子分散劑的例子,可列舉胺甲酸乙酯系分散劑、聚乙烯亞胺系分散劑、聚氧乙烯烷醚系分散劑、聚氧乙二醇二酯系分散劑、去水山梨醇脂肪酸酯系分散劑、變性脂肪酸酯系分散劑等。這樣的高分子分散劑亦可採用以EFKA(Efka Chemicals B.V.(EFKA)公司製)、Disperbyk(Byk Chemie公司製)、DISPARLON(楠本化成股份有限公司製)、SOLSPERSE(Zeneca公司製)等的商品名市售之物品。
本實施形態之感光性樹脂組成物中的分散劑摻合量,只要因應於所使用的顏料等的種類適當地設定即可。
本實施形態之感光性樹脂組成物,在上述成分之外,還可為了賦予既定特性而摻合周知的偶合劑、均勻劑、熱聚合禁止劑等周知的添加劑。該等添加劑的摻合量,只要在不阻礙本發明效果的範圍內,則不受特別限定。
本實施形態之感光性樹脂組成物,可藉由利用周知的混合裝置將上述成分混合而製造出來。
如上述方式所得到本實施形態之感光性樹脂組成物係具有鹼顯像性,因此可藉由利用鹼水溶液輕易地進行顯像。特別是本實施形態之感光性樹脂組成物,可產生靈敏度或顯像性優異,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。因此,本實施形態之感光性樹脂組成物適合使用作為各種光阻,尤其是用於製造有機EL顯示器、液晶顯示裝置、固態攝影元件內建的彩色濾光器所使用的光阻。另外,本實施形態之感光性樹脂組成物,會產生耐熱分解性及耐溶劑性等這些特性優異的硬化膜,因此亦可使用於各種塗敷、黏著劑、印刷油墨用黏結劑等。
實施形態3.
本實施形態之彩色濾光器具有由上述感光性樹脂組成物所得到的著色圖型。
以下針對本實施形態之彩色濾光器,使用圖式進行說明。
圖1係本實施形態之彩色濾光器之剖面圖。在圖1之中,彩色濾光器,係由:基板1;形成於基板1上之RGB畫素2及形成於畫素2的交界之黑色矩陣3;形成於畫素2及黑色矩陣3上之保護膜4所構成。在此構成之中,除了畫素2及黑色矩陣3(著色圖型)係使用上述感光性樹脂組成物所形成之外,其他的構成可採用周知的物質。另外,圖1所示的彩色濾光器為其中一例,不受此構成所侷限。
接下來,針對本實施形態之彩色濾光器之製造方法作說明。
首先,在基材1上形成著色圖型。具體而言,在基材1上依序形成黑色矩陣3及畫素2。此處的基材1並未受到特別限定,而可採用玻璃基板、矽基板、聚碳酸酯基板、聚酯基板、聚醯胺基板、聚醯胺醯亞胺基板、聚醯亞胺基板、鋁基板、印刷電路板、陣列基板等。
著色圖型可藉由光蝕刻法而形成。具體而言,將上述感光性樹脂組成物塗佈在基板1上形成塗佈膜之後,隔著既定圖型的光罩使塗佈膜曝光,而使曝光部分發生光硬化。然後,以鹼水溶液使未曝光部分顯像之後,藉由烘烤,可形成既定圖型。
感光性樹脂組成物之塗佈方法並未受到特別限定,而可採用絲網印刷法、輥式塗佈法、簾式塗佈法、噴霧塗佈法、旋轉塗佈法等。另外,感光性樹脂組成物之塗佈後,亦可因應必要利用循環式烘箱、紅外線加熱器、熱板等加熱手段進行加熱,藉此使溶劑(B)揮發。加熱條件並未受到特別限定,只要因應於所使用的感光性樹脂組成物種類適當地設定即可。一般而言,在50℃~120℃的溫度加熱30秒鐘~30分鐘即可。
曝光所使用的光源並未受到特別限定,而可採用低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈、金屬鹵素燈等。另外,曝光量亦並未受到特別限定,只要因應於所使用的感光性樹脂組成物種類適當地調整即可。
顯像所使用的鹼水溶液並未受到特別限定,而可採用碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸鈣、氫氧化鈉、氫氧化鉀等水溶液;乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺等胺系化合物之水溶液;3-甲基-4-胺基-N,N-二乙基苯胺、3-甲基-4-胺基-N-乙基-N-β-羥乙基苯胺、3-甲基-4-胺基-N-乙基-N-β-甲烷磺醯胺乙基苯胺、3-甲基-4-胺基-N-乙基-N-β-甲氧基乙基苯胺及該等硫酸鹽、鹽酸鹽或對甲苯磺酸鹽等對苯二胺系化合物之水溶液等。在該等之中,宜採用對苯二胺系化合物之水溶液。另外,在該等水溶液中,還可因應必要添加消泡劑或界面活性劑。此外,藉由上述鹼水溶液顯像之後,宜進行水洗並使其乾燥。
烘烤的條件並未受到特別限定,只要因應於所使用的感光性樹脂組成物種類進行加熱處理即可。一般而言,只要在130℃~250℃加熱10~60分鐘即可。
藉由使用黑色矩陣3用的感光性樹脂組成物及畫素2用的感光性樹脂組成物,並依序重覆如上述般的塗佈、曝光、顯像及烘烤,可形成所希望的著色圖型。
另外,上述內容說明了藉由光硬化進行的著色圖型之形成方法,然而以代替光聚合起始劑(D),只要使用摻合了硬化促進劑及周知的環氧樹脂之感光性樹脂組成物,即可在藉由噴墨法進行塗佈之後,藉由加熱形成所希望的著色圖型。
接下來,在著色圖型(畫素2及黑色矩陣3)上形成保護膜4。保護膜4並未受到特別限定,只要使用周知的物質形成即可。
以這種方式製造出來的彩色濾光器,係使用可產生靈敏度或顯像性優異,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型之感光性樹脂組成物所製造,因此具有耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。
[實施例]
以下參照實施例對本發明作詳細說明,而本發明不受該等實施例限定。另外,在本實施例之中只要沒有特別解釋,份及百分比皆以質量為基準。
<感光性樹脂組成物之調製>
在具備攪拌裝置、滴液漏斗、冷凝管、溫度計及氣體導入管的燒瓶加入426.1g的丙二醇單甲醚醋酸酯(溶劑1)及176.4g的馬來酸酐(a-2)之後,進行氮氣置換,同時加以攪拌,並昇溫至120℃。接下來,在由66.0g的二環戊基甲基丙烯酸酯(a-1)及106.2g的乙烯基甲苯(a-3)所構成的單體混合物添加24.4g的過氧化2-乙基已酸第三丁酯(聚合起始劑),將所得之物由滴液漏斗滴入前述燒瓶中。滴入結束後,在120℃攪拌2小時進行共聚合反應,而產生共聚物。
接下來,將前述燒瓶內的氣體置換為空氣之後,加入139.2g的丙烯酸2-羥乙酯(a-4)、1.5g的三乙胺(觸媒)及1.5g的甲基氫醌(聚合禁止劑),在120℃進行加成反應6小時,而產生加成共聚物(A)。
接下來,在該加成共聚物(A)中加入305.6g的丙二醇單甲醚(溶劑2),得到感光性樹脂組成物(試樣No.1)。
除了改變原料的種類及量以外,係以與上述同樣的方式,調製出數種感光性樹脂組成物(試樣No.2~19)。
將調製感光性樹脂組成物(試樣No.1~19)所使用的原料及其摻合量揭示於表1。
在表1之中,(a-1)、(a-1')、(a-2)及(a-3)各原料的莫耳%,意指在將原料(a-1)、(a-1')、(a-2)及(a-3)的合計定為100莫耳%時,各原料的莫耳%。另外,(a-4)的莫耳當量意指共聚物的酸酐基莫耳當量定為1時,單體(a-4)的羥基莫耳當量。另外,酸價意指依照JIS K6901 5.3所測得的加成共聚物(A)的酸價,且為中和加成共聚物(A)1g中所含的酸性成分所需的氫氧化鉀毫克數。另外,分子量(Mw)意指藉由凝膠滲透層析,採用以下的條件下所測得的標準聚苯乙烯換算重量平均分子量。
<分子量測定條件>
管柱:Shodex LF-804+LF-804(昭和電工股份有限公司製)
管柱溫度:40℃
試樣:加成共聚物(A)之0.2%四氫呋喃溶液
展開溶劑:四氫呋喃
偵測器:示差折射計(Shodex RI-71S)(昭和電工股份有限公司製)
流速:1mL/分鐘
使用試樣No.1~19的感光性樹脂組成物,調製出透明光阻、彩色光阻(顏料型)及彩色光阻(染料型)。
<透明光阻之調製>
相對於試樣No.1~19的感光性樹脂組成物的固體成分100質量份而言,添加季戊四醇四丙烯酸酯(反應性稀釋劑)30質量份、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮(光聚合起始劑)4質量份,調製出透明光阻(實施例1~14及比較例1~5)。
<利用透明光阻進行的硬化塗膜之形成>
將所調製出的透明光阻旋轉塗佈於邊長5cm的方形玻璃基板(無鹼玻璃基板)上,使最終硬化塗膜厚度為2.5μm,然後在90℃加熱30分鐘以使溶劑揮發。接下來,對於所得到塗膜的整個表面實施曝光(曝光量50mJ/cm2)使其光硬化之後,進一步在230℃烘烤30分鐘,而得到硬化塗膜。
<由透明光阻所形成的硬化塗膜之評估>
對於由透明光阻所形成的硬化塗膜,評估耐熱分解性、透明性及密著性。
(1)耐熱分解性的評估
耐熱分解性的評估,係藉由使用由透明光阻所形成的硬化塗膜切出的試樣進行熱重量分析(TGA)而進行。在此分析中,求得此試樣與將試樣加熱至220℃並保持2小時後的試樣之間的重量變化率。這項評估的基準如以下所述。
○:未達-2.0%
×:-2.0%以上
(2)透明性的評估
透明性的評估,係對於由透明光阻所形成的硬化塗膜,與將此硬化塗膜在乾燥機中加熱至230℃並放置1小時所得之物,藉由分光光度計測定400nm的光線透過率,調查其透過率的變化率而進行。這項評估的基準如以下所述。
○:透過率的變化率未達1%
×:透過率的變化率在1%以上
(3)密著性的評估
密著性的評估,係藉由以JIS K5400為基準,對於由透明光阻所形成的硬化塗膜進行棋盤格測試,並以目視觀察100個棋盤格的剝離狀態而進行。這項評估的基準如以下所述。
○:完全沒有觀察到剝離
×:觀察到剝離
將上述耐熱分解性、透明性及密著性的評估結果揭示於表2。
由表2的結果可知,實施例1~14的透明光阻會產生耐熱分解性、透明性及密著性全部皆優異的硬化塗膜,相對於此,比較例1~5的透明光阻會產生耐熱分解性、透明性、密著性的任一者皆不足的硬化塗膜。
<彩色光阻(顏料型)的調製>
藉由在填充有直徑0.5mm鋯珠180質量份的SUS容器,加入10.00質量份的C.I Pigment Green36、33.75質量份的PGMEA(溶劑)及6.25質量份的分散劑(Byk Chemie Japan股份有限公司製Disperbyk-161),並以塗料搖動器混合3小時而使其分散,而得到綠色顏料分散液。
接下來,藉由將所調製出的綠色顏料分散液、試樣No.1~19的感光性樹脂組成物及其他成分加以混合,而調製出彩色光阻(顏料型)(實施例15~28及比較例6~10)。將此彩色光阻(顏料型)的配方成分及其摻合量揭示於表3。
<利用彩色光阻(顏料型)進行的圖型形成>
將所調製出的彩色光阻(顏料型)旋轉塗佈於5cm角玻璃基板(無鹼玻璃基板)上,使乾燥時厚度成為2.2μm,然後在80℃加熱3分鐘使溶劑揮發,並使其乾燥。
接下來,在距離塗佈膜100μm之處設置既定圖型的光罩,隔著此光罩使塗佈膜曝光(曝光量150mJ/cm2),而使曝光部分光硬化。接下來,藉由在23℃的溫度及0.3MPa的壓力下,將含有0.1質量%碳酸鈉的水溶液加以噴霧,以使未曝光部分溶解而顯像,然後在230℃烘烤30分鐘,而形成既定圖型。
<彩色光阻(顏料型)及圖型的評估>
對於彩色光阻(顏料型)及圖型,進行鹼顯像性、靈敏度及耐溶劑性的評估。
(4)鹼顯像性的評估
鹼顯像性係藉由鹼顯像時間、鹼顯像後的殘渣及顯像形態進行評估。
鹼顯像時間係藉由使用上述噴霧的鹼顯像,而測定完全無法辨別圖型時的時間。
鹼顯像後的殘渣,係藉由使用電子顯微鏡觀察鹼顯像後的其圖型進行評估。這項評估的基準如以下所述。
○:無殘渣
×:有殘渣
顯像形態,係藉由目視評估鹼顯像時未曝光部分的去除情形。此處,負型光阻的顯像步驟之中,未硬化的未曝光部分會被鹼顯像液溶解,並逐漸由基板上脫離,而就其顯像形態而言,已知有逐漸脫離的部分為主,變成大的積塊而剝落的剝離型,與徐緩溶解及擴散的溶解型。前者的剝離型,由於積塊會成為異物而殘留在系統內,容易污染其他顏色的畫素,故為不佳。亦即以後者的溶解型為佳,因此這項評估的基準如以下所述。
○:溶解型
×:剝離型
(5)靈敏度的評估
靈敏度係採用上述噴霧的鹼顯像進行30秒鐘,測定鹼顯像前後的圖型厚度減少量。此圖型厚度的減少量愈少,則可說是靈敏度愈良好,因此這項評估的基準如以下所述。
○:未達0.20μm
×:0.20μm以上
(6)耐溶劑性的評估
耐溶劑性的測定,除了不使用光罩而對整個表面曝光以外,係以與上述同樣的方式使其光硬化,使用所形成的圖型試樣,容量500mL的附蓋玻璃瓶加入200mL的正甲基-2-吡咯烷酮,將圖型試樣浸漬於其中,然後後在23℃以色差計測定60分鐘後的顏色變化。這項評估的基準如以下所述。
○:△E*ab未達0.3
×:△E*ab為0.3以上
將上述鹼顯像性、靈敏度及耐溶劑性的評估結果揭示於表4。
由表4的結果可知,實施例15~28的彩色光阻(顏料型)會產生鹼顯像性及靈敏度良好,耐溶劑性優異的圖型,相對於此,比較例6~10的彩色光阻(顏料型)會產生鹼顯像性或靈敏度不良或耐溶劑性不足的圖型。
<彩色光阻(染料型)的調製>
藉由將染料(acid green3)、試樣No.1~19的感光性樹脂組成物及其他成分加以混合,而調製出彩色光阻(染料型)(實施例29~42及比較例11~15)。將此彩色光阻(染料型)的配方成分及其摻合量揭示於表5。
<利用彩色光阻(染料型)進行的圖型形成>
除了採用彩色光阻(染料型)以外,係以與利用彩色光阻(顏料型)進行的圖型形成同樣的方式形成既定圖型。
<彩色光阻(染料型)及圖型的評估>
採用與彩色光阻(顏料型)同樣的方法,評估鹼顯像性、靈敏度及耐溶劑性。
將上述鹼顯像性、靈敏度及耐溶劑性的評估結果揭示於表6。
由表6的結果可知,實施例29~42的彩色光阻(染料型)會產生鹼顯像性及靈敏度良好、耐溶劑性優異的圖型,相對於此,比較例11~15的彩色光阻(染料型),會產生鹼顯像性或靈敏度不良或耐溶劑性不足的圖型。
以上的結果可知,依據本發明可提供一種鹼可溶性樹脂(加成共聚物),用於製造可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型之感光性樹脂組成物。另外,依據本發明可提供一種感光性樹脂組成物,可產生靈敏度或顯像性良好,同時耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。進一步而言,依據本發明可提供一種彩色濾光器,係具有耐熱分解性及耐溶劑性優異的著色圖型。
另外,此國際申請基於2010年4月13日所申請的日本特許出願第2010-092286號而主張優先權,並將該日本專利申請案的全內容援用至此國際申請。
1‧‧‧基板
2‧‧‧RGB畫素
3‧‧‧黑色矩陣
4‧‧‧保護膜
圖1係實施形態3之彩色濾光器之剖面圖。

Claims (11)

  1. 一種感光性樹脂組成物,其特徵為:含有加成共聚物(A)與溶劑(B),該加成共聚物(A),係在使具有碳數10~20之架橋環式烴基之單體(a-1)及/或下述一般式(1)所表示之單體(a-1')2~60莫耳%, (式中,X及Y各自獨立,表示氫原子、或者碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基,R1及R2各自獨立,表示氫原子、碳數1~20之烴基或羧基,R1及R2可形成連結的環狀構造)、馬來酸酐(a-2)30~88莫耳%、以及選自由乙烯基醚類、乙烯基硫類、苯乙烯類所構成之群中之至少一種的電子供予性單體(a-3)10~68莫耳%進行共聚合而得之共聚物,加成具有羥基的單體(a-4)。
  2. 如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-1)係二環戊基甲基丙烯酸酯。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-3)含有乙烯基甲苯10~40莫耳%。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之感光性樹脂組成物,其中前述單體(a-4)係由(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯及季戊四醇三丙烯酸酯所構成之群中所選出之1種以上。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之感光性樹脂組成物, 其中進一步含有由反應性稀釋劑(C)、光聚合起始劑(D)及著色劑(E)所構成之群中所選出之1種以上。
  6. 如申請專利範圍第5項之感光性樹脂組成物,其中前述著色劑(E)含有染料。
  7. 一種加成共聚物(A),其特徵為:在使具有碳數10~20之架橋環式烴基之單體(a-1)及/或下述一般式(1)所表示之單體(a-1')2~60莫耳%, (式中,X及Y各自獨立,表示氫原子、或者碳數1~4之直鏈或支鏈之烴基,R1及R2各自獨立,表示氫原子、碳數1~20之烴基或羧基,R1及R2可形成連結的環狀構造)、馬來酸酐(a-2)30~88莫耳%、以及選自由乙烯基醚類、乙烯基硫類、苯乙烯類所構成之群中之至少一種的電子供予性單體(a-3)10~68莫耳%進行共聚合而得之共聚物,加成具有羥基的單體(a-4)。
  8. 如申請專利範圍第7項之加成共聚物(A),其中前述單體(a-1)係二環戊基甲基丙烯酸酯。
  9. 如申請專利範圍第7或8項之加成共聚物(A),其中前述單體(a-3)含有乙烯基甲苯10~40莫耳%。
  10. 如申請專利範圍第7或8項之加成共聚物(A),其中前述單體(a-4)係由(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯 酸2-羥丙酯、三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯及季戊四醇三丙烯酸酯所構成之群中所選出之1種以上。
  11. 一種彩色濾光器,其特徵為:具有由如申請專利範圍第1~6之項中任一項之感光性樹脂組成物所形成的著色圖型。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120035995A (ko) * 2010-10-07 2012-04-17 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 액정표시장치
JP6356383B2 (ja) * 2013-02-15 2018-07-11 リンテック株式会社 粘着性組成物、粘着剤および粘着シート
JP5988889B2 (ja) * 2013-02-15 2016-09-07 リンテック株式会社 粘着性組成物、粘着剤および粘着シート
TWI636330B (zh) * 2013-05-29 2018-09-21 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. 負型感光性樹脂組成物、電子裝置及聚合物
JP6065750B2 (ja) * 2013-05-29 2017-01-25 住友ベークライト株式会社 感光性樹脂組成物および電子装置
JP6369132B2 (ja) * 2013-06-28 2018-08-08 住友ベークライト株式会社 ネガ型感光性樹脂組成物、硬化膜、電子装置およびポリマー
KR20180012313A (ko) * 2015-05-29 2018-02-05 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤 착색 감광성 수지 조성물, 착색 패턴 또는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 액정 표시 장치 또는 고체 촬상 소자 및 컬러 필터의 제조 방법
KR20180122381A (ko) * 2016-03-08 2018-11-12 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤 폴리머의 제조 방법, 네거티브형 감광성 수지 조성물의 제조 방법, 수지막의 제조 방법, 전자 장치의 제조 방법 및 폴리머
KR102033414B1 (ko) * 2017-02-09 2019-10-17 동우 화인켐 주식회사 적색 화소용 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 화상표시장치
TWI732111B (zh) 2017-03-28 2021-07-01 日商住友電木股份有限公司 感光性組成物、彩色濾光片及由其衍生之微透鏡
JP7255166B2 (ja) * 2018-07-27 2023-04-11 住友ベークライト株式会社 ポリマー、ポリマーの製造方法、感光性樹脂組成物、パターン、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、液晶表示装置および固体撮像素子
JP7255165B2 (ja) * 2018-07-27 2023-04-11 住友ベークライト株式会社 感光性樹脂組成物、パターン、カラーフィルタ、ブラックマトリクス、表示装置、撮像素子、および、表示装置または撮像素子の製造方法
JP2020070340A (ja) * 2018-10-31 2020-05-07 住友ベークライト株式会社 ポリマー、樹脂組成物、及び、樹脂膜
CN113039216B (zh) * 2018-11-08 2023-08-22 株式会社力森诺科 共聚物及包含该共聚物的树脂组合物
CN113366029A (zh) * 2019-01-31 2021-09-07 住友电木株式会社 感光性树脂组合物、聚合物、图案、滤色器、黑矩阵、显示装置及摄像元件
JP6777275B1 (ja) 2019-05-08 2020-10-28 住友ベークライト株式会社 感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置
WO2023140257A1 (ja) * 2022-01-21 2023-07-27 住友ベークライト株式会社 ポリマー、ポリマー溶液、感光性樹脂組成物、および硬化物
TWI810881B (zh) * 2022-04-08 2023-08-01 新應材股份有限公司 感光性樹脂組成物以及硬化物

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05100427A (ja) * 1991-10-04 1993-04-23 Toyo Ink Mfg Co Ltd 水性フオトソルダーレジスト組成物
JPH07102027A (ja) * 1993-10-05 1995-04-18 Nippon Kayaku Co Ltd 樹脂組成物、レジスト組成物及びその硬化物
JPH07109442A (ja) * 1993-10-15 1995-04-25 Three Bond Co Ltd 隙間充填接着性を有する二成分型接着剤組成物
JP3319642B2 (ja) * 1994-01-12 2002-09-03 富士写真フイルム株式会社 光重合性組成物、それを用いたカラーフィルター及びその製造方法
US6150479A (en) * 1998-11-23 2000-11-21 Loctite Corporation Radical-curable adhesive compositions, reaction products of which demonstrate superior resistance to thermal degradation
KR100301063B1 (ko) * 1999-07-29 2001-09-22 윤종용 감광성 중합체 및 이들을 포함하는 화학 증폭형 포토레지스트 조성물
KR100301065B1 (ko) * 1999-08-16 2001-09-22 윤종용 백본이 환상 구조를 가지는 감광성 폴리머와 이를 포함하는 레지스트 조성물
JP3798214B2 (ja) 2000-03-24 2006-07-19 三菱製紙株式会社 感光性平版印刷版材料
TW562844B (en) * 2001-01-19 2003-11-21 Kolon Inc Ink composition for solder resist
TWI314247B (en) * 2002-03-04 2009-09-01 Shipley Co Llc Megative photordsists for short wavelength imaging
EP1600812A1 (en) * 2003-03-06 2005-11-30 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Photosensitive resin composition and curing product thereof
JP2005126699A (ja) * 2003-09-30 2005-05-19 Chisso Corp 光硬化性重合体組成物およびそれを用いた表示素子
JP4708238B2 (ja) * 2006-03-24 2011-06-22 富士フイルム株式会社 感光性フィルム、永久パターン形成方法、及びプリント基板
JP5047057B2 (ja) * 2008-05-20 2012-10-10 東洋インキScホールディングス株式会社 カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ

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Publication number Publication date
KR20120125511A (ko) 2012-11-15
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