JP5198471B2 - アルカリ現像可能樹脂、その製造方法、および前記アルカリ現像可能樹脂を含む感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
R1は水素、またはXと一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造、例えばスクシンイミドまたはコハク酸無水物を形成する基であり、
R2は各々独立して水素またはメチルであり、
R3はグリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、グリシジル5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボキシレート(エンド、エキソ混合物)、1,2−エポキシ−5−ヘキセン、および1,2−エポキシ−9−デセンからなる群から選択される化合物から誘導される基であり、
R4は各々独立してC1〜C4のアルコキシ基であり、
XはC1〜C12のアルキルエステル、ヒドロキシ基1〜2つで置換されたC2〜C6のアルキルエステル、C1〜C3アルコキシ基で置換されたC2〜C6のアルキルエステル、ハロゲン基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C3のアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレン(C2〜C3)グリコールエステル、フェニル基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C6のアルキル基で置換されたフェニル、C1〜C6アルコキシで置換されたフェニル、ハロゲン基で置換されたフェニル、C1〜C6のアルコキシメチル、グリシドキシメチル(glycidoxy methyl)、およびR1と一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造、例えばマレイミドまたは無水マレイン酸を形成する基からなる群から選択された1つであり、
前記a、b、c、dおよびeはモル比であって、aは10〜90、bは5〜30、cは1〜40、dおよびeは各々独立して1〜40であり、
Yは下記化学式7で示される化合物と前記化学式2で示される単位体のアルコール基との開環重合反応によって生成される基であり、
Aは水素、C1〜C6のアルコキシ、フェノキシ、ハロゲンで置換もしくは非置換のC1〜C10のアルキル、不飽和基が1〜3つ含まれたC2〜C10のアルケニルおよびフェニルのうちから選択された1つであり、
BはC1〜C6のアルコキシ、フェノキシ、ハロゲンで置換もしくは非置換のC1〜C10のアルキレン、不飽和基が1〜3つ含まれたC2〜C10のアルケニレンおよびフェニレンのうちから選択された1つであり、AとBは連結されて5〜6角の環を形成してもよい。
a)前記化学式1で示される単位体を形成するためのモノマーおよび前記化学式2で示される単位体を形成するためのモノマーを重合して高分子を製造するステップと;
b)前記a)ステップの重合された高分子に前記化学式7で示される化合物を投入し重合して高分子を製造するステップと;
c)前記b)ステップの重合された高分子にエポキシ基含有化合物を投入して重合するステップと、
を含むアルカリ現像可能樹脂の製造方法を提供する。
A)前記アルカリ現像可能樹脂と;
B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と;
C)光重合開始剤;および
D)溶媒
を含む感光性組成物を提供する。
(1)化学式1で示される単位体および化学式2で示される単位体を含む高分子の合成
ベンジルメタクリレート140g、エチルα−ヒドロキシメチルアクリレート100g、連鎖移動剤である3−メルカプトプロピオン酸3g、溶媒であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)700gを機械的攪拌器(mechanical stirrer)で窒素雰囲気下にて30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げて混合物の温度が70℃になった時に、熱重合開始剤であるAIBN6.0gを入れて8時間攪拌した。重合が進行する間に高分子の沈殿は形成されず、重合収率は97%以上で高かった。
前記(1)の化学式1で示される単位体および化学式2で示される単位体を含む高分子を重合した反応器の温度を80℃に上げ、テトラブチルアンモニウムブロミド2gと熱重合禁止剤であるMEHQ0.25gを入れて30分間攪拌した後、トリメリット酸無水物160gを入れて100℃に反応器の温度を上げて20時間攪拌した。
前記(2)の化学式1で示される単位体、化学式2で示される単位体、および化学式3で示される単位体を含む高分子溶液に115gのグリシジルメタクリレートを入れ、115℃で12時間さらに攪拌して所望の樹脂の合成を完結し、これのNMRグラフを図1に示す(Mw=18,000、AV(Acid Value)=55)。
(1)化学式1で示される単位体および化学式2で示される単位体を含む高分子の合成
ベンジルメタクリレート120g、エチルα−ヒドロキシメチルアクリレート130g、連鎖移動剤である3−メルカプトプロピオン酸3g、溶媒であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)700gを機械的攪拌器(mechanical stirrer)で窒素雰囲気下にて30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を70℃に上げて混合物の温度が70℃になった時に、熱重合開始剤であるAIBN6.0gを入れて8時間攪拌した。重合が進行する間に高分子の沈殿は形成されず、重合収率は97%以上で高かった。
前記(1)の化学式1で示される単位体および化学式2で示される単位体を含む高分子を重合した反応器の温度を80℃に上げ、テトラブチルアンモニウムブロミド2gと熱重合禁止剤であるMEHQ0.25gを入れて30分間攪拌した後、トリメリット酸無水物190gを入れて100℃に反応器温度を上げて20時間攪拌した。
前記(2)の化学式1で示される単位体、化学式2で示される単位体、および化学式3で示される単位体を含む高分子溶液に60gのグリシジルメタクリレートを入れ、115℃で12時間さらに攪拌して所望の樹脂の合成を完結し、これのNMRグラフを図2に示す(Mw=17,000、AV=95)。
ベンジルメタクリレート43.2g、メタクリル酸16.8g、連鎖移動剤である3−メルカプトプロピオン酸0.5g、溶媒であるエチル3−エトキシプロピオネート280gを機械的攪拌器で窒素雰囲気下にて30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を60℃に上げて混合物の温度が60℃になった時に、熱重合開始剤としてAIBN2.6gを入れて12時間攪拌した(Mw=18,000、AV=90)。
(1)線形バインダー(Linear Binder)の重合
ベンジルメタクリレート45.8g、メタクリル酸22.5g、連鎖移動剤である3−メルカプトプロピオン酸0.5g、溶媒であるエチル3−エトキシプロピオネート300gを機械的攪拌器で窒素雰囲気下にて30分間混合した。窒素雰囲気下で反応器の温度を60℃に上げて混合物の温度が60℃になった時に、熱重合開始剤としてAIBN2.6gを入れて12時間攪拌した。重合が進行する間にポリマーの沈殿は形成されず、重合収率は98%以上で高かった。
線形バインダー(Linear Binder)を重合した反応器の温度を90℃に上げ、トリフェニルホスフィン0.2gを投入した。熱重合禁止剤であるMEHQ0.07gを入れて30分間攪拌した後、グリシジルメタクリレート20gを入れてエアー雰囲気を維持しながら、110℃に反応器温度を上げた後に12時間攪拌した。
高分子溶液に20.4gの無水トリメリット酸(trimellitic anhydride)を入れ、110℃で6時間さらに攪拌して所望の樹脂の合成を完結した(Mw=20,000、AV=90)。
顔料C.I.Pigment Red 254分散液を50g、前記合成例1で合成したアルカリ現像可能樹脂5g、重合性化合物であるジペンタエリスリトールヘキサアクリレート3g、光重合開始剤I−369 2g、有機溶媒であるPGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)40gを3時間混合して感光性組成物を準備した。
感光性組成物の成分のうち、アルカリ現像可能樹脂として前記合成例2で合成したアルカリ現像可能樹脂5gを用いたことを除いては、前記実施例1と同様に実施した後、ガラス表面とパターンの状態を観察した。
感光性組成物の成分のうち、アルカリ現像可能樹脂として前記比較合成例1のBzMA/MAA共重合体(重量比=86/14、Mw=18,000、AV=90)5gを用いたことを除いては、前記実施例1と同様に実施した後、ガラス表面とパターンの状態を観察した。
感光性組成物の成分のうち、アルカリ現像可能樹脂として前記比較合成例2のアルカリ現像可能樹脂5gを用いたことを除いては、前記実施例1と同様に実施した後、ガラス表面とパターンの状態を観察した。
前記実施例1〜2および比較例1〜2の結果を下記表1〜表3に示す。本実験の現像性評価は標準露光量150mJ/cm2を基準に測定した。
本実験の感度評価は標準現像時間50秒を基準に測定した。下記表2の測定された値はLine & space maskを用いて露光した時、現像後残っている最小ピクセル大きさである。
本実験の残膜率評価は標準現像時間50秒、露光量100mJ/cm2を基準に測定した。
Claims (26)
- 下記化学式1で示される単位体、化学式2で示される単位体、化学式3で示される単位体、化学式4で示される単位体、および化学式5で示される単位体を含むアルカリ現像可能樹脂であって、重量平均分子量が1,000〜200,000の範囲であり、酸価は30〜300KOH mg/gであるアルカリ現像可能樹脂。
R1は水素、またはXと一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基であり、
R2は水素またはメチルであり、
R3はグリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、グリシジル5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボキシレート(エンド、エキソ混合物)、1,2−エポキシ−5−ヘキセン、および1,2−エポキシ−9−デセンからなる群から選択される化合物から誘導される基であり、
R4は各々独立してC1〜C4のアルコキシ基であり、
XはC1〜C12のアルキルエステル、ヒドロキシ基1〜2つで置換されたC2〜C6のアルキルエステル、C1〜C3アルコキシ基で置換されたC2〜C6のアルキルエステル、ハロゲン基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C3のアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレン(C2〜C3)グリコールエステル、フェニル基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C6のアルキル基で置換されたフェニル、C1〜C6アルコキシで置換されたフェニル、ハロゲン基で置換されたフェニル、C1〜C6のアルコキシメチル、グリシドキシメチル(glycidoxy methyl)、およびR1と一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基からなる群から選択された1つであり、
前記a、b、c、dおよびeは各々モル比であって、
aは10〜90、bは5〜30、cは1〜40、dおよびeは各々独立して1〜40であり、
Yは下記化学式8〜15のいずれか1つで示される化合物と前記化学式2で示される単位体のアルコール基との開環重合反応によって生成される基である。]
- 前記化学式1で示される単位体を形成するためのモノマーは、不飽和カルボン酸エステル類;芳香族ビニル類;不飽和エーテル類;N−ビニル第三アミン類;不飽和イミド類;および無水マレイン酸類からなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項1に記載のアルカリ現像可能樹脂。
- 前記化学式2で示される単位体を形成するためのモノマーは、メチルα−ヒドロキシメチルアクリレート、エチルα−ヒドロキシメチルアクリレート、プロピルα−ヒドロキシメチルアクリレート、およびブチルα−ヒドロキシメチルアクリレートからなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項1または2に記載のアルカリ現像可能樹脂。
- a)下記化学式1で示される単位体を形成するためのモノマーおよび下記化学式2で示される単位体を形成するためのモノマーを重合して高分子を製造するステップと;
b)前記a)ステップの重合された高分子に下記化学式8〜15のいずれか1つで示される化合物を投入し重合して高分子を製造するステップと;
c)前記b)ステップの重合された高分子にエポキシ基含有化合物を投入して重合するステップと、
を含むアルカリ現像可能樹脂の製造方法であって、
重量平均分子量が1,000〜200,000の範囲を有し、酸価は30〜300KOH mg/gであるアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
R1は水素、またはXと一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基であり、
R2は水素またはメチルであり、
R4はC1〜C4のアルコキシ基であり、
XはC1〜C12のアルキルエステル、ヒドロキシ基1〜2つで置換されたC2〜C6のアルキルエステル、C1〜C3アルコキシ基で置換されたC2〜C6のアルキルエステル、ハロゲン基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C3のアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレン(C2〜C3)グリコールエステル、フェニル基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C6のアルキル基で置換されたフェニル、C1〜C6アルコキシで置換されたフェニル、ハロゲン基で置換されたフェニル、C1〜C6のアルコキシメチル、グリシドキシメチル(glycidoxy methyl)、およびR1と一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基からなる群から選択された1つであり、
前記aおよびbは各々モル比であって、
aは10〜90であり、bは5〜30である。]
- 前記a)ステップの化学式1で示される単位体を形成するためのモノマーは、不飽和カルボン酸エステル類;芳香族ビニル類;不飽和エーテル類;N−ビニル第三アミン類;不飽和イミド類;および無水マレイン酸類からなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項4に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記a)ステップの化学式2で示される単位体を形成するためのモノマーは、メチルα−ヒドロキシメチルアクリレート、エチルα−ヒドロキシメチルアクリレート、プロピルα−ヒドロキシメチルアクリレート、およびブチルα−ヒドロキシメチルアクリレートからなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項4または5に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記a)ステップがラジカル重合開始剤または連鎖移動剤を追加するステップをさらに含む、請求項4〜6のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記ラジカル重合開始剤は、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、t−ブチルペルオキシピバレート、および1,1’−ビス−(ビス−t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンからなる群から選択された1種以上の化合物を含む、請求項7に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記連鎖移動剤は、n−ヘキシルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸、3−メルカプトプロピオン酸、およびα−メチルスチレン二量体からなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項7または8に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記b)ステップは90℃〜120℃の温度において行われる、請求項4〜9のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記c)ステップのエポキシ基含有化合物は、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、グリシジル5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボキシレート(エンド、エキソ混合物)、1,2−エポキシ−5−ヘキセン、および1,2−エポキシ−9−デセンからなる群から選択される、請求項4〜10のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記c)ステップが熱重合禁止剤を追加するステップをさらに含む、請求項4〜11のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記熱重合禁止剤は4−メトキシフェノールを含む、請求項12に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- 前記c)ステップは100℃〜150℃の温度において行われる、請求項4〜13のいずれか一項に記載のアルカリ現像可能樹脂の製造方法。
- A)下記化学式1で示される単位体、化学式2で示される単位体、化学式3で示される単位体、化学式4で示される単位体、および化学式5で示される単位体を含むアルカリ現像可能樹脂と;
B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と;
C)光重合開始剤;および
D)溶媒
を含む感光性組成物であって、
前記アルカリ現像可能樹脂が、重量平均分子量が1,000〜200,000の範囲を有し、酸価は30〜300KOH mg/gであり、
前記感光性組成物100重量部に対し、A)アルカリ現像可能樹脂1〜30重量部;B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物0.5〜20重量部;C)光重合開始剤0.1〜15重量部;およびD)溶媒35〜95重量部を含有する感光性組成物。
R1は水素、またはXと一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基であり、
R2は水素またはメチルであり、
R3はグリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、グリシジル5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボキシレート(エンド、エキソ混合物)、1,2−エポキシ−5−ヘキセン、および1,2−エポキシ−9−デセンからなる群から選択される化合物から誘導される基であり、
R4は各々独立してC1〜C4のアルコキシ基であり、
XはC1〜C12のアルキルエステル、ヒドロキシ基1〜2つで置換されたC2〜C6のアルキルエステル、C1〜C3アルコキシ基で置換されたC2〜C6のアルキルエステル、ハロゲン基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C3のアルコキシポリ(n=2〜30)アルキレン(C2〜C3)グリコールエステル、フェニル基で置換されたC1〜C6のアルキルエステル、C1〜C6のアルキル基で置換されたフェニル、C1〜C6アルコキシで置換されたフェニル、ハロゲン基で置換されたフェニル、C1〜C6のアルコキシメチル、グリシドキシメチル(glycidoxy methyl)、およびR1と一緒になって5員環のカルボン酸無水物またはイミド構造を形成する基からなる群から選択された1つであり、
前記a、b、c、dおよびeは各々モル比であって、
aは10〜90、bは5〜30、cは1〜40、dおよびeは各々独立して1〜40であり、
Yは下記化学式8〜15のいずれか1つで示される化合物と前記化学式2で示される単位体のアルコール基との開環重合反応によって生成される基である。]
- 前記B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、多価アルコールをα,β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物;グリシジル基を含有する化合物に(メタ)アクリル酸を付加して得られる化合物;水酸基またはエチレン性不飽和結合を有する化合物と多価カルボン酸とのエステル化合物、および水酸基またはエチレン性不飽和結合を有する化合物とポリイソシアネートとの付加物;および(メタ)アクリル酸アルキルエステルからなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項15に記載の感光性組成物。
- 前記C)光重合開始剤は、トリアジン系化合物;ビイミダゾール系化合物;アセトフェノン系化合物;ベンゾフェノン系化合物;フルオレノン系化合物;チオキサントン系化合物;キサントン系化合物;アントラキノン系化合物;アクリジン系化合物;ジカルボニル系化合物;ホスフィンオキシド系化合物;アミン系化合物;クマリン系化合物;カルコン系化合物;2−ベンゾイルメチレン;および3−メチル−β−ナフトチアゾリンからなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項15または16に記載の感光性組成物。
- 前記D)溶媒は、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン、1,1,1−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエタン、1,1,2−トリクロロエテン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、プロパノール、ブタノール、t−ブタノール、2−エトキシプロパノール、2−メトキシプロパノール、3−メトキシブタノール、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、エチル3−エトキシプロピオネート、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ブチルアセテート、およびジプロピレングリコールモノメチルエーテルからなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項15〜17のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 前記感光性組成物は、光増減剤、着色剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および界面活性剤からなる群から選択される1種以上の添加剤をさらに含む、請求項15〜18のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 前記感光性組成物100重量部に対し、着色剤0.5〜20重量部;および光増減剤、硬化促進剤、熱重合抑制剤、可塑剤、接着促進剤、充填剤および界面活性剤からなる群から選択された1種以上の化合物0.01〜20重量部を含有する、請求項19に記載の感光性組成物。
- 前記着色剤は顔料、染料またはこれらの混合物を含む、請求項19に記載の感光性組成物。
- 前記硬化促進剤は、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(2−メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールトリス(2−メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(2−メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリス(2−メルカプトアセテート)、およびトリメチロールエタントリス(3−メルカプトプロピオネート)からなる群から選択される1種以上を含む、請求項19〜21のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 前記熱重合抑制剤は、p−アニソール、ヒドロキノン、ピロカテコール(pyrocatechol)、t−ブチルカテコール(t−butyl catechol)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアンモニウム塩、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、およびフェノチアジン(phenothiazine)からなる群から選択される1種以上の化合物を含む、請求項19〜22のいずれか一項に記載の感光性組成物。
- 請求項15〜23のうちのいずれか一項の感光性組成物を用いて製造されるカラーフィルタ。
- 請求項15〜23のうちのいずれか一項の感光性組成物を用いて製造されるオーバーコート。
- 請求項15〜23のうちのいずれか一項の感光性組成物を用いて製造されるカラムスペーサー。
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