TW200836280A - TCP handling device, and method for positional alignment of connecting terminals in the device - Google Patents

Description

200836280 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以測試IC元件之一種的TCP(Tape Carrier Package)或 C0F(Chip On Film)(以下將由 Tcp、 COF、及 TAB (Tape Automated Bonding)封裝技術所封裝的 元件統稱之為「TCP」），所使用之TCP處理裝置、該装置 之連接端子的位置對準方法。 【先前技術】 在1C元件等的電子元件製造過程中，必須使用用以測 試最終製造出的電子元件或其中間階段的元件等的性能或 功能的測試之電子元件測試裝置’在TCP的情況下係 TCP用的測試裝置。 ' % TCP測試裝置—般係由下列構成：測試本體、測試 及Tcp處縣置（以下亦簡稱為TCP處理器）。該TCP/ 器：能夠運送在捲帶(亦包含膜片的概念，以下亦同二 ΐ二7:搬運帶’將搬運帶壓到電氣連接於測試頭的 i針卡的楝針，使TCP的輸出輸人端子和 並依序執行複數TCP的測試。 乳連接， 但疋’為了使用TCP 行測試，必須要使Tcp的 相接觸。 測試裝置以效率良好並正確地執 測試墊和探針卡的各探針確實地 5，在使用TCP處理器的情 其動作以執行測試之前， 在Λ際使 事先對TCP處理器進行初期設 2192-9213-PF/Ahddub 5 200836280 TCP的測試 定，並執行將該設定予以登錄的操作，以使得 墊和探針卡的各探針能夠確實地相接觸。 蜃理器的初期 V % A奴轨行。首先， 將TCP搬運到測試位置，將被搬運的 繼^移動推進單元直到可以由攝影機清楚地辨識TCP的 以攝影機拍攝TCP的測試塾，將其影像顯示於顯示 :。知作貝硯看顯示器，以目視方式掌握Tcp的回轉角度。 .之’為了以攝影機清楚地辨識探針卡的探針，將推進單 凡移動直到無法由攝影機清楚地辨識Tcp的高产之，以 =機t攝探針卡的探針，並將其影像顯示_示器。操 作貝一邊觀看顯示器，一邊手動操作使探針卡平台回轉， 調整對於TCP回轉肖 卞Q 口轉 D 轉角度之&針卡的回轉角度。繼之，移動 =^ 可以由攝影機清楚地辨言戠TCP及探針的高 r在tr貝—邊觀看顯示器，一邊手動操作以將探針卡平 二=向及…抽方向移動，以確認TCP的所有測試 塾都月b夠和振針卡的摄 初期設定。 的1 木針接觸。將如此設定之位置登錄為 【發明内容】 發明欲解決的問題 . i攝‘針卡的探針之攝影機，因為TCP處理器 對於題，㈣置在探針卡的K。但是，因為探針 法以 的接觸面，係位於探針卡的上方，所以無 、〔攝衫機拍攝探針的接觸面。因此，無法掌握探針 2l92-92l3-PF;Ahddub 6 200836280 的接觸面的位置（探針的直正 測試塾和探針卡的探針的位執行TCP 對準不正確，因為這個原因，而會二==的位置 不良、接觸抵抗不穩定、相鄰接聊間的轉等的接觸 本發明係有鑑於上述見參 裝置、及&現4 ’其目的在於提供TCP處理 衣置及TCP處理裝詈中和於 法，m由τ ^ ^夠正確執行位置對準處理的方 的位置對準。 卩的連接知子和TCP的外部端子 用以解決課題的手段 為達成上述目的，第〗， 置，其係用以搬運形成複數TC… 種TCP處理裝 著且右、““ cp的搬運帶，將該搬運帶對

者具有複數個電性連結於 V 如探崔十，M丄 運接鸲子的測定部（例 木訂卞）知:壓，猎由使該Tcp 接端子桩總 妁外邛知子和該測定部的連 而子接觸，而依序測試複數的Tcp 測定部移動的測定部移動裝置及匕.此夠使该 而變#舻，® * AA 一 b夠相對於該測定部 而-更搬運帶的位置之捲帶移動裝 定部的連接端子的接=對應於該測 的特料卹罝貝枓而拍攝設於該測定部 ^特徵邛及被測試TCP的特定部 部端子、Μ —押i ° ’或者為複數個外 !肖疋標記、裝置的-部份等)之攝影裝置； 糟由該攝影裝置，拍攝被測試 該特定部位的座標資料，並且拍❹疋部位並取得 得該特徵部的座桿資料.從 的特徵部並取 定部…二 部的座標資料推定該測 P的連接鈿子的接觸面的位置資 TCP ^ „ 貝討’攸该取得之被測試 的特疋部位的座標資料及該推 疋的連接端子的接觸面 2192-9213-PF;Ahddub η 200836280 的位置資料，求出該被測試Tcp 的接觸面之位置偏移量 ;广子和該連接端子 部移動夺置及zm ^^Μ移量’藉由該測定 移動= 帶移動裝置使該測定部及/或搬運帶 移動，以執行該連接端子對於被測試 戈搬運f 置對準（發明1)。 的外邛端子之位 測定部的連接端子的接觸面，通 加以拍攝的Μ日是#攄μ + 疋難以用攝影裝置 …：二 發明(發0月.藉由拍攝的特 的座貝米斗，而能夠精確地、 位置資料，因此，能夠非常正確地的接觸面的 、、目，丨—* 執仃TCP的外部端子和 “疋邛的連接端子的位置對 吐 旱因此，使用TCP處理裝置 ’能夠在短時間内有效率地執行該初期設定。 2述發明（發明W，該測定部移動裝置係能夠將 q測疋部於其平面方向移動，該捲帶移動穿 搬運帶對於該測定部於其平面方白 句將該 方向移動（發明2)，該測定 =移動裝置係能夠將該測定部繞著其垂直軸移動，該捲帶 :動裝置係能夠將該搬運帶對於該測定部繞著包含該搬： 帶的平面之垂直軸移動（發3月3)，該測定部移動裝置係能 夠將該測定部於其平面方向及繞著垂直軸移動，該捲帶移 動裂置係能夠將該搬運帶對於該測定部於其平面方向及繞 者包含該搬運帶的平面之垂直軸移動（發明4)。 在上述發明（發明4)中，第1，取得該被測試TCP的特 定部位的座標資料’並且取得該測定部的該特徵部的座標 資料，從該特徵部的座標資料推定該測定部的連接端子= 接觸面的位置資料’從該取得之被測試TCp的特定部位的 2192-9213-PF;Ahddub 8 200836280 座標貧料及該推定的連接端子 J接觸面的位置資料，求出 該被測試TCP的外部端子 … 古紅ΛΑ A堪俗 丈侵無于的接觸面之繞著垂 直^位置偏移量，依據㈣該垂絲的位 ==!動農置及/或該捲帶移動裝置使該測定部及/ 或搬運f繞者該垂直軸移動· ’弟2，再次取得該測定部之 该特徵部的座標資料，從 m拉山2 特徵部的座標資料推定該測定 口P的連接知子的接觸面的位 w 的特定部位的座桿資料及，推以取得之被測試TCP 置資料，求出談Γ、、 的連接端子的接觸面的位 x ? mcp的外部端子和該連接端子的接 m 方向的位置偏移量’依據該平面方向的位置偏 5運f在平面方向移動（發明5)。 依據上述發明（發明5)，藉由分別 軸的位置對準和平而Μ ‘ 斤巩订、、凡者£直 行TCP和… 的位置對準，而能夠更正確地執 灯TCP和測定部的位置對準。 在上述發明（發明i)中， 試TCP的2個以上（特別精由§亥攝衫襄置，拍攝被測 取得2個以上之二，相離的2處以上)的特定部位並 邱的2個v 疋…立的座標資料，並且拍攝該測定 個'Π:上(特別是相離的2處以上)之特徵部並取得2 μ特徵部的座標資料（發日月6)。依 明6)，相較於僅 地界定外部端子； 標資料的情況，能夠更精確 螭子和特徵部的位置。 述^明（發9月6)中，該被測試TCP的外部端子和 該測定部的連接嫂2 π外邛鈿子和 接柒子的接觸面之繞著垂直軸的位置偏移 2192-9213^PF;Ahddub 200836280 量，係由從該被測試TCP沾壯6 ^ 、的特定部位的2個以 料得到的第1直線角度， 上之座彳示貢 加 及依據該測定部的特徵邱的？ 個以上之座標資料之該測定部的連接端子的接觸面^ 以上之位置資料而得到的第 面的2個 vz直線角度之莫而七〜，心 7 )。 心產而求得（發明 在上述發明（發明6)中， 使該攝影裝置移動的攝影I置移動裝：理更包含能夠 攝影裝置移動裝置所移動，拍攝::上=置由該 的特定部位及2個以上之該測定部的特 發明（㈣8)’因為攝影裝置能夠拍攝 ^ ㈣離的位置之複數部位及和特徵部相遠離之位置的;1 :位，所以能夠更精確地求…測定部二:； Ϊ，而能夠更正確地執行Tcp 偏和 1州疋。卩的位置對準。 在上述發明（發明n中， 之# 1 特係對應於該測定部 之複數個連接端子的接觸面的位置資料( 述發明（發明9)，相較於特汽立 又據上 的接觸面的位置資料，能夠連接&子 連接端子的接觸面的位置資料。#遍部整體t的 適二Γ明提供一種連接端子的位置對準方法，-適用於TCP處理裝置，其係 八 罄形成複數TCP的搬運 :子=:運帶對著具有複數個電性連結於測試頭的連； 子的測疋部按壓，藉由使該TCP的 的連接端子接觸，而依序測試複數的τ=:測定部 被測試m>的特定部位的座取得 對應於该測定部的連 2192~9213-PF;Ahddub ι〇 200836280 接端子的接觸面的位置資料，取得設定該測定部的特徵部 的/標資料；從該特徵部的座標資料減制定部的連接 端子的接觸面的位置賣料；從該取得之被測試的特定 部位的座標資料及該推定的連接端子的接觸面的位置資 料，求出該被測試TCP的外部端子和該連接端子的接觸面 之位置偏移量；依據該位置偏移量，使該測；t部及/或搬運 帶移動（發明1 〇 )。 f 在上述發明（發明⑻中，該位置偏移量係為該被測試 TCP的外部料和該敎部料接料的接觸面的平面方 向之位置偏移量，並使該測定部及/或搬運帶在平面方向移 動亦可“明11 )’ s亥位置偏移量係為該被測試抑的外部 端子㈣測定部的連接端子的接觸面的繞著垂直轴之位置 偏移量，並使該測定部及/或搬運帶繞著垂直軸移動亦可 (¾明12)，该位置偏移量係為該被测試Tcp的外部端子和 該測定部的連接端子的接觸面的平面方向及繞著垂直轴之 位置偏移量，並使該測定部及/或搬運帶在平面方向及繞著 垂直軸移動為佳（發明1 3)。 、第3，本發明提供一種連接端子的位置對準方法，其 f用於KP處理裝置，其剌以搬運形成複數⑽的搬運 帶，將該搬運帶對著具有複數個電性連結於測試頭的連接 端子的測定部㈣’藉由使該TCP的外部端子和該測定部 的連接端子接觸，而依序測試複數的Tcp，其包含：取得 被測試TCP的特定部位的座標資料；對應於該^部的I 接端子的接觸面的位置資料’取得設定該測定部的特徵部 2192-9213-PF;Ahddub 11 200836280 的座標資料，並從該特徵立- 、"的座"^資料推定該測定部的連 端子的接觸面的位置資料；從該取得之被測試TCP的特 :部位的座標資料及該推定的連接端子的接觸面的位置資 料，，出該被測試TCP的外部端子和該連接端子的接觸面 之繞著垂直軸的位置偏蒋吾· — ,依據该位置偏移量，使該測 二部及/或搬運帶繞著該垂直軸移動；再次取得該測定部之 =特徵部的座標資料，從該特徵部的座標資料推定該測定 二=端子的接觸面的位置資料；從該取得之被測試TCP 置次二部位的座標資料及該推定的連接端子的接觸面的位 2料、，求出該被測試TCP的外部端子和該連接端子的接 之千面方向的位置偏移量；依據該位置偏移量，使該 測定部W運帶在平面方向移動（發明⑷。 子矛明（發明12〜14)t ’該被測試TCP的外部端 子和该測定部的連接姓； 、妾觸面之繞著垂直軸的位置偏 “二=Tep的特定部位的2個以上之座標 錢肖度，m㈣該敎部㈣徵部的 二之座標資料之該測定部的連接端子的接 二之位置資料而得到的第2直線角度之差而求得(發 發明效果 據本^明的TCP處理裝置或連接端子的位置對準方 :子=常正確地執行測定部的連接端子 鈿子的位置對準。 J 1 σ丨 2192-9213>PF;Ahcldub 200836280 【實施方式】 下文配合圖式，說明本發明之實施型態。 第1圖顯示使用本發明一實施型態之TCP處理器之TCP 測試裝置之正面圖，第2圖為同實施型態的TCp處理器之 推進單70之側面圖’第3圖為同實施型態的TCP處理器的 推進平台的平面圖，第4圖為同實施型態的TCp處理器的 抓針卡平台的平面圖，第5圖為同實施型態的Tcp處理器 的楝針卡平台的正面圖，第β圖為同實施型態的Tcp處理 器的抓針卡的底面圖，第7圖為同實施型態的Tcp處理器 的探針卡的側面圖。

百先，說明具有本發明實施型態的TCP處理器的TCP 測試裝置的整體構成。TCP測試裝置1由下列構成：圖未 顯示的測試本體、和測試本體電氣連結的測試頭10、設於 測試頭10上方的TCP處理器2。 TCP處理器2係將形成於搬運帶5上的複數個Tcp依 序交付測試，在本實施型態中，為簡化說明，係每次將] 個TCP父付測試。但是，本發明並不以此為⑯，在搬運帶 5上直列方向及/或橫列方向並列之複數TCP同時交付測試 亦可。 TCP處理器2具有捲出捲軸21及捲取捲軸，捲出: 軸21上捲了具有測試前的搬運帶5。搬運帶5從捲出捲 21捲出，在測試後再捲到捲取捲軸22上。 捲出捲轴和捲取捲軸22之間設有3個間隔滾 23a、23b、23c，用以將從搬運帶5剝離的保護帶“從 2192-9213-PF;Ahddub 13 200836280 • 出捲軸21跨越到捲取捲軸22。各間隔滾輪23a、23b、 分別可以上下移動，以調整保護帶51的張力。 在捲出捲軸21的下方設有：捲帶導軌24a、捲出限制 滾輪25a、内側次鍊輪25b及内側導軌滾輪25c，從捲出捲 轴21捲出的搬運帶5, 一邊由捲帶導軌24a導執，同時經 由捲出限制滾輪25a、内側次鍊輪25b及内側導執滾輪25c 送往推進單元3。 , 在捲取捲軸22的下方也設有捲帶導軌24b、捲取限制 ' 滚輪25f、外側次鍊輪25e及外側導軌滾輪25d，交付測試 後的搬運帶5,經過外側導軌滾輪25d、外側次鍊輪25e及 捲取限制滾輪25f ’ 一邊由捲帶導軌24b導軌著，一邊捲 到捲取捲軸2 2上。 而且，在内側導執滾輪25c和外側導軌滾輪25d之間， 設有推進單元3。 如第1圖及第2圖所示，在推進單元3的框（推進 ( 框）36，藉由托架設置能夠使滾珠螺桿32回轉的伺服馬達 31，並且藉由2支Z軸方向的直線運動導軌（以下稱之為 LM V軌）3 7而设置和滾珠螺桿3 2螺合的推進本體部33。 該推進本體部33，藉由使伺服馬達31驅動，在由直線運 動導執37導執的同時可以在上下方向（z軸方向）移動。 在推進本體部33的下端部，設有連接於負壓源（圖示 省略）而能夠吸附保持著搬運帶5的吸附板34。 在推進本體部33的前段側（第i圖中的左側），設有張 力鍊輪35a，在推進本體部33的後段側（第i圖中的右側） 2192-9213-PF;Ahddub 14 200836280 、、屏得於所欲之張力。 設有主鍊輪3 5 b，以使得搬運帶 ,…、〜刀 〇 如第2圖及第3圖所示，在推進 摧進框36之推進本體部 33的背面側’設置了推進平台4使其載於基台Μ上，推 進平台4的回轉台之頂台48係固定於推進框％。

在推進平台4的基座4G上設有：使得在χ軸方向上具 有軸之滾珠螺桿42a回轉的伺服馬達41a、使得在γ軸方 向上具有軸之滾珠螺桿42b回轉的伺服馬達41b、使得在γ 轴方向上具有軸之滾硃螺桿42c回轉的伺服馬達，伺 服馬達41b及伺服馬達41c分別位於基座4〇的兩端部。 在滾珠螺桿42a，X軸方向的LM導執43a和由43a引 導之可以在X軸方向滑動的滑動滑輪組44a螺合。在滑動 滑輪組44a，透過γ軸方向的LM導執45a設置在γ軸方向 可以滑動的滑動板46a。在滑動板46a的上側，固定了内 部有滾軸的回轉元件47a，回轉元件47a係設置為在頂台 48自由回轉。 在滾珠螺桿42b，γ軸方向的LM導執43b和由43b弓| 導之可以在Y軸方向滑動的滑動滑輪組44b螺合。在滑動 滑輪組44b，透過χ軸方向的LM導執45b設置在χ軸方向 可以滑動的滑動板46b。在滑動板46b的上側，固定了内 部有滾軸的回轉元件47b，回轉元件47b係設置為在頂台 48自由回轉。 在滾珠螺桿42c，γ軸方向的LM導軌43c和由43c弓| 導之可以在γ軸方向滑動的滑動滑輪組44c螺合。在滑動 滑輪組44c，透過χ輛方向的LJtf導軌45c設置在X軸方向 2192-9213~PF;Ahddub 15 200836280 _ 可以滑動的滑動板4 6 C。在滑動板4 6 C的上側，固定了内 部有滾軸的回轉元件47c，回轉元件47c係設置為在頂台 48自由回轉。 在具有上述構成之推進平台4，驅動伺服馬達41 a，藉 由使滑動滑輪組44a、滑動板46b及滑動板46c在X軸方 向滑動’而能夠使頂台48在X軸方向上移動。再者，驅動 伺服馬達41b及伺服馬達41c，藉由使滑動滑輪組44b、滑 動滑輪組44c及滑動板46a在Y軸同方向滑動，而能夠使 、 頂台48在Y軸方向上移動。再者，驅動伺服馬達41 a，使 滑動滑輪組44a在X軸方向上滑動，並且驅動伺服馬達4 jb 及伺服馬達41 c，使得滑動滑輪組44b和滑動滑輪組44c 在Y軸上之彼此相反的方向上滑動，繼之藉由使各回轉元 件47a、45b、45c回轉，而能夠使頂台48繞著其垂直軸回 轉。藉由此推進平台4，能夠使推進單元3在χ軸—γ軸方 向移動，以及繞著垂直軸回轉移動。 (另方面’如第1圖所示，在推進單元3的下方，測 试頭1 〇的上部’設置承載了探針卡8的探針卡平台7。在 此抓針卡平台7係為能夠由馬達驅動機構進行移動控制 者以及僅具有手動調整功能者，但在本實施型態中，係 為具有馬達驅動機構者。 如第4圖及第5圖所示，在探針卡平台7的基台”上 有使得在X軸方向具有軸的滾珠螺桿7 i 2回轉的飼服 馬達7U、4個X軸方向的LM導執713。在該等4個LM導 軌713上，5又有藉由各LM導執713而可以在χ軸方向滑動 2192-9213-PF;Ahddub 16 200836280 導引的矩形之χ基座72。 在°亥X基座72的一側部，形成 了和滾珠螺桿712螺合的螺合部721。 螺二上設有:使得在、方向上具有軸之滾珠 力、干目轉的伺服馬達722、2支¥轴方向㈣導軌m。 在上述2支LM導軌724 μ ^ ^ ^ 上 5又有猎由各LM導執724而可 以在Υ軸方向滑動導引的 的矩形之Υ基座73。在該Υ基座73 的一側部，形成了和滾珠螺桿723螺合的螺合部731。 在Υ基座73上設有：使得在γ軸方向上具有軸之滾珠 ，桿733回轉的伺服料732、以自由回轉的方式支樓卡 % 735的連接環？34。在卡環735的_部份，形成了和滾 、 幻系口邛736。板針卡8藉由4支接腳82, 以可自由裝卸的方式設於該卡環735上。 在具有如上構成之探針卡平台7上，藉由驅動伺服馬 達711，能夠使Χ基座72、以及探針卡8在X軸方向移動， 藉由驅動伺服馬達722，能夠使γ基座73、以及探針卡8 在Υ轴方向移動。而且’驅動伺服馬達732使滾珠螺桿733 回轉’並使螺合部736移動，藉此，能狗使卡環735及探 針卡8繞著其垂直轴回轉。再者，Τ(：ρ處理器2，且有处夠 自動控制伺服馬達7U、722、732的驅動之控制裝置月^藉 此能夠自動地使探針卡8在χ軸方向、γ軸方向以及繞^ 垂直軸移動。 〜 如第4圖〜第7圖所心探針卡8具有複數支探針81， 各探針81透過測試頭1G和測試本體電性連結。在本實施 型態之探針卡8的中央冑，形成了矩形的開口部85，在開 2192-9213-PF;Ahddub 17 200836280 口部85的四個角附近設有凸片83。而且，如第6圖所一 各凸片83的底面設有特徵部84。像這樣，探針卡8不， 徵部84 ’分別在盡可能分開的位置設置複數：較佳。之特 再者，如第6圖所示，本實施型態之特徵部84 形的標記，但其並非以此為限，例如為十字形的標記亦可。 再者，探針卡8的特徵部84的數量共有4個， 為限。 乂此

各特徵冑84,係形成於對應於探㈣的接觸面（和 的測試墊接觸之接觸面)的座標資料的位置。亦即，藉 得各特徵部84的座標資料’而可以推定探針81的接觸面 的座標貧料。為了更提高推定的精確度，各特徵部84的位 置對應於複數個楝針8 j的接觸面的座標資料為佳，例 如，對應於位於個別特徵部84的附近的數支探針Μ 觸面的座標資料為佳。 將各特徵部84的座標資料對應於探針81的接觸 錢資料的資料，係儲存於後述的影像處理部中。該資料， 先疋存於奴針卡8 ’在將探針卡8設定在TCP處理器2時， 儲存於T C P處理51 9 r旦/ μ + 态2 (衫像處理部）亦可，由TCp處理器2 端主動取得亦可。 士第1圖所不，分別在推進單元3的前段側（第1圖中 、二側又有帛1攝影機6a，在測試頭1 G的下側設有第2 攝以機（攝衫裝置）6b，在推進單元3的後段側（第】圖中的 右侧）設有第3攝影機6e。再者，在測試頭1G形成能夠讓 第2攝影機6b拍攝探針卡8的縫隙。 2192-9213-PF；Ahddub 18 200836280 在推進早兀3和第3攝影機6c之間’設有標示打孔器 26a及退出打孔器。標示打孔器—依據翊試結果，在 該KP的特定位置開出！個或複數個孔，退出打孔器⑽ 在測試中被判斷為不良品的TCP打孔。 各攝影機6a、6b、6c ’將由這些攝影機拍攝的影像， 顯示於顯示裝置9使得操作員可以目視確認。這此攝影機 之[第1攝影機6a及第3攝影機6c，係為 搬=帶5上有無TCP或由標示打孔器心打的孔之位置或 數里°而且’第2攝影機6b係用以取得TCP和探針卡8之 間的位置偏移貝料，其能夠針對視野内複數個對 位置偏移資料。 τ /、 而且，第2攝影機6b係承載於攝影機平台61上由 攝:機平台61所具備的促動機而可以在平面視縱橫方向 轴方向）以及上下方向（z轴方向） =機6;在平面視縱橫方向α轴-Y轴方向)移動第:攝2 ^ 1="和夠产拍攝位於和TC/互相遠離之位置的複數個测試 ;°木針卡8互相遠離之位置的特徵部 =更精確地求得TCP和探針卡8的位置 ’ ::第2攝影㈣在上下方向(Z軸方向)移動，使Π攝 二：:特焦點位置變更，而能夠將焦點對準在拍攝目標之 一墊或特徵部84的所欲部位。#此能 位的清楚的輪康影像，而能夠確實求攝… 的座护杳μ ^ + ®δ式墊或特徵部84 ^ 第2攝影機 將第2攝影機此的焦點位置由外部控制，而使得心 2192~9213-pp.

Ahddub 19 200836280 將焦點對準拍攝目標之測試墊或特徵部84的所欲部位亦 可。 且頒示裝置9,具有影像處理部以及用以顯示第2 攝衫機6b拍攝之影像的監視器。 繼之，針對TCP處理器2的使用方法及動作加以說明。 ，者’在此’為了簡化說明’係利用探針卡8之2個特徵 4仁疋本發明並不以此為限，也可以使用4個或以上 之特徵部84。 在使用TCP處理器2的情況下，使Tcp處理器2實際 動作之前，必須執行初期設定使探針卡8移動，以使得探 針卡8的所有探針81的位置決定於對應之測試塾的中央位 亦即，當TCP的種類變更時’或者測試不同生產批次 CP時’或者變更探針卡8時，必須決隸針卡平” (::轴位置/Y轴位置-回轉角的基準位置，並將之：錄 (该位置稱之為「登錄位置）， 卡8的探針81相接觸。 于TCP的測試塾和探針 第8A〜8C圖，係為上述Tcp處 動作流程圖。 冑理“的初期設定時的 CP處理a 2 ’當開始初期設定的動作時，將作為 s〇2)。再之/ IT墊之中位於一端部的複數測試墊(步驟 ^)。再者’在本實施型能中篦 的岡η塾，…I 影機6b係拍攝tcp =但疋本發明並不以此為限，也可以拍攝附 之特定的標記，拍攝封裝的角部等特徵的部位亦可。、 2l92~9213-PF;Ahddub 20 200836280 TCP處理器2的影像處理部，依據拍攝的影像（第i影 像），取得包含於該第1影像之複數個測試墊的中心部之個 別座標資料（XPdi，γpd!)(步驟S0 3 )。再者，本動作中所得到 的各座標資料係為映射到攝影機平台61的座標系。 繼之，TCP處理器2，藉由攝影機平台61使第2攝影 機6b移動，藉由第2攝影機6b拍攝TCP之數個測試塾中 位於別的端部的複數測試墊（步驟S04)。TCP處理器2的聲 像處理部，依據拍攝的影像（第2影像），取得包含於該第 2影像之複數個測試墊的中心部之個別座標資料 (Xpd2, Ypd2)(步驟 S05)。 處理器2的影像處理部，依據取得之座標資料 (xPdl，YPdl)及座標資料（Xpd2，Ypd2)，計算通過包含於該第i 影像之測Μ的巾㈣之座標資料及包含於該第2影像之 測S式塾的中心部之座標資料的直線（測試塾配列）的Χ軸方 向之直線（第7圖之水平線）的夾角（第1角度ΘΡ,)(步驟 SO6) 〇 繼之，似處理器2，藉由攝影機平台61使第 機-移動’藉由第2攝影機6b拍攝對應於包含 二 影像之複數個測試塾的特徵部“(步驟即 的影像處理部，依摅招媒u DD ^ 據拍攝的影像（第3影像），取得包含 該第3影像之特徵部； 繼之，推定對廡认士的座払貝枓（^，L)(步驟S〇8)。 〜；忒特徵部84的座標資料d，Yu)的複數 個探針81的接觸 W硬數 ^ L &貝科YPbl)(步驟 S09) 〇 在此，探針81的接觸面 疋第2攝影機6 b無法拍攝 2192-9213-PF;Ahddub 21 200836280 =，而能夠透過可由第2攝影機此清 8 4的座擇皆祖^ γ vJ^^ a 娜： 精確推定探針δ1的接觸面的座標 和二1:广猎此，能夠非常正確地執行_ 和奴針卡8的探針81的位置對準。 TCP處理器2,藉由攝影機平台以使第 動，藉由第2攝影機6b拍攝對 ”幾移 僻對應於包含於該第2影俊夕i备 數個測試塾的特徵部84(步驟 處理部，依據拍攝的影像（第4^ 處心2的影像 影像之特徵…座=/象得包含於該第4 施卜㈣ 的U貝科（L山）（步驟SU)。繼之， =Γ徵部84的座_(“)的複數個_ 的接觸面的座標資料(Xpb2，ypb2)(步驟S12)。 觸：處理器2的影像處理部，依據推定的探針δι的接 4貝枓(XPbl，Ypbl)及座標資料( ::::3影像―的接觸面之座標二 二二之:：81的接一 《直線的夾角（第2角度D(步驟Sl3)。 ^角度Θ之’似處理器2計算在步驟別6、如中得到的第 r到：：及第2角度夂“的差值△ θ (步驟S14)。繼之， 、 处理器2依據差值△ 0使探針卡平a =步驟S16)’在差值u的絕對值在特定值D以； mi8)中的疋），停止探針卡平台7的回轉移動（步 值在特定值 寺C v驟S1 5，否），則不使探針卡平台7 2192-9213—PF;Ahddub ^ 200836280 回轉移動，而執行步驟s丨9。 繼之，TCP處理器2， 機6b移動，藉由第2攝心攝影機平台61使第2攝影 第1影像之複數個測、6b再次拍攝對應於包含於該 在步驟S15探針卡8妓著垂特徵部84(步驟S19)。藉此’ 在第2攝影機6b的視；:了耗移動，即使是目標探針81

處理器2的影像處理部 時，也能夠再次拍攝之。W 得包含MU n ❹攝的影像（第5影像），取 f ^ ^ Ρ 84 的座標資料（Xc3, Yc3)(步 驟S20)。繼之，推定對應於 ^ 的逄叙如π μ 特徵4 84的座標資料（xc3, Yc3) 的復數個探針81的接鳊品^ Q91, 要觸面的座標資料（XPb3，YPb3)(步驟 同樣地’ TCP處理哭9 ^ I地 益2,错由攝影機平台61使第2攝 衫機6b移動，藉由第2攝 ^尬 攝〜栈6b再次拍攝對應於包含於 μ j衫像之複數個測試墊的特徵㉝84(步，驟S22)。TCP ，理為2的衫像處理部，依據拍攝的影像（第6影像），取 仔包3於4第6影像之特徵部84的座標資料（l，y“）（步 驟咖。繼之，推定對應㈣特徵部84的座標資齡4丄） 的複數個探針81的接觸面的座標資料(Xpb4，Ypb4)(步驟 S24) 〇 繼之，TCP處理器2，依據測試墊的2處座標資料 (XPcn，YPdl)及（XPd2，Ypd2)，及探針81的接觸面之2處座標資 料（XPb3, YPb3)及（XPb4, γρΜ)，計算測試墊及探針81的接觸面 之X成分及Υ成分的差值Δχ及ΔΥ(步驟S25)。繼之，在 得到的差值△ X及△ γ的絕對值大於特定值p的情況下（步 2192-9213-PF;Ahddub 23 200836280 驟：是)，則TCP處理器2依據差值Δχ及Δγ使探針 平σ 7在X軸方向及/或丫軸方向移動（步驟S27)，當差 值ΔΧ及ΔΥ的決定值在特定值p以下時（步驟⑽，是）， r 則停止探針卡平自7的移動（㈣S29)，並登錄探針卡平 台7之該位置（步驟⑽）。另一方面，在步驟⑽中，春 差值ΔΧΑΔΥ的決定值在特定值P以下時（步驟S26,否）， 、J不私動k針卡平台7，而登錄該位置（步驟训）。如此， 則結束TCP處理器2的初期設定。 如上所述，依據本實施型態的Tcp處理器2,能夠自 用特徵部84正確地執行Tcp的測試塾和探針卡㈣ 的位置對準。制是在本實施型態中，藉由依序地 讀著垂直軸的位置對準和χ軸方向/γ軸方向的位 而能夠更正確地執行κρ的測試墊和探針卡8的 #木針81的位置對準。因此 ΤΓρ ★田抑 U此此夠在短時間内有效率地執行 TCP處理器2的初期設定。 解並：Λ明的貫施型態’係記载用以協助本發明的理 露的各1 己載用於限定本發明。因此，上述實施型態令揭 係包含本發明技術領域中所屬的所有設計變 的妓=η上述實施型11中，係分別執行⑽和探針卡8 直抽的位置對準和平面方向的位置對準，但本發 據在牛驟別限定於此，兩者同時執行亦可。具體言之，依 =:3、_的座標資料⑻“…及“ 及步驟SO 9、S1 2推定之控紅〇 , 十81的接觸面的座標資料 2192-92l3-PF;Ahddub 24 200836280 (Xpbl’ Ypbl)及（Xpb2，Ypb2)，求出技基+士 ± 軸方向及Υ軸方向的位置:移的位置偏移… 置偏私里，依據這些位置偏移量， 使探針卡平台7在繞著垂直轴/χ轴方向/γ轴方向移動，執 和探針81的位置對準。藉此，能夠更縮短TCP和 木針卡8的位置偏移修正的操作時間。 針卡^2在上述實施型態中’係藉由探針卡平台7使探 =8移動而執行TCP和探針卡8的位置對準，但本發明 ==限，也可以藉由推進平“移動推進單元_ ^5而執❼由探針卡平台7移動探針卡8並由推 口 4移動推進單元3/搬運帶5兩者而執行亦可。 產業上的利用性 正减Ϊ發明，可用於在TCP處理裳置的初期設定時，用以 確執仃測定部（探針卡）的連接 位置對準作業。 时和TCP的外部端子的 【圖式簡單說 測試= 本發明一實施型態之TCP處理 明

器之TCP 圖 第2圖為同實施型態的TCP處理器 之推進單元之 側面 圖 第3圖為同實施型態的TCP處理器的推進平台 的平面 台的平 第4圖為同實施型態的KP處理器的探針卡平 2192一9213一PF;Ahddub 25 200836280 面圖。 第5圖為同實施型態的Tcp 面圖。 里為'的探針卡平台的正 第6圖為同實施型態的Tcp 第7圆盘门— 為的探針卡的底面圖。 弟7圖為同實施型態的Tcp 筐S A闫* 卫為的探針卡的側面圖。 第8A圖為同實施型態的Tcp 作流程圖（其一）。 益的初期設定時的動 第8B圖為同實施型態的Tcp處 作流程圖（其二）。 為的初期設定时的動 第8C圖為同實施型態的Tcp處理器的初 定時的動 作流程圖（其三）。 ^ 口 【主要元件符號說明】 1〜TCP測試裝置； 3〜推進單元； 5〜搬運帶； 7〜探針卡平台； 81〜探針（連接端子）； 1 0〜測試頭； 22〜捲取捲軸。 2〜TCP處理器； 4〜推進平台； 6b〜第2攝影機（攝影裝置）; 8〜探針卡； 8 4〜特徵部； 21〜捲出捲車由； 2192-9213 ~PF；Ahddub 26

Claims (1)

1. 200836280 十、申請專利範圍： • L-種TCP處理裝置’用以搬運形成複數㈣的搬運 γ，將該搬運帶對著具有複數個 1迷結於測試頭的連接 =的：定部按壓’藉由一的外部端子和該測定; 的連接鳊子接觸，而依序測試複數的Tcp， 其特徵在於： f 包含：能夠使該測定部移動的測定部移動裝置及/或能 夠相對於該測定部而變更搬運帶的位置之捲帶移動裝置、 及能夠對應於該測定部的連接端子的接觸面的位置資料而 拍攝設於該敎部的特徵部及被測試κρ的特位 影裝置； 僻 藉由該攝影裝置，拍攝被測試Tcp的特定部位並 該特定部位的座標資料，並且拍攝該測定部的特徵部並取 侍該特徵部的座標資料； 從該特徵部的座標資料推定該測定部的連接端子的接 觸面的位置資料； 從該取得之被測試TCP的特定部位的座標資料及該推 連接端子的接觸面的位置資料，求出該被測試TCP的 外部端子和該連接端子的接觸面之位置偏移量； 〜依據該位置偏移量，藉由該敎部移㈣置及/或該捲 :移動裝置使該敎部及/或搬運帶移動，以執行該連接端 對於被測試TCP的外部端子之位置對準。 士、2.如申請專利範圍第J項所述之Tcp處理袭置，其中 -亥測疋部移動裝置係能夠將該測定部於其平面方向移動， 2192-9213-PF；Ahddub 27 200836280 。亥捲π移動裝置係能夠將該搬運帶對於該測定部於 方向移動。 3·如申請專利範圍第！項所述之κρ處理裝置， 該測=部移動裝置係能夠將該测定部繞著其垂直轴移動， =:1 多動装置係能夠將該搬運帶對於該測定部繞著包含 6亥搬運T的平面之垂直軸移動。 4·如申請專利範圍第！項所述之κρ處理裝置，豆中 該測定部移動裝置係能夠將該測定部於其平面方向及I著 !::!動’該捲帶移動裝置係能夠將該搬運帶對於該測 千面方向及繞著包含該搬運帶的平面之垂直軸移 5.如申請專利範圍第4項所述之Tcp處理裝置，盆中 二該被測試TCP的特定部位的座標資料，並： = ::::特徵部的座標資料，從該特徵部的座標資 ’ "υ疋。卩的連接端子的接觸面的位置資料，從兮敗 得之被測試TCP的特宏邱Μ Μ 、 以取 ^垃· 座標資料及該推定的連接端 該連接端子的接觸二4= TCP的外部端子和 置偏移量，藉由該測定部移動裝置及/或該 捲1動裝置㈣敎部及/或搬運帶繞著該垂直軸移動； 再-人取得該測定部之該特徵部的座標資料，從 ==的座標資料推定該測定部的連接端子的接觸面的 位置-貝料，攸該取得之被測試Tcp的特定部位的座標資料 及忒推定的連接端子的接觸面 ^ 1貝料，未出該被測試 2192-9213-PF;Ahddub 28 200836280 =的外部端子和該連接端子的 偏移量’依據該平面方向的位置偏移量，，二的位置 動裝置及/或該捲《梦&壯 猎由该刪定部移 面方向移動。f夕☆置使該測定部及/或搬運帶在平 藉由f專利範圍第1項所述之TCP處理裝置，其中 、：：：％裝置’拍攝被測試TCP❸2個以上的特定 定以上之該特定部位的座標資料，並且拍攝該測 標個以上之特徵部並取得2個以上之該特徵部的座 7·如申睛專利範圍第6項所述之κρ處理裝置， 該被測試TCP的外部妒工4 ^ r ^子和心収料連接端子的接觸面 “直軸的位置偏移量’係由從該被 ::位-個以上之座標資料得到的第i直線角度，= 2敎部的特徵部的2個以上之座標資料之該測定部的 連接立而子的接觸而Μ 9 、 、 個以上之位置資料而得到的第2直 線角度之差而求得。 ▲ 8.如申凊專利範圍第6項所述之TCP處理裝置，其中 該TCP處理裝置更包含能夠使該攝影裝置移動 裳 移動裝置， 該攝影裝置由該攝影裝置移動裳置所移動，拍攝2個 以上之該被測試TCP的特定部位及2個以上之該測定部的 特徵部。 9.如申请專利範圍第i項所述之Tcp處理裝置，其中 讀特徵部係對應於該測定部之複數個連接端子的接觸面的 2l92-9213-PF;Ahddub 29 200836280 位置資料。 1〇_ 一種連接端子的位置對準方法，適用於TCp處理裝 f，其係用以搬運形成複數TCP的搬運帶，將該搬運帶對 著’、有複數個電性連結於測試頭的連接端子的測定部按 壓，藉由使該TCP的外部端子和該測定部的連接端子接 觸，而依序測試複數的TCp， 其特徵在於： 取得被測試TCP的特定部位的座標資料； 對應於該測定部的連接端+的接冑面的位置資料，取 得設定該測定部的特徵部的座標資料； 從該特徵部的座標資料㈣該载部的連接端子的接 觸面的位置資料； 從該取得之被測試TCP的特定部位的座標f料及該推 定的連接端子的接觸面的位置資料，求出該被測試似的 外部端子和該連接端子的接觸面之位置偏移量； \ 依據該位置偏移量，使該測定部及/或搬運帶移動。 11.如申請專利範圍第1G項所述之連接端子的位置對 準方法，其中該位置偏移量係為該被測試TCP的外部端子 和該測定部的連接端子的接觸面的平面方向之位置偏而移 量，並使該測定部及/或搬運帶在平面方向移動。 夕 12.如申請專利範圍第1〇項所述之連接端子的位置對 準方法，其中該位置偏移量係為該被測試Tcp的外部端子 和該測定部的連接端子的接觸面的繞著垂直軸之位置偏移 量’並使該測定部及/或搬運帶繞著垂直軸移動。 2192~9213-PF;Ahddub 30 200836280 13.如中請專圍第10項所述之連接端子的位置對 準方法，其中該位置偏移量係為該被測試Tcp的外部端子 和該測定部的連接端子的接觸面的平面方向及繞著垂直轴 之位置偏移量，並使該測定部及/或搬運帶 著垂直軸移動。 及、、％ 14. -種連接端子的位置對準方法，適用於似處理裝 置’其係用以搬運形成複數Tcp的搬運帶，將該搬運帶對 著具有複數個電性連結於㈣頭的連接端子的測定部按 塵’藉由使該TCP的外部端子和該測定部的連接端子接 觸，而依序測試複數的TCP， 其特徵在於： 取得被測試TCP的特定部位的座標資料； 對應於該測定部的連接端子的接觸面的位置資料，取 得設定該敎料特徵料座標:㈣，並從該特徵部的座 標貢料推定該敎部的連接料的接觸面的位置資料； ^從該取得之被測試TCP的特定部位的座標資料及該推 定的連接端子的接觸面的位置資料，求出該被測試Tcp的 夕曰卜部端子和該連接端子的接觸面之繞著垂直軸的位置偏移 量； 依據该位置偏移量，使該測定部及/或搬運帶繞著該垂 直軸移動； 再次取得該測定部之該特徵部的座標資料，從該特徵 邛的座禚貝料推定該測定部的連接端子的接觸面的位置資 2192-9213-PF;Ahddub 31 200836280 從該取得之被測試TCP的特定部位的座標資料及該推 定的連接端子的接觸面的位置資料，求出該被測試Tcp的 外部端子和該連接端子的接觸面之平面方向的位置偏移 量； 依據該位置偏移量，使該測定部及/或搬運帶在平面方 向移動。 15.如申請專利範圍第12至14項中任—項所述之連接 端子的位置對準方法，其中該被測試Tcp的外部端子和該 測疋部的連接端子的接觸面之繞著垂直軸的位 係由從該被測試TCP的特定部位的里 到的第1直線角度，以…… 之座標資料得 上之座標資料之該測定 丨的2個以 之位置資料而得到的第 的2個以上 J π弟2直線角度之差而求得。 2192-9213-PF；Ahddub 32