WO2008056418A1

WO2008056418A1 - Tcp handling device, and method for positional alignment of connecting terminals in the device

Info

Publication number: WO2008056418A1
Application number: PCT/JP2006/322396
Authority: WO
Inventors: Masayoshi Ichikawa; Masataka Onozawa
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2006-11-09
Filing date: 2006-11-09
Publication date: 2008-05-15
Also published as: JP5047188B2; JPWO2008056418A1; TW200836280A; KR20090073223A; CN101583840A

Description

明細書

TCPハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法

技術分野

[0001] 本発明は、 ICデバイスの 1種である TCP (Tape Carrier Package)や COF (Chip On Film) (以下、 TCP、 COF、その他 TAB (Tape Automated Bonding)実装技術によつて製造されたデバイスを纏めて「TCP」 t\、う。）を試験するのに用いられる TCPハンドリング装置、当該装置における接続端子の位置合わせ方法に関するものである。背景技術

[0002] ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造された ICデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、 TCPの場合には、 TCP用の試験装置が使用される。

[0003] TCP用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、 TCPハンドリング装置（以下「TCPハンドラ」という場合がある。）とから構成される。この TCPハンドラは、テープ (フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上に TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、 TCPのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数の TCPを順次試験に付す機能を備えている。

[0004] ところで、 TCPハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、 TCPのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。

[0005] このようなことから、 TCPハンドラを使用する場合には、実稼動させて試験を行う前に、 TCPのテストパッドとプローブカードの各プローブとが確実にコンタクトできるように、予め TCPハンドラについて初期設定を行い、その設定を登録する作業を行っている。

[0006] TCPハンドラの初期設定は、例えば、次のように行われる。まず、 TCPを試験位置まで搬送し、搬送した TCPをプッシャユニットで保持する。そして、 TCPがカメラによつて明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動し、 TCPのテストパッドをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見て、 TCPの回転角を目視で把握する。次に、プローブカードのプローブをカメラによって明瞭に認識するために、 TCPがカメラによって明瞭に認識できな、高さまでプッシャユニットを移動してから、プローブカードのプローブをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージを回転させて、 TCPの回転角に対するプローブカードの回転角を調整する。そして、 TCPがプローブとともにカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャュニットを移動する。オペレータは、モニターを見ながら、マ-ユアル操作にてプローブカードステージを X軸方向および Zまたは Y軸方向に移動して、 TCPの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できるか確認する。このようにして設定した位置を初期設定として登録する。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] ところで、プローブカードのプローブを撮影するカメラは、 TCPハンドラ内のスぺース的な問題から、プローブカードの下側に設置される。しかし、 TCPのテストパッドに対するプローブの接触面は、プローブカードの上側に位置するため、上記カメラではプローブの接触面を撮影することはできない。そのため、プローブの接触面の位置（プローブの真の位置）を把握することができず、 TCPのテストパッドとプローブカードのプローブとの位置合わせを正確に行うことが困難であった。 TCPとプローブとの位置合わせが正確でないと、それが原因で実稼動中にコンタクト不良、接触抵抗の不安定化、隣接ピン間のショートなどが発生することもある。

[0008] 本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、測定部の接続端子と TCP の外部端子との位置合わせを正確に行うことができる TCPハンドリング装置、および TCPハンドリング装置において位置合わせ処理を正確に行うことができる方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0009] 上記目的を達成するために、第 1に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されてヽる複数の接続端子を有する測定部（例えばプローブカード）に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、前記測定部を移動させることのできる測定部移動装置および Zまたは前記測定部に対するキャリアテープの位置を変更することのできるテープ移動装置と、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部および被試験 TCPの所定部位 (例えば一又は複数の外部端子、所定のマーク、デバイスの一部等)を撮影することのできる撮像装置とを備えており、前記撮像装置により、被試験 TCPの所定部位を撮影して当該所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部を撮影して当該特徴部の座標データを取得し、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Z またはキャリアテープを移動させ、被試験 TCPの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うことを特徴とする TCPハンドリング装置を提供する (発明 1)。

[0010] 測定部の接続端子の接触面は、通常、撮像装置によって撮影することは困難であるが、上記発明（発明 1)によれば、撮影可能な特徴部の座標データを介して、接続端子の接触面の位置情報を高い精度で推定することができるため、 TCPの外部端子と測定部の接続端子との位置合わせを極めて正確に行うことができる。したがって

、 TCPハンドリング装置を使用する際、その初期設定を短時間で効率良く行うことができる。

[0011] 上記発明（発明 1)において、前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向に移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向に移動させることのできるものであってもよ、し (発明 2)、前記測定部移動装置は、前記測定部をその垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープを当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであってもよ!/ヽ力 S (発明 3)、前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向および垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向および当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることが好まし、 (発明 4)。

[0012] 上記発明（発明 4)においては、第 1に、前記被試験 TCPの所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、第 2に、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データ力前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づ、て、前記測定部移動装置および Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向に移動させることが好ましヽ (発明 5)。

[0013] 上記発明（発明 5)によれば、垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、 TCPと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0014] 上記発明（発明 1)においては、前記撮像装置により、被試験 TCPの 2箇所以上（特に互いに離れた 2箇所以上)の所定部位を撮影して 2箇所以上の所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の 2箇所以上 (特に互いに離れた 2箇所以上 )の特徴部を撮影して 2箇所以上の特徴部の座標データを取得することが好まヽ（発明 6)。力かる発明（発明 6)によれば、 1箇所だけの座標データを取得する場合と比較して、より高、精度で外部端子および特徴部の位置を特定することができる。

[0015] 上記発明（発明 6)にお、て、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験 TCPの所定部位の 2箇所以上の座標データ力得られる第 1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の 2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の 2箇所以上の位置情報力得られる第 2の直線の角度との差力も好ましく求めることができる (発明 7)。

[0016] 上記発明（発明 6)において、前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、 2箇所以上の前記被試験 TCPの所定部位および 2箇所以上の前記測定部の特徴部を撮影することが好ましい (発明 8)。かかる発明（発明 8)によれば、撮像装置が所定部位の互いに遠い位置にある複数部位および特徴部の互いに遠、位置にある複数部位を撮影することができるため、 TCPと測定部との位置ずれ量をより高い精度で求めることができ、 TCPと測定部との位置合わせをより正確に行うことができる。

[0017] 上記発明（発明 1)において、前記特徴部は、前記測定部における複数の接続端子の接触面の位置情報に関連付けられていることが好ましい (発明 9)。かかる発明（発明 9)によれば、特徴部が一のみの接続端子の接触面の位置情報に関連付けられる場合と比較して、より高、精度で測定部全体における接続端子の接触面の位置情報を推定することができる。

[0018] 第 2に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、被試験 TCPの所定部位の座標データを取得し、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得し、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づヽて前記測定部および Zまたはキャリアテープを移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する (発明 10)。

[0019] 上記発明（発明 10)にお、て、前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量であり、前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向に移動させてもよいし (発明 11)、前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させてもよいが (発明 12)、前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向および垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向および垂直軸回りに移動させることが好ま、 (発明 13)。

[0020] 第 3に本発明は、 TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、被試験 TCPの所定部位の座標データを取得し、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、前記位置ず

、て前記測定部および zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCP の所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づ!、て前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する (発明 14)。 [0021] 上記発明（発明 12〜14)において、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験 TCPの所定部位の 2箇所以上の座標データ力得られる第 1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の 2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の 2箇所以上の位置情報力得られる第 2の直線の角度との差力好ましく求めることができる (発明 15)。

発明の効果

[0022] 本発明の TCPハンドリング装置または接続端子の位置合わせ方法によれば、測定部の接続端子と TCPの外部端子との位置合わせを極めて正確に行うことができる。図面の簡単な説明

[0023] [図 1]図 1は、本発明の一実施形態に係る TCPハンドラを用いた TCP試験装置を示す正面図である。

[図 2]図 2は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。

[図 3]図 3は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。

[図 4]図 4は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。

[図 5]図 5は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。

[図 6]図 6は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードの底面図である。

[図 7]図 7は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードの側面図である。

[図 8A]図 8Aは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 1)である。

[図 8B]図 8Bは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 2)である。圆 8C]図 8Cは、同実施形態に係る TCPハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その 3)である。

符号の説明

1 TCP試験装置

2 TCPハンドラ

3 プッシャユニット

4 プッシャステージ

5 キャリアテープ

6b 第 2カメラ (撮像装置）

7 プローブカードステージ

8 プローブカード

81 プローブ (接続端子）

84 特徴部

10 テストヘッド

21 卷出リール

22 卷取リール

発明を実施するための最良の形態

[0025] 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

図 1は、本発明の一実施形態に係る TCPハンドラを用いた TCP試験装置を示す正面図であり、図 2は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図 3は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図 4は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図 5は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードステージの正面図であり、図 6は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブ力ードの底面図であり、図 7は、同実施形態に係る TCPハンドラにおけるプローブカードの側面図である。

[0026] まず、本発明の実施形態に係る TCPハンドラを備えた TCP試験装置の全体構成について説明する。 TCP試験装置 1は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド 10と、テストヘッド 10の上側に設けられた TCPハンドラ 2 とカゝら構成されている。

[0027] TCPハンドラ 2は、キャリアテープ 5上に複数形成された各 TCPを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略ィ匕のために TCPを 1個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなぐキャリアテープ 5上において直列方向および Zまたは並列方向に並んだ複数の TCPを同時に試験に付すようにしてもよい。

[0028] TCPハンドラ 2は、卷出リール 21と卷取リール 22とを備えており、卷出リール 21には試験前のキャリアテープ 5が巻き取られている。キャリアテープ 5は、卷出リール 21 力も巻き出され、試験に付された後に卷取リール 22に巻き取られる。

[0029] 卷出リール 21と卷取リール 22との間〖こは、キャリアテープ 5から剥離した保護テープ 51を卷出リール 21から卷取リール 22に架け渡す 3個のスぺーサロール 23a, 23b , 23cが設けられている。各スぺーサロール 23a, 23b, 23cは、保護テープ 51の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となって、る。

[0030] 卷出リール 21の下側には、テープガイド 24a、卷出リミットローラ 25a、イン側サブスプロケット 25bおよびイン側ガイドローラ 25cが設けられており、卷出リール 21から卷き出されたキャリアテープ 5は、テープガイド 24aによってガイドされつつ、卷出リミットローラ 25a、イン側サブスプロケット 25bおよびイン側ガイドローラ 25cを経てプッシャユニット 3に搬送される。

[0031] 卷取リール 22の下側には、テープガイド 24b、卷取リミットローラ 25f、アウト側サブスプロケット 25eおよびアウト側ガイドローラ 25dが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ 5は、アウト側ガイドローラ 25d、アウト側サブスプロケット 25eおよび卷取リミットローラ 25fを経て、テープガイド 24bによってガイドされつつ、卷取リール 2 2に巻き取られる。

[0032] そして、イン側ガイドローラ 25cと、アウト側ガイドローラ 25dとの間には、プッシャュニット 3が設けられている。

[0033] 図 1および図 2に示すように、プッシャユニット 3のフレーム（プッシャフレーム） 36には、ボールねじ 32を回転させることのできるサーボモータ 31がブラケット 361を介して取り付けられているとともに、ボールねじ 32が螺合しているプッシャ本体部 33が 2 本の Z軸方向のリニアモーションガイド（以下「LMガイド」 t\、う。） 37を介して取り付けられている。このプッシャ本体部 33は、サーボモータ 31を駆動させることにより、リユアモーションガイド 37にガイドされながら上下方向（Z軸方向）に移動可能となっている。

[0034] このプッシャ本体部 33の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 34が設けられている。

プッシャ本体部 33の前段側（図 1中左側）には、テンションスプロケット 35aが設けられており、プッシャ本体部 33の後段側（図 1中右側）には、メインスプロケット 35bが設けられており、所望の張力でキャリアテープ 5を保持するようになっている。

[0035] 図 2および図 3に示すように、プッシャフレーム 36におけるプッシャ本体部 33の背面側には、基台 38に載せられるようにしてプッシャステージ 4が設置されており、プッシャステージ 4の回転台であるトップテーブル 48はプッシャフレーム 36に固定されている。

[0036] プッシャステージ 4のベース 40上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 42aを回転させるサーボモータ 41aと、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 42bを回転させるサーボモータ 41bと、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 42cを回転させるサーボモータ 41cとが設けられており、サーボモータ 41bおよびサーボモータ 41cは、それぞれべース 40上の両端部に位置している。

[0037] ボールねじ 42aには、 X軸方向の LMガイド 43a, 43aにガイドされて X軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44aが螺合している。摺動ブロック 44aには、 Y軸方向の LMガイド 45aを介して摺動板 46aが Y軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6aの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47aが固定されており、回転部材 47aは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0038] ボールねじ 42bには、 Y軸方向の LMガイド 43b, 43bにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44bが螺合している。摺動ブロック 44bには、 X軸方向の LMガイド 45bを介して摺動板 46bが X軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6bの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47bが固定されており、回転部材 47bは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0039] ボールねじ 42cには、 Y軸方向の LMガイド 43c, 43cにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブロック 44cが螺合している。摺動ブロック 44cには、 X軸方向の LMガイド 45cを介して摺動板 46cが X軸方向に摺動可能に取り付けられて、る。摺動板 4 6cの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 47cが固定されており、回転部材 47cは、トップテーブル 48に回転自在に取り付けられて、る。

[0040] このような構成を有するプッシャステージ 4においては、サーボモータ 41aを駆動して、摺動ブロック 44a、摺動板 46bおよび摺動板 46cを X軸方向に摺動させることにより、トップテーブル 48を X軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 41b およびサーボモータ 41cを駆動して、摺動ブロック 44b、摺動ブロック 44cおよび摺動板 46aを Y軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル 48を Y軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ 41aを駆動して、摺動ブロック 44aを X軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ 41bおよびサーボモータ 41cを駆動して、摺動ブロック 44bおよび摺動ブロック 44cを互いに Y軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材 47a, 45b, 45cを回転させることにより、トップテーブル 48をその垂直軸回りに回転させることができる。このようなプッシャステージ 4によれば、プッシャユニット 3 を X軸 Y軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる

[0041] 一方、図 1に示すように、プッシャユニット 3の下側であって、テストヘッド 10の上部には、プローブカード 8を搭載したプローブカードステージ 7が設置されている。ここで、プローブカードステージ ₇は、モーター駆動機構で移動制御できるものと、手動調整機能のみを有するものとがあるが、本実施形態では、モーター駆動機構を有するものとする。

[0042] 図 4および図 5に示すように、プローブカードステージ 7の基台 71上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 712を回転させるサーボモータ 711と、 4つの X軸方向の L Mガイド 713とが設けられている。それら 4つの LMガイド 713上には、各 LMガイド 7 13により X軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Xベース 72が設けられている。この Xベース 72の一側部には、ボールねじ 712が螺合している螺合部 721が形成されている。

[0043] Xベース 72上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 723を回転させるサーボモータ 722と、 2本の Y軸方向の LMガイド 724とが設けられている。それら 2本の LMガイド 724上には、各 LMガイド 724により Y軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Y ベース 73が設けられている。この Yベース 73の一側部には、ボールねじ 723が螺合して、る螺合部 731が形成されて!、る。

[0044] Yベース 73上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 733を回転させるサーボモータ 732と、カードリング 735を回転自在に支持する接続リング 734とが設けられている。カードリング 735の一部には、ボールねじ 733が螺合している螺合部 736が形成されている。プローブカード 8は、 4本のピン 82によって、上記カードリング 735に着脱自在に取り付けられて、る。

[0045] このような構成を有するプローブカードステージ 7においては、サーボモータ 711を駆動することにより、 Xベース 72、ひいてはプローブカード 8を X軸方向に移動させることができ、サーボモータ 722を駆動することにより、 Yベース 73、ひいてはプローブカード 8を Y軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 732を駆動してボールねじ 733を回転させ、螺合部 736を移動させることにより、カードリング 735およびプローブカード 8をその垂直軸回りに回転させることができる。なお、 TCPハンドラ 2は、サーボモータ 711, 722, 732の駆動を自動で制御し得る制御装置を備えており、これによりプローブカード 8を X軸方向、 Y軸方向、および垂直軸回りに自動で移動させることができる。

[0046] 図 4〜図 7に示すように、プローブカード 8は、複数のプローブ 81を備えており、各プローブ 81は、テストヘッド 10を介してテスタ本体に電気的に接続されている。本実施形態におけるプローブカード 8の中央部には、矩形の開口部 85が形成されており、開口部 85の四隅近傍には、凸片 83が設けられている。そして、図 6に示すように、各凸片 83の底面には特徴部 84が設けられている。このように、プローブカード 8における特徴部 84は、それぞれできるだけ離れた位置に複数設けることが好ま Uヽ。

[0047] なお、図 6に示すように、本実施形態における特徴部 84は、円形のマークとなっているが、これに限定されるものではなぐ例えば十字形のマークであってもよい。また、プローブカード 8における特徴部 84の数は合計 4個となっている力これに限定されるものではない。

[0048] 各特徴部 84は、プローブ 81の接触面 (TCPのテストパッドと接触する接触面）の座標データに関連付けられた位置に形成されている。すなわち、各特徴部 84の座標データを取得することにより、プローブ 81の接触面の座標データを推定することが可能となっている。推定精度をより上げるために、各特徴部 84の位置は、複数のプローブ 81の接触面の座標データに関連付けられていることが好ましぐ例えば、それぞれの特徴部 84の近傍に位置する数本のプローブ 81の接触面の座標データに関連付けられていることが好ましい。

[0049] 各特徴部 84の座標データとプローブ 81の接触面の座標データとを関連付ける情報は、後述する画像処理部に記憶される。この情報は、プローブカード 8があらかじめ持っており、プローブカード 8を TCPハンドラ 2にセットするときに、 TCPハンドラ 2 ( 画像処理部）に記憶させてもよいし、 TCPハンドラ 2側で積極的に取得するようにしてちょい。

[0050] 図 1に示すように、プッシャユニット 3の前段側（図 1中左側）に第 1カメラ 6aが、テストヘッド 10の下側に第 2カメラ (撮像装置） 6bが、プッシャユニット 3の後段側（図 1中右側）に第 3カメラ 6cが、それぞれ設けられている。なお、テストヘッド 10には、第 2カメラ 6bがプローブカード 8を撮影することのできる間隙が形成されている。

[0051] プッシャユニット 3と第 3カメラ 6cとの間には、マークパンチ 26aおよびリジェクトパンチ 26bが設けられている。マークパンチ 26aは、試験の結果に基づいて、該当する T CPにっき所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ 2 6bは、試験の結果不良品であると判断された TCPを打ち抜くものである。

[0052] 各カメラ 6a, 6b, 6cは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なように表示装置 9に表示させる。これらのカメラのうち、第 1カメラ 6aおよび第 3力メラ 6cは、キャリアテープ 5上における TCPの有無やマークパンチ 26aによる孔の位置や数を判断するためのものである。そして、第 2カメラ 6bは、 TCPとプローブカード 8との間の位置ずれ情報を取得するためのものであり、視野内の複数の対象について位置ずれ情報を取得できるようになって、る。 [0053] また、第 2カメラ 6bは、カメラステージ 61上に搭載されており、カメラステージ 61が有するァクチユエータによって平面視縦横方向（X軸 Y軸方向）および上下方向（Z 軸方向）に移動可能となっている。第 2カメラ 6bが平面視縦横方向 (X軸— Y軸方向）に移動することで、第 2カメラ 6bが TCPの互いに遠い位置にある複数のテストパッドおよびプローブカード 8の互いに遠い位置にある特徴部 84を撮影することができるため、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができる。また、第 2カメラ 6bが上下方向（Z軸方向）に移動することで、第 2カメラ 6bの焦点位置を変更して、撮像目標であるテストパッドまたは特徴部 84の所望部位に焦点を合わせることができる。これにより撮像目標部位の明瞭な輪郭画像を取得でき、テストパッドまたは特徴部 84の座標データを的確に求めることができる。なお、第 2カメラ 6b自身が焦点調節機能を備えて、第 2カメラ 6bの焦点位置を外部制御し、撮像目標であるテストパッドまたは特徴部 84の所望部位に焦点を合わせることができるようにしてもよい。

[0054] そして、表示装置 9は、画像処理部と、第 2カメラ 6bが撮影した画像を表示するモ- ターとを有している。

[0055] 次に、 TCPハンドラ 2の使用方法および動作について説明する。なお、ここでは、説明の簡略ィ匕のために、プローブカード 8における 2個の特徴部 84を利用するが、本発明はこれに限定されるものではなぐ 4個またはそれ以上の特徴部 84を利用することちでさる。

[0056] TCPハンドラ 2を使用する場合には、 TCPハンドラ 2を実稼動させる前に、予めプローブカード 8の全てのプローブ 81が、対応するテストパッドの中央位置へ位置決めされるようにプローブカード 8を移動させる初期設定を行う必要がある。すなわち、 TCP の品種を変更した場合や、異なる生産ロットの TCPを試験する場合、あるいはプロ一ブカード 8を変更した場合には、 TCPのテストパッドとプローブカード 8のプローブ 81 とがコンタクトするように、プローブカードステージ 7の X軸位置 ZY軸位置 Z Θ回転角の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。

[0057] 図 8A〜図 8Cは、上記 TCPハンドラ 2の初期設定の動作を示すフローチャート図である。 TCPハンドラ 2は、初期設定の動作を開始すると、基準となる TCPを試験位置まで搬送し (ステップ S01)、第 2カメラ 6bによって、 TCPにおいて多数のテストパッドの中の一端部に位置する複数のテストパッドを撮影する (ステップ S02)。なお、本実施形態では、第 2カメラ 6bが撮影するのは TCPのテストパッドである力本発明はこれに限定されるものではなぐ TCPに付されている所定のマークを撮影してもよいし、パッケージの角部等、特徴的な部位を撮影してもよい。

[0058] TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 1画像）に基づいて、当該第 1 画像に含まれる複数のテストパッドの中心部のそれぞれの座標データ (X , Y ) pdl dl を取得する (ステップ S03)。なお、本動作で得られる各座標データは、カメラステージ 6 1の座標系にマッピングするものとする。

[0059] 次に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2 カメラ 6bによって、 TCPにおいて多数のテストパッドの中の別の端部に位置する複数のテストパッドを撮影する (ステップ S04)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 2画像）に基づいて、当該第 2画像に含まれる複数のテストパッドの中心部のそれぞれの座標データ (X , Y )を取得する (ステップ S05)。

pd2 pd2

[0060] TCPハンドラ 2の画像処理部は、取得した座標データ (X , Y )および (X , Y pdl pdl pd2 p

)に基づいて、第 1画像に含まれるテストパッドの中心部の位置座標および第 2画像 d2

に含まれるテストパッドの中心部の位置座標を通る直線 (テストパッドの配列）の X軸方向の直線（図 7中水平線）との角度 (第 1の角度 0 )を演算する (ステップ S06)。

pdl

[0061] 次に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2 カメラ 6bによって、上記第 1画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部 84 を撮影する (ステップ S07)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 3 画像）に基づいて、当該第 3画像に含まれる特徴部 84の座標データ (X , Υ )を取 cl cl 得する (ステップ S08)。そして、当該特徴部 84の座標データ (X , Y )に関連付け cl cl

られている複数のプローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )を推定する (ステツ pbl bl

プ S09)。

[0062] ここで、プローブ 81の接触面は、第 2カメラ 6bによって撮影できないものの、第 2力メラ 6bによって明確に撮影することのできる特徴部 84の座標データ (X , Y )を介して、プローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )を高い精度で推定することがで pbl bl

きる。これにより、 TCPのテストパッドとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせを、極めて正確に行うことができる。

[0063] TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2カメラ 6 bによって、上記第 2画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部 84を撮影する (ステップ S 10)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 4画像）に基づいて、当該第 4画像に含まれる特徴部 84の座標データ (X , Y )を取得する（ c2 c2

ステップ SI 1)。そして、当該特徴部 84の座標データ (X , Y )に関連付けられてい c2 c2

る複数のプローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )を推定する (ステップ S 12) pb2 pb2

[0064] TCPハンドラ 2の画像処理部は、推定したプローブ 81の接触面の座標データ座標データ (X , Y )および (X , Y )に基づいて、第 3画像に対応するプローブ 81 pbl pbl pb2 pb2

の接触面の位置座標および第 4画像に対応するプローブ 81の接触面の位置座標を通る直線 (プローブ 81の配列）の X軸方向の直線との角度 (第 2の角度 Θ )を演算する（ステップ S 13)。

[0065] 次に、 TCPハンドラ 2は、ステップ S06, S13で得られた第 1の角度 0 および第 2 pdl の角度 0 の差分値 Δ Θを演算する (ステップ S 14)。そして、得られた差分値 Δ Θ の絶対値が所定値 Dよりも大きい場合には (ステップ S15, Yes)、 TCPハンドラ 2は、差分値 Δ Θに基づいてプローブカードステージ 7を回転移動させ (ステップ S16)、差分値 Δ Θの絶対値が所定値 D以下になった場合に (ステップ S17, Yes)、プローブカードステージ 7の回転移動を停止する（ステップ S18)。一方、ステップ S15において、差分値 Δ Θの絶対値が所定値 D以下である場合には (ステップ S15, No)、プローブカードステージ 7を回転移動させずに、ステップ S 19に進む。

[0066] 次に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2 カメラ 6bによって、上記第 1画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部 84 を再度撮影する（ステップ S 19)。これにより、ステップ S15でプローブカード 8が垂直軸回りに移動して、目的とするプローブ 81が第 2カメラ 6bの視野力も外れた場合であつても、再度撮影することができる。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 5画像）に基づいて、当該第 5画像に含まれる特徴部 84の座標データ (X , Y ) c3 c3 を取得する (ステップ S20)。そして、当該特徴部 84の座標データ (X , Y )に関連 c3 c3 付けられて、る複数のプローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )を推定する（ pb3 pb3

ステップ S21)。

[0067] 同様に、 TCPハンドラ 2は、カメラステージ 61によって第 2カメラ 6bを移動させて、第 2カメラ 6bによって、上記第 2画像に含まれる複数のテストパッドに対応する特徴部 84を再度撮影する (ステップ S22)。 TCPハンドラ 2の画像処理部は、撮影された画像 (第 6画像）に基づいて、当該第 6画像に含まれる特徴部 84の座標データ (X , Y c4 c

)を取得する (ステップ S23)。そして、当該特徴部 84の座標データ (X , Y )に関 c4

連付けられて、る複数のプローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )を推定する pb4 pb4

(ステップ S 24)。

[0068] 続、て、 TCPハンドラ 2は、テストパッドの 2箇所の座標データ（X , Y )および（ pdl dl

X , Υ )と、プローブ 81の接触面の 2箇所の座標データ (X , Υ )および (X pd2 pd2 pb3 pb3 pb4

, Y )とから、テストパッドとプローブ 81の接触面との X成分および Y成分の差分値 pb4

ΔΧ, ΔΥを演算する (ステップ S25)。そして、得られた差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 Pよりも大きい場合に (ステップ S26, Yes)、 TCPハンドラ 2は、差分値 ΔΧ, ΔΥに基づいてプローブカードステージ 7を X軸方向および Zまたは Y軸方向に移動させ (ステップ S 27)、差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 P以下になった場合に (ステツプ S28, Yes)、プローブカードステージ 7の移動を停止し (ステップ S29)、プロ一ブカードステージ 7のその位置を登録する（ステップ S30)。一方、ステップ S26において、差分値 ΔΧ, ΔΥの絶対値が所定値 P以下である場合には (ステップ S26, No )、プローブカードステージ 7を移動させることなぐその位置を登録する（ステップ S3 0)。このようにして、 TCPハンドラ 2は初期設定を終了する。

[0069] 以上のように、本実施形態に係る TCPハンドラ 2によれば、 TCPのテストパッドとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせを自動的に、かつ特徴部 84を利用して極めて正確に行うことができる。特に本実施形態では、垂直軸回りの位置合わせと X 軸方向 ·Υ軸方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、 TCPのテストパッドとプローブカード 8のプローブ 81との位置合わせをより正確に行うことができる。したがつて、 TCPハンドラ 2の初期設定を短時間で効率良く行うことができる。

[0070] 以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであつて、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

[0071] 例えば、上記実施形態では、 TCPおよびプローブカード 8の垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に行うようにしたが、本発明はこれに限定されることなく、両者を同時に行ってもよい。具体的には、ステップ S03, S05で取得したテストパッドの座標データ (X , Y )および (X , Y )と、ステップ S09, S12で pdl dl pd2 pd2

推定したプローブ 81の接触面の座標データ (X , Y )および (X , Y )とに基 pbl bl pb2 pb2 づいて、垂直軸回りの位置ずれ量ならびに X軸方向および Y軸方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、プローブカードステージ 7を垂直軸回り ZX 軸方向 ZY軸方向に移動させて、テストパッドとプローブ 81との位置合わせを行ってもよい。これにより、 TCPとプローブカード 8との位置ずれ補正の作業時間力より短縮される。

[0072] また、上記実施形態では、 TCPおよびプローブカード 8の位置合わせを、プローブカードステージ 7によるプローブカード 8の移動によって行うようにした力本発明はこれに限定されることなぐプッシャステージ 4によるプッシャユニット 3 ·キャリアテープ 5 の移動によって行うようにしてもよいし、プローブカードステージ 7によるプローブカード 8の移動およびプッシャステージ 4によるプッシャユニット 3 ·キャリアテープ 5の移動の両者によって行うようにしてもよい。

産業上の利用可能性

[0073] 本発明は、 TCPハンドリング装置の初期設定時において、測定部（プローブカード )の接続端子と TCPの外部端子との位置合わせ作業を正確に行うのに有用である。

Claims

請求の範囲

[1] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置であって、

前記測定部を移動させることのできる測定部移動装置および Zまたは前記測定部に対するキャリアテープの位置を変更することのできるテープ移動装置と、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部および被試験 TCPの所定部位を撮影することのできる撮像装置とを備えており、前記撮像装置により、被試験 TCPの所定部位を撮影して当該所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部を撮影して当該特徴部の座標データを取得し、

前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、

前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、

前記位置ずれ量に基づ!、て、前記測定部移動装置および Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Zまたはキャリアテープを移動させ、被試験 TCPの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う

ことを特徴とする TCPハンドリング装置。

[2] 前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向に移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向に移動させることのできるものであることを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[3] 前記測定部移動装置は、前記測定部をその垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープを当該キヤリァテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[4] 前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向および垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向および当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[5] 第 1に、前記被試験 TCPの所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データ力前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づ、て、前記測定部移動装置および Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、第 2に、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験

TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および

Zまたは前記テープ移動装置により前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向に移動させる

ことを特徴とする請求項 4に記載の TCPハンドリング装置。

[6] 前記撮像装置により、被試験 TCPの 2箇所以上の所定部位を撮影して 2箇所以上の所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の 2箇所以上の特徴部を撮影して 2箇所以上の特徴部の座標データを取得することを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[7] 前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験 TCPの所定部位の 2箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の 2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の 2箇所以上の位置情報から得られる第 2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項 6に記載の TCPハンドリング装置。

[8] 前記 TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、

前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、 2箇所以上の前記被試験 TCPの所定部位および 2箇所以上の前記測定部の特徴部を撮影することを特徴とする請求項 6に記載の TCPハンドリング装置。

[9] 前記特徴部は、前記測定部における複数の接続端子の接触面の位置情報に関連付けられて、ることを特徴とする請求項 1に記載の TCPハンドリング装置。

[10] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であつて、

被試験 TCPの所定部位の座標データを取得し、

前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得し、

前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、

前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および Zまたはキャリアテープを移動させる

ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。

[11] 前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量であり、前記測定部および zまたはキャリアテープを平面方向に移動させることを特徴とする請求項 10に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[12] 前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および Zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項 10に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[13] 前記位置ずれ量は、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向および垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および zまたはキャリアテープを平面方向および垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項

10に記載の接続端子の位置合わせ方法。

[14] TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、 TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数の TCPを順次試験に付すことのできる TCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であつて、

被試験 TCPの所定部位の座標データを取得し、

前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、

前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、

前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および Zまたはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、

再度前記測定部の特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、

前記取得した被試験 TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、

前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および Zまたはキャリアテープを平面方向に移動させる

ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。

前記被試験 TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験 TCPの所定部位の 2箇所以上の座標データから得られる第 1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の 2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の 2箇所以上の位置情報から得られる第 2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項 12〜 14のいずれかに記載の接続端子の位置合わせ方法。