JPWO2008056418A1 - Tcpハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法 - Google Patents
Tcpハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
2 TCPハンドラ
3 プッシャユニット
4 プッシャステージ
5 キャリアテープ
6b 第2カメラ(撮像装置)
7 プローブカードステージ
8 プローブカード
81 プローブ(接続端子)
84 特徴部
10 テストヘッド
21 巻出リール
22 巻取リール
図1は、本発明の一実施形態に係るTCPハンドラを用いたTCP試験装置を示す正面図であり、図2は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図3は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図4は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図5は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプローブカードステージの正面図であり、図6は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプローブカードの底面図であり、図7は、同実施形態に係るTCPハンドラにおけるプローブカードの側面図である。
プッシャ本体部33の前段側(図1中左側)には、テンションスプロケット35aが設けられており、プッシャ本体部33の後段側(図1中右側)には、メインスプロケット35bが設けられており、所望の張力でキャリアテープ5を保持するようになっている。
TCPハンドラ2は、初期設定の動作を開始すると、基準となるTCPを試験位置まで搬送し(ステップS01)、第2カメラ6bによって、TCPにおいて多数のテストパッドの中の一端部に位置する複数のテストパッドを撮影する(ステップS02)。なお、本実施形態では、第2カメラ6bが撮影するのはTCPのテストパッドであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、TCPに付されている所定のマークを撮影してもよいし、パッケージの角部等、特徴的な部位を撮影してもよい。
Claims (15)
- TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドリング装置であって、
前記測定部を移動させることのできる測定部移動装置および/または前記測定部に対するキャリアテープの位置を変更することのできるテープ移動装置と、前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部および被試験TCPの所定部位を撮影することのできる撮像装置とを備えており、
前記撮像装置により、被試験TCPの所定部位を撮影して当該所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部を撮影して当該特徴部の座標データを取得し、
前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および/または前記テープ移動装置により前記測定部および/またはキャリアテープを移動させ、被試験TCPの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う
ことを特徴とするTCPハンドリング装置。 - 前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向に移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向に移動させることのできるものであることを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記測定部移動装置は、前記測定部をその垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープを当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記測定部移動装置は、前記測定部をその平面方向および垂直軸回りに移動させることのできるものであり、前記テープ移動装置は、前記測定部に対してキャリアテープをその平面方向および当該キャリアテープを含む平面の垂直軸回りに移動させることのできるものであることを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- 第1に、前記被試験TCPの所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および/または前記テープ移動装置により前記測定部および/またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、
第2に、再度前記測定部の特徴部の座標データを取得し、当該特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記測定部移動装置および/または前記テープ移動装置により前記測定部および/またはキャリアテープを平面方向に移動させる
ことを特徴とする請求項4に記載のTCPハンドリング装置。 - 前記撮像装置により、被試験TCPの2箇所以上の所定部位を撮影して2箇所以上の所定部位の座標データを取得するとともに、前記測定部の2箇所以上の特徴部を撮影して2箇所以上の特徴部の座標データを取得することを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験TCPの所定部位の2箇所以上の座標データから得られる第1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の2箇所以上の位置情報から得られる第2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項6に記載のTCPハンドリング装置。
- 前記TCPハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、
前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、2箇所以上の前記被試験TCPの所定部位および2箇所以上の前記測定部の特徴部を撮影する
ことを特徴とする請求項6に記載のTCPハンドリング装置。 - 前記特徴部は、前記測定部における複数の接続端子の接触面の位置情報に関連付けられていることを特徴とする請求項1に記載のTCPハンドリング装置。
- TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
被試験TCPの所定部位の座標データを取得し、
前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得し、
前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記接続端子の接触面との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および/またはキャリアテープを移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。 - 前記位置ずれ量は、前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量であり、前記測定部および/またはキャリアテープを平面方向に移動させることを特徴とする請求項10に記載の接続端子の位置合わせ方法。
- 前記位置ずれ量は、前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および/またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項10に記載の接続端子の位置合わせ方法。
- 前記位置ずれ量は、前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向および垂直軸回りの位置ずれ量であり、前記測定部および/またはキャリアテープを平面方向および垂直軸回りに移動させることを特徴とする請求項10に記載の接続端子の位置合わせ方法。
- TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されている複数の接続端子を有する測定部に対してキャリアテープを押圧し、TCPの外部端子を前記測定部の接続端子に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
被試験TCPの所定部位の座標データを取得し、
前記測定部の接続端子の接触面の位置情報に関連付けて前記測定部に設けられた特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および/またはキャリアテープを垂直軸回りに移動させ、
再度前記測定部の特徴部の座標データを取得して、前記特徴部の座標データから前記測定部の接続端子の接触面の位置情報を推定し、
前記取得した被試験TCPの所定部位の座標データおよび前記推定した測定部の接続端子の接触面の位置情報から、前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との平面方向の位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて前記測定部および/またはキャリアテープを平面方向に移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。 - 前記被試験TCPの外部端子と前記測定部の接続端子の接触面との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記被試験TCPの所定部位の2箇所以上の座標データから得られる第1の直線の角度と、前記測定部の特徴部の2箇所以上の座標データに基づく前記測定部の接続端子の接触面の2箇所以上の位置情報から得られる第2の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項12〜14のいずれかに記載の接続端子の位置合わせ方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2006/322396 WO2008056418A1 (en) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | Tcp handling device, and method for positional alignment of connecting terminals in the device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008056418A1 true JPWO2008056418A1 (ja) | 2010-02-25 |
JP5047188B2 JP5047188B2 (ja) | 2012-10-10 |
Family
ID=39364247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008542972A Expired - Fee Related JP5047188B2 (ja) | 2006-11-09 | 2006-11-09 | Tcpハンドリング装置および当該装置における接続端子の位置合わせ方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5047188B2 (ja) |
KR (1) | KR20090073223A (ja) |
CN (1) | CN101583840A (ja) |
TW (1) | TW200836280A (ja) |
WO (1) | WO2008056418A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101732881B1 (ko) | 2014-07-18 | 2017-05-08 | 한국과학기술연구원 | 개미산으로부터의 수소 발생 방법 및 장치 |
KR102302588B1 (ko) * | 2014-08-27 | 2021-09-16 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 보정용 프로브 카드, 프로브 테스트 장치, 보정용 프로브 카드의 설정 방법 및 보정용 프로브 카드를 이용한 프로브 테스트 장치의 얼라인 방법 |
US10840458B2 (en) | 2016-05-25 | 2020-11-17 | Universal Display Corporation | Organic electroluminescent materials and devices |
US10324126B2 (en) * | 2016-06-10 | 2019-06-18 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Method and apparatus for aligning probe pins with respect to positions of electronic devices |
KR101894911B1 (ko) | 2017-01-16 | 2018-09-04 | 주식회사 에이티테크놀러지 | Tab용 핸들링 장치 |
CN107478152A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-12-15 | 哈尔滨工业大学 | Tr芯片定位方法及检测方法 |
CN107560588B (zh) * | 2017-10-24 | 2023-10-27 | 江阴鑫宝利金属制品有限公司 | 涡轮焊接腔表面平整度检测工装 |
TWI701441B (zh) * | 2018-10-23 | 2020-08-11 | 鋒華科技股份有限公司 | 具有預先調整溫度的捲帶式覆晶薄膜測試裝置 |
KR200489368Y1 (ko) * | 2018-12-13 | 2019-06-07 | 주식회사 케이비엔텍 | 다양한 규격의 테스터기 장착이 가능한 칩 검사장치 |
CN111562413A (zh) * | 2019-02-14 | 2020-08-21 | 均豪精密工业股份有限公司 | 检测方法及检测系统 |
CN110690135B (zh) * | 2019-09-30 | 2022-02-01 | 武汉东飞凌科技有限公司 | 一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置 |
CN110940918B (zh) * | 2019-12-13 | 2021-04-09 | 吴江市金澜机械制造有限公司 | 一种发电机定子电性能自动检测装置 |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001061913A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-13 | Ishimoku:Kk | 歩行補助具、歩行補助具の製法 |
JP2002181888A (ja) * | 2000-12-13 | 2002-06-26 | Ando Electric Co Ltd | プローブカードとtabの位置決め装置 |
-
2006
- 2006-11-09 KR KR1020097009678A patent/KR20090073223A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-11-09 WO PCT/JP2006/322396 patent/WO2008056418A1/ja active Application Filing
- 2006-11-09 JP JP2008542972A patent/JP5047188B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-11-09 CN CNA2006800563147A patent/CN101583840A/zh active Pending
-
2007
- 2007-10-25 TW TW096140019A patent/TW200836280A/zh unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08327658A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
JP2000161913A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-16 | Philips Japan Ltd | 複数の物体を相互に位置合わせする方法及び装置 |
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WO2004068154A1 (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | Japan Engineering Co.,Ltd. | Tcpハンドリング装置および当該装置における位置ずれ補正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008056418A1 (en) | 2008-05-15 |
KR20090073223A (ko) | 2009-07-02 |
CN101583840A (zh) | 2009-11-18 |
JP5047188B2 (ja) | 2012-10-10 |
TW200836280A (en) | 2008-09-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120717 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |