TWI321818B - - Google Patents

Description

1321818 九、發明說明： • 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於用以測試是ic元件之一種的 TCP(Tape Carrier Package)或 COF(Chip On Film)(以下 將利用 TCP、COF、其他的 TAB(Tape Automated Bonding) 組裝技術所製造之元件總稱為「Tcp」）之TCp處理裝置。 【先前技術】 在1C元件等之電子元件的製程，需要測試最終所製造 之1C元件或位於其中間階段的元件等之性能或功能的電 子το件測試裝置，在Tcp之情況，使用Tcp用的測試裝置。 TCP用的測試裝置一般由：測試器本體、測試頭及 tcp處理裝置（以下亦有稱為「Tcp處理器」的情況）構成。 該TCP處理器，藉由搬運在膠帶（亦包含薄膜之概念。以下 相同）上形成複數T c P的載送膠帶，和測試頭以電氣式連接 •之探測卡的探測器推壓載送膠帶’並使TCP之外部端子接 觸探測器，而具備將複數Tcp依次交付測試的功能。 然後，在測試確認Tcp所需的性能或功能時，進行合 格判定（良品判定）’另一方面，在無法確認的情況進行不 合格判定（不良品判定）。但，不良品判定，除了 TCP本身 係不良品的情況以外，亦有對探測卡之TCP的定位不正確 而發生的不良又亦有在接觸狀態之接觸電阻值大而發生 的不良。因為因疋位不良等而受到不良品判定的TCP之中 包含良品，所以若進行再測試動作而可發現良品，可提高 2192-8267-PF;Ahddub 5 1321818· TCP之良率。 • 在此，在載送膠帶，附加一處或多處對各TCP定位用 之記號（對準記號），以該對準記號為基準進行定位。即， 使用相機等以對準記號為基準確認對探測卡之TCP的位 置，而且因應於需要修正位置偏差，儘管如此，有因定位 不良而受到不合格判定等的情況。 又，設置於探測卡之多支探針，因為數萬次之測試， 和TCP之外部端子接觸的前端部之位置由當初的狀態相 異，而發生變動。隨著，有受到不合格判定等的情況。此 外，灰塵附著於探針之前端、或在探針的前端之接觸電阻 值增加，因為接觸狀態變成不安定的狀態，所以有受到不 σ格判疋等的情況。又，根據載送膠帶之種類或載送膠帶 面的反射條件，亦有以相機無法明顯地檢測到對準記號之 輪廓的情況。 在TCP受到不合格判定等的情況，作業員將測試裝置 鲁暫停，並確認受到不合格判定之Tcp的外部端子和探測器 之位置關係，而在該位置關係係不適當的情況，以人工作 業將位置對準而使兩者確實地接觸後，進行再測書式。然後， 將在再測試變成合格判定的TCP當作良品。雖然這種利用 作業員之綠認作業可提高TCP的良率，但是因為測試裝置 之停止時間變長’所以具有測試的生產力降低之缺點。 而，有具備有探測卡和測試頭之TCP用的測試裴置， 可同時進行2個以上之TCP的測試。如此藉由同時進行2 個以上之TCP的測試，而可提高測試之生產力。 2l92-8267-PF；Ahddub 6 【發明内容】 【發明要解決之課題】 可是’將同時測試之TCP的個數設成複數時，同時接 觸之區域變寬。尤其，在邁向更多端子化及窄間距化之TCP 的測試’將同時交付測試之全部的TCP正確地定位並不容 易。同時測試複數TCP時，因為定位不良之原因，良品的 Tcp受到不合格判定之頻次增加。受到不合格判定之頻次 増加時’作業員將測試裝置暫停、確認並以人工作業進行 位置對準之頻次昇高，隨著測試的生產力降低。即，增加 同時交付測試之Tcp的個數，以提高生產力，亦因為隨著 測试裝置之暫停頻次亦增加，所以測試裝置的可動時間減 少，而未必可得到充分之生產力提高效果。 本發明係鐘於上述的問題而開發者，其目的在於提供

【解決課題之手段】 一，本發明提供一種TCP處理

為達成上述之目的，第一， 裝置’係應用和 使載送膠帶上之 以電氣式接觸， 裝置， 其特徵在於： 2192-8267-PF；Ahddub 7 1321818 在最初之測試同時測試複數TCP，將在該同時測試受 到不合格判定之不良品判定TCP，移至和該不良品判定TCP 所接觸的接觸端子相異之其他的接觸端子之位置後，交付 再測試（發明1)。 若依據該發明（發明1 )，可將受到不合格判定之TCp , 自動地交付再測試’而不會將TCP處理裝置停止《即，雖 然TCP儘管實際上係良品，因各種原因而受到不良品判 定’但是若依據該發明（發明1 )，可能根據再測試而可判 定係良品，元件製造之良率提高。又，若依據該發明（發明 1 )，因為可自動地進行再測試，而不會將Tcp處理裝置停 止’所以測試之生產力提高。 此外，在此所指的再測試不僅在接著最初之測試進行 的第2次之測試，只要可使用相異之接觸端子群，亦包含 第3次以後的測試。例如，在接觸端子群係3個的情況， 可進行再測試2次。

在該發明（發明1)’亦可作成將朝向載送膠帶之搬運 方向串列地排列的複數TCP、或朝向載送膠帶之搬運方向 並列地排列的複數TCP、或朝向載送膠帶之搬運方向串列 地排列的複數TCP及朝向載送膠帶之搬運方向並列地排列 的複數TCP同時交付測試（發明2)。 % 你 W 、货*V3 1 )，亦 W 你 Is )亦了作成在载送膠帶，設置用以 對各TCP特疋各TCP的位置之定位用對準記號；根據至少 -個之該對準記號進行和同時交付測試的複數—之外部 端子對應的接觸端子之^位（發明3)。若㈣㈣Tcp處 2192-8267-PF；Ahddub 理裝置，可在短時間進行載送膠帶之定位，又，在這種丁 α 處理裝置顯著地出現本發明之效果。 在該發明（發明1 )，亦可將該不良品判定TCP交付再 測試時’將和該不良品判定Tcp 一起被推壓之未檢查的TCP 同時交付測試（發明4)。 例如，在進行測試時一個Tcp受到不良品判定的情 況，在下次之測試被交付再測試的Tcp係i個。若在接觸 柯和TCP接觸之位置例如為2個，除了被交付再測試的 TCP以外，不是再測試之對象的TCp亦和接觸部接觸。此 時，雖然連一次都未測試的Tcp和接觸部接觸，但是在再 測》式時將1¾ TCP IS：為交付最初之測試時，可和再測試同時 亦進行最初的測試’測試之生產力更提高。 在該發明（發明1 )，將該不良品判定TCP交付再測試 時，將和該不良品判定TCP —起被推壓之已檢查的Tcp由 測試之執行排除較佳（發明5)。 在該發明（發明1 )，對在該同時測試受到不良品判定 之不良品判定TCP，利用該不良品判定TCP所接觸之接觸 螭子，進行至少一次之再測試較佳（發明6)。藉由這種再 測試，可能簡單地得到良品判定，在此情況，不必進行Tcp 之位置變更動作，而可更提高測試之生產力。 在該發明（發明1 )，變更該不良品判定TCP之外部端 子和與該外部端子接觸的接觸端子之推壓條件，並進行該 再測試（發明7)。藉由這種再測試，可能簡單地得到良品 判定，在此情況，不必進行TCP之位置變更動作，而可更 2192-8267-PF;Ahdd\ib 9 1321818 提高測試之生產力。 在該發明（發明7)，亦可 部端子和盥該外1J該不良品判定TCP之外 外Μ子接觸的接觸端子之 測超過可容許的接觸電阻值之Tc ”，在檢 件，並進行該再測試（發明8)。 、 OB , 相'田k種再测試，可能薛 早地得到良品判定，在此情 4 進仃TCP之位置變更 動作，而可更提高測試之生產力。 又

在該發明（發明〇,利用檢測Tcp之外部端子和盘該 外部端子接觸的接觸端子之電氣接觸狀態的導通檢查功 能，至檢測到某-接觸端子之接觸不良為止，將移㈣測 卡的探測卡工作台朝向x軸方向及/或Y軸方向微動，以求 得可移動區域；特定在該可移動區域之中央位置；根據該 甲央位置進行TCP之定位(發明9)。若依據這種發明，因 為可進行接觸端子之最佳的定位，所以成為不良品判定之 發生頻次減少，良率和測試的生產力提高。 在該發明（發明1 )，亦可該TCP處理裝置具備吸附、 推壓構件，同時吸附複數Tcp並向該接觸端子推壓；該吸 附、推廢構件和同時測試之TCP的排列對應並至少二分 割；該分割之吸附、推壓構件可調整彼此的間隔，使可和 同時測試之TCP的間距對應（發明1 0)。若依據這種發明， 可進行使複數TCP間之間距和對應的接觸端子群之間距一 致的調整。 第二’本發明提供一種TCP處理裝置，係可將複數TCP 同時交付測試之TCP處理裝置， 2192-8267-PF;Ahddub 10 1321818. 其特徵在於：

在最初之測試同時測試複數TCP，對在該同時測試受 到不合格判定之不良品判定TCP，應用和該不良品判定TCP 所接觸的接觸端子相異之其他的接觸端子，交付再測試（發 明 11)。 若依據該發明（發明11 )，可將受到不合格判定之 TCP，自動地交付再測試，而不會將TCP處理裝置停止。因 此’元件製造之良率提高，而且不必將TCP處理裝置停止， 測試之生產力提高。 【發明效果】 若依據本發明之TCP處理裝置，用以同時測試2個以 以上的TCP，可提高元件製造之良率及測試的生產力。

【實施方式】 以下，根據圖面詳細說明本發明之實施形態。 第1圖係表示包含本發明之一實施形態的Tcp處理器 之TCP用測試裝置的整體正視圖，第2圖係探測卡工作台 :平面圖’第3圖係表示本發明之一實施形態# Tcp處理 态之動作的流程圖，第4圖係表示本發明之一實施形態的 TCP處理器之再測試時的叙於★ 4 守的動作之流程圖，第5圖係表示本 發明之一實施形態的ΤΓρ由 處理裔之再測試時的其他形態之 動作的流程圖。 ‘ 首先， 說明具備本發明 之一實施形態的處理器之

TCP 2192-8267-PF;Ahddub 1321818' 用測試裝置的整體構造。

如第1圖所示，TCP用測試裝置U 器本體、和測試器本體以f不之測試 電乳式連接的測試頭10、Π 於測試頭10之上側的TCP處理器構成。 及汉置 TCP處理器2係藉由搬運載 R u vt ^ ^ riF 而將在載送膠帶 排成一列所形成之各TCP依次交付測 試者。此外，作為载送„ 5，亦有沿著其長度方向以 列或多列形成TCP者。例如，力n吐w

1歹J如在同時測試之Tcpg 4個的 情況’有1列4個之排列，或2列2個的排列。 如第2圖所示’對在載送膠帶5之各Tcp，將對準記 號51設置於TCP附近的既定位置。 此外’本實施形態之TCP處理器2雖然係將每2個— 交付測試者’但是本發明未限定為將每…cp交付測試 的裝置，亦包含將在載送膠帶5上朝向串列方向及/或並列 方向所排列之3個以上的TCP同時交付測試的處理器者。 TCP處理器2具備有捲出捲盤21和捲繞捲盤22。在捲 出捲盤21捲繞測試前之載送膠帶5，載送膠帶5由捲出捲 盤21捲出’並搬運’使交付測試後捲繞於捲繞捲盤22。 在捲出捲盤21和捲繞捲盤22之間，設置將由載送膠 帶5所剝離的保護膠帶52由捲出捲盤21架至捲繞捲盤22 的間隔滾輪23a、23b、及23c。各間隔滾輪23a、23b、及 23c各自可上下動’使可調整保護膠帶52之張力。 在捲出捲盤21之下側，設置膠帶導輪24a捲出極限滾 輪25a、入口侧副槽輪25b、及入口側導輪25c，由捲出捲 2192-8267-PF；Ahddub 12 1^21818 盤21所捲出之載送膠帶5，一面由膠帶導輪24&引導，一 面經由捲出極限滾輪25a、入口側副槽輪25b、及入口侧導 輪25c，被搬至推桿裝置3。

在捲繞捲盤22之下側，設置膠帶導輪24b捲取極限滾 輪25f、出口侧副槽輪25e、及出口侧導輪25d，在推桿裝 置3被交付測試後的載送膠帶5，經由捲取極限滾輪託卜 出口侧副槽輪25e、及出口側導輪25d，一面由膠帶導輪 24b引導’一面被捲繞於捲繞捲盤22。 在入口側導輪25c和出口側導輪25d之間，設置推桿 裝置3。而，將第一相機6a設置於推桿裝置3之前段側（第 1圖中左侧），將第二相機6b設置於推桿裝置3的下側（後 述之探測卡工作台7的内側），將第三相機設置於推桿 裝置3之後段側（第1圖中右側）。X，將記號衝頭26a及 退貨衝頭26b設置於推桿裝置3和第三相機6c之間。 記號衝頭26a係根據測試結果，對符合之Tcp將^個 或複數孔鑽孔於既定位置者’退貨衝頭挪係將測試結果 判斷為不良品@ TCP打穿者。此外，亦可個別地控制記號 衝頭26a或退貨衝頭26b，使不動作。 各相機6a 6b及6c，和未圖示之影像處理裝置連接。 第-相機6a及第三相機6c係用以判斷在載送勝帶5上有 無TCP或記號衝頭26a所鑽之孔的位置或個數者。又，第 二相機6b係用以取得載送膠帶5上之對準記號的位置資訊 或TCP和探測器之位置佑葚的咨邱 + 饥罝偏差的資訊，或將所拍攝之影像顯 不於監視’使作業員可堂据垃雜 罘貝J羊握接觸狀況者。本實施形態之 2192-8267-PF;Ahddub 13 1321818 -第二相機6b係可取得對視野内的複數對象之位置偏差資 訊者。 . 第二相機6b由於正確地取得TCP之測試頭和探測器 81(亦稱為探測針）的位置關係之必要性，所以為窄攝影視 野。因而，第二相機6b裝載於相機工作台61上，利用相 機工作台61所具有的致動器朝向平面圖上縱橫方向（乂軸 一 Y軸方向）及上下方向（Z軸方向）可移動。因而，因為可 移至在載送膠帶之測試區域的整體，所以可鮮明地拍攝在 TCP之所要的測試基座和探測器8丨之位置關係或對準記 號51的位置。 在此，關於第二相機6b，亦可應用高解析度相機，在 保持所要的解析度之狀態，可拍攝至比影像處理所使用的 影像處理區域更寬數倍以上之攝影視野。在此情況，因為 可減少移動相機工作台61之頻次，和相機工作台61的移 動相關之處理時間變短》又，隨著相機工作台61之移動次 •數變少，可減少移動量的誤差要因，因此，對於更微細間 距之TCP，亦可高精度地定位。此外，因為在保持所要的 解析度之狀態可進行數位變焦’所以可易於掌握並特定作 為目標之測試基座、探測器81及對準記號51的位置關係， 可處理複數測試基座和探測器81之位置偏差修正。又，因 為可易於檢測複數位置之對準記號51，可根據複數位置之 對準記號51定位。又，雖然在以往，因為作業員確認接觸 狀況’所以在捲動顯示於監視器之晝面時，可能漏看目標 位置’但是因為以數位變焦可進行適當的放大/縮小，可進 2192-8267-PF；Ahddub 14 δ丄δ 行作業員易利用之監視器顯示。 在推桿裝置3之機架（推桿架）36,經由托架361

可使滚珠螺桿32轉動的词服馬達31。而，經由朝向U 方向延伸的2支線性運動導件（以下稱為「lm導件」）打安 裝與滾珠螺桿32螺合之推桿本體部33。驅耗服馬達31 時，該推桿本體部33 -面由LM導件3?引導，一面朝向上 下方向（Z軸方向）移動。 .在該推桿本體部33之下端部，設置吸附板34,和負 略圖不)連接’藉由吸住Tcp’而吸附並保持載送 膠帶5，可設為固定狀態。 將張力槽輪…設置於推桿本體部33的前段側（第1 圖中左側），而將主槽輪35b設置於推桿本體部^的後段 側（第1圖中右側）。 又’在位於推桿裝置3之下側，測試頭ι〇之上部，如 圖所不，設置用以裝載具備和2個κρ之外部端子（以 亦測試基座」）可接觸的多支探測器（接觸端 :)广之探測卡8的探測卡工作台7。探測卡工作台7經由 珠螺桿和飼服馬達連接(省略圖示)，藉由 之驅動’可使探測卡8朝向水平方向⑺平面方向)移動， 而且可使探測卡8繞垂直軸(繞Z軸)轉動。 工作^多支,器81之探測卡8，以銷安裝成和探測卡 到卡2且之卡％自由拆裝（省略圖示）。在本實施形態之探 署個探測^群（前側之位置83的探測器群/後 側之位置此的探測器群㈣⑽Η 2l92-8267-PF;Ahddub 15 之搬運方向串列地排列的2個 排列2列之TCP的載送膠帶5 有4個探測器群之探測卡。 TCP。此外，在載送膠帶5 之情況，與其對應，應用具 月“則之位置8a和後側的位置8b<間隔設定成朝向載 送膠帶5的搬運方向為TCP之】個間距量的間隔。該⑽ 之1個間距量的間隔因為有因測試對象之元件的種類、形 狀載送膠帶之種類等而異的情況，具備能以手動或自動 變更前侧之位置8a和後側的位置8b之間隔的間距變更機 構較佳。 探測卡8之各探測器81經由測試頭1〇和測試器本體 以電氣式連接，第二相機6b位於探測卡8之下側，探測卡 工作台7的内侧。 在這種裝置，推桿裝置3 —面將被搬至探測卡工作台 7之載送膠帶5吸附、支持，一面推壓於測試頭丨〇上的探 測卡8。於是，載送膠帶5上的2個Tcp變成和配置於探 測卡8上之對應的位置8a、8b之探測器81接觸的狀態。 在此狀態，首先，對各Ic端子施加微小之直流電流，由有 無流向TCP之内部電路的電流或電壓值之量測進行接觸檢 查，確認全部之測試基座以電氣式和探測器8丨接觸或相鄰 端子間有無短路。然後，對TCP施加來自螂試器本體之測 試信號，並經由測試頭1 〇向測試器本體傳送由Tcp所讀出 的響應彳s號。根據該響應信號測試TCP之性能等，並對TCP 進行合格判定（良品判定）或不合格判定（不良品判定）。 其次，說明TCP處理器2之使用方法及動作。 2192-8267-PP；Ahddub U21818 - 在使用TCP處理5§的梓. 轉之前^ 在使TCP處理實際運 - 得之別需要預先進行起始今佘-. # ^ s ^ °叹疋。即，在變更TCP之種類 .==?的情況’需要決定並登記推桿工作台 ° 7之對準位置（將該位置稱為「登記位 置」）。 例如，作業員以手動操作選擇複數位置（例如3個位置） 之探測器81和與其對應的測試頭並決定概略位置，接著， 鲁利用第二相機此及影像處理裝置，藉由以手動控制或自動 控制移動推捍工作台4及/或探測卡卫作台7，使各個探測 益81儘量位於各測試頭的中央，而決定對準位置並登記。 此外，根據所要’關於該概略位置之決定，亦可利用自動 控制’而不是利用手動操作。 此時’一併登記既定之對象在第二相機6b的視野内之 位置座標。在本實施形態，登記在載送膠帶5之對準記號 51的位置座標。 鲁其次’一面參照第3圖之流程圖一面說明TCP處理器 2的實際運轉時之動作。在此，作成同時測試沿著載送膠 帶5之長度方向排成一列的2個Tc卜又，進行載送膠帶5 之定位的對準記號51 ’如第2圖所示，因為對一個Tcp在 上下（Y軸方向）存在2個位置，雖然在同時測試之2個Tcp 存在共4個位置的對準記號51，但是在本實施形態，作成 應用位於前側之位置8a的一個對準記號51，進行Tcp之 定位。 TCP處理器2具備其控制手段，將Tcp處理器2設為 2192-8267-PF;Ahddub 17 1321818 可實際運轉之狀態時，首先推桿工作台4及探測卡工作台 7移至登記位置（步驟SOI)。然後，捲出捲盤21及捲繞捲 盤22轉動既定角度，而移動載送膠帶5,將第j個及第2 個TCP搬至吸附板34之下側的既定位置為止（步驟s〇2)。 TCP被搬至吸附板34之下側時，驅動推桿裝置3的伺 服馬達31，而吸附板34朝向Z軸下方向移動。所移動之 吸附板34吸附載送膠帶5,並下降至攝影位置為止（步驟 S03)。 在此狀態，第二相機6b拍攝（步驟s〇4)，並向影像處 理裝置傳送影像資訊。影像處理裝置由所接收之影像資 訊，取得預先所登記之既定的對象之位置座標，和實際所 拍攝的對象之位置座標的位置偏差資訊。例如，在本實施 形態，取得和位置8a對應之所登記的對準記號之位置座 標，和實際所拍攝之位置8a對應的對準記號51之位置座 標的位置偏差資訊。 影像處理裝置根據所得到之位置偏差資訊，計算X軸 方向、Y軸方向及繞垂.直轴的位置偏差量，判斷是否需要 修正（步驟S05)。判斷結果，在需要修正的情況，進行所 需之修正動作（步驟S06)。 修正動作完了時，推桿裝置3之伺服馬達31動作，經 由推桿本體部33將吸附板34再朝向Z軸方向移動。吸附 載送膠帶5之吸附板34下降至接觸位置為止，位於栽送膠 帶搬運方向A(參照第2圖）的前側之第1個TCP，被壓在配 置於探測卡8上之對應的前側之位置8a的探測器81，而 2192-8267-PP;Ahddub 18 1321818 位於載送膠帶搬運方向A的後側之第2個TCP，被壓在配 置於探測卡8上之對應的後側之位置8b的探測器81 (步驟 S07)。 然後’各TCP之測試基座接觸狀況探測器81時，執行 對各tcp的最初測試（以下稱為「正式測試」）（步驟s〇8)。 在測試’首先進行導通檢查’確認全部之測試基座和探測 盗81以電氣式接觸’並進行吸附板34之多次的上下動作， 亦檢測到接觸不良的情況，判定不合格。 在導通檢查正常的情況，由測試器本體經由測試頭i 〇 對各TCP施加測試信號，並經由測試頭1 〇向測試器本體傳 送由各TCP所讀出之響應信號。在測試器本體，根據該響 應信號判斷各TCP之好壞判定或等級區分等，對Tcp進行 合格判定（良品判定）或不合格判定（不良品判定）（步驟 S09)。 正式測試之結果’有合格判定的TCP時，僅對合格判 定之TCP ’記號衝頭26a動作（步驟S10)。此外，亦有使記 號衝頭26a不動作之控制形態。 在此’參照剛才之正式測試的結果（步驟Si 1 )，在其 中一方或雙方之TCP受到不合格判定的情況，執行後述之 再測試動作（步驟S21〜步驟S36)。此外，在獲得不合格判 定的情況’亦可根據所要追加控制動作，在此階段例如再 測試一次，是否變成合格判定。 另一方面，在兩TCP受到合格判定的情況，推桿裝置 3之伺服馬達31驅動，經由推桿本體部33將吸附板34朝 2192-8267-PF;Ahddub 19 Ο丄δ 向Ζϋ上方向 7移至登纪位署二…作台4及探測卡工作台 且。己位置（步驟S12)。然後，吸 送膠帶5，而从Β 附板34知•止吸附載 放開载送膠帶5，同時又 (步驟S13)。 朝向Ζ軸上方向移動 判斷進行正式測試之TCP是否是最後 遡ςΐ/ΐ、 丄 〜货疋敢後的元件、灭 ，在判斷為是最後的元件之情況 在判斷為不是最後沾$ 動作終了’而 不π最後的π件之情況’回到 面之2個TCP。 叫A俊 其次，說明再測試動作。在此，該測試結果，2個Tcp 格判定的組合，有僅載送膠帶搬運方向A之前側的 置广之TCP為不合格判定的情況、僅後側的位置仳之 p為不合格判定的情況 '及雙方侧的位置8a、肫之τα 為不合格判定的情況，動作各自相異。 在再測試動作，首先，執行和剛才所說明之步驟Sl2 及步驟S13 一樣的動作’吸附板34停止吸附載送膠帶5， 而放開載送膠帶5(步驟S21)。 接著，判斷位於载送膠帶搬運方向A之前側的位置仏 之tcp(在此為第！個Tcp)在最初之測試受到合格判定或是 不:格判定（步驟S22)。在此，在位於前側的位置8a之Tcp 在最初之測試受到合格判定的情況，執行後述之步驟su。 另一方面，在位於前側的位置8a之TCP受到不合格判定的 情況，使主槽輪35b和張力槽輪35a 一起反轉Tcp之一個 間距里，並使載送膠帶5朝向反方向移動（步驟SU)，使 位於探測卡8之前側的位置8a之Tcp移至後側的位置8卜 2192 -8267-PF；Ahddub 20 1321818 」後’執行前面所說明之由步驟咖至步冑聊—樣的動 作，並使該TCP之外部端子和後侧的位置8b之探測器81 接觸（步驟S24)。 接著，對接觸後側之位置8b的探測器81之Tcp執行 再測試(步驟S25)，並對該TCP進行合格判定或不合格判 定(步驟S26)。在此，在再測試之導通檢查檢測到接觸不 良的情況，雖然有馬上進行不合格判定之第—處理形離， 及使載送膠帶5側微動，或使探測卡工作台”則微動，而 進行接觸不良消失之位置是否存在的嘗試動作之第二處理 形態，但是進行第二處理形態較佳。 再測試之結果，交付再測試之TCp受到第二度的不人 格判定時’讀定為不良品’並驅動退貨衝帛26b(步： S27a)。另一方面，在第二度受到合格判定時，確定該Tcp 為良品，並驅動記號衝頭26a(步驟S27b)。 接著，在步驟S22或步驟S25，當初位於前侧之位置 8a的TCP受到合格判定，且位於後側之位置心的Tcp受 到合格判定之情況，執行步驟S12(步驟S28)。 另一方面，位於後側之位置8b的Tcp受到不合格判定 之情況，執行和前面所說明的步驟S12及步驟si3 一樣之 動作，吸附板34停止吸附载送膠帶5,並放開載送膠帶5(步 驟S29)。接著，使主槽輪35b和張力槽輪35a 一起轉動 之一個間距量，並使載送膠冑5前進，而使位於探測卡8 之後側的位置8biTCP移至前側的位置8a(步驟s3〇)。然 後，執行前面所說明之由步驟s〇3至步驟s〇7 一樣的動作， 2192-8267-PF；Ahddub 21 1321818 .並使該tcp之外部端子和前側的位置8&之探測器8ι接觸 (步驟S31)。 接著冑接觸前侧之位置8a的探測器81之TCP執行 再測試（步驟S32)，並對該TCP進行合格判定或不合格判 定（步驟S33)。 該再測試之結果，交付再測試之Tcp受到第二度的不 合格判定時’確定為不良品，並驅動退貨衝頭⑽(步驟 S34a)另方面，在第二度受到合格判定時，確定該TCp 為良品，並驅動記號衝頭26a(步驟S34b^然後，執行步 驟 S12。 如此，若依據本實施形態，可將在最初之測試受到不 〇格判疋的tcp自動地交付再測試，而不會將TCp處理器 停止。又，作為不合格判定之原因，雖然有由一方的位置 之探測器81所引起的TCP之接觸不良或定位不良，但是如 本實施形態之TCP處理器所示，藉由以和在最初之測試之 Φ 探測卡上的位置相異之其他的位置之探測器81進行再測 試，而有變成良好的接觸狀態之可能性。因而，本來係良 品之TCP藉由再測試而可判定為良品的結果，TCp之良率 提高。而且，如前面之說明所示，因為可自動地再測試而 不會將測試裝置停止，所以測試裝置的運轉率提高之結 果’測試之生產力提高。 尤其，在本實施形態，因為利用和一方之位置8a對應 的對準記號51，進行TCP之定位，所以位於另一方之位置 8b的TCP相對地易變成定位不良。可是，在此情況，亦在 2192-8267-PF;Ahddub 22 1321818 將TCP移至位置8a後，利用該TCP之對準記號51進行Tcp 之定位的結果，該TCP得到更正確之定位狀態，因此，可 有效地得到合格判定。 又，不合袼判定之原因，雖然不僅TCP的定位不良之 情況’而且有因在各位置8a、8b設置多支的探測器之 其中之一，發生針尖劣化的情況，或隨著推壓力不足而接 觸電阻值增大之情況，但是若依據本實施形態之Tcp處理 器2’藉由以良好的位置測再測試，而可有效地得到合格 判定。因而，消除將良品之Tcp當作不良品處理的問二， 得到良率提高之效果。此外，作業員不必將測試裝置暫停， 可更提高裝置之運轉率·。 在此，雖然步驟S32的再測試係對位於探測卡8上之 前側的位置8a之TCP進行再測試的步驟，但是此時 交付測試之TCP(在此為第3個）接觸探測+ 8上的後側之 位置8b。因此’在該步驟S32之進行再測試時同時亦可 將位於探測卡8上之後側的位置8b 試。 ^ 交付最初的測 在此情況，替代步驟S32〜步驟咖之步驟n，而 以下說明之步㈣（步驟S41〜步驟如；參照第5圖 不僅交付再測試之TCP(在此為第2個)，同時對於位於載 送膠帶搬運方向A的後側，並位於探測卡8的： 置8b之TCP(在此為第3個）進行測試（步驟mu 的位 然後’首先對交付再測試之Tcp進行判定（步驟 其結果，交付再測試之TCP受到不合 2)〇 列疋時，確定為不 2192-8267-PF;Ahddub 1321818 良品，並驅動退貨衝, 』啤ZbbC步驟S43a)。另一方面，交付 再測試之TCP受到合枚主丨一。士 格判疋時，確定該TCP為良品，並驅 動記號衝頭26a(步驟S43b)。 然後#斷交付和再測試同時進行之最初的測試之 TCP(在此為第3個）是在：$ 5,丨人& f

^疋否又到合格判定（步驟S44)。在該TCP 文到合格判定的情況，禮定或白。 释疋為良品，並驅動記號衝頭26a(步 驟S45)。接著，執行步趣ςΐ{) 丁文驟S12。另一方面，在該TCP受到

不合格判定的情況’執行步驟S29。 如此’作成和再測試同時進行之最初的測試時，可更 提高測試之生產力。 以上所說明之實施形態，係為了易於理解本發明而記 載者不疋為了限定本發明而記載者。因此，該實施形態 所揭示之各要素係、亦包含屬於本發明的技術性範圍之全 部的設計變更或均等物的主旨。 8上之 例如’在上述之測試動作’同時進行在探測卡 雙方的位置8a、8b之TCP的判定 8a、8b 在雙方的位置 之TCP都變成不合格判定的情況，亦可將前後之位置8a、 8b的TCP交換後進行再測試動作。此外，在雙方的位置 8b之TCP都變成不合格判定的階段，在進行該錢之前， 使推桿裝i 3上下動作多次後進行再戟動作較佳因而 可能得到合格判定。 取得和後側的位置 ’和實際所拍攝之 位置座標之位置偏 又’亦可作成在位置偏差修正時， 8b對應之已登記的對準記號之位置座標 和後側的位置8b對應之對準記號51的 2192-8267-PF;Ahddub 1321818 差資訊》又，亦可使用和前側的位置8a對應之對準記號 51的位置偏差量和與後側之位置8b對應的對準記號51之 位置偏差量的平均值。 又，在該實施形態，雖然因為利用和一方的位置8&對 應之對準記號51進行TCP的定位，所以位於另一方的位置 8b之TCP相對地易變成定位不良，但是和另一方的位置卟 對應之另一方的對準記號51亦可在需要之情況利用。例 如，在後侧的位置8b之TCP發生不合格判定的情況，亦可 根據後側之對準記號51進行定位後，在不移動Tcp在此狀 態，進行再測試，有因而得到合格判定的情況。據此，可 大幅度減少將相機工作台61大為移動以求得2處之對準記 號51的位置之移動㈣，因為可將第二相機此之移動時 間所伴隨的生產力之降低抑制成最小，所以係實用。 ，又，隨著數萬次之推壓應力，因為多支探測器81變 形，所Μ和TCP之測試基座接觸的全部之探測器逐漸變 成偏離對應的各測試基座之巾央的變動狀態。因此，至在 某-探測器81檢測到接觸不良為止，將探測卡工作台7朝 向X轴方向及Υϋ方向依次微動，以求得可移動區域，並 特定在現況之探測器81的最佳之中央位置。藉由據此進行 tcp的定位，而可進行在現況之探測器81的最佳之定位。 又根據所要，預先保存所得到之可移動區域資訊和中央 位置資訊，在實施測試時，藉由利用那些資訊進行位置修 h可進行最佳之定位。因而，成為不合格判定之頻次減 良率和測試的生產力提高。 2192-8267-PP；Ahddub 又，在各測試基座和與該測試基座接觸的各探測器 之間發生的接觸電阻值，因數萬次之推壓應力、探測器Μ .前端邛之位置偏差、形狀變化、彈性特性的變動、電氣 性接觸部位的狀態等，而變動或增大。因此，亦可對發生 不《格判定之TCP的探測器81，在該探測器81之可容許 的範圍内，變更推桿裝置3之吸附板34的推壓方向之高度 條件’執行再測試。在該再測試得到合格判定的情況，可 將該TCP確定為良品。 又，在利用導通檢查可實用上量測接觸電阻值之Tcp 的情況，亦可作成在不合格判定後，在依然是現狀之推壓 狀態下，執行導通檢查，量侧各個之接觸電阻值。然後， 根據因TCP之各1C端子的種類（輸入端子、輸出端子、電 源端子）而異之可容許的最大電阻值，判斷接觸電阻值之好 壞，第一，在檢測到接觸電阻值異常之探測器81的情況， 將推桿裝置3上下動作後，再量測該探測器81之接觸電阻 值，在恢復正常狀態的情況，在此狀態執行再測試。第二， 在接觸電阻值正常的情況，因為該Tcp為不良品的可能性 高，所以移至其他的探測器81後進行再測試。 又，吸附板34亦可為和TCp之排列方向（χ轴方向、γ 軸方向）對應並分割的構造，此外’分割之吸附板亦可具備 可相對地移動的微動機構（省略圖示藉由這種分割移動 構造’可進行使複數TCP間之間距和對應的探測器群之間 距一致的調整。此外’載送膠帶5之薄膜雖然因間距調整 而變成彎曲之狀態，但是因為其調整寬度係約數十微米， 2192-8267-PF;Ahddub 26 在實用上可實施。但，探測卡側之探測胃81 W TCP間間距 預先形成例如窄至約數十微米較佳。 若依據如上述所示之分割移動構造，在同時測試多數 個（2、4、8、16個）TCP的情;兄，可確實地應付熱膨脹所伴 隨之TCP間間距的變動、或因窄間距而要求位置精度之 tcp、或複數端子之大型的TCp之κρ間間距變寬的情況、 或載送膠帶5 U膜的伸長變動等。結果，因為可更減少 位置偏差所伴隨之不良品判定的發生頻次，所以可同時測 忒更夕數個（2、4、8、16個）TCP，因此，可提高測試之可 靠性及生產力。 【工業上之可應用性】 本發明之TCP處理裝置，對提高元件製造之良率、測 试的生產力、及高效率地進行TCP測試有效。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示包含本發明之一實施形態的TCP處理器 之TCP用測試裝置的整體正視圖。 第2圓係在該TCP用測試裝置之探測卡工作台的平面 圖。 第3圖係表示本發明之一實施形態的TCP處理器之動 作的流程圖。 第4圖係表示本發明之一實施形態的TCP處理器之再 測試時的動作之流程圖。 2192-8267-pP;Ahddub 27 第5圖係表示本發明之一實施形態的TCp處理器之再 Μ試時的其他形態之動作的流程圖。 【主要元件符號說明】 1〜TCP處理裝置； 3〜推桿裝置； 6a、6b、6c〜相機； 8 ~探測卡； 21 ~捲出捲盤； 24a、24b〜膠帶導輪； 25a~捲出極限滾輪； 25c〜入口侧導輪； 25e〜出口侧副槽輪； 26a~記號衝頭； 31〜伺服馬達； 3 3〜推桿本體部； 35a張力槽輪； 36~機架； 52〜保護膠帶； 8卜探測器； 2〜TCP處理器； 5〜載送膠帶； 7〜探測卡工作台； 10〜測試頭； 2 2 ~捲繞捲盤； 23a、23b、23c~ 間隔滾輪； 25b〜入口侧副槽輪； 25d~出口侧導輪； 25卜捲取極限滾輪； 26b~退貨衝頭； 32〜滾珠螺桿； 34〜吸附板； 35b〜主槽輪； 37~LM導件； 61〜相機工作台； 361-托架》 2192-8267-PF;Ahddub 28

Claims (1)

1. 丄丄 8 丄丄 8 修正日期：98.7.27 第95130793號申請專利範圍修正本 十、申請專利範圍： •種TCP處理裝置，應用和同時測試之複數tcp對. α的探測卡’藉由使載送勝帶上之複數Tep的外部端子和 镓測卡之接觸端子以電氣式接觸，而可將複數TCP同時交 付測試， 其特徵在於： 在最初之測試同時測試複數TCP，將在該同時測試受 •到不合格判定之不良品判定TCP，移至和該不良品判定Tcp 所接觸的接觸端子相異之其他的接觸端子之位置後，交付 再測試。

   2·如申請專利範圍第1項之TCP處理裝置，其中將朝 向載送膠帶之搬運方向串列地排列的複數Tcp、或朝向載 达勝帶之搬運方向並列地排列的複數Tcp、或朝向載送膠 帶之搬運方向串列地排列的複數Tcp及朝向載送膠帶之搬 運方向並列地排列的複數TCP同時交付測試。 3. 送膠帶 準記號 如申請專利範圍第 1項之tcp處理裝置，其中在載 ’设置用以對各TCP特定各TCP 的位置之定位用對 根據至少-個之該對準記號進行和同時交付測試的複 數TCP之外部端子對應的接觸端子之定位。 4. 如申請專利範圍第i項之TCP處理裝置，i中將該 不良品判定KP交付再測試時，將和該不良品判定、Tcp^ 起被推壓之未檢查的TCP同時交付測試。 5. 如申請專利範圍第i項之Tcp &罝，其中將該 29 2192-8267-PF1；Ahddub 1321818 不良。。判疋TCP交付再測試時，將 起被推遷之已檢查的Tcp 二該不良品判定TCP 一 6.如申請專利範圍第i項之 - 該同時測試受到不良品判定 &理裝置，其中對在 該不良品判定⑽所接觸的接觸TGP’在移至和 的位置做再測試之前，可先::::目異之其他接觸端子 之接觸端子，，丨、Α Μ不良品判定TCP所接觸 订至J 一次之再測試。 7·如申請專利範圍帛6項之Tcp产 該不良品判定ΊΧΡ之外部 &…置’其中變更 ^ , 叩 I、該外部端子接觸的接觸 知子之減條件’並進行該再測試。 觸’接觸 :·如申請專利範圍第7項之似處理襄置 端子之接觸電阻，在檢端子接觸的接觸— 、、〜k可谷許的接觸電阻值之TCP. 的情況’變更該推墨條件，並進行該再測試。 么、9.如申請專利範圍第1項之Tcp處理裝置，其中利用 ㈣TCP之外部端子和與該外部端子接觸的接觸端子之電 氣接觸狀態的導^ 、 —功，至檢測到某一接觸端子之接 觸不良為止’將移動探測卡的探測卡工作台朝向X軸方向 及/或Y軸方向微動’以求得可移動區域； 特定在該可移動區域之中央位置； 根據該中央位置進行TCP之定位。 1〇.如申請專利範圍第1項之TCP處理裝置，其t該 TCP處理裝置具備吸附、推塵構件，同時吸附複數TCP並 向該接觸端子推壓； 2192-8267-PFl;Ahddub 30 1321818 該吸附、推壓構件和同時測試之TCP的排列對應並至 少二分割； 該分割之吸附、推壓構件可調整彼此的間隔，使可和 同時測試之TCP的間距對應。

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