TW200821241A - Transported object storage system - Google Patents

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TW200821241A TW096132397A TW96132397A TW200821241A TW 200821241 A TW200821241 A TW 200821241A TW 096132397 A TW096132397 A TW 096132397A TW 96132397 A TW96132397 A TW 96132397A TW 200821241 A TW200821241 A TW 200821241A
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TW096132397A
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Yoshiya Wada
Tatsuo Tsubaki
Masanao Murata
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Asyst Technologies Japan Inc
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Description

200821241 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種被搬送物儲存系統，用以暫時地儲存 =積：：送物，而此被搬送物係藉由工薇或類似地點中 具而：搬送。在此，「被搬送物」意思是指產品、 二，、°”牛、物品、成品、局部完成品、商品等，或 者，思指用於容納這類產品而已經藉由搬送載呈而被 或欲被搬送的箱子或容器。 【先前技術】 ί 習知地’在半導體製造工廠中，強烈地需要提升製造效 率，^減少產品成本且增加生產量。為此，對於在工薇中 的搬送設備或設施，以下的各點均需要改進擎 空間的有效利用；⑺減少建構成本；⑶縮短建構期= 以及，⑷縮短在搬送設施進行操作之後的搬送時間。 在半導體製造工廠中，諸如GHT(頂上吊車搬運）儒（頂 上搬送滑動）之類的搬送載具系統，係用於在工薇的天花 板上所安裝的軌道上行進且搬送物體。 至於此種搬送載具系統，早已作了报多不同的研究與發 展。日本專利公開案平1(M嶋7揭示了 _種成品搬送^ 統（亦即’物品搬送系統）。在此，「成品」係指被搬送物。 此種成品搬送系統設有一個天花板運行車輛，其係沿著 工廉天花板附近所安裝的執條而行$’且藉由適當地^前 或逆向旋轉捲繞鼓，而上下移動一夾頭裝置，以便將皮帶 捲繞在此捲繞鼓上或將皮帶從捲繞鼓上捲開。在此系統 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 6 200821241 中’上面放有成品的一個儲存架構件係被安裝於地板上 方，且位於執條底下。 結果，由於儲存架構件係被安裝於地板上方且位於軌條 ;下，所：：可獲得以下的效果：可實現加工站、地板等 行運送與接受成品所需的時間。由天化板運订車輛而進 【發明内容】 +-般來說’在建構的情形中，對於系統建築操作來說， 而要很長的時間及很多的步驟。在 m ^ , 仕遷構的h形中，這些步 私其中一項是要對儲存架上的搬送二 -個校正量(亦即，校正值)。之分止位置指出 由於正常地被裝附至行進中的執 送載具可則貞;_止位置。rrrt碼的緣故'搬 L之y驟如而在搬送載具的情形巾 夕 e „ L 月形中如止位置及被搬送物 :據放位置是彼此不一致的。此種不—致之 具之間有所不同，這是因為 ^載 T . 、疋口為·（1)在行進方向上的誤差， (2)在正父於行進方向的方向 向等上之块差，（3)在載具旋轉方 4上的祆差，而且，因為這些誤差 小是不同。另外，對於一個搬逆哉目+載具之間的大 耘度在儲存架之間係有所 致之 的安装條件在儲存架之間有所差二因:述=架對執條 案所揭示之f知技術巾，在料 2專利公開 係以手動方式輸入（亦即，指出厂以不同的校正値 出&作㈣對所有儲存架及所有搬送載具執 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 7 200821241 行的緣故’所以，此指出操作所 大。 ”穸驟數目报龐 二匕，本發明之目的是要提供一種被 可減少用於指出搬送载且 、物儲存系統， t 〇 U對於儲存架的位置之步驟數 .本發明之上述目的可藉由一種被搬送物 .成，其包含：一個搬送载具， 、，、、、先而達 搬送各具有一握持部的一個個:|木軌道行進，且 ，木，具有-架板’·-料位板，被放置於該 物健 八上可供被搬送物放置，而具有多群突起，藉由卡= 別的被搬送物之底表面上所形成的-群凹面部，各^ σ 可支撐住放置在定位板上的各別的被搬送物，·以及，2 !編二魏，以預定間隔被裝附於執道上;： Γ：：Γ 二::⑵一個握持器，用於握持該握持部；以及，(3 置.二裝置’用於校正該搬送载具沿著執道的停止位 位板係被預先設置在架板上的職 γ以分別地決U每㈣碼f訊及制的=吏 =對座標;搬送载具係根據該多數個編碼資訊其= 持:=置致:V⑴一群突起上所放置的被搬送物之握 丄二=::2)已停止的搬送载具之握持器之位置， 資t二的Γί量’可以被記錄在該校正裝置中作為校正 多數個係根據所記錄的校正資訊’而相對於該 個、、爲馬貝矾令另一個編碼資訊以校正停止位置。 312@/__書(補件)/96-12/96132397 8 200821241 根據本發明的被搬送物儲在 於天花板上的軌道而行r:統’搬送載具係沿著安裝 住物體。在執道底下，可以例如懸吊的狀態握持 y _ /、被搬送物放置的被搬送物儲在 采’係被安裝成例如從天花相捋 f 瑪—吊下來的狀態。多數個編 上預⑼隔而被裝附或黏接於被搬送物儲存架 ;方=之一個區域上。搬送載具可自動地行進，同 L 二本身可根據所裝附的編碼資訊而判斷行進或停止。 在安裝被搬送物儲存架的情形中，安裝有—個 位板，而各定位板均具有—群突起。每個定位板係以預定 間隔相對於多數個編碼資訊巾_ 、 要^ ^貝汛中個對應的編碼資訊而設 置。⑴其中一個定位板之座標，與⑵根據相關的編碼資 訊而已經停止的搬送載具之握持器之座標，兩者學 差量係被校正裝置所記錄。 、°、 在此情形中，在安裝被搬送物儲存架的情形中，美於該 -個編碼資訊的校正資訊係被校正裝置所記錄。因：，、： c於包括此一資訊的這些編碼資訊係以預定間隔被設置 =，此記錄好的校正資訊可以被發展或應用到其他的編碼 以此方式，根據本發明的被搬送物儲存系統，可以提供 這樣的-種被搬送物儲存架’其中，相對於被裝附於執道 上的條碼，被搬送物所放置的架板之該組突起之相對位置 上的誤差，就實際意義來說可以被認定為零。因此，'可以 減少或縮小指出關於被搬送物儲存架的搬送载具之位= 校正的步驟之數目。 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 9 200821241 持器係以懸吊握：二轨道係被安裂在天花板上，握 存架是從執道懸吊;夹大悲而握住此握持部’被搬送物館 附於執道之下。而且’該多數個編碼資訊係被裝 根據此型態，執道係被 架係從執道縣吊下I 、念祕\ 匕板上。破搬送物儲存 與懸吊，且二二番，以藉由握持器而被握持 的編碼資訊，可二LT。被裝附於執道之 易地讀取。因ΓΓ 編碼資訊讀取聚置而輕 存系統。口此’可以貫現安裝於天花板上的被搬送物儲 裝i本:二型態中’該校正裝置具有-個外部輸入 資訊的誤差^入欲被記錄在該校正襄置内作為校正 根據本型態，由於校正裝置具有外部輸 :對而應且於外部輸入裝置所輸入的誤差量而執行二 :，可以記錄該細微調整的結果以作為校正資訊。 因此’可以更加容易且確實地安裝被搬送物儲存系統。 八t本發明之另—型態中，相對座標在垂直轴上放置有⑴ 送物所放置的多數突起中的—組突起而作為頂 的-:二 =:心，以及⑵該多數個編瑪資訊中對應 根據本型態，圖形中心和以預定間隔放置的其中一個對 應的，碼資訊係被設置於垂直軸上。因此，藉由執行一校 正，能輕易地執行對於另一編碼資訊的校正，致使，垂直 3咖/發明晒書(補件)抓12/96132397 1〇 200821241 轴可以與搬送载具之握持器之垂直轴相一致。 停巧而Η月之3 i悲中’多數個編碼資訊包含數個主要 Λ1 該編碼資訊讀取裝置包含一個條石馬讀取機。 取很容易構成主要條碼，而且，由於條碼讀 為之緣故，很谷易讀出主要條碼。因此，對於 且 末况，很容易自動地行進且停止。 、戰八 在本發明之另-型態中，絲有—個或多•位板 =定位板包含該^位板’且可以個別地被固定在架板 加=本型態，該-或多個定位板可以彼此個別地固定在 2 因此，比起直接在被搬送物儲存架上形成該群突 起的情形’在安裝好被搬送物儲存架之後，可以更 地執行該群突起之位置調整。 易 發明之另一型態中’各自包含有該被搬送物 的夕數個被搬送物儲存架，係沿著該執道而被安裝，而、 二H用與其中—個被搬送物儲存架上的被搬送物有 I」父正貪訊’以作為在另一個被搬送物儲存架上的校正 貧訊，該校正裝置可校正該停止位置。 根據本型態’藉由校正：⑴軌道與每個編碼資訊，與 )、在女^好所有被*送物儲存架的情形中對應的各個被 搬达物儲存架，兩者之間的相對位置關係，可以將其中一 個被搬送物儲存架之校正#訊發展或應用到另—個 送物儲存架。結果，並不需要個別地產生校正或調整，而 且，可以減少安裝被搬送物儲存架的步驟之數目。因此， 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-12/96132397 11 200821241 =? = =物儲存系統來說，可以增進安裝效率。可 以減少用於女I的時間、及步驟之數目。 了 在此型態中，軌道可以包含多數條圓形軌道、 接该多數條圓形執道的執道，而且，藉由使用二 圓形執道内所安裳的其中一個該被搬送物館存：：：條 搬送物有關的校正資訊，該校正裝置可以校正在:盆= 條开道Γ另一個該被搬送物儲存架上的停:：置： 存架之校正資訊，可以被發…二;J個被搬送物儲 乂很七展我應用到相同圓形執 另-個被搬送物儲存架。結果，不需要校正在相同圓形執 道内與個別被搬送物儲存架有關的搬送載具 ^ 置。因此，可以減少安裝被搬送物儲存架的步驟之^目位 =此’對於整個被搬送物健存系統來說，可以增進安裝效 另外’在此型態中，執道可以包含多數條圓形 一條連接該多數條圓形執道的執道，而且，萨 中-條圓形執道内所安裝的其中一個該心送物儲存； 上的被搬送物有關的校正資訊，該校正裝置可以校正/、 一條圓形執道内的另一個該被搬送物儲存架上的停止= 置。 在此情形中，藉由使相同圓形執道内連同未在相_ 執道内的所有被搬送物儲存架之安裝條件成為—致相 同圓形軌道内的其中-個被搬送物儲存架之校正資訊 可以被發展或應用於並未在相同圓形執道（亦即，、在另丄 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 12 200821241 個圓形執道內^ 圓形軌道為付個被搬送物儲存架上。結果’不管 架有關的=載=純正與所有個別的被搬送物儲存 送物儲存加^ I因此’可以減少安裝被搬 李统來驟之數目。因此，對於整個被搬送物儲存 糸^采5兄，可以增進安裴效率。 Λ、、主柱Y伴奴圖式所作的較佳實施例之詳細說明，可以更 地了解本發明特性、效用、與。 【實施方式】 參考附圖，以下將說明本發明之實施例。 圖㉝不作為本發明實施例的被搬送物儲存系統 整體結構。 士圖1所不，被搬送物儲存系統1 〇〇設有多數個圓形軌 條（亦即，製程内軌道）52〇a、52〇b、52〇c、及52〇d。被 搬送物儲存系統100亦設有一個跨置在圓形執條5_到 52〇d上方的圓形軌條（亦即，製程間軌道）520e。而且， (在此被搬送物儲存系統1〇〇中，圓形軌條52〇a到52〇d以 及圓形執條520e係經由連接執條52〇f而彼此連接在一 起0 藉此結構，可以在一個不需要退回的方向上，以執條 520a、520f、520e、520f、520b、520f、520e、520f、520d、 520f、520e、520f、520c、520f、520e、520a 等的順序， 驅動一個OHT型搬送載具（以下簡稱為〇HT)3〇〇，這一點 稍後將詳細說明。 如圖1所示’在圓形軌條520a到520d之周圍上，設置 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 13 200821241 有多數個半導體加工設備900。多數個半導體加工設備 910係被設置在圓形軌條520e之旁路上。多數個被搬送 物儲存架200(200a、200b、200c、200d···)亦沿著該多數 個圓形軌條520a到520d而設置，其中一個儲存架被顯示 於圖2中。 OHT 300將一 FOUP 400(其係為「被搬送物」之一範例， 稍後將詳細說明）放置於被搬送物儲存架200上，且搬送 此FOUP400，同時，在執條520a到520d上行進。藉此方 ί 式，在FOUP 400中所包含的基底會被半導體加工設備900 之一手臂取出，接受預定的製程，且被容納於FOUP 400 中。然後，藉由ΟΗΤ 300而搬送FOUP 400，致使，預定 製程會被相繼地實施於FOUP 40 0中的基底。 圖2顯示被搬送物儲存架2 0 0之細部結構。 在圖2中，被搬送物儲存系統1 〇 〇主要是被安裝在天花 板500上。從天花板500通過懸吊構件51〇而建構一執條 ( 520。此軌條520被建構成圓形。軌條52〇在此路線的中 段分支朝向多數個目的地。在分支點附近設置有被搬送物 儲存架200。以預定間隔裝附有多數個編碼資訊（以下稱 之為主要條碼）530a到530e。以下，將詳細說明主要條碼 530a 到 530e。 被搬送物儲存架200係被設置成懸吊在軌條52〇底下的 狀態。更明確地說，每個懸吊構件240與241之一端係以 垂直向下的方向被設置在執條520上，而通過各別的支撐 構件230 °懸吊構件240之另一端係藉由螺帽251而被固 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 14 200821241 定在架板250之一端上。懸吊構件241之另一端則藉由螺 帽252而被固定在架板250之另一端上。藉此結構，架板 250被設置成平行於一水平平面。 在架板250之面對執條520的一表面上，設置有一個或 多個定位板260。定位板260包含一板狀構件，其上設置 • 有多數個運動銷261，這一點稍後將詳細說明。因此，在 , 架板2 5 0之表面上，鋪設有一個或多個定位板2 6 0。 其次，以下將說明OHT 300，此OHT是在懸吊於執條520 的情形下移動。 OHT 300設有：主要本體部310、升降裝置320、懸吊 帶330、及握持器340。OHT 300能夠沿著執條520行進， 且藉由懸吊帶330而上下移動升降機320。在升降裝置320 之下部設置有握持器340。握持器340其形狀係用以握持 住FOUP 400之凸緣420(在本發明中為握持部之一個範 例），這一點稍後將詳細說明。例如，握持器340包含一 , 對夾緊構件，用以從左右方向夾緊凸緣420。 OHT 300包括：控制裝置350、校正裝置351、及資料 讀取裝置360(以下稱之為條碼讀取機），如圖8所示。控 制裝置350根據條碼讀取機360所讀取的資料，控制驅動 裝置370之驅動及停止操作。而且，控制裝置350控制懸 吊帶330之捲上與捲下操作，且亦下令進行握持器340之 操作。校正裝置351提供校正資訊給控制裝置350。稍後， 將詳細說明校正裝置351之詳細結構。0HT 300亦設有一 個接收器裝置，用以接收來自於外部輸入操作部660的信 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 15 200821241 號（參考圖9)。控制裝置35〇提供來自於外部輸入操作邛 660^的指令到校正裝置351上。校正裝置351記錄所提: 的指令，以作為校正資訊。控制裝置35〇根據此指令，校 正驅動裝置370之驅動與停止控制。在此，外部輸入操^ 部660是一個可攜帶式遙控器、向前及向後開關、或類似 物。 、 其次，將說明作為被搬送物的範例之 FOUP(Fr〇nt-〇pening Unif ied p〇d ;前開式综合儲存匣）。 在此，F0UP係由SEMI標準E47.丨所規定。ρ〇υρ是一個載 具’其用途是用於搬送及儲存微型環境方法之半導體工廠 中所使用的300職晶圓，而且是一個前開口式g體搬送用 的儲存盒或容器。 F0UP4GG設有主要本體部41{)及凸緣42()。主要本體部 410為箱形’能夠容納被搬送物。—片或數片晶圓係被容 納於此箱形物之内部空間中。主要本體部410在其下表面 具有數個凹面部，而這些凹面部係用於卡合住定位板260 之運動銷261之凸面部之突起。 其次，將說明安裝被搬送物儲存系统1〇〇 &情形之步 驟。圖3顯示將被搬送物儲存# 2〇〇安裝至執纟.上之 v知圖4A與圖4B顯示將主要條碼53〇a到53〇e裝附於 執條5 2 0上的情形。圖Λ_ 固4Α顯示從執條520之底表面底下 觀察的情形，而圖4Β顯示執條52〇之剖面。 如圖1所示’安裝有懸吊構件24G與24卜以及架板 250 °接著’如圖4Α所示’主要條碼5咖到53〇e係以預 312XP/發明說明書(補件)/9642/96^397 16 200821241 ^間隔L而裝配至轨條52〇上。在此情形中，如圖4β所 不，軌條520具有c字型的形狀，而其内部空間是中空的。 主要ir'碼530a到530e係以垂直向下的方向被裝附至轨條 520之表面上。 乂其次’圖5顯示將定位板26〇設置在架板gw上的情 形:圖6A與圖6B顯示固定此定位板260的範例。圖6a 顯不定位板260的平面圖，而圖6B為其侧視圖。 如圖5所示’定位板260係被設置在架板250之表面 上。疋位板260具有矩形的形狀，且設有多群運動銷261， 使二個運動銷261成為一群而用於一個定位板。例如，在 圖5中，兩組運動銷261(其中，這兩組各包含三個運動 銷261)係被放置在定位板26〇之一板片上。 然後，如圖6A與圖6B所示，將墊圈63〇相對於定位板 260中所形成的縱向孔洞262而夾緊，而且，藉由螺帽 610，以穿過此螺帽的螺栓62〇建立暫時性的結合。 其次，如圖5所示，使用位置指向器6〇〇，以便使位置 指向器600所發射出來的垂直光線與各個條碼53〇a到 530e之末端部分p相配合。藉此，以垂直向下方向從位 置指向器600所發射出來的光線，在定位板26〇之上部上 看起來為一個光點。在此情形中，可藉由在圖6A中的水 平與旋轉箭頭方向上移動定位板26〇之位置而實施調 整，致使，三個運動銷261之重心位置G(亦即，「圖形中 心」或「形心（centroid)」）可以與位置指向器6〇〇之光 點相一致。也就是說，根據定位板26〇之裝配方法，可以 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 17 200821241 精確地只把疋位’其精確度足以使⑴上面欲放置聊 的各群突起’與⑵分別被裝配於正對著這些突起的 軌道上'每個對應的條碼53〇&到53〇e，兩者之間的相互 位置上的5吳差可以在實際感受中被認定為零。 了定位板260的定位調整之後，事先被暫時固定 、、目1G ’則以-預定的旋轉扭矩而鎖緊，致使，定位 板260可以被固定於架板250上。 =-提’雖然在本實施例中使用可發射出雷射光束的 位^曰向器但並未侷限於此。例如，位置指向器可 以是-個在繩索等物之尖端的吊窗錘(sash _⑻。而 定位板260在本實施例中為矩形’但其形狀並未偈限 於此，，定位板260可以具有其他任意的形狀。 以下將說明，在安裝好被搬送物儲存 300之位置調整。 &便ϋϋΓ 圖7與圖8顯示相對於儲存架的搬送载具之位置校正才匕 :方法的範例，此方法是在本實施例的系統建構 執行的。 厂7所示，_P 400是以手動方式被放置於運動銷 26上。在此，由於FOUP 400之底表面具有能夠卡合住 ::運動銷261的凹面部，所以，運動銷261能夠卡合住 追些凹面部。 而=8所示，〇HT3〇°係以箭頭A的方向沿著軌條52〇 ^動。然後’結合於OHT 300中的條石馬讀取機36〇 取主要條碼530a’致使’可藉由控制裝i 35〇之作用而 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 18 200821241 停止 ΟΗΤ 300。 =圖8所示，假設··（1)在〇耵3〇〇之停止位置處的握 持器340之垂直方向上的中心軸，與（2)在F〇up 4〇〇之凸 緣420之垂直方向上的中心軸，兩者之間產生一誤差u。 在此情形中，為了能穩定地放置及/或搬送F〇up 4〇〇，所 以，需要藉由0HT 300之驅動裝置，以調整或校正誤 L1。 亦即’在圖8的0HT 300中’誤差^變成校正値。此 項調整並非僅用於箭頭&的方向而已，而是，也可以正常 ，用於行進方向、正交於行進方向的方向、旋轉方向、及 咼度方向等之組合。 接著將芩考圖9说明將校正値指出予ojjt 3〇〇的方 法。圖9顯示如何將校正値指出至〇HT 〇。 如圖9所不，使用外部輸入操作部66〇作為指出之用。 在指出過程中，首先，#由操作外部輸人操作部660,操 作人員（操作者）能令校正裝i 351記憶〇HT3〇〇目前停住 的位置之座標値（χ〇、γ〇、。 接著，操作人員操作外部輸 移動至一個正式位置，在此位 握住F0UP 400之凸緣42〇。 入操作部660，使0HT 300 置，握持器340可以正確地 在：9中，移動操作所需要的移動量，係表示為誤差 L卜正吊情形下，作為誤差u，亦需要在垂直方向、上 、及旋轉方向上的移動。纟〇ht_移動到正式位 {缸作外部輸入操作部66〇，致使，移動過後的耐 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-12/96132397 19 200821241 3 0 〇之停止位置的庙舞 〆 罝町厓铩值（X卜Y1、Z1、θ 1)，可以被校 衣置351所η己住。事先記住的座標值（χ〇、γ〇、、$ 〇與此時所記住的座標值⑴、n、m)之間的差異， 則變成校正値。因此，菸你从Μ k 才木作外°卩輸入操作部660，致使， 此校正値可以被校正裝置351 衣直扣1所计异，而且，可以被校正 衣置3 51所記憶（亦即$伟彳& ^ P 口己錄）〇杈正裝置351以此方式記憶 住校正值的此項操作，就是指出操作。 藉由使用記錄在校正梦署 吐ητ 衣置351中的誤差L1作為座標 值，0ΗΤ 300能控制οητ 3〇〇之酿叙如 刊υ之驅動。在此，由於主要條 到5,是以相等間隔設置，且由於主要條碼5心 到⑽及定位板26〇之位置係正確地彼此配合，所以， 主要條碼530b到530e之ϋ料ju、I：
Ue之块差變成與主要條碼530a之情 幵》中相同的校正値（亦即，★呉美 iL '决差L1)。因此，不需要多次 執行此誤差之調整或校正。# „ — 义仅正可以猎由OHT 300在短時間内 穩疋地放置及/或運送F〇up 4〇〇。 如讀述，在被搬送物储存系統刚中，根據一個主要 條碼（亦即，主要條碼530a)所得到校正資訊（亦即，誤差 L 1 ) ’係被§己錄在校正裝晉q ς 1 + 衣置351中。然後，控制裝置35〇 可以將此校正資訊發展或岸用 狀a應用至4距離隔開的 530b到530e。另一方面，由於』王要仏馬 y , 由於夕群運動銷261係一體地 形成於一個定位板（亦即，定位 疋位板260)上，所以，不需要 對每個個別地定位運動銷261。因此 少安^被心物儲存“ m的步驟之數 指出時間）。 7 π月匕藏夕 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-12/96132397 200821241 可以使用外部輸入操作部β 6 〇 (例如：可攜帶式遙控器或 類似物）’而執行此指出作業，而且，可以記錄此校正資訊。 因此，可以更加容易且確實地安裝被搬送物儲存系統1〇〇。 在此情形中，主要條碼53(^到53〇e係被設置在垂直軸 上，而這些條碼的其中之一係被設置在F〇up 4〇〇所放置 的一群突起之頂點所形成的圖形中心（亦即，圖形的形 ^ )且以專距離被隔開。然後，校正此垂直軸，使OH? 3 〇 〇 之握持器340可以適當地握住F〇Up 4〇〇。因此，可以輕 易地執行對其他主要條碼53〇b到53〇e的校正。 在此情形中，含有多數個板體或片體的定位板26〇可以 彼此獨立地被固定至被搬送物儲存架2〇〇。因此，相較於 運動銷261直接形成於被搬送物儲存架2〇〇上的情形，在 被搬送物儲存架200建好之後，可以輕易地調整運動銷 261之放置。 在被搬送物儲存系統100中，由於根據一個主要條碼 530a的校正資訊（誤差u)係被記錄在校正裝置35丨中， 所^控制裝置350可以發展此校正資訊，以用於OBJ 之停止位置之校正’如同詩在相同軌道（亦即，沿著相 同軌條520a)内的其他各個被搬送物儲存架2〇〇。結果， 不需要個別地將〇 H T 3 〇 〇之停止位置指出予相同軌道内的 2被搬送物儲存架㈣，所以，可以減少安裝被搬送物 =糸統1G()的步驟之數目（特別是，減少指出過程及指 出日守間）。 而且’在被搬送物儲存系統⑽中，由於根據此一主要 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 200821241 條碼53〇a的校正資訊(誤差u)係被記錄在此 351中，所以，#由使被搬送物健存系統⑽、 搬送物儲存架之安裝條件統一，控制裝置3斤= 此校正資訊發展或運用於OHT3〇〇之停止位置之校正，將 同不在相同執道中的各個其他被搬送物儲存架〜。： 樣。結果，不需要個別地將0ΗΤ 300之停止位置指 個被搬送物儲存架2〇°。可以減少被搬送 物储存系、统100的安裝步驟之數目（特 程及指出時間）。 尺夕相出過 附帶-提，在本實施例中，每個定位板260具有一 矩形形狀。然而，本發明並未侷限於此。反而，可以具有 ，何其他任意的形狀。而且，可以使用其他構件或凸面 部’以取代運動銷2 61。 而^在被搬送物儲存系統_中，使用主要條碼作為 扁馬資汛且使用條碼讀取機作為編碼資訊讀取裝置。然 ί:而，本發明並未侷限於此。反而，可以使用例士口 ic標藏（亦 即，REID)、二維條碼等其他任意的編碼資訊。 ，在本實施例中，執條52〇相當於「執道」，FGUP400相 §於「被搬送物」。〇HT 300相當於「搬送載具」。多數個 運=銷261相當於「一群突起」。主要條碼53〇a到 2田於，多數個編碼資訊」。條碼讀取機及資料讀取 衣f相當於「編碼資訊讀取裝置」。凸緣42〇相當於「握 持。卩」。决差L1相當於「誤差量」。外部輸入操作部66〇(例 如··可攜式遙控器）相當於「外部輸入裝置」。三個運動銷 22 312XP/發明說明書(補件)抓12/96132397 200821241
Ml之气心G相當於本發明之「圖形中心」（形心）。 在不違背本發明之精神或主要特徵之前提下，可以盆他 =的：式實施出本發明。因此，本發明這些實施例在此 僅被=為是說明性而非限制性，而本發明之範圍應該由以 下的申請專利範圍而非上述說明所界定，並且， 利祀圍之意涵與等效範圍内之所有變化均仍 【圖式簡單說明】 & {作為本發明實施例的被搬送物儲存系統之示意 v 卞曲圖。 物Γ =圖1的被搬送物儲存系統中連同㈣及被運送 物的一個被搬送物儲存架之側視圖。 圖3是顯示用於將圖2的被搬送 上的步驟之側視圖。 文衣匐軌1木 圖4A是圖3的執條之底視圖， 於軌條上之情形。 ΰ』不將一主要條碼裝附 ^圖4Β是圖4Α的軌條之剖面圖。 圖5是說明在實施例中 之立體圖。 ％疋位板放置在架板上的情形 圖6Α是顯示用以固定# a 0 fiR e ^ 疋4疋位板的範例之平面圖。 圖6B疋圖6A之側視圖。 ，7疋被搬达物儲存架的側視圖，說明 儲存架的搬送載具之位¥> 寸、被“物 法是在本wt 指出方法之-範例，而此方 二 =構系統結構的情形下而執行的。 疋、料架之另一侧視圖，說明位置校正指 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 23 200821241 出方法之範例。 圖9是被搬送物儲存架之另一側視圖，說明在位置校正 指出方法之範例中如何將校正值指出至搬送載具。 【主要元件符號說明】 100 被搬送物儲存系統 200 被搬送物儲存架 200a 被搬送物儲存架 200b 被搬送物儲存架
200c 被搬送物儲存架 200d 被搬送物儲存架 230 支撐構件 240 懸吊構件 241 懸吊構件 250 架板 251 螺帽 252 螺帽 260 定位板 261 運動銷；突起 262 孔洞 300 (OHT)搬送載具 310 主要本體部 320 升降裝置；升降機 330 懸吊帶 340 握持器 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 24 200821241 350 校正裝置；控制裝置 351 校正裝置 360 資料讀取裝置 ;條碼讀取機 370 驅動裝置 400 (被搬送）物體 ；FOUP 410 主要本體部 420 凸緣 500 天花板 510 懸吊構件 520 軌道；執條 520a 執條 520b 軌條 520c 軌條 520d 執條 520e 執條 520f 連接執條 530 編碼貧訊 530a 編碼貢訊；主要條碼 530b 編碼貧訊；主要條碼 530c 編碼貧訊；主要條碼 530d 編碼貧訊；主要條碼 530e 編碼貧訊；主要條碼 600 位置指向器 610 螺帽 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 25 200821241 620 螺栓 630 墊圈 660 外部輸入操作部 900 半導體加工設備 910 半導體加工設備 A 箭頭（方向） G 重心（位置） L 間隔 L1 誤差 P 末端部分 312XP/發明說明書(補件)/96-12/96132397 26

Claims (1)

  1. 200821241 十、申請專利範圍： 1 ·種被搬送物儲存系統，包含·· r捭2载具’用於沿著—條執道行進，且搬送各且有一 才至持邛的一個或數個物體； 一被搬送物儲存架，具有一架板； 置二定:二’被放置於該架板上、，且其上可供被搬送物放 面二;成夕的群突起，藉由卡合住各別的被搬送物之底表 ^ ^ Μ ^ .()一、，扁碼貧訊讀取裝置，用於讀取 遠夕數個編碼資訊；⑵—握持器， ％ _ 停止位置； 仅正忒搬达载具沿著執道的 ^位板顧預先設置在該架板上的預定位置，致使， ，心二也Γ:出數個編碼資訊中的每個編碼資訊及對 應的夕群突起中的各群突起之間的相對座標； 及搬运載具係根據該多數個編碼資訊 止，致使，（Π —链命如U a ^ -、干之而被停 位置，盘mPn t 的被搬送物之握持部的 的搬送載具之握持器之位置，兩者之 日，二差里，可以被記錄在該校正裝置 该权正裝置係根據所記錄的校正資訊，而相二;二； 個編碼資訊中另-個編碼資訊以校正停止位置％亥夕數 2.如申請專利範圍第μ之被搬送物儲存系統，其中， 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-12/96132397 27 200821241 該執道係被安裝在天花板上； 握持器係以懸吊握持部的狀態而握住該握持部； 被搬送物儲存架是從執道懸吊下來；以及 。亥夕數個編碼資訊係被裝附於執道之下部。 3·如申晴專利範圍第丨或2項之被搬送物儲存系統，立 .中，該校正裝置具有一個外部輸入裝置，用以從外部輸二 •欲被記錄在該校正裝置内作為校正資訊的誤差量。 4.如中凊專利範圍第丨或2項之被搬送物儲存系统，盆 二=座標在垂直軸上放置有⑴含有被搬送物所放置 的夕數犬起中的一組突起而作為頂點的圖形之圖形中 心’以及⑵該多數㈣碼資訊巾對應的—個編碼資吼。 中5.如申請專利範圍第15戈2項之被搬送物儲存系統。，其 »亥夕數個編碼資訊包含數個主要條碼丨以及 該編碼資訊讀取裝置包含一個條碼讀取機。 〔二申：專利範圍第…項之被搬送物儲㈣ 中女衣有-個或多個定位板，而每個定位板包含ς 板，且可以個別地被固定在該架板上。 Λ 如申請專利範圍第1或2項之被搬送物儲存系統，其 竿各IS:被”物儲存架的多數個被搬送物健存 木係，口者该執運而被安裝；以及 帝仔 藉由使用與其中一個被搬送物儲存架 關的校正資訊，以作為在另一個被搬送物儲存架上= ^XP/mmmmm/96^12/96132397 28 200821241 寅。亥校正裝置可校正該停止位置。 2申請專利範圍第7項之被搬送物儲存系統，其， 轨=道包=條圓形軌道、及-條連接該多數條圓形 ，使用在其中一條圓形執道内 被搬送物儲存架上的被搬 中们為 罟 、柳啕關的杈正育訊，該校正裝 物儲在該其卜條圓形執道内的另-個該被搬送 物储存条上的停止位置。 =申t專利範圍第7項之被搬送物儲存㈣，其中， 軌道的軌道，以及 ϋ連接該多數條圓形 藉由使用在其中一條圓形軌道内 被搬送物儲存架上的被搬送衣、/、 4 〇亥 置可以校正在另一條圓形執道有::：正貢訊’該校正裳 存架上的停止位置。 、内的另—個該被搬送物儲 3UXP/發明說明書(補件)/96-12/96132397
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