KR970065772A - 규소재의 에칭방법 및 에칭장치 - Google Patents

규소재의 에칭방법 및 에칭장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 규소재 시료중에 함유되는 미량의 불순물을 측정하는 경우의 규소재 시료의 분해를 단시간에 처리하기 위한 것이다.
규소재 시료(M)를 분해하도록 불화크세논과, 불화수소, 발화산소 및, 불소화할로겐의 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 불소화합물을 함유하는 에칭가스를 상기 규소재 시료 표면에 접촉시키는 것으로 빠르면서 단시간으로 규소재 시료를 분해한다.

Description

규소재의 에칭방법 및 에칭장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 제1실시형태의 규소재 에칭장치의 개략구성도.

Claims (18)

  1. 불화크세논과, 불화수소, 불화산소 및, 불화할로겐으로 이루어지는 군에서 선택되는 불소화합물을 함유하는 에칭가스를 규소재에 접촉시켜 규소재를 에칭하여 규소재와 에칭가스의 반응에 의한 생성물을 생성하는 공정과, 생성물을 가열하여 기화시켜 규소재에 함유되는 에칭가스와 반응하지 않는 불순물로부터 제거하는 공정을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  2. 제1항에 있어서, 생성물이 4불화규소인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  3. 제1항에 있어서, 규소재가 규소 또는 산화규소인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  4. 제1항에 있어서, 불화크세논이 XeF2, XeF4, XeF6이고, 불화산소가 OF2, O2F2이며, 불화할로겐이 ClF3, ClF, BrF, BrF3, BrF5, IF5, IF6인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  5. 제1항에 있어서, 가열행정에 있어서 생성물이 80℃ 이상에서 가열되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  6. 제1항에 있어서, 불소화합물이 불화크세논이고, 가열행정에 있어서 생성물이 100~150℃에서 가열되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  7. 제1항에 있어서, 에칭가스는 규불화암모늄의 생성을 제어하기 위한 산화제를 더 함유하고, 산화제는 취소, 염소, 염화니트로실, 초산, 이산화질소로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  8. 불화크세논과, 불화산소 및, 불화할로겐으로 이루어지는 군에서 선택되는 불소화합물을 함유하는 에칭가스를 규소재에 접촉시켜 규소재를 에칭하여 규소재와 에칭가스의 반응에 의한 생성물을 생성하는 공정을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  9. 제8항에 있어서, 생성물이 4불화규소인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  10. 제8항에 있어서, 생성물을 가열하여 기화시켜 규소재에 함유되는 에칭가스와 반응하지 않는 불순물로부터 제거하는 공정을 더 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  11. 제8항에 있어서, 규소재가 규소 또는 산화규소인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  12. 제8항에 있어서, 불화크세논이 XeF2, XeF4, XeF6이고, 불화산소가 OF2, O2F2이며, 불화할로겐이 ClF3, ClF, BrF, BrF3, BrF5, IF5, IF6인 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  13. 제8항에 있어서, 가열행정에 있어서, 생성물이 80℃이상에서 가열되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  14. 제8항에 있어서, 불소화합물이 불화크세논이고, 가열행정에 있어서 생성물이 100~150℃에서 가열되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  15. 제8항에 있어서, 에칭가스는 규불화암모늄의 생성을 제어하기 위한 산화제를 더 함유하고, 산화제는 취소, 염소, 염화니트로실, 초산, 이산화질소로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭방법.
  16. 규소재를 수용하기 위한 용기와; 용기를 에워싸기 위한 용기로서 용기가 취탈가능하게 배치되는 용기; 불화크세논, 불화수소, 불화염소 및 불화할로겐으로 이루어진 군에서 선택되는 불소화합물을 함유하는 에칭 가스를 발생시켜 용기내의 규소재에 공급하기 위한 가스발생기 및; 규소재를 가열하기 위한 히터를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭장치.
  17. 제16항에 있어서, 공급되는 에칭가스에 대해 용기를 회전시켜 에칭가스의 공급이 규소재에 균일하게 이루어지도록 하는 회전장치를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭장치.
  18. 제16항에 있어서, 용기의 내측으로부터 외측으로 가스를 배출하기 위한 가스 배출장치를 더 갖춘 것을 특징으로 하는 규소재의 에칭장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970011155A 1996-03-28 1997-03-28 규소재의 에칭방법 및 에칭장치 KR100225832B1 (ko)

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