JPH0724081A - 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 - Google Patents
高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置Info
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- JPH0724081A JPH0724081A JP4355878A JP35587892A JPH0724081A JP H0724081 A JPH0724081 A JP H0724081A JP 4355878 A JP4355878 A JP 4355878A JP 35587892 A JP35587892 A JP 35587892A JP H0724081 A JPH0724081 A JP H0724081A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 有機ハロゲン化合物を効率良く分解処理する
方法及び有機ハロゲン化合物を大量にかつ効率良く分解
処理しても、ダイオキシン類が発生し難い有機ハロゲン
化合物の分解装置及び方法を提供する。 【構成】 プラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４
内の圧力を大気圧以下の減圧状態に保持しているためプ
ラズマが安定に維持でき、また水蒸気と有機ハロゲン化
合物の混合ガスをプラズマトーチ１内に直接導入するよ
うにしているので有機ハロゲン化合物を効率良く分解す
ることが可能となる。更に、プラズマによって分解され
た有機ハロゲン化合物排ガスを、アルカリ性水溶液によ
って急冷することでダイオキシン類の発生を抑圧するこ
とができる。
方法及び有機ハロゲン化合物を大量にかつ効率良く分解
処理しても、ダイオキシン類が発生し難い有機ハロゲン
化合物の分解装置及び方法を提供する。 【構成】 プラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４
内の圧力を大気圧以下の減圧状態に保持しているためプ
ラズマが安定に維持でき、また水蒸気と有機ハロゲン化
合物の混合ガスをプラズマトーチ１内に直接導入するよ
うにしているので有機ハロゲン化合物を効率良く分解す
ることが可能となる。更に、プラズマによって分解され
た有機ハロゲン化合物排ガスを、アルカリ性水溶液によ
って急冷することでダイオキシン類の発生を抑圧するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フロンガス、トリクロ
ロエチレンなどの有機化合物中に弗素、塩素、臭素を含
む有機ハロゲン化合物を効率良く分解することができる
プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法に
関する。
ロエチレンなどの有機化合物中に弗素、塩素、臭素を含
む有機ハロゲン化合物を効率良く分解することができる
プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】フロンガス、トリクロロエチレンなどの
有機化合物中に弗素、塩素、臭素を含む有機ハロゲン化
合物は溶剤、冷媒、消化剤などに幅広く、かつ大量に使
用されており、各種産業に於ける重要性が高い。
有機化合物中に弗素、塩素、臭素を含む有機ハロゲン化
合物は溶剤、冷媒、消化剤などに幅広く、かつ大量に使
用されており、各種産業に於ける重要性が高い。
【０００３】しかしながら、これらの化合物は、揮発性
が高く、その多くは使用後に大気、水、土壌などの環境
中に放出され、その結果、オゾン層の破壊、地球温暖化
の促進、発がん性物質の生成、変異原因物質の生成な
ど、環境に対して深刻な影響を与えることが指摘されて
いる。
が高く、その多くは使用後に大気、水、土壌などの環境
中に放出され、その結果、オゾン層の破壊、地球温暖化
の促進、発がん性物質の生成、変異原因物質の生成な
ど、環境に対して深刻な影響を与えることが指摘されて
いる。
【０００４】そこで、特開平３−９０１７２号公報には
有機ハロゲン化合物（液体）と水とにそれぞれＡｒガス
を導入してバブリングさせ、有機ハロゲン化合物、水、
Ａｒの混合ガスを作り、これをプラズマトーチに導入し
て有機ハロゲン化合物を分解する方法が記載されてい
る。
有機ハロゲン化合物（液体）と水とにそれぞれＡｒガス
を導入してバブリングさせ、有機ハロゲン化合物、水、
Ａｒの混合ガスを作り、これをプラズマトーチに導入し
て有機ハロゲン化合物を分解する方法が記載されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記方法ではプラズマ
トーチ中を大気圧にしてプラズマを発生させていたた
め、Ａｒ濃度が高くないとプラズマが安定せず、そのた
め有機ハロゲン化合物の液体と水に一旦Ａｒガスを導通
させてバブリングすることにより、蒸発させてＡｒ濃度
の高い混合ガスを得るという方法をとっていた。従っ
て、有機ハロゲン化合物と水蒸気の量に比べてＡｒの濃
度が高くなり、大量の有機ハロゲン化合物を効率良く分
解処理することが不可能であった。
トーチ中を大気圧にしてプラズマを発生させていたた
め、Ａｒ濃度が高くないとプラズマが安定せず、そのた
め有機ハロゲン化合物の液体と水に一旦Ａｒガスを導通
させてバブリングすることにより、蒸発させてＡｒ濃度
の高い混合ガスを得るという方法をとっていた。従っ
て、有機ハロゲン化合物と水蒸気の量に比べてＡｒの濃
度が高くなり、大量の有機ハロゲン化合物を効率良く分
解処理することが不可能であった。
【０００６】本願発明は、上記課題に鑑み、有機ハロゲ
ン化合物を効率良く分解処理する方法を提供することを
目的としている。
ン化合物を効率良く分解処理する方法を提供することを
目的としている。
【０００７】更に本願発明は、有機ハロゲン化合物を大
量にかつ効率良く分解処理しても、ダイオキシン類が発
生し難い有機ハロゲン化合物の分解装置を提供すること
を目的としている。
量にかつ効率良く分解処理しても、ダイオキシン類が発
生し難い有機ハロゲン化合物の分解装置を提供すること
を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記した目的は本発明に
よれば、プラズマトーチに連結する流路からアルゴンガ
スをプラズマトーチ中に供給し、プラズマを起動した
後、水蒸気と有機ハロゲン化合物との混合ガスを前記プ
ラズマトーチに連結する流路または、該流路とは別の流
路からプラズマトーチ中に供給し、減圧したプラズマト
ーチ及びプラズマトーチに連結された反応炉で有機ハロ
ゲン化合物を分解することを特徴とする高周波誘導プラ
ズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法を提供するこ
とにより達成される。特に、前記プラズマトーチ及びプ
ラズマトーチに連結された反応炉を１５０Torr〜６００
Torrに減圧すると良い。
よれば、プラズマトーチに連結する流路からアルゴンガ
スをプラズマトーチ中に供給し、プラズマを起動した
後、水蒸気と有機ハロゲン化合物との混合ガスを前記プ
ラズマトーチに連結する流路または、該流路とは別の流
路からプラズマトーチ中に供給し、減圧したプラズマト
ーチ及びプラズマトーチに連結された反応炉で有機ハロ
ゲン化合物を分解することを特徴とする高周波誘導プラ
ズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法を提供するこ
とにより達成される。特に、前記プラズマトーチ及びプ
ラズマトーチに連結された反応炉を１５０Torr〜６００
Torrに減圧すると良い。
【０００１】また、本発明によれば、水蒸気及び有機ハ
ロゲン化合物を導入するための導入管が接続されたプラ
ズマトーチと、ガスの流れ方向に沿って前記プラズマト
ーチに接続された反応炉と、ガスの流れ方向に沿って前
記反応炉に接続されたアルカリ性水溶液冷却缶と、前記
反応炉と前記冷却缶との接続部から前記冷却缶中のアル
カリ性水溶液中に延びる排出管と、前記冷却缶のアルカ
リ性水溶液の存在しない部分に取り付けられた排ガス出
口ノズルとから構成される高周波誘導プラズマによる有
機ハロゲン化合物の分解装置も提供される。
ロゲン化合物を導入するための導入管が接続されたプラ
ズマトーチと、ガスの流れ方向に沿って前記プラズマト
ーチに接続された反応炉と、ガスの流れ方向に沿って前
記反応炉に接続されたアルカリ性水溶液冷却缶と、前記
反応炉と前記冷却缶との接続部から前記冷却缶中のアル
カリ性水溶液中に延びる排出管と、前記冷却缶のアルカ
リ性水溶液の存在しない部分に取り付けられた排ガス出
口ノズルとから構成される高周波誘導プラズマによる有
機ハロゲン化合物の分解装置も提供される。
【０００９】
【作用】プラズマトーチ中を減圧状態にすればＡｒ濃度
が低くてもプラズマが安定するため、Ａｒを含まない水
蒸気及び有機ハロゲン化合物気体をプラズマトーチ中に
直接導入しても有機ハロゲン化合物を大量に、かつ効率
良く分解できることを本発明者らは見い出したものであ
る。
が低くてもプラズマが安定するため、Ａｒを含まない水
蒸気及び有機ハロゲン化合物気体をプラズマトーチ中に
直接導入しても有機ハロゲン化合物を大量に、かつ効率
良く分解できることを本発明者らは見い出したものであ
る。
【００１０】更に、本発明有機ハロゲン分解装置は、ア
ルカリ性水溶液冷却缶がガスの流れ方向に沿って反応炉
に接続されている。この構造により、プラズマ中で分解
された有機ハロゲン化合物の高温の排ガスが直接アルカ
リ性水溶液中に導入される。このため、高温の排ガスは
約７０℃に急冷される。
ルカリ性水溶液冷却缶がガスの流れ方向に沿って反応炉
に接続されている。この構造により、プラズマ中で分解
された有機ハロゲン化合物の高温の排ガスが直接アルカ
リ性水溶液中に導入される。このため、高温の排ガスは
約７０℃に急冷される。
【００１１】本来、ハロゲン分子を含む高温の排ガス
は、時間が経てばダイオキシン類が発生するが（２００
℃〜３００℃で発生しやすい）、本構造により、急冷さ
れるのでダイオキシン類の発生を抑えることが可能とな
る。
は、時間が経てばダイオキシン類が発生するが（２００
℃〜３００℃で発生しやすい）、本構造により、急冷さ
れるのでダイオキシン類の発生を抑えることが可能とな
る。
【００１２】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
詳細に説明する。添付の図面は本発明を実施するための
高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解装
置システムを示しており、プラズマトーチ１は、窒化珪
素等の絶縁性物質で形成された円筒状の管２、ガス供給
ノズル３及び管２の周囲に巻回されたＲＦコイル６等に
よって構成されている。
詳細に説明する。添付の図面は本発明を実施するための
高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解装
置システムを示しており、プラズマトーチ１は、窒化珪
素等の絶縁性物質で形成された円筒状の管２、ガス供給
ノズル３及び管２の周囲に巻回されたＲＦコイル６等に
よって構成されている。
【００１３】分解前の状態に於ては、排ガス真空ポンプ
７でプラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４内の圧
力を維持しつつ、配管１１でプラズマトーチ１内にアル
ゴンガスを供給し、この状態でＲＦコイル６に高周波電
流を供給し、プラズマを着火した。その後、別の配管１
１′を通してプラズマトーチ１内のプラズマフレーム中
に水蒸気と有機ハロゲン化合物としてのジクロロジフル
オロメタン（フロン１２）との混合ガスを導入した。
７でプラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４内の圧
力を維持しつつ、配管１１でプラズマトーチ１内にアル
ゴンガスを供給し、この状態でＲＦコイル６に高周波電
流を供給し、プラズマを着火した。その後、別の配管１
１′を通してプラズマトーチ１内のプラズマフレーム中
に水蒸気と有機ハロゲン化合物としてのジクロロジフル
オロメタン（フロン１２）との混合ガスを導入した。
【００１４】尚、アルゴンガスはプラズマ着火時の種火
として用いており、プラズマ着火後はその供給を停止し
て良い。
として用いており、プラズマ着火後はその供給を停止し
て良い。
【００１５】この時、プラズマの中心温度は１００００
℃〜１５０００℃になっており、プラズマフレーム中に
導入された有機ハロゲン化合物及び水蒸気は、チャンバ
（反応炉）４中で高温により高い効率で下記に示すよう
に分解する。
℃〜１５０００℃になっており、プラズマフレーム中に
導入された有機ハロゲン化合物及び水蒸気は、チャンバ
（反応炉）４中で高温により高い効率で下記に示すよう
に分解する。
【００１６】有機ハロゲン化合物としてジクロロジフル
オロメタン（フロン−１２、ＣＣｌ2Ｆ2）をプラズマ中
に分散させた場合、水蒸気との間で、次の反応が生じ
る。 ＣＣｌ2Ｆ2＋２Ｈ2Ｏ→ＣＯ2＋２ＨＣｌ＋２ＨＦ
オロメタン（フロン−１２、ＣＣｌ2Ｆ2）をプラズマ中
に分散させた場合、水蒸気との間で、次の反応が生じ
る。 ＣＣｌ2Ｆ2＋２Ｈ2Ｏ→ＣＯ2＋２ＨＣｌ＋２ＨＦ
【００１７】分解されたハロゲン化水素（ＨＣｌ、Ｈ
Ｆ）を含む排ガスは、チャンバ（反応炉）４の底部の開
口１２から排出管１３を通って、冷却缶５の内部の水酸
化ナトリウム水溶液１４中に導入される。ここで、排ガ
スは水酸化ナトリウム水溶液１４中をくぐり抜ける時に
断熱冷却され６０℃〜７０℃の温度に急冷される。尚、
冷却缶５の内部の水酸化ナトリウム水溶液に代えて水を
用いても良い。
Ｆ）を含む排ガスは、チャンバ（反応炉）４の底部の開
口１２から排出管１３を通って、冷却缶５の内部の水酸
化ナトリウム水溶液１４中に導入される。ここで、排ガ
スは水酸化ナトリウム水溶液１４中をくぐり抜ける時に
断熱冷却され６０℃〜７０℃の温度に急冷される。尚、
冷却缶５の内部の水酸化ナトリウム水溶液に代えて水を
用いても良い。
【００１８】ＨＣｌ（塩化水素）及びＨＦ（弗化水素）
を含む排ガスは冷却缶５の上部の排ガス出口ノズル１５
より排出され、除害塔５′へ導入される。除害塔５′の
中にはプラスチック製の充填物（日鉄化工機製、商品名
テラレット）が充填されており、カラム上部から水酸化
ナトリウム水溶液が供給され、排ガスが除害塔５′の下
部より上部へ移動する間に上部からの水酸化ナトリウム
と効率良く接触してＨＣｌ（塩化水素）及びＨＦ（弗化
水素）を含む排ガスは次の反応で中和される。 ＨＣｌ＋ＨＦ＋２ＮａＯＨ→ＮａＣｌ＋ＮａＦ＋２Ｈ2
Ｏ
を含む排ガスは冷却缶５の上部の排ガス出口ノズル１５
より排出され、除害塔５′へ導入される。除害塔５′の
中にはプラスチック製の充填物（日鉄化工機製、商品名
テラレット）が充填されており、カラム上部から水酸化
ナトリウム水溶液が供給され、排ガスが除害塔５′の下
部より上部へ移動する間に上部からの水酸化ナトリウム
と効率良く接触してＨＣｌ（塩化水素）及びＨＦ（弗化
水素）を含む排ガスは次の反応で中和される。 ＨＣｌ＋ＨＦ＋２ＮａＯＨ→ＮａＣｌ＋ＮａＦ＋２Ｈ2
Ｏ
【００１９】中和されたガスは排ガス真空ポンプ７を介
して、気液分離タンク８でガス中のミストが除去された
後、活性炭吸着槽９を通って大気中に放出される。
して、気液分離タンク８でガス中のミストが除去された
後、活性炭吸着槽９を通って大気中に放出される。
【００２０】一方、除害塔５′の底部より抜きとられた
水酸化ナトリウム水溶液の廃液は、ポンプ１６により排
出処理槽１０に一旦貯められた後、適宜塩化カルシウム
が加えられ、次の反応により弗素がカルシウムに固定さ
れ沈澱する。 ２ＮａＦ＋ＣａＣｌ2→ＣａＦ2＋２ＮａＣｌ
水酸化ナトリウム水溶液の廃液は、ポンプ１６により排
出処理槽１０に一旦貯められた後、適宜塩化カルシウム
が加えられ、次の反応により弗素がカルシウムに固定さ
れ沈澱する。 ２ＮａＦ＋ＣａＣｌ2→ＣａＦ2＋２ＮａＣｌ
【００２１】この沈澱物は弗化カルシウム（ホタル石）
として回収され、弗素原料として代替フロンや弗素樹脂
及び弗酸の原料として再利用できる。
として回収され、弗素原料として代替フロンや弗素樹脂
及び弗酸の原料として再利用できる。
【００２２】この沈澱物が除去された廃液はアルカリ性
のため塩酸等の酸で中和された後、放流される。
のため塩酸等の酸で中和された後、放流される。
【００２３】以上示した実証試験装置を用い、従来方法
（特開平３−９０１７２号公報）と本願方法による実験
で得られた分解性能の一例を表１、表２に示す。
（特開平３−９０１７２号公報）と本願方法による実験
で得られた分解性能の一例を表１、表２に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【表２】
【００２６】表１から明らかなように、フロンを除いた
ガス流量が従来法と同じ条件でテストを行った結果、本
発明に基づく方法の方がフロン処理量を大幅に増やすこ
とが出来ただけでなく分解率も向上した。また表２から
明らかなように更にガス流量を増し水蒸気の比率を高め
ると、従来法ではプラズマが安定してつかないのに対
し、本発明方法では４７kg/hのフロンが処理でき分解率
も４−ナイン以上を達成できた。
ガス流量が従来法と同じ条件でテストを行った結果、本
発明に基づく方法の方がフロン処理量を大幅に増やすこ
とが出来ただけでなく分解率も向上した。また表２から
明らかなように更にガス流量を増し水蒸気の比率を高め
ると、従来法ではプラズマが安定してつかないのに対
し、本発明方法では４７kg/hのフロンが処理でき分解率
も４−ナイン以上を達成できた。
【００２７】図２は反応炉内圧力とプラズマを維持する
ための必要最低電力エネルギとの関係を示す。ガス流量
によらず反応炉内の圧力が２００〜２５０Torrの範囲で
プラズマを維持するための電力エネルギが最低になるた
め、負荷変動条件に対してもパワーの余裕があるのでプ
ラズマも安定し消え難くなっていることが判る。これに
対し反応炉内圧力が１５０Torrより低いと、プラズマを
維持するための必要電力エネルギが極端に上昇するの
で、少しのガス流量の変動に対してもプラズマが消えや
すく、また不経済となる。一方、反応炉内圧力が２５０
Torrより高い範囲ではプラズマ発振機回路のイグニッシ
ョン電流が増加し、ガス流量条件にもよるが、３００〜
６００Torrの間で本実施例の１００kW高周波プラズマ装
置の固有の上限の電流値（２．２Ａ）を越すためプラズ
マが不安定となり、維持するのが困難になる。従ってプ
ラズマトーチに連結された反応炉内の圧力は、１５０〜
６００Torrの範囲に減圧するのが最適である。
ための必要最低電力エネルギとの関係を示す。ガス流量
によらず反応炉内の圧力が２００〜２５０Torrの範囲で
プラズマを維持するための電力エネルギが最低になるた
め、負荷変動条件に対してもパワーの余裕があるのでプ
ラズマも安定し消え難くなっていることが判る。これに
対し反応炉内圧力が１５０Torrより低いと、プラズマを
維持するための必要電力エネルギが極端に上昇するの
で、少しのガス流量の変動に対してもプラズマが消えや
すく、また不経済となる。一方、反応炉内圧力が２５０
Torrより高い範囲ではプラズマ発振機回路のイグニッシ
ョン電流が増加し、ガス流量条件にもよるが、３００〜
６００Torrの間で本実施例の１００kW高周波プラズマ装
置の固有の上限の電流値（２．２Ａ）を越すためプラズ
マが不安定となり、維持するのが困難になる。従ってプ
ラズマトーチに連結された反応炉内の圧力は、１５０〜
６００Torrの範囲に減圧するのが最適である。
【００２８】尚、本実施例では、Ａｒガスを配管１１か
ら、水蒸気と有機ハロゲン化合物の混合ガスを別の配管
１１′を通して導入したが、別の方法としては同一の配
管１１または１１′で導入しても本願の作用・効果を何
ら減ずるものではない。
ら、水蒸気と有機ハロゲン化合物の混合ガスを別の配管
１１′を通して導入したが、別の方法としては同一の配
管１１または１１′で導入しても本願の作用・効果を何
ら減ずるものではない。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
プラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４内の圧力を
大気圧以下の減圧状態に保持しているためプラズマが安
定に維持でき、また水蒸気と有機ハロゲン化合物の混合
ガスをプラズマトーチ１内に直接導入するようにしてい
るので有機ハロゲン化合物を効率良く分解することが可
能となる。
プラズマトーチ１及びチャンバ（反応炉）４内の圧力を
大気圧以下の減圧状態に保持しているためプラズマが安
定に維持でき、また水蒸気と有機ハロゲン化合物の混合
ガスをプラズマトーチ１内に直接導入するようにしてい
るので有機ハロゲン化合物を効率良く分解することが可
能となる。
【００３０】更に、プラズマによって分解された有機ハ
ロゲン化合物排ガスが、アルカリ性水溶液によって急冷
されるので、ダイオキシン類の発生を抑圧することがで
きる。
ロゲン化合物排ガスが、アルカリ性水溶液によって急冷
されるので、ダイオキシン類の発生を抑圧することがで
きる。
【図１】本発明が適用された有機ハロゲン化合物の分解
装置の構成図である。
装置の構成図である。
１ プラズマトーチ ２ 管 ３ ノズル ４ チャンバ（反応炉） ５ 冷却缶 ５′ 除害塔 ６ ＲＦコイル ７ 排ガス真空ポンプ ８ 気液分離タンク ９ 活性炭吸着槽 １０ 排水処理槽 １１、１１′ 配管 １２ 開口 １３ 排出管 １４ 水酸化ナトリウム １５ 排ガス出口ノズル １６ ポンプ
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月８日
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用された有機ハロゲン化合物の分解
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】反応炉内圧力とプラズマを維持するための必要
最低電力エネルギとの関係を示すグラフである。
最低電力エネルギとの関係を示すグラフである。
【符号の説明】 １ プラズマトーチ ２ 管 ３ ノズル ４ チャンバ（反応炉） ５ 冷却缶 ５′ 除害塔 ６ ＲＦコイル ７ 排ガス真空ポンプ ８ 気液分離タンク ９ 活性炭吸着槽 １０ 排水処理槽 １１、１１′ 配管 １２ 開口 １３ 排出管 １４ 水酸化ナトリウム １５ 排ガス出口ノズル １６ ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000006655 新日本製鐵株式会社 東京都千代田区大手町２丁目６番３号 (71)出願人 391018592 日鉄化工機株式会社 東京都港区港南２丁目12番26号 (71)出願人 391012327 東京大学長 東京都文京区本郷７丁目３番１号 (71)出願人 591009071 株式会社日鉄技術情報センター 東京都千代田区麹町１丁目６番地 (74)上記６名の代理人 弁理士 大島 陽一 (72)発明者 植松 信行 東京都千代田区大手町２−６−３ 新日本 製鐵株式会社内 (72)発明者 水野 光一 茨城県つくば市小野川16−３ 工業技術院 資源環境技術総合研究所内 (72)発明者 大内 日出夫 茨城県つくば市小野川16−３ 工業技術院 資源環境技術総合研究所内 (72)発明者 朝倉 友美 東京都千代田区内幸町１−１−３ 東京電 力株式会社内 (72)発明者 天野 高伸 東京都昭島市武蔵野３−１−２ 日本電子 株式会社内 (72)発明者 木下 芳明 東京都港区港南２−12−26 日鉄化工機株 式会社内 (72)発明者 吉田 豊信 東京都文京区本郷７−３−１ 東京大学工 学部 金属工学科内 (72)発明者 中村 正和 東京都千代田区麹町１−６ 株式会社日鉄 技術情報センター内
Claims (3)
- 【請求項１】 プラズマトーチに連結する流路からア
ルゴンガスをプラズマトーチ中に供給し、プラズマを起
動した後、水蒸気と有機ハロゲン化合物との混合ガスを
前記プラズマトーチに連結する流路または、該流路とは
別の流路からプラズマトーチ中に供給し、減圧したプラ
ズマトーチ及びプラズマトーチに連結された反応炉で有
機ハロゲン化合物を分解することを特徴とする高周波誘
導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法。 - 【請求項２】 前記プラズマトーチ及びプラズマトー
チに連結された反応炉を１５０Torr〜６００Torrに減圧
することを特徴とする請求項１に記載の有機ハロゲン化
合物の分解方法。 - 【請求項３】 水蒸気及び有機ハロゲン化合物を導入
するための導入管が接続されたプラズマトーチと、 ガスの流れ方向に沿って前記プラズマトーチに接続され
た反応炉と、 ガスの流れ方向に沿って前記反応炉に接続されたアルカ
リ性水溶液冷却缶と、 前記反応炉と前記冷却缶との接続部から前記冷却缶中の
アルカリ性水溶液中に延びる排出管と、 前記冷却缶のアルカリ性水溶液の存在しない部分に取り
付けられた排ガス出口ノズルとから構成される高周波誘
導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4355878A JP2732472B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-12-18 | 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-160322 | 1992-05-26 | ||
| JP16032292 | 1992-05-26 | ||
| JP4355878A JP2732472B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-12-18 | 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724081A true JPH0724081A (ja) | 1995-01-27 |
| JP2732472B2 JP2732472B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=26486864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4355878A Expired - Lifetime JP2732472B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-12-18 | 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2732472B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6340863B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-01-22 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Microwave plasma generator and system for decomposing organic halide |
| JP2002263475A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | 金属を含む有機化合物廃液の処理方法とその処理装置 |
| JP2007522935A (ja) * | 2004-02-20 | 2007-08-16 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | フッ素化化合物−含有ガス流を処理する方法及び装置 |
| JP2007326089A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Global Standard Technology Co Ltd | プラズマトーチを用いた廃ガス処理装置 |
| JP2011110446A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Aichi Electric Co Ltd | 有機廃液の処理装置および有機廃液の処理方法 |
| WO2018221067A1 (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-06 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガスの減圧除害方法及びその装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390172A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Agency Of Ind Science & Technol | プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 |
-
1992
- 1992-12-18 JP JP4355878A patent/JP2732472B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390172A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Agency Of Ind Science & Technol | プラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法および装置 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6593507B2 (en) | 1998-10-23 | 2003-07-15 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method of decomposing organic halide |
| US6600084B2 (en) | 1998-10-23 | 2003-07-29 | Mitsubishi Heay Industries, Ltd. | Method of decomposing organic halide |
| US6635997B2 (en) | 1998-10-23 | 2003-10-21 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Microwave plasma generator, method of decomposing organic halide, and system for decomposing organic halide |
| US6650059B2 (en) | 1998-10-23 | 2003-11-18 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method of decomposing organic halide |
| US6340863B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-01-22 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Microwave plasma generator and system for decomposing organic halide |
| JP4696378B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2011-06-08 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 金属を含む有機化合物廃液の処理装置とその処理方法 |
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| JP2007522935A (ja) * | 2004-02-20 | 2007-08-16 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | フッ素化化合物−含有ガス流を処理する方法及び装置 |
| JP2007326089A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Global Standard Technology Co Ltd | プラズマトーチを用いた廃ガス処理装置 |
| JP2011110446A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Aichi Electric Co Ltd | 有機廃液の処理装置および有機廃液の処理方法 |
| WO2018221067A1 (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-06 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガスの減圧除害方法及びその装置 |
| CN110582340A (zh) * | 2017-05-29 | 2019-12-17 | 北京康肯环保设备有限公司 | 排气的减压除害方法及其装置 |
| JPWO2018221067A1 (ja) * | 2017-05-29 | 2020-02-06 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガスの減圧除害方法及びその装置 |
| US11504669B2 (en) | 2017-05-29 | 2022-11-22 | Kanken Techno Co., Ltd. | Method for exhaust gas abatement under reduced pressure and apparatus therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2732472B2 (ja) | 1998-03-30 |
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