JP2005144233A - 基板処理方法、基板処理装置、及び基板製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス加熱機構40は、窒素ボンベ30からプラズマノズル10へ供給される窒素ガスを加熱する。プラズマノズル10は、一対の電極と、一対の電極間に設けられた一対の誘電体とを有する。一対の誘電体間へ加熱された窒素ガスを供給しながら、高周波高圧電源20から一対の電極間に高周波高電圧を印加すると、一対の誘電体間へ供給された加熱された窒素ガス中にプラズマ放電が発生する。プラズマノズル10は、プラズマ放電が発生したガスをローラ3により移動される基板1の表面へ吹き付ける。プラズマ放電を発生させる前のガスを加熱することにより、基板1の表面で大気圧プラズマによる化学反応が促進され、基板1の表面のぬれ性を改善する表面処理の処理効率が向上する。
【選択図】図1
Description
2 ガス
3 ローラ
4 基板受け渡し部
5 基板処理部
6 基板受け取り部
10 プラズマノズル
11,12 電極
13,14 誘電体
20 高周波高圧電源
30 窒素ボンベ
40 ガス加熱機構
41 ヒータ
Claims (8)
- プラズマ放電を発生させる前のガスを加熱する工程を含み、
一対の電極間に一対の誘電体を設け、大気圧又はその近傍の圧力下で、一対の誘電体間へ加熱されたガスを供給しながら、一対の電極間に高周波高電圧を印加して、一対の誘電体間へ供給された加熱されたガス中にプラズマ放電を発生させ、
基板を移動しながら、プラズマ放電が発生したガスを基板の表面へ吹き付けることを特徴とする基板処理方法。 - プラズマ放電を発生させる前のガスを60℃以上に加熱することを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- ガスの種類として、大気、窒素、酸素又はアルゴンを用いることを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 基板を移動する基板移動手段と、
プラズマ放電を発生させる前のガスを加熱するガス加熱手段と、
一対の電極間に一対の誘電体を有し、大気圧又はその近傍の圧力下で、一対の誘電体間へ前記ガス加熱手段により加熱されたガスを供給しながら、一対の電極間に高周波高電圧を印加して、一対の誘電体間へ供給された加熱されたガス中にプラズマ放電を発生させ、プラズマ放電が発生したガスを前記移動手段により移動される基板の表面へ吹き付けるプラズマ発生手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記ガス加熱手段は、プラズマ放電を発生させる前のガスを60℃以上に加熱することを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ発生手段は、ガスの種類として、大気、窒素、酸素又はアルゴンを用いることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の基板処理方法を用いて、ウエットプロセス前に基板の表面のぬれ性を改善することを特徴とする基板製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置を用いて、ウエットプロセス前に基板の表面のぬれ性を改善することを特徴とする基板製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003381576A JP2005144233A (ja) | 2003-11-11 | 2003-11-11 | 基板処理方法、基板処理装置、及び基板製造方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2007260859A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toray Ind Inc | ディスプレイ基板の製造方法 |
WO2022044756A1 (ja) * | 2020-08-31 | 2022-03-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
-
2003
- 2003-11-11 JP JP2003381576A patent/JP2005144233A/ja active Pending
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JP2007260859A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toray Ind Inc | ディスプレイ基板の製造方法 |
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TWI821722B (zh) * | 2020-08-31 | 2023-11-11 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
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A621 | Written request for application examination |
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