KR960043238A - 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조방법 - Google Patents

리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 채널영역보다 반도체 영역이 상부에 위치한 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 반도체 소자는 채널영역을 갖는 제1도전형의 기판과, 채널영역보다 상부에 위치하고, 채널영역을 제외한 기판에 형성된 제2도전형의 반도체 영역과, 반도체 영역상에 형성된 제1절연막과, 채널영역과 반도체 영역 사이에 걸쳐 형성된 제2절연막과, 채널영역상부의 게이트 절연막상에 형성된 제1게이트와, 제1게이트 및 제1절연막 사이에 걸쳐 형성된 유전체막과, 유전체막상에 형성된 제2게이트를 포함하고, 그의 제조방법은 제1도전형의 기판상에 제2도전형의 다결정 실리콘막을 형성하는 공정과, 다결정 실리콘막상에 제1절연막을 형성하는 공정과, 제1절연막과 그 하부의 다결정 실리콘막을 식각하여 반도체층을 형성하는 공정과, 반도체층 사이의 노출된 기판의 표면과 반도체층 및 제1절연막의 측면에 제2절연막을 형성하는 공정과, 제2절연막상에 제1게이트를 형성하는 공정과, 제1게이트 및 제2절연막상에 걸쳐 유전체막을 형성하는 공정과, 유전체막상에 제2게이트를 형성하는 공정을 포함한다.

Description

리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자 및 그의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따른 리세스채널 구조를 갖는 플래쉬 메모리셀의 단면도.

Claims (16)

  1. 채널영역을 갖는 기판과, 채널영역보다 상부에 위치하고, 채널영역을 제외한 기판에 형성된 반도체 영역과, 채널영역의 표면과 소오스/드레인 영역의 측면에 형성된 절연막과, 채널영역상부의 게이트 절연막상에 형성된 제1게이트와, 제1게이트상에 형성된 유전체막과, 유전체막상에 형성된 제2게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  2. 제1항에 있어서, 소오스/드레인 영역상에 형성된 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자.
  3. 채널영역을 갖는 기판과, 채널영역을 제외한 기판상에 형성된 반도체 영역과, 반도체 영역상에 형성된 제1절연막과, 채널영역의 표면과 반도체 영역 및 제1절연막의 측면에 형성된 제2절연막과, 채널영역의 제2절연막상에 형성된 제1게이트와, 제1게이트 및 제2절연막상에 걸쳐 형성된 유전체막과, 유전체막상에 형성된 제2게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  4. 제3항에 있어서, 반도체 영역은 기판상에 형성된 기판과 반대 도전형을 갖는 불순물이 도핑된 폴리실리콘막으로 된 것을 특징으로 하는 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자.
  5. 제3항에 있어서, 반도체 영역은 기판내에 형성된 기판과 반대 도전형을 갖는 불순물 영역인 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  6. 제3항에 있어서, 채널영역은 그의 표면이 반도체 기판의 표면과 동일면을 이루는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  7. 제3항에 있어서, 채널영역은 그의 표면이 반도체 기판의 표면보다 낮은 것을 특징으로 하는 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자.
  8. 채널영역을 갖는 기판과, 채널영역을 제외한 기판에 형성된 반도체 영역과, 반도체 영역상에 형성된 제1절연막과, 채널영역과 반도체 영역의 표면 및 제1절연막의 측면에 걸쳐 형성된 제2절연막과, 제2절연막과 제1절연막상에 걸쳐 형성된 제1게이트와, 제1게이트상에 걸쳐 형성된 유전체막과, 유전체막상에 형성된 제2게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  9. 제8항에 있어서, 반도체 영역은 기판상에 형성된 기판과 반대 도전형의 불순물이 도핑된 폴리시릴콘막으로 된 것을 특징으로 하는 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자.
  10. 제8항에 있어서, 반도체 영역은 기판내에 형성된 기판과 반대 도전형의 불순물 영역인 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  11. 제8항에 있어서, 채널영역의 표면이 반도체 기판의 표면과 동일면을 이루는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자.
  12. 제8항에 있어서, 채널영역은 그의 표면이 반도체 기판의 표면보다 낮은 것을 특징으로 하는 리세스 채널 구조를 갖는 반도체 소자.
  13. 제1도전형의 기판상에 제2도전형의 다결정 실리콘막을 형성하는 공정과, 다결정 실리콘막상에 제1절연막을 형성하는 공정과, 제1절연막과 그 하부의 다결정 실리콘막을 식각하여 반도체층을 형성하는 공정과, 반도체층 사이의 노출된 기판의 표면과 반도체층 및 제1절연막의 측면에 제2절연막을 형성하는 공정과, 제2절연막상에 제1게이트를 형성하는 공정과, 제1게이트 및 제2절연막상에 걸쳐 유전체막을 형성하는 공정과, 유전체막상에 제2게이트를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자의 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 반도체층 형성공정후, 반도체층 사이의 노출된 기판을 식각하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자의 제조방법.
  15. 제1도전형의 기판상에 제2도전형의 불순물을 이온주입하여 기판의 상부에 불순물 영역을 형성하는 공정과, 제2도전형의 불순물 영역상에 제1절연막을 형성하는 공정과, 제1절연막 그하부의 불순물 영역을 식각하여 반도체 영역을 형성하는 공정과, 반도체 영역 사이의 노출된 기판과 제1절연막의 사이에 걸쳐 제2절연막을 형성하는 공정과, 제1다결정 실리콘막, ONO 막 및 제2다결정 실리콘막을 기판전면에 걸쳐 형성하는 공정과, 제1다결정 실리콘막, ONO 막 및 제2다결정 실리콘막을 식각하여 제1게이트 및 제2절연막 사이에 걸쳐 제1게이트, 유전체막 및 제2게이트를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서, 반도체층 형성공정후, 반도체층 사이의 노출된 기판을 식각하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리세스 채널구조를 갖는 반도체 소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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