KR960015708A - 기질을 균일하게 피복시키는 방법 - Google Patents

기질을 균일하게 피복시키는 방법 Download PDF

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Abstract

균일한 두께의 필름을 제조하기 위해 기질을 중합체 용액으로 피복시키는 방법 및 장치는 밀폐된 하우징 내부에 기질의 실치, 및 주압구를 통해 하우징내로 용매 증기를 함유하는 가스입 수 있는 조절 가스의 통과를 포함한다. 중합체 용액을 하우징내의 기질이 표면 상에 침착시키고 기질을 이어서 스피닝시킨다. 조절 가스 및 존재하는 용매 증기 및 조절 가스에 분산되어 있는 미립자 오염물을 배출구를 통해 하우징으로부터 배출하고, 용매 중기 농도가 하우징의 온도, 및 용매 증기를 함유하는 가스를 생성하는 하우징으로부터 용매의 온도를 조절함으로써 조절된다. 대신에 농도를 상이한 용매 농도를 갖는 가스를 혼합함으로써 조절할 수 있다. 가스의 습도도 조절될 수 있다.

Description

기질을 균일하게 피복시키는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 스핀 피복 배열의 하나의 양태의 단면도를 도식한 것이다.

Claims (41)

  1. a) 기질을 밀폐된 하우징 내부에 설치하고; b) 조절 가스를 주입구를 통해 하우징내로 통과시키고; c) 중합체 용액을 하우징내의 기질의 표면 상에 침착시키고; d) 기질을 스피닝시키고; e) 조절 가스 및 존재하는 용매 증기 및 조절 가스에 분산되어 있는 미립자 오염물을 배출구를 통해 하우징으로부터 배출시킴을 특징으로 하여, 중합체 용액으로 기질의 표면을 피복시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 조절 가스 및 오염물을 배출하는 단계가 침착 단계 이전에 수행되는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 조절 가스 및 오염물을 배출하는 단계가 침착 단계 동안에 수행되는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 조절 가스 및 오염물을 배출하는 단계가 침착 단계 이후에 수행되는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 조절 가스가 용매 증기를 함유하는 가스 또는 용매를 함유하지 않는 가스인 방법.
  6. 제5항에 있어서, 용매-증기를 함유하는 가스가 용매를 통해 가스를 버블링시킴으로써 생성되는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 용매의 온도를 조절하여 용매 증기를 함유하는 가스의 용매 증기 농도를 조절하는 단계를 포함하는 방법.
  8. 제5항에 있어서, 하우징의 온도를 조절하여 용매 증기를 함유하는 가스의 용매 증기 농도를 조절하는 단계를 포함하는 방법.
  9. 제5항에 있어서, 용에 증기를 함유하는 가스를 상이한 용매 증기 농도를 갖는 제2의 가스와 혼합시켜 용매 증기를 함유하는 가스의 용매 증기 농도를 조절하는 단계를 포함하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 용매 증기를 함유하는 가스 및 제2의 가스를, 하우징 내로의 가스 유속 및 하우징 내로 유동하는 조절 가스의 조성을 조절하기 위한 전기적으로 조절되는 밸브가 설치된 도관을 따라 하우징에 도입되는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 조절 가스가 공기 또는 불활성 가스를 함유하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 조절 가스가 질소를 함유하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 중합체 용액이 포토레지스트 중합체를 함유하는 방법.
  14. 제l3항에 있어서, 중합체 용액이 강렬한 자외선 포토레지스트 중합체를 함유하는 방법.
  15. 제1항에 있어서, 용매를 함유하지 않는 건조 여과된 가스를 피복된 기질 상에 통과시키는 단계를 포함하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 용매를 함유하지 않는 건조 여과된 가스의 온도를 조절하는 방법.
  17. 제1항에 있어서, 용매를 함유하지 않는 습윤 가스를 피복된 기질 상에 통과시키는 단계를 포함하는 방법.
  18. 제17항에 있어서, 습윤 가스의 습도가 중합체 용액에 의해 요구되는 상대 습도를 갖도륵 온도 및 습도 조절기에 의해 조절되는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 습윤 가스의 습도가 40% 내지 45%의 상대 습도를 갖도륵 조절되는 방법.
  20. 제17항에 있어서, 습윤 가스의 온도가 온도 및 습도 조절기에 의해 조절되는 방법.
  21. 제1항에 있어서, 조절 가스가 연속 조절된 선상 유동으로 기질 상에 통과하는 방법.
  22. 제2l항에 있어서, 조절 가스가 기질 상에 설치된 샤우어헤드 디스펜서를 통해 하우징내로 통과하는 방법.
  23. 제1항에 있어서, 하우징내에 기질을 설치하는 단계가 회전가능한 척크에 기질을 고정시키는 것을 포함하는 방법.
  24. 제23항에 있어서, 척크에 기질을 고정시키는 단계가 기질과 척크 사이에 진공을 생성시키는 것을 포함하는 방법.
  25. 제1항에 있어서, 기질이 반도체 웨이퍼를 포함하는 방법.
  26. 제1항에 있어서, 중합체 용액 중의 용질 합량이 10중량% 내지 50중량%인 방법.
  27. 밀폐뒨 하우징; 기질을 지지하기 위해 하우징내에 설치된 회전가능한 척크; 하우징내에서 기질의 표면 상에 중합제 용액을 침착시키기 위한 침착 수단; 조절 가스를 하우징에 공급하기 의해 하우징과 유동 전달방식으로 연결된 조절 가스 공급 수단; 및 조절 가스 및 존재하는 용매 증기 및 미립자 오염물을 하우징으로부터 배출시키기 위해 하우징에 연결된 배출 수단을 포함함을 특징으로 하여, 중합체 용액으로 기질의 표면을 피복시키기 위한 피복 장치.
  28. 제27항에 있어서, 침착 수단이 기질의 표면 상에 중합체 용액의 스트림을 분배하기 위해 척크 상에 설치된 분배 수단을 포함하며, 이 분배 헤드 수단은 기질에 대해 이동가능한 피복 장치.
  29. 제28항에 있어서, 분배 헤드 수단이 원형 기질의 표면을 교차하여 실질적으로 방사형으로 이동가능한 피복 장치.
  30. 제27항에 있어서, 침착 수단이 중합체 용액의 스트림을 기질의 표면 상으로 분배하기 위해 척크 상에 설치된 압축 헤드를 갖은 필름 압출 수단을 포함하는 피복 장치.
  31. 제30항에 있어서, 압출 헤드가 방사형으로 확장하는 중합체 용액의 스트림을 원형 기질의 표면 상으로 분배하기 위해 척크 상에 설치된 피복 장치.
  32. 제27항에 있어서, 회전가능한 척크가 변속 모터에 연결된 피복 장치.
  33. 제32항에 있어서, 변속 모터의 속도를 조절하기 의한 조절 수단을 포함하는 피복 장치.
  34. 제27항에 있어서, 하우징이 업스트림 측면을 가지고. 용에 증기를 함유하는 가스 공급 수단이 하우징의 업스트림 측면에 설치된 하우징에 대한 주입구를 포함하는 피복 장치.
  35. 제27항에 있어서, 조절 가스 공급 수단이 기질 상에 설치된 샤우어헤드 디스펜서를 포함하는 피복 장치.
  36. 제27항에 있어서, 조절 가스 공급 수단이 하우징에 유동 전달방식으로 연결된 도관, 및 하우징내로 유동하는 조절 가스의 속도 및 조절가스의 조성을 조절하기 위한 하나 이상의 도관내의 전기적으로 조절된 밸브를 포함하는 피복 장치.
  37. 제27항에 있어서, 배출 수단이 하우징으로부터 가스 및 존재하는 오염물의 배출을 조절하기 위한 밸브 수단을 포함하는 피복 장치.
  38. 제27항에 있어서, 하우징이 다운스트림 측면을 가지고. 배출 수단이 하우징의 다운스트림 측면에 설치된 배출구를 포함하는 피복 장치.
  39. 제27항에 있어서, 조절 가스 공급 수단이 청정하고 건조 여과된 가스 공급원 및 하우징에 유동 전달방식으로 연결된 버블러를 포함하는 피복 장치.
  40. 제27항에 있어서, 하우징에 유동 전달방식으로 연결된 온도 및 습도 조절된 가스 공급원을 포함하는 피복 장치.
  41. 제40항에 있어서, 온도 및 습도 조절된 가스 공급원이 온도 및 습도 조절된 가스 공급원에 의해 공급된 가스의 온도 및 습도를 조절하기 위한 온도 조절 수단 및 습도 조절 수단을 포함하는 피복 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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